JPH04216401A - 渦電流測定法による変位トランスデューサ測定シーケンスを平衡させるための方法および装置 - Google Patents
渦電流測定法による変位トランスデューサ測定シーケンスを平衡させるための方法および装置Info
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- JPH04216401A JPH04216401A JP3034246A JP3424691A JPH04216401A JP H04216401 A JPH04216401 A JP H04216401A JP 3034246 A JP3034246 A JP 3034246A JP 3424691 A JP3424691 A JP 3424691A JP H04216401 A JPH04216401 A JP H04216401A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/001—Constructional details of gauge heads
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
- G01B7/023—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring distance between sensor and object
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/243—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the phase or frequency of ac
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
- Continuous Casting (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、渦電流測定法による
変位トランスデューサ測定シーケンス(displac
ement−transducer measuri
ng sequence)を平衡させるための方法お
よび装置に関するものである。
変位トランスデューサ測定シーケンス(displac
ement−transducer measuri
ng sequence)を平衡させるための方法お
よび装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】変位または振動を非接触で測定する方法
の1つとして、渦電流測定法が用いられる。渦電流測定
法を用いた渦電流検出器の主要な構成要素は、ハウジン
グ内に収容された検出コイルであり、この検出コイルに
は、発振回路から高周波の交流が供給されるようになっ
ている。したがって、検出コイルの周囲には磁界(高周
波磁界)が形成される。この高周波磁界の中へたとえば
導電性の物質を入れると、導電性の物質の内部に渦電流
が誘起される。そして、導電性の物質、すなわち測定対
象と検出コイルとの間の距離が小さければ小さいほど渦
電流は強くなる。渦電流が誘起される結果として、検出
コイルのインピーダンスが変化する。この変化を解析し
て、距離に比例する出力信号を作り出せば、距離または
距離の変位を検出することができる。
の1つとして、渦電流測定法が用いられる。渦電流測定
法を用いた渦電流検出器の主要な構成要素は、ハウジン
グ内に収容された検出コイルであり、この検出コイルに
は、発振回路から高周波の交流が供給されるようになっ
ている。したがって、検出コイルの周囲には磁界(高周
波磁界)が形成される。この高周波磁界の中へたとえば
導電性の物質を入れると、導電性の物質の内部に渦電流
が誘起される。そして、導電性の物質、すなわち測定対
象と検出コイルとの間の距離が小さければ小さいほど渦
電流は強くなる。渦電流が誘起される結果として、検出
コイルのインピーダンスが変化する。この変化を解析し
て、距離に比例する出力信号を作り出せば、距離または
距離の変位を検出することができる。
【0003】振動の測定においては、線形性について、
すなわち測定対象から検出コイルまでの距離の変化と出
力電圧との間の線形関係について極めて厳しい要求が課
せられる。また、渦電流測定法による変位トランスデュ
ーサ測定シーケンスの透過率の不変性についても極めて
厳しい要求が課せられる。それゆえ、変位トランスデュ
ーサ測定シーケンスを平衡させなければならない。
すなわち測定対象から検出コイルまでの距離の変化と出
力電圧との間の線形関係について極めて厳しい要求が課
せられる。また、渦電流測定法による変位トランスデュ
ーサ測定シーケンスの透過率の不変性についても極めて
厳しい要求が課せられる。それゆえ、変位トランスデュ
ーサ測定シーケンスを平衡させなければならない。
【0004】渦電流測定法による変位トランスデューサ
測定シーケンスを平衡させるための公知の方法の1つは
、検出器と発振回路との接続に使用されている接続ケー
ブルを短縮することであり、これによって平衡が達成さ
れている。というのは、接続ケーブルの容量自体が発振
器の振動回路の一部を形成しているからである。しかし
ながら、この平衡方法は費用が嵩み、しかももともと短
い接続ケーブルが使用されている場合には実行すること
ができないという欠点がある。
測定シーケンスを平衡させるための公知の方法の1つは
、検出器と発振回路との接続に使用されている接続ケー
ブルを短縮することであり、これによって平衡が達成さ
れている。というのは、接続ケーブルの容量自体が発振
器の振動回路の一部を形成しているからである。しかし
ながら、この平衡方法は費用が嵩み、しかももともと短
い接続ケーブルが使用されている場合には実行すること
ができないという欠点がある。
【0005】渦電流測定法による変位トランスデューサ
測定シーケンスを平衡させるためのさらに別の方法とし
ては、発振器の振動回路のコンデンサもしくは抵抗また
はその両方を交換することであり、これによって平衡が
とられている。この平衡法は、検出コイルと発振器の振
動回路とが共にトランスデューサヘッドの中に収容され
ているので、検出コイルと発振器の振動回路との間に接
続ケーブルがないような渦電流検出器に特に適している
。しかしながら、この公知の方法は、平衡を達成するの
に比較的時間を要し、しかも、特に混成回路が使用され
ている場合には、回路から素子を取外したり、新たな素
子を半田で接合したりする際に回路を傷つけるおそれが
あるという欠点があった。
測定シーケンスを平衡させるためのさらに別の方法とし
ては、発振器の振動回路のコンデンサもしくは抵抗また
はその両方を交換することであり、これによって平衡が
とられている。この平衡法は、検出コイルと発振器の振
動回路とが共にトランスデューサヘッドの中に収容され
ているので、検出コイルと発振器の振動回路との間に接
続ケーブルがないような渦電流検出器に特に適している
。しかしながら、この公知の方法は、平衡を達成するの
に比較的時間を要し、しかも、特に混成回路が使用され
ている場合には、回路から素子を取外したり、新たな素
子を半田で接合したりする際に回路を傷つけるおそれが
あるという欠点があった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】それゆえに、この発明
の目的は、渦電流測定法による変位トランスデューサ測
定シーケンスを平衡させるための方法において、迅速、
容易かつ経済的に平衡が達成される方法およびその方法
を実現するための装置を提供することである。
の目的は、渦電流測定法による変位トランスデューサ測
定シーケンスを平衡させるための方法において、迅速、
容易かつ経済的に平衡が達成される方法およびその方法
を実現するための装置を提供することである。
【0007】
【課題を解決すたるめの手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、検出コイルの漂遊磁界内に、導電性お
よび磁性のうちの少なくとも一方の性質を有する物質を
入れ、平衡させるために、上記物質を検出コイルに対し
て必要な位置に配置するようにしたものである。
に、この発明は、検出コイルの漂遊磁界内に、導電性お
よび磁性のうちの少なくとも一方の性質を有する物質を
入れ、平衡させるために、上記物質を検出コイルに対し
て必要な位置に配置するようにしたものである。
【0008】また、この発明は、変位トランスデューサ
測定シーケンスを平衡させるための装置であって、検出
コイルを有しており、この検出コイルはトランスデュー
サヘッド内に設けられて発振器回路から交流の供給を受
けるようにされており、しかもこの検出コイルは発振器
回路の回路素子の一部を構成しており、この検出コイル
の漂遊磁界内に導電性および磁性のうちの少なくとも一
方の性質を有する物質を配置するようにしたものである
。
測定シーケンスを平衡させるための装置であって、検出
コイルを有しており、この検出コイルはトランスデュー
サヘッド内に設けられて発振器回路から交流の供給を受
けるようにされており、しかもこの検出コイルは発振器
回路の回路素子の一部を構成しており、この検出コイル
の漂遊磁界内に導電性および磁性のうちの少なくとも一
方の性質を有する物質を配置するようにしたものである
。
【0009】
【作用】検出コイルの漂遊磁界内に導電性および磁性の
うちの少なくとも一方の性質を有する物質を入れると、
その物質の内部に渦電流が誘起される。すると、その渦
電流が検出コイルに電気的な負荷を生じさせる。検出コ
イルは振動回路の回路素子の一部を構成しているから、
検出コイルに生じる電気的な負荷は、変位トランスデュ
ーサ測定シーケンスの線形性および感度に変化を生じさ
せる。したがって、導電性および磁性のうちの少なくと
も一方の性質を有する物質を検出コイルに対して特定の
位置に配置すると、渦電流測定法による変位トランスデ
ューサ測定シーケンスの線形性および感度に関して最適
な平衡が実現できる。それゆえ、最適な平衡を実現する
特定の位置に導電性および磁性のうちの少なくとも一方
の性質を有する物質を固定する。なお、この物質は任意
形状でよい。
うちの少なくとも一方の性質を有する物質を入れると、
その物質の内部に渦電流が誘起される。すると、その渦
電流が検出コイルに電気的な負荷を生じさせる。検出コ
イルは振動回路の回路素子の一部を構成しているから、
検出コイルに生じる電気的な負荷は、変位トランスデュ
ーサ測定シーケンスの線形性および感度に変化を生じさ
せる。したがって、導電性および磁性のうちの少なくと
も一方の性質を有する物質を検出コイルに対して特定の
位置に配置すると、渦電流測定法による変位トランスデ
ューサ測定シーケンスの線形性および感度に関して最適
な平衡が実現できる。それゆえ、最適な平衡を実現する
特定の位置に導電性および磁性のうちの少なくとも一方
の性質を有する物質を固定する。なお、この物質は任意
形状でよい。
【0010】この発明の好ましい実施態様の1つでは、
検出コイルの両端面のうち測定対象から離れている方の
端面において、漂遊磁界中に導電性および磁性のうちの
少なくとも一方の性質を有する物質を入れる。このよう
な構成にすれば、導電性および磁性のうちの少なくとも
一方の性質を有する物質をトランスデューサヘッドに固
定する際に、見えないように固定することができる。
検出コイルの両端面のうち測定対象から離れている方の
端面において、漂遊磁界中に導電性および磁性のうちの
少なくとも一方の性質を有する物質を入れる。このよう
な構成にすれば、導電性および磁性のうちの少なくとも
一方の性質を有する物質をトランスデューサヘッドに固
定する際に、見えないように固定することができる。
【0011】この発明の好ましい他の実施態様では、導
電性および磁性のうちの少なくとも一方の性質を有する
物質は薄鋼板製の直角アングル材で形成されている。こ
のような構成にすれば、薄鋼板製のアングル材を、最初
に検出コイルに対して適当な距離に大まかにおいて固定
する。そしてその後で、薄鋼板製のアングル材の自由端
側を検出コイルに接近させる方向へ、または検出コイル
から遠ざける方向へ、曲げるかまたは捩じることによっ
て、変位トランスデューサ測定シーケンスの細かな平衡
を行うことかできる。
電性および磁性のうちの少なくとも一方の性質を有する
物質は薄鋼板製の直角アングル材で形成されている。こ
のような構成にすれば、薄鋼板製のアングル材を、最初
に検出コイルに対して適当な距離に大まかにおいて固定
する。そしてその後で、薄鋼板製のアングル材の自由端
側を検出コイルに接近させる方向へ、または検出コイル
から遠ざける方向へ、曲げるかまたは捩じることによっ
て、変位トランスデューサ測定シーケンスの細かな平衡
を行うことかできる。
【0012】さらに、薄鋼板製のアングル材をセラミッ
ク製の薄板に固定し、そのセラミック製の薄板をコイル
の鉄芯に固定するという構成がとられてもよい。このよ
うにすれば、極めて簡単に検出コイルに対して任意の距
離を保つように薄鋼板製のアングル材を偏平なセラミッ
ク製の薄板上に貼り付けることができる。この発明の特
に好ましい実施態様では、導電性および磁性のうちの少
なくとも一方の性質を有する物質が筒状に形成されてお
り、その筒状物質はセラミック製の薄板に沿って検出コ
イルの方向に移動可能にされている。このような態様で
は、セラミック製の薄板が発振器の回路素子のための基
板の役目をするので、発振器の回路素子をこの薄板上に
配置することができる。筒状物質は発振器の回路素子の
ための遮蔽箱の役目をし、同時に、トランスデューサヘ
ッドを安定させるのに役立つ。この実施態様の場合には
、信号ケーブルをトランスデューサヘッドに直結するこ
とができる。そして、信号ケーブルを取り替えても、変
位トランスデューサ測定シーケンスを平衡させる作業を
やり直す必要がない。
ク製の薄板に固定し、そのセラミック製の薄板をコイル
の鉄芯に固定するという構成がとられてもよい。このよ
うにすれば、極めて簡単に検出コイルに対して任意の距
離を保つように薄鋼板製のアングル材を偏平なセラミッ
ク製の薄板上に貼り付けることができる。この発明の特
に好ましい実施態様では、導電性および磁性のうちの少
なくとも一方の性質を有する物質が筒状に形成されてお
り、その筒状物質はセラミック製の薄板に沿って検出コ
イルの方向に移動可能にされている。このような態様で
は、セラミック製の薄板が発振器の回路素子のための基
板の役目をするので、発振器の回路素子をこの薄板上に
配置することができる。筒状物質は発振器の回路素子の
ための遮蔽箱の役目をし、同時に、トランスデューサヘ
ッドを安定させるのに役立つ。この実施態様の場合には
、信号ケーブルをトランスデューサヘッドに直結するこ
とができる。そして、信号ケーブルを取り替えても、変
位トランスデューサ測定シーケンスを平衡させる作業を
やり直す必要がない。
【0013】さらに、導電性および磁性のうちの少なく
とも一方の性質を有する物質は、検出コイルに対して適
切な距離を保つように、エポキシ樹脂の中で位置関係が
保たれた上で、エポキシ樹脂を硬化させるようにしても
よい。こうすれば、トランスデューサヘッドの耐久性と
安定性が増加し、また、導電性および磁性のうちの少な
くとも一方の性質を有する物質の検出コイルに対する位
置関係の耐久性と安定性も増加する。
とも一方の性質を有する物質は、検出コイルに対して適
切な距離を保つように、エポキシ樹脂の中で位置関係が
保たれた上で、エポキシ樹脂を硬化させるようにしても
よい。こうすれば、トランスデューサヘッドの耐久性と
安定性が増加し、また、導電性および磁性のうちの少な
くとも一方の性質を有する物質の検出コイルに対する位
置関係の耐久性と安定性も増加する。
【0014】
【実施例】以下に、この発明を、図面に示した2つの実
施例に基づいて詳細に説明をする。図1は、渦電流測定
法による変位トランスデューサ測定シーケンスのトラン
スデューサヘッド1を示している。トランスデューサヘ
ッド1は縦軸1aを有する。トランスデューサヘッド1
の両端面のうち、測定対象の方へ向けられる方の端面2
の内部には、トランスデューサヘッド1の縦軸1aが検
出コイル3の軸と一致するように、環状の検出コイル3
が位置している。検出コイル3の円筒状の孔4には、細
長い直方体の形をしたセラミック製の薄板5が固着され
ている。薄板5は縦軸1aに沿ってトランスデューサヘ
ッドの内部へ延びている。検出コイル3は電気的には同
軸ケーブル6に接続されている。検出コイル3と同軸ケ
ーブル6は振動回路の一部を形成している。同軸ケーブ
ル6は、その端部が、トランスデューサヘッド1の両端
のうち、測定対象から離れている方の端に嵌め込まれて
おり、トランスデューサヘッド1を専用の発振器および
その出力側に接続されている解析機に接続する。解析機
は、トランスデューサヘッド1から一定の距離を置いた
位置で別個のハウジングの中に設置されている。
施例に基づいて詳細に説明をする。図1は、渦電流測定
法による変位トランスデューサ測定シーケンスのトラン
スデューサヘッド1を示している。トランスデューサヘ
ッド1は縦軸1aを有する。トランスデューサヘッド1
の両端面のうち、測定対象の方へ向けられる方の端面2
の内部には、トランスデューサヘッド1の縦軸1aが検
出コイル3の軸と一致するように、環状の検出コイル3
が位置している。検出コイル3の円筒状の孔4には、細
長い直方体の形をしたセラミック製の薄板5が固着され
ている。薄板5は縦軸1aに沿ってトランスデューサヘ
ッドの内部へ延びている。検出コイル3は電気的には同
軸ケーブル6に接続されている。検出コイル3と同軸ケ
ーブル6は振動回路の一部を形成している。同軸ケーブ
ル6は、その端部が、トランスデューサヘッド1の両端
のうち、測定対象から離れている方の端に嵌め込まれて
おり、トランスデューサヘッド1を専用の発振器および
その出力側に接続されている解析機に接続する。解析機
は、トランスデューサヘッド1から一定の距離を置いた
位置で別個のハウジングの中に設置されている。
【0015】この実施例の場合の平衡は、金属製の直角
アングル材7を検出コイル3の漂遊磁界の中へ入れるこ
とによって行う。すると、金属製のアングル材7の内部
に距離に比例する渦電流が誘起される。それは検出コイ
ル3に反作用を及ぼし、検出コイル3のインピーダンス
を減らす。渦電流によって引き起こされる損失は変位ト
ランスデューサ測定シーケンスの線形性と感度とに変化
を生じさせるという形で振動回路に反作用を及ぼす。金
属製のアングル材7を検出コイル3に対して特定の位置
に置くと、その変位トランスデューサ測定シーケンスに
ついて望み通りの線形性と感度とが得られる。金属製の
アングル材7は、検出コイル3に対するこの位置関係に
おいて、アングル材7の一方の足をセラミック製の薄板
5に貼り付けるという方法で、セラミック製の薄板5に
固定される。金属製のアングル材7をセラミック製の薄
板5にこのように固定した後に、金属製のアングル材7
の他方の足を曲げることによって、変位トランスデュー
サ測定シーケンスの細かな平衡をとることができる。こ
のようにして平衡をとった後、検出コイル3と、金属製
のアングル材7を貼り付けたセラミック製の薄板5と、
同軸ケーブル6の端部とを、上述の位置関係に保ったま
まで、任意の形状の型に入れ、エポキシ樹脂9でカスチ
ングを行う。
アングル材7を検出コイル3の漂遊磁界の中へ入れるこ
とによって行う。すると、金属製のアングル材7の内部
に距離に比例する渦電流が誘起される。それは検出コイ
ル3に反作用を及ぼし、検出コイル3のインピーダンス
を減らす。渦電流によって引き起こされる損失は変位ト
ランスデューサ測定シーケンスの線形性と感度とに変化
を生じさせるという形で振動回路に反作用を及ぼす。金
属製のアングル材7を検出コイル3に対して特定の位置
に置くと、その変位トランスデューサ測定シーケンスに
ついて望み通りの線形性と感度とが得られる。金属製の
アングル材7は、検出コイル3に対するこの位置関係に
おいて、アングル材7の一方の足をセラミック製の薄板
5に貼り付けるという方法で、セラミック製の薄板5に
固定される。金属製のアングル材7をセラミック製の薄
板5にこのように固定した後に、金属製のアングル材7
の他方の足を曲げることによって、変位トランスデュー
サ測定シーケンスの細かな平衡をとることができる。こ
のようにして平衡をとった後、検出コイル3と、金属製
のアングル材7を貼り付けたセラミック製の薄板5と、
同軸ケーブル6の端部とを、上述の位置関係に保ったま
まで、任意の形状の型に入れ、エポキシ樹脂9でカスチ
ングを行う。
【0016】図2は、渦電流測定法による変位トランス
デューサ測定シーケンスのトランスデューサヘッド1を
示す。図2の場合にも、トランスデューサヘッド1の両
端面のうち、測定対象の方へ向けられる方の端面2の内
部には、環状の検出コイル3が位置している。既に図1
の説明の際に明らかにしたように、検出コイル3の円筒
状の孔4には、セラミック製の薄板5が固着されており
、トランスデューサヘッド1の内部へ延びている。この
図2の実施例の場合には、発振器と解析機の回路素子1
0はすべてセラミック製の薄板5に取付けられており、
相互に電気的に接続されている。振動回路の一部を形成
する検出コイル3は、セラミック製の薄板5およびそれ
に取付けられている回路素子10と電気的に接続されて
いる。
デューサ測定シーケンスのトランスデューサヘッド1を
示す。図2の場合にも、トランスデューサヘッド1の両
端面のうち、測定対象の方へ向けられる方の端面2の内
部には、環状の検出コイル3が位置している。既に図1
の説明の際に明らかにしたように、検出コイル3の円筒
状の孔4には、セラミック製の薄板5が固着されており
、トランスデューサヘッド1の内部へ延びている。この
図2の実施例の場合には、発振器と解析機の回路素子1
0はすべてセラミック製の薄板5に取付けられており、
相互に電気的に接続されている。振動回路の一部を形成
する検出コイル3は、セラミック製の薄板5およびそれ
に取付けられている回路素子10と電気的に接続されて
いる。
【0017】この実施例の場合の平衡は、トランスデュ
ーサヘッド1の縦軸1aと一致する縦軸を有する金属製
の筒8を移動させることによって行う。このようにして
平衡を達成すると、筒8は検出コイル3に対して適切な
距離に位置することになり、その位置で筒8をセラミッ
ク製の薄板5に貼り付けて固定する。この場合のセラミ
ック製の薄板5は筒8の内部にある。上述のように検出
コイル3をセラミック製の薄板5および筒8とともに型
に入れ、エポキシ樹脂9でカスチングを行う。筒8の一
部、すなわち検出コイル3に近接している領域だけがエ
ポキシ樹脂9によるカスチングの対象となるように型を
形成する。筒8の内部にはエポキシ樹脂9を充填し、そ
のまま硬化させる。この実施例の場合には、変位トラン
スデューサ測定シーケンスの回路素子を全てトランスデ
ューサヘッド1の中に収容してあるので、信号ケーブル
をトランスデューサヘッド1に直結することができる。
ーサヘッド1の縦軸1aと一致する縦軸を有する金属製
の筒8を移動させることによって行う。このようにして
平衡を達成すると、筒8は検出コイル3に対して適切な
距離に位置することになり、その位置で筒8をセラミッ
ク製の薄板5に貼り付けて固定する。この場合のセラミ
ック製の薄板5は筒8の内部にある。上述のように検出
コイル3をセラミック製の薄板5および筒8とともに型
に入れ、エポキシ樹脂9でカスチングを行う。筒8の一
部、すなわち検出コイル3に近接している領域だけがエ
ポキシ樹脂9によるカスチングの対象となるように型を
形成する。筒8の内部にはエポキシ樹脂9を充填し、そ
のまま硬化させる。この実施例の場合には、変位トラン
スデューサ測定シーケンスの回路素子を全てトランスデ
ューサヘッド1の中に収容してあるので、信号ケーブル
をトランスデューサヘッド1に直結することができる。
【0018】この発明による平衡は、導電性および磁性
のうちの少なくとも一方の性質を有する物質でセラミッ
ク製の薄板5を被覆し、その被覆に対してフライス削り
を行うことによってもできる。
のうちの少なくとも一方の性質を有する物質でセラミッ
ク製の薄板5を被覆し、その被覆に対してフライス削り
を行うことによってもできる。
【0019】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、渦電
流測定法による変位トランスデューサ測定シーケンスを
平衡させるための改善された方法を提供することができ
、変位トランスデューサ測定シーケンスにおいて迅速か
つ簡単に平衡を達成することができる。
流測定法による変位トランスデューサ測定シーケンスを
平衡させるための改善された方法を提供することができ
、変位トランスデューサ測定シーケンスにおいて迅速か
つ簡単に平衡を達成することができる。
【0020】また、この発明にかかる装置によれば、簡
易にかつよりよく平衡をとることができる。
易にかつよりよく平衡をとることができる。
【図1】この発明の一実施例にかかる装置の縦断面図で
あり、導電性および磁性のうちの少なくとも一方の性質
を有する物質が直角アングル材によって構成された例を
示している。
あり、導電性および磁性のうちの少なくとも一方の性質
を有する物質が直角アングル材によって構成された例を
示している。
【図2】この発明の他の実施例にかかる装置の縦断面図
であり、導電性および磁性のうちの少なくとも一方の性
質を有するが筒体によって構成された例を示している。
であり、導電性および磁性のうちの少なくとも一方の性
質を有するが筒体によって構成された例を示している。
1 トランスデューサヘッド2
測定対象の方へ向けられる端面3 検出コイ
ル 5 セラミック製の薄板 6 同軸ケーブル 7 直角アングル材 8 金属製の筒 9 エポキシ樹脂 10 回路素子
測定対象の方へ向けられる端面3 検出コイ
ル 5 セラミック製の薄板 6 同軸ケーブル 7 直角アングル材 8 金属製の筒 9 エポキシ樹脂 10 回路素子
Claims (7)
- 【請求項1】渦電流測定法による変位トランスデューサ
測定シーケンス(displacement−tran
sducer measuring sequen
ce)を平衡させるための方法において、検出コイルの
漂遊磁界内に導電性および磁性のうちの少なくとも一方
の性質を有する物質を配置するステップと、平衡させる
ために、上記物質を検出コイルに対して必要な位置に調
整配置するステップとを含むことを特徴とする渦電流測
定法による変位トランスデューサ測定シーケンスを平衡
させるための方法。 - 【請求項2】請求項1記載の方法において、検出コイル
の両端面のうち、測定対象から離れている方の端面にお
いて、漂遊磁界内へ導電性および磁性のうちの少なくと
も一方の性質を有する物質を入れることを特徴とするも
のである。 - 【請求項3】変位トランスデューサ測定シーケンス(d
isplacement−transducer m
easuring sequence)を平衡させる
ための装置であって、検出コイルを有しており、この検
出コイルはトランスデューサヘッド内に設けられて発振
器回路から交流の供給を受けるようにされており、しか
もこの検出コイルは発振器回路の回路素子の一部を構成
しており、この検出コイルの漂遊磁界内に導電性および
磁性のうちの少なくとも一方の性質を有する物質を配置
するようにしたことを特徴とする変位トランスデューサ
測定シーケンスを平衡させるための装置。 - 【請求項4】請求項3記載の装置において、上記導電性
および磁性のうちの少なくとも一方の性質を有する物質
は、薄鋼板製のアングル材として形成されていることを
特徴とするものである。 - 【請求項5】請求項4記載の装置において、上記薄鋼板
製のアングル材をセラミック製の薄板に固定し、そのセ
ラミック製薄板を検出コイルの鉄芯に固定することを特
徴とするものである。 - 【請求項6】請求項3記載の装置において、上記導電性
および磁性のうちの少なくとも一方の性質を有する物質
は、筒状に形成されていることを特徴とするものである
。 - 【請求項7】請求項3ないし6のいずれかに記載の装置
において、上記導電性および磁性のうちの少なくとも一
方の性質を有する物質は、検出コイルに対して適当な距
離を保つように、エポキシ樹脂の中で所定の位置に配置
され、そのエポキシ樹脂が硬化されていることを特徴と
するものである。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP90103841A EP0444226B1 (de) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | Verfahren und Vorrichtung zum Abgleich einer Wegaufnehmer-Messkette nach dem Wirbelstrom-Messverfahren |
DE901038414 | 1990-02-28 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04216401A true JPH04216401A (ja) | 1992-08-06 |
JP3065114B2 JP3065114B2 (ja) | 2000-07-12 |
Family
ID=8203701
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3034246A Expired - Lifetime JP3065114B2 (ja) | 1990-02-28 | 1991-02-28 | 渦電流測定法による変位トランスデューサ測定シーケンスを平衡させるための方法および装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0444226B1 (ja) |
JP (1) | JP3065114B2 (ja) |
AT (1) | ATE104427T1 (ja) |
DE (1) | DE59005370D1 (ja) |
DK (1) | DK0444226T3 (ja) |
ES (1) | ES2052996T3 (ja) |
Families Citing this family (4)
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---|---|---|---|---|
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CN102901437A (zh) * | 2012-10-11 | 2013-01-30 | 安徽科航自动化仪器有限公司 | 一种一体化电涡流位移传感器 |
CN106441378B (zh) * | 2016-10-19 | 2019-03-05 | 珠海格力电器股份有限公司 | 电涡流传感器及其材料档位调节电阻确定方法、测试方法 |
DE102017002464B4 (de) * | 2017-03-15 | 2024-06-13 | Brüel & Kjaer Vibro GmbH | Wegmesskette |
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---|---|---|---|---|
US2933677A (en) * | 1955-08-26 | 1960-04-19 | Unit Process Assemblies | Probe for a thickness testing gage |
US3883796A (en) * | 1972-09-05 | 1975-05-13 | Acme Cleveland Corp | Proximity probe with output proportional to target distance |
DE2345848C3 (de) * | 1973-09-12 | 1986-06-19 | ELEKTRO-PHYSIK Hans Nix & Dr.-Ing. E. Steingroever GmbH & Co KG, 5000 Köln | Elektromagnetischer Schichtdickenmesser |
AU4195085A (en) * | 1984-05-31 | 1985-12-05 | Eaton Corporation | Compact displacement transducer |
CH667727A5 (de) * | 1985-05-28 | 1988-10-31 | Zellweger Uster Ag | Messkopf zur induktiven messung der dicke einer isolierenden schicht auf einem elektrischen leiter. |
-
1990
- 1990-02-28 EP EP90103841A patent/EP0444226B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1990-02-28 DK DK90103841.4T patent/DK0444226T3/da active
- 1990-02-28 AT AT90103841T patent/ATE104427T1/de not_active IP Right Cessation
- 1990-02-28 DE DE59005370T patent/DE59005370D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-02-28 ES ES90103841T patent/ES2052996T3/es not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-02-28 JP JP3034246A patent/JP3065114B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0444226B1 (de) | 1994-04-13 |
DE59005370D1 (de) | 1994-05-19 |
ATE104427T1 (de) | 1994-04-15 |
DK0444226T3 (da) | 1994-05-16 |
EP0444226A1 (de) | 1991-09-04 |
ES2052996T3 (es) | 1994-07-16 |
JP3065114B2 (ja) | 2000-07-12 |
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