JP3065114B2 - 渦電流測定法による変位トランスデューサ測定シーケンスを平衡させるための方法および装置 - Google Patents
渦電流測定法による変位トランスデューサ測定シーケンスを平衡させるための方法および装置Info
- Publication number
- JP3065114B2 JP3065114B2 JP3034246A JP3424691A JP3065114B2 JP 3065114 B2 JP3065114 B2 JP 3065114B2 JP 3034246 A JP3034246 A JP 3034246A JP 3424691 A JP3424691 A JP 3424691A JP 3065114 B2 JP3065114 B2 JP 3065114B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detection coil
- displacement transducer
- sequence
- balancing
- substance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/001—Constructional details of gauge heads
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
- G01B7/023—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring distance between sensor and object
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/243—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the phase or frequency of ac
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
- Continuous Casting (AREA)
- Magnetic Treatment Devices (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、渦電流測定法による
変位トランスデューサ測定シーケンス（ｄｉｓｐｌａｃ
ｅｍｅｎｔ−ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ ｍｅａｓｕｒｉｎ
ｇ ｓｅｑｕｅｎｃｅ）を平衡させるための方法および
装置に関するものである。
変位トランスデューサ測定シーケンス（ｄｉｓｐｌａｃ
ｅｍｅｎｔ−ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ ｍｅａｓｕｒｉｎ
ｇ ｓｅｑｕｅｎｃｅ）を平衡させるための方法および
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】変位または振動を非接触で測定する方法
の１つとして、渦電流測定法が用いられる。渦電流測定
法を用いた渦電流検出器の主要な構成要素は、ハウジン
グ内に収容された検出コイルであり、この検出コイルに
は、発振回路から高周波の交流が供給されるようになっ
ている。したがって、検出コイルの周囲には磁界（高周
波磁界）が形成される。この高周波磁界の中へたとえば
導電性の物質を入れると、導電性の物質の内部に渦電流
が誘起される。そして、導電性の物質、すなわち測定対
象と検出コイルとの間の距離が小さければ小さいほど渦
電流は強くなる。渦電流が誘起される結果として、検出
コイルのインピーダンスが変化する。この変化を解析し
て、距離に比例する出力信号を作り出せば、距離または
距離の変位を検出することができる。
の１つとして、渦電流測定法が用いられる。渦電流測定
法を用いた渦電流検出器の主要な構成要素は、ハウジン
グ内に収容された検出コイルであり、この検出コイルに
は、発振回路から高周波の交流が供給されるようになっ
ている。したがって、検出コイルの周囲には磁界（高周
波磁界）が形成される。この高周波磁界の中へたとえば
導電性の物質を入れると、導電性の物質の内部に渦電流
が誘起される。そして、導電性の物質、すなわち測定対
象と検出コイルとの間の距離が小さければ小さいほど渦
電流は強くなる。渦電流が誘起される結果として、検出
コイルのインピーダンスが変化する。この変化を解析し
て、距離に比例する出力信号を作り出せば、距離または
距離の変位を検出することができる。
【０００３】振動の測定においては、線形性について、
すなわち測定対象から検出コイルまでの距離の変化と出
力電圧との間の線形関係について極めて厳しい要求が課
せられる。また、渦電流測定法による変位トランスデュ
ーサ測定シーケンスの透過率の不変性についても極めて
厳しい要求が課せられる。それゆえ、変位トランスデュ
ーサ測定シーケンスを平衡させなければならない。
すなわち測定対象から検出コイルまでの距離の変化と出
力電圧との間の線形関係について極めて厳しい要求が課
せられる。また、渦電流測定法による変位トランスデュ
ーサ測定シーケンスの透過率の不変性についても極めて
厳しい要求が課せられる。それゆえ、変位トランスデュ
ーサ測定シーケンスを平衡させなければならない。
【０００４】渦電流測定法による変位トランスデューサ
測定シーケンスを平衡させるための公知の方法の１つ
は、検出器と発振回路との接続に使用されている接続ケ
ーブルを短縮することであり、これによって平衡が達成
されている。というのは、接続ケーブルの容量自体が発
振器の振動回路の一部を形成しているからである。しか
しながら、この平衡方法は費用が嵩み、しかももともと
短い接続ケーブルが使用されている場合には実行するこ
とができないという欠点がある。
測定シーケンスを平衡させるための公知の方法の１つ
は、検出器と発振回路との接続に使用されている接続ケ
ーブルを短縮することであり、これによって平衡が達成
されている。というのは、接続ケーブルの容量自体が発
振器の振動回路の一部を形成しているからである。しか
しながら、この平衡方法は費用が嵩み、しかももともと
短い接続ケーブルが使用されている場合には実行するこ
とができないという欠点がある。
【０００５】渦電流測定法による変位トランスデューサ
測定シーケンスを平衡させるためのさらに別の方法とし
ては、発振器の振動回路のコンデンサもしくは抵抗また
はその両方を交換することであり、これによって平衡が
とられている。この平衡法は、検出コイルと発振器の振
動回路とが共にトランスデューサヘッドの中に収容され
ているので、検出コイルと発振器の振動回路との間に接
続ケーブルがないような渦電流検出器に特に適してい
る。しかしながら、この公知の方法は、平衡を達成する
のに比較的時間を要し、しかも、特に混成回路が使用さ
れている場合には、回路から素子を取外したり、新たな
素子を半田で接合したりする際に回路を傷つけるおそれ
があるという欠点があった。
測定シーケンスを平衡させるためのさらに別の方法とし
ては、発振器の振動回路のコンデンサもしくは抵抗また
はその両方を交換することであり、これによって平衡が
とられている。この平衡法は、検出コイルと発振器の振
動回路とが共にトランスデューサヘッドの中に収容され
ているので、検出コイルと発振器の振動回路との間に接
続ケーブルがないような渦電流検出器に特に適してい
る。しかしながら、この公知の方法は、平衡を達成する
のに比較的時間を要し、しかも、特に混成回路が使用さ
れている場合には、回路から素子を取外したり、新たな
素子を半田で接合したりする際に回路を傷つけるおそれ
があるという欠点があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】それゆえに、この発明
の目的は、渦電流測定法による変位トランスデューサ測
定シーケンスを平衡させるための方法において、迅速、
容易かつ経済的に平衡が達成される方法およびその方法
を実現するための装置を提供することである。
の目的は、渦電流測定法による変位トランスデューサ測
定シーケンスを平衡させるための方法において、迅速、
容易かつ経済的に平衡が達成される方法およびその方法
を実現するための装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決すたるめの手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、検出コイルの漂遊磁界内に、導電性お
よび磁性のうちの少なくとも一方の性質を有する物質を
入れ、平衡させるために、上記物質を検出コイルに対し
て必要な位置に配置するようにしたものである。
に、この発明は、検出コイルの漂遊磁界内に、導電性お
よび磁性のうちの少なくとも一方の性質を有する物質を
入れ、平衡させるために、上記物質を検出コイルに対し
て必要な位置に配置するようにしたものである。
【０００８】また、この発明は、変位トランスデューサ
測定シーケンスを平衡させるための装置であって、検出
コイルを有しており、この検出コイルはトランスデュー
サヘッド内に設けられて発振器回路から交流の供給を受
けるようにされており、しかもこの検出コイルは発振器
回路の回路素子の一部を構成しており、この検出コイル
の漂遊磁界内に導電性および磁性のうちの少なくとも一
方の性質を有する物質を検出コイルに対して平衡させる
ために必要な位置に配置するようにしたものである。
測定シーケンスを平衡させるための装置であって、検出
コイルを有しており、この検出コイルはトランスデュー
サヘッド内に設けられて発振器回路から交流の供給を受
けるようにされており、しかもこの検出コイルは発振器
回路の回路素子の一部を構成しており、この検出コイル
の漂遊磁界内に導電性および磁性のうちの少なくとも一
方の性質を有する物質を検出コイルに対して平衡させる
ために必要な位置に配置するようにしたものである。
【０００９】
【作用】検出コイルの漂遊磁界内に導電性および磁性の
うちの少なくとも一方の性質を有する物質を入れると、
その物質の内部に渦電流が誘起される。すると、その渦
電流が検出コイルに電気的な負荷を生じさせる。検出コ
イルは振動回路の回路素子の一部を構成しているから、
検出コイルに生じる電気的な負荷は、変位トランスデュ
ーサ測定シーケンスの線形性および感度に変化を生じさ
せる。したがって、導電性および磁性のうちの少なくと
も一方の性質を有する物質を検出コイルに対して特定の
位置に配置すると、渦電流測定法による変位トランスデ
ューサ測定シーケンスの線形性および感度に関して最適
な平衡が実現できる。それゆえ、最適な平衡を実現する
特定の位置に導電性および磁性のうちの少なくとも一方
の性質を有する物質を固定する。なお、この物質は任意
形状でよい。
うちの少なくとも一方の性質を有する物質を入れると、
その物質の内部に渦電流が誘起される。すると、その渦
電流が検出コイルに電気的な負荷を生じさせる。検出コ
イルは振動回路の回路素子の一部を構成しているから、
検出コイルに生じる電気的な負荷は、変位トランスデュ
ーサ測定シーケンスの線形性および感度に変化を生じさ
せる。したがって、導電性および磁性のうちの少なくと
も一方の性質を有する物質を検出コイルに対して特定の
位置に配置すると、渦電流測定法による変位トランスデ
ューサ測定シーケンスの線形性および感度に関して最適
な平衡が実現できる。それゆえ、最適な平衡を実現する
特定の位置に導電性および磁性のうちの少なくとも一方
の性質を有する物質を固定する。なお、この物質は任意
形状でよい。
【００１０】この発明の好ましい実施態様の１つでは、
検出コイルの両端面のうち測定対象から離れている方の
端面において、漂遊磁界中に導電性および磁性のうちの
少なくとも一方の性質を有する物質を入れる。このよう
な構成にすれば、導電性および磁性のうちの少なくとも
一方の性質を有する物質をトランスデューサヘッドに固
定する際に、見えないように固定することができる。
検出コイルの両端面のうち測定対象から離れている方の
端面において、漂遊磁界中に導電性および磁性のうちの
少なくとも一方の性質を有する物質を入れる。このよう
な構成にすれば、導電性および磁性のうちの少なくとも
一方の性質を有する物質をトランスデューサヘッドに固
定する際に、見えないように固定することができる。
【００１１】この発明の好ましい他の実施態様では、導
電性および磁性のうちの少なくとも一方の性質を有する
物質は薄鋼板製の直角アングル材で形成されている。こ
のような構成にすれば、薄鋼板製のアングル材を、最初
に検出コイルに対して適当な距離に大まかにおいて固定
する。そしてその後で、薄鋼板製のアングル材の自由端
側を検出コイルに接近させる方向へ、または検出コイル
から遠ざける方向へ、曲げるかまたは捩じることによっ
て、変位トランスデューサ測定シーケンスの細かな平衡
を行うことかできる。
電性および磁性のうちの少なくとも一方の性質を有する
物質は薄鋼板製の直角アングル材で形成されている。こ
のような構成にすれば、薄鋼板製のアングル材を、最初
に検出コイルに対して適当な距離に大まかにおいて固定
する。そしてその後で、薄鋼板製のアングル材の自由端
側を検出コイルに接近させる方向へ、または検出コイル
から遠ざける方向へ、曲げるかまたは捩じることによっ
て、変位トランスデューサ測定シーケンスの細かな平衡
を行うことかできる。
【００１２】さらに、薄鋼板製のアングル材をセラミッ
ク製の薄板に固定し、そのセラミック製の薄板をコイル
の鉄芯に固定するという構成がとられてもよい。このよ
うにすれば、極めて簡単に検出コイルに対して任意の距
離を保つように薄鋼板製のアングル材を偏平なセラミッ
ク製の薄板上に貼り付けることができる。この発明の特
に好ましい実施態様では、導電性および磁性のうちの少
なくとも一方の性質を有する物質が筒状に形成されてお
り、その筒状物質はセラミック製の薄板に沿って検出コ
イルの方向に移動可能にされている。このような態様で
は、セラミック製の薄板が発振器の回路素子のための基
板の役目をするので、発振器の回路素子をこの薄板上に
配置することができる。筒状物質は発振器の回路素子の
ための遮蔽箱の役目をし、同時に、トランスデューサヘ
ッドを安定させるのに役立つ。この実施態様の場合に
は、信号ケーブルをトランスデューサヘッドに直結する
ことができる。そして、信号ケーブルを取り替えても、
変位トランスデューサ測定シーケンスを平衡させる作業
をやり直す必要がない。
ク製の薄板に固定し、そのセラミック製の薄板をコイル
の鉄芯に固定するという構成がとられてもよい。このよ
うにすれば、極めて簡単に検出コイルに対して任意の距
離を保つように薄鋼板製のアングル材を偏平なセラミッ
ク製の薄板上に貼り付けることができる。この発明の特
に好ましい実施態様では、導電性および磁性のうちの少
なくとも一方の性質を有する物質が筒状に形成されてお
り、その筒状物質はセラミック製の薄板に沿って検出コ
イルの方向に移動可能にされている。このような態様で
は、セラミック製の薄板が発振器の回路素子のための基
板の役目をするので、発振器の回路素子をこの薄板上に
配置することができる。筒状物質は発振器の回路素子の
ための遮蔽箱の役目をし、同時に、トランスデューサヘ
ッドを安定させるのに役立つ。この実施態様の場合に
は、信号ケーブルをトランスデューサヘッドに直結する
ことができる。そして、信号ケーブルを取り替えても、
変位トランスデューサ測定シーケンスを平衡させる作業
をやり直す必要がない。
【００１３】さらに、導電性および磁性のうちの少なく
とも一方の性質を有する物質は、検出コイルに対して適
切な距離を保つように、エポキシ樹脂の中で位置関係が
保たれた上で、エポキシ樹脂を硬化させるようにしても
よい。こうすれば、トランスデューサヘッドの耐久性と
安定性が増加し、また、導電性および磁性のうちの少な
くとも一方の性質を有する物質の検出コイルに対する位
置関係の耐久性と安定性も増加する。
とも一方の性質を有する物質は、検出コイルに対して適
切な距離を保つように、エポキシ樹脂の中で位置関係が
保たれた上で、エポキシ樹脂を硬化させるようにしても
よい。こうすれば、トランスデューサヘッドの耐久性と
安定性が増加し、また、導電性および磁性のうちの少な
くとも一方の性質を有する物質の検出コイルに対する位
置関係の耐久性と安定性も増加する。
【００１４】
【実施例】以下に、この発明を、図面に示した２つの実
施例に基づいて詳細に説明をする。図１は、渦電流測定
法による変位トランスデューサ測定シーケンスのトラン
スデューサヘッド１を示している。トランスデューサヘ
ッド１は縦軸１ａを有する。トランスデューサヘッド１
の両端面のうち、測定対象の方へ向けられる方の端面２
の内部には、トランスデューサヘッド１の縦軸１ａが検
出コイル３の軸と一致するように、環状の検出コイル３
が位置している。検出コイル３の円筒状の孔４には、細
長い直方体の形をしたセラミック製の薄板５が固着され
ている。薄板５は縦軸１ａに沿ってトランスデューサヘ
ッドの内部へ延びている。検出コイル３は電気的には同
軸ケーブル６に接続されている。検出コイル３と同軸ケ
ーブル６は振動回路の一部を形成している。同軸ケーブ
ル６は、その端部が、トランスデューサヘッド１の両端
のうち、測定対象から離れている方の端に嵌め込まれて
おり、トランスデューサヘッド１を専用の発振器および
その出力側に接続されている解析機に接続する。解析機
は、トランスデューサヘッド１から一定の距離を置いた
位置で別個のハウジングの中に設置されている。
施例に基づいて詳細に説明をする。図１は、渦電流測定
法による変位トランスデューサ測定シーケンスのトラン
スデューサヘッド１を示している。トランスデューサヘ
ッド１は縦軸１ａを有する。トランスデューサヘッド１
の両端面のうち、測定対象の方へ向けられる方の端面２
の内部には、トランスデューサヘッド１の縦軸１ａが検
出コイル３の軸と一致するように、環状の検出コイル３
が位置している。検出コイル３の円筒状の孔４には、細
長い直方体の形をしたセラミック製の薄板５が固着され
ている。薄板５は縦軸１ａに沿ってトランスデューサヘ
ッドの内部へ延びている。検出コイル３は電気的には同
軸ケーブル６に接続されている。検出コイル３と同軸ケ
ーブル６は振動回路の一部を形成している。同軸ケーブ
ル６は、その端部が、トランスデューサヘッド１の両端
のうち、測定対象から離れている方の端に嵌め込まれて
おり、トランスデューサヘッド１を専用の発振器および
その出力側に接続されている解析機に接続する。解析機
は、トランスデューサヘッド１から一定の距離を置いた
位置で別個のハウジングの中に設置されている。
【００１５】この実施例の場合の平衡は、金属製の直角
アングル材７を検出コイル３の漂遊磁界の中へ入れるこ
とによって行う。すると、金属製のアングル材７の内部
に距離に比例する渦電流が誘起される。それは検出コイ
ル３に反作用を及ぼし、検出コイル３のインピーダンス
を減らす。渦電流によって引き起こされる損失は変位ト
ランスデューサ測定シーケンスの線形性と感度とに変化
を生じさせるという形で振動回路に反作用を及ぼす。金
属製のアングル材７を検出コイル３に対して特定の位置
に置くと、その変位トランスデューサ測定シーケンスに
ついて望み通りの線形性と感度とが得られる。金属製の
アングル材７は、検出コイル３に対するこの位置関係に
おいて、アングル材７の一方の足をセラミック製の薄板
５に貼り付けるという方法で、セラミック製の薄板５に
固定される。金属製のアングル材７をセラミック製の薄
板５にこのように固定した後に、金属製のアングル材７
の他方の足を曲げることによって、変位トランスデュー
サ測定シーケンスの細かな平衡をとることができる。こ
のようにして平衡をとった後、検出コイル３と、金属製
のアングル材７を貼り付けたセラミック製の薄板５と、
同軸ケーブル６の端部とを、上述の位置関係に保ったま
まで、任意の形状の型に入れ、エポキシ樹脂９でカスチ
ングを行う。
アングル材７を検出コイル３の漂遊磁界の中へ入れるこ
とによって行う。すると、金属製のアングル材７の内部
に距離に比例する渦電流が誘起される。それは検出コイ
ル３に反作用を及ぼし、検出コイル３のインピーダンス
を減らす。渦電流によって引き起こされる損失は変位ト
ランスデューサ測定シーケンスの線形性と感度とに変化
を生じさせるという形で振動回路に反作用を及ぼす。金
属製のアングル材７を検出コイル３に対して特定の位置
に置くと、その変位トランスデューサ測定シーケンスに
ついて望み通りの線形性と感度とが得られる。金属製の
アングル材７は、検出コイル３に対するこの位置関係に
おいて、アングル材７の一方の足をセラミック製の薄板
５に貼り付けるという方法で、セラミック製の薄板５に
固定される。金属製のアングル材７をセラミック製の薄
板５にこのように固定した後に、金属製のアングル材７
の他方の足を曲げることによって、変位トランスデュー
サ測定シーケンスの細かな平衡をとることができる。こ
のようにして平衡をとった後、検出コイル３と、金属製
のアングル材７を貼り付けたセラミック製の薄板５と、
同軸ケーブル６の端部とを、上述の位置関係に保ったま
まで、任意の形状の型に入れ、エポキシ樹脂９でカスチ
ングを行う。
【００１６】図２は、渦電流測定法による変位トランス
デューサ測定シーケンスのトランスデューサヘッド１を
示す。図２の場合にも、トランスデューサヘッド１の両
端面のうち、測定対象の方へ向けられる方の端面２の内
部には、環状の検出コイル３が位置している。既に図１
の説明の際に明らかにしたように、検出コイル３の円筒
状の孔４には、セラミック製の薄板５が固着されてお
り、トランスデューサヘッド１の内部へ延びている。こ
の図２の実施例の場合には、発振器と解析機の回路素子
１０はすべてセラミック製の薄板５に取付けられてお
り、相互に電気的に接続されている。振動回路の一部を
形成する検出コイル３は、セラミック製の薄板５および
それに取付けられている回路素子１０と電気的に接続さ
れている。
デューサ測定シーケンスのトランスデューサヘッド１を
示す。図２の場合にも、トランスデューサヘッド１の両
端面のうち、測定対象の方へ向けられる方の端面２の内
部には、環状の検出コイル３が位置している。既に図１
の説明の際に明らかにしたように、検出コイル３の円筒
状の孔４には、セラミック製の薄板５が固着されてお
り、トランスデューサヘッド１の内部へ延びている。こ
の図２の実施例の場合には、発振器と解析機の回路素子
１０はすべてセラミック製の薄板５に取付けられてお
り、相互に電気的に接続されている。振動回路の一部を
形成する検出コイル３は、セラミック製の薄板５および
それに取付けられている回路素子１０と電気的に接続さ
れている。
【００１７】この実施例の場合の平衡は、トランスデュ
ーサヘッド１の縦軸１ａと一致する縦軸を有する金属製
の筒８を移動させることによって行う。このようにして
平衡を達成すると、筒８は検出コイル３に対して適切な
距離に位置することになり、その位置で筒８をセラミッ
ク製の薄板５に貼り付けて固定する。この場合のセラミ
ック製の薄板５は筒８の内部にある。上述のように検出
コイル３をセラミック製の薄板５および筒８とともに型
に入れ、エポキシ樹脂９でカスチングを行う。筒８の一
部、すなわち検出コイル３に近接している領域だけがエ
ポキシ樹脂９によるカスチングの対象となるように型を
形成する。筒８の内部にはエポキシ樹脂９を充填し、そ
のまま硬化させる。この実施例の場合には、変位トラン
スデューサ測定シーケンスの回路素子を全てトランスデ
ューサヘッド１の中に収容してあるので、信号ケーブル
をトランスデューサヘッド１に直結することができる。
ーサヘッド１の縦軸１ａと一致する縦軸を有する金属製
の筒８を移動させることによって行う。このようにして
平衡を達成すると、筒８は検出コイル３に対して適切な
距離に位置することになり、その位置で筒８をセラミッ
ク製の薄板５に貼り付けて固定する。この場合のセラミ
ック製の薄板５は筒８の内部にある。上述のように検出
コイル３をセラミック製の薄板５および筒８とともに型
に入れ、エポキシ樹脂９でカスチングを行う。筒８の一
部、すなわち検出コイル３に近接している領域だけがエ
ポキシ樹脂９によるカスチングの対象となるように型を
形成する。筒８の内部にはエポキシ樹脂９を充填し、そ
のまま硬化させる。この実施例の場合には、変位トラン
スデューサ測定シーケンスの回路素子を全てトランスデ
ューサヘッド１の中に収容してあるので、信号ケーブル
をトランスデューサヘッド１に直結することができる。
【００１８】この発明による平衡は、導電性および磁性
のうちの少なくとも一方の性質を有する物質でセラミッ
ク製の薄板５を被覆し、その被覆に対してフライス削り
を行うことによってもできる。
のうちの少なくとも一方の性質を有する物質でセラミッ
ク製の薄板５を被覆し、その被覆に対してフライス削り
を行うことによってもできる。
【００１９】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、渦電
流測定法による変位トランスデューサ測定シーケンスを
平衡させるための改善された方法を提供することがで
き、変位トランスデューサ測定シーケンスにおいて迅速
かつ簡単に平衡を達成することができる。
流測定法による変位トランスデューサ測定シーケンスを
平衡させるための改善された方法を提供することがで
き、変位トランスデューサ測定シーケンスにおいて迅速
かつ簡単に平衡を達成することができる。
【００２０】また、この発明にかかる装置によれば、簡
易にかつよりよく平衡をとることができる。
易にかつよりよく平衡をとることができる。
【図１】この発明の一実施例にかかる装置の縦断面図で
あり、導電性および磁性のうちの少なくとも一方の性質
を有する物質が直角アングル材によって構成された例を
示している。
あり、導電性および磁性のうちの少なくとも一方の性質
を有する物質が直角アングル材によって構成された例を
示している。
【図２】この発明の他の実施例にかかる装置の縦断面図
であり、導電性および磁性のうちの少なくとも一方の性
質を有するが筒体によって構成された例を示している。
であり、導電性および磁性のうちの少なくとも一方の性
質を有するが筒体によって構成された例を示している。
１ トランスデューサヘッド ２ 測定対象の方へ向けられる端面 ３ 検出コイル ５ セラミック製の薄板 ６ 同軸ケーブル ７ 直角アングル材 ８ 金属製の筒 ９ エポキシ樹脂 １０ 回路素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭58−83222（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−136901（ＪＰ，Ａ) 実開 昭59−40805（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭56−157607（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 7/00 - 7/34
Claims (5)
- 【請求項１】渦電流測定法による変位トランスデューサ
測定シーケンス（ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ−ｔｒａｎ
ｓｄｕｃｅｒ ｍｅａｓｕｒｉｎｇ ｓｅｑｕｅｎｃ
ｅ）を平衡させるための方法において、 検出コイルの漂遊磁界内に導電性および磁性のうちの少
なくとも一方の性質を有する物質を配置するステップ
と、 平衡させるために、上記物質を検出コイルに対して必要
な位置に調整配置するステップとを含むことを特徴とす
る渦電流測定法による変位トランスデューサ測定シーケ
ンスを平衡させるための方法。 - 【請求項２】請求項１記載の方法において、 検出コイルの両端面のうち、測定対象から離れている方
の端面において、漂遊磁界内へ導電性および磁性のうち
の少なくとも一方の性質を有する物質を入れることを特
徴とする変位トランスデューサ測定シーケンスを平衡さ
せるための方法。 - 【請求項３】変位トランスデューサ測定シーケンス（ｄ
ｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ−ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ ｍｅ
ａｓｕｒｉｎｇ ｓｅｑｕｅｎｃｅ）を平衡させるため
の装置であって、 検出コイルを有しており、この検出コイルはトランスデ
ューサヘッド内に設けられて発振器回路から交流の供給
を受けるようにされており、しかもこの検出コイルは発
振器回路の回路素子の一部を構成しており、 この検出コイルの漂遊磁界内に導電性および磁性のうち
の少なくとも一方の性質を有する物質を検出コイルに対
して平衡させるために必要な位置に調整配置したことを
特徴とする変位トランスデューサ測定シーケンスを平衡
させるための装置。 - 【請求項４】請求項３記載の装置において、 上記導電性および磁性のうちの少なくとも一方の性質を
有する物質は、薄鋼板製のアングル材として形成されて
いることを特徴とする変位トランスデューサ測定シーケ
ンスを平衡させるための装置。 - 【請求項５】請求項４記載の装置において、 上記薄鋼板製のアングル材をセラミック製の薄板に固定
し、そのセラミック製薄板を検出コイルの鉄芯に固定す
ることを特徴とする変位トランスデューサ測定シーケン
スを平衡させるための装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE901038414 | 1990-02-28 | ||
| EP90103841A EP0444226B1 (de) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | Verfahren und Vorrichtung zum Abgleich einer Wegaufnehmer-Messkette nach dem Wirbelstrom-Messverfahren |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04216401A JPH04216401A (ja) | 1992-08-06 |
| JP3065114B2 true JP3065114B2 (ja) | 2000-07-12 |
Family
ID=8203701
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3034246A Expired - Lifetime JP3065114B2 (ja) | 1990-02-28 | 1991-02-28 | 渦電流測定法による変位トランスデューサ測定シーケンスを平衡させるための方法および装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0444226B1 (ja) |
| JP (1) | JP3065114B2 (ja) |
| AT (1) | ATE104427T1 (ja) |
| DE (1) | DE59005370D1 (ja) |
| DK (1) | DK0444226T3 (ja) |
| ES (1) | ES2052996T3 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102012017615B4 (de) * | 2012-09-06 | 2021-12-02 | Brüel & Kjaer Vibro GmbH | Wirbelstromaufnehmer und Verfahren zur Wegmessung |
| CN102901437A (zh) * | 2012-10-11 | 2013-01-30 | 安徽科航自动化仪器有限公司 | 一种一体化电涡流位移传感器 |
| CN106441378B (zh) * | 2016-10-19 | 2019-03-05 | 珠海格力电器股份有限公司 | 电涡流传感器及其材料档位调节电阻确定方法、测试方法 |
| DE102017002464B4 (de) * | 2017-03-15 | 2024-06-13 | Brüel & Kjaer Vibro GmbH | Wegmesskette |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2933677A (en) * | 1955-08-26 | 1960-04-19 | Unit Process Assemblies | Probe for a thickness testing gage |
| US3883796A (en) * | 1972-09-05 | 1975-05-13 | Acme Cleveland Corp | Proximity probe with output proportional to target distance |
| DE2345848C3 (de) * | 1973-09-12 | 1986-06-19 | ELEKTRO-PHYSIK Hans Nix & Dr.-Ing. E. Steingroever GmbH & Co KG, 5000 Köln | Elektromagnetischer Schichtdickenmesser |
| AU4195085A (en) * | 1984-05-31 | 1985-12-05 | Eaton Corporation | Compact displacement transducer |
| CH667727A5 (de) * | 1985-05-28 | 1988-10-31 | Zellweger Uster Ag | Messkopf zur induktiven messung der dicke einer isolierenden schicht auf einem elektrischen leiter. |
-
1990
- 1990-02-28 AT AT90103841T patent/ATE104427T1/de not_active IP Right Cessation
- 1990-02-28 ES ES90103841T patent/ES2052996T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1990-02-28 DK DK90103841.4T patent/DK0444226T3/da active
- 1990-02-28 DE DE59005370T patent/DE59005370D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-02-28 EP EP90103841A patent/EP0444226B1/de not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-02-28 JP JP3034246A patent/JP3065114B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE59005370D1 (de) | 1994-05-19 |
| JPH04216401A (ja) | 1992-08-06 |
| ATE104427T1 (de) | 1994-04-15 |
| EP0444226A1 (de) | 1991-09-04 |
| EP0444226B1 (de) | 1994-04-13 |
| ES2052996T3 (es) | 1994-07-16 |
| DK0444226T3 (da) | 1994-05-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8884615B2 (en) | Magnetoresistive sensor arrangement for current measurement | |
| JP2698749B2 (ja) | 鉄基板上の非鉄塗装および導電性基板上の非導電性塗装のための併用塗装厚さゲージ | |
| US4918418A (en) | Inductive coil structure with electrical return path | |
| US4899598A (en) | Apparatus for measuring torque applied to a shaft | |
| JP3445362B2 (ja) | 交流電流センサ | |
| JP2004226394A (ja) | 容量式電磁流量計 | |
| JPH0310046B2 (ja) | ||
| JP4398911B2 (ja) | 変位センサ | |
| US6848315B2 (en) | Vibration detecting system of resilient body and vibrating contact detection probe | |
| KR100518896B1 (ko) | 거리측정용 아이씨 | |
| JP3065114B2 (ja) | 渦電流測定法による変位トランスデューサ測定シーケンスを平衡させるための方法および装置 | |
| US5446372A (en) | Noninductive shunt current sensor with self-power capability | |
| JP3352619B2 (ja) | 距離測定用ｉｃ | |
| JPH02501592A (ja) | 磁力計 | |
| US4909088A (en) | Apparatus for mounting a sensor | |
| JPH0320683B2 (ja) | ||
| GB2040470A (en) | Differential Transformer Metering Displacement | |
| Sydenham et al. | Low-cost, precision, flat inductive sensor | |
| GB2035566A (en) | Thickness measuring apparatus | |
| RU2298178C1 (ru) | Вихретоковый преобразователь перемещений | |
| JPS624641B2 (ja) | ||
| RU2163350C2 (ru) | Измеритель линейных перемещений | |
| US4858818A (en) | Method of bonding a magnetostrictive sheet to a shaft | |
| JP3166987B2 (ja) | 電流センサ | |
| JP2000266784A (ja) | 同相ノイズ検出用プローブ |