JPH0426206Y2 - - Google Patents
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- JPH0426206Y2 JPH0426206Y2 JP1987139307U JP13930787U JPH0426206Y2 JP H0426206 Y2 JPH0426206 Y2 JP H0426206Y2 JP 1987139307 U JP1987139307 U JP 1987139307U JP 13930787 U JP13930787 U JP 13930787U JP H0426206 Y2 JPH0426206 Y2 JP H0426206Y2
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- Japan
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- grindstone
- traverse mechanism
- swivel base
- processing
- traverse
- Prior art date
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 50
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 19
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
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- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この考案は砥石成形機に関するもので、更に詳
細には、例えば半導体部品の切断、溝加工等に使
用される超薄型砥石の先端形状あるいは砥石幅精
度のツルーイング及びドレツシング(以下にドレ
ツシング等という)に使用される砥石成形機の改
良に係るものである。
細には、例えば半導体部品の切断、溝加工等に使
用される超薄型砥石の先端形状あるいは砥石幅精
度のツルーイング及びドレツシング(以下にドレ
ツシング等という)に使用される砥石成形機の改
良に係るものである。
[従来の技術]
近年の技術開発に伴つて半導体も小型、薄肉化
の傾向にあり、この半導体部品の切断、溝加工と
して超薄型砥石(厚さ約数μm〜0.5mm)が使用さ
れている。この超薄型砥石は、高い加工精度、加
工能率が要求され、特に砥石の先端形状の精度が
重要な要素とされている。そのため、ある程度使
用された砥石を再度使用するために砥石の加工面
をドレツシング等する必要がある。
の傾向にあり、この半導体部品の切断、溝加工と
して超薄型砥石(厚さ約数μm〜0.5mm)が使用さ
れている。この超薄型砥石は、高い加工精度、加
工能率が要求され、特に砥石の先端形状の精度が
重要な要素とされている。そのため、ある程度使
用された砥石を再度使用するために砥石の加工面
をドレツシング等する必要がある。
[考案が解決しようとする問題点]
しかし、従来では、この種の砥石をドレツシン
グ等するための専用の砥石成形機がなく、汎用の
円筒研削盤あるいは工具研削盤を用いて砥石のド
レツシング等を行つている。しかしながら、かか
る汎用工具研削盤等においては、砥石の厚さが
0.5mm以下のものは困難が伴い十分満足できるド
レツシング等を行うことができなかつた。
グ等するための専用の砥石成形機がなく、汎用の
円筒研削盤あるいは工具研削盤を用いて砥石のド
レツシング等を行つている。しかしながら、かか
る汎用工具研削盤等においては、砥石の厚さが
0.5mm以下のものは困難が伴い十分満足できるド
レツシング等を行うことができなかつた。
従つて、超薄型砥石の砥石先端形状のドレツシ
ング装置等の開発が望まれているのが現状であ
る。
ング装置等の開発が望まれているのが現状であ
る。
この考案は上記事情に鑑みなされたもので、上
記技術的課題を解決するために、砥石の先端形状
(砥石幅精度、先端凹凸形精度等)に対応すべく
三次元の角度を加工し得る加工用砥石を具備した
砥石成形機を提供しようとするものである。
記技術的課題を解決するために、砥石の先端形状
(砥石幅精度、先端凹凸形精度等)に対応すべく
三次元の角度を加工し得る加工用砥石を具備した
砥石成形機を提供しようとするものである。
[問題点を解決するための手段]
すなわち、この考案は、水平な軸を回転中心と
して被加工砥石を回転可能に支持するワークヘツ
ドと、水平な軸を回転中心として加工用砥石を回
転可能に支持する砥石台と、垂直な軸を旋回中心
として上記砥石台を旋回可能に支持する第1の旋
回台と、この第1の旋回台の水平直線移動を司る
第1のトラバース機構と、垂直な軸を旋回中心と
して上記第1のトラバース機構を旋回可能に支持
する第2の旋回台と、この第2の旋回台の水平直
線移動を司る第2のトラバース機構とを備えてい
る砥石成形機を提供するものである。
して被加工砥石を回転可能に支持するワークヘツ
ドと、水平な軸を回転中心として加工用砥石を回
転可能に支持する砥石台と、垂直な軸を旋回中心
として上記砥石台を旋回可能に支持する第1の旋
回台と、この第1の旋回台の水平直線移動を司る
第1のトラバース機構と、垂直な軸を旋回中心と
して上記第1のトラバース機構を旋回可能に支持
する第2の旋回台と、この第2の旋回台の水平直
線移動を司る第2のトラバース機構とを備えてい
る砥石成形機を提供するものである。
この考案において、上記第1及び第2のトラバ
ース機構は、砥石台を支持する第1の旋回台又は
第1のトラバース機構を支持する第2の旋回台を
水平方向へ移動するものであれば任意のものであ
つてもよく、例えば手動又は自動により回転運動
を直線運動に変える機構、あるいは、直線運動の
みの機構であつてもよい。この場合、第1のトラ
バース機構を、回転運動を直線運動に変える機構
を有すると共に、回転運動の駆動源を間欠回転駆
動手段にて形成する方が好ましい。
ース機構は、砥石台を支持する第1の旋回台又は
第1のトラバース機構を支持する第2の旋回台を
水平方向へ移動するものであれば任意のものであ
つてもよく、例えば手動又は自動により回転運動
を直線運動に変える機構、あるいは、直線運動の
みの機構であつてもよい。この場合、第1のトラ
バース機構を、回転運動を直線運動に変える機構
を有すると共に、回転運動の駆動源を間欠回転駆
動手段にて形成する方が好ましい。
また、上記加工用砥石は被加工砥石の先端の凹
凸形状や幅精度を維持できる三次元の角度を加工
し得るものであれば任意の形状であつてもよい
が、好ましくは、その端面と、この端面に隣接す
る外周面にドレツサ面を有する拡開開口状のカツ
プ形砥石にて形成する方がよい。
凸形状や幅精度を維持できる三次元の角度を加工
し得るものであれば任意の形状であつてもよい
が、好ましくは、その端面と、この端面に隣接す
る外周面にドレツサ面を有する拡開開口状のカツ
プ形砥石にて形成する方がよい。
加えて、上記加工用砥石は成形加工状態を認識
できる状態で加工する必要があるが、その認識手
段を顕微鏡及びテレビカメラにて観測し、モニタ
上に投影できるようにしたものにて形成する方が
好ましい。
できる状態で加工する必要があるが、その認識手
段を顕微鏡及びテレビカメラにて観測し、モニタ
上に投影できるようにしたものにて形成する方が
好ましい。
[作用]
上記技術的手段は次のように作用する。
被加工砥石をワークヘツドに回転可能に支持し
た後、第2の旋回台を旋回して第1のトラバース
機構のトラバース方向を設定して第2の旋回台を
固定し、次に、第1の旋回台を旋回して加工用砥
石の加工位置を設定して第1の旋回台を固定した
後、第2のトラバース機構にて加工用砥石を被加
工砥石の位置に合せ、そして、第1のトラバース
機構にて加工用砥石を移動することにより、被加
工砥石の先端形状が所定の精度にドレツシング等
される。
た後、第2の旋回台を旋回して第1のトラバース
機構のトラバース方向を設定して第2の旋回台を
固定し、次に、第1の旋回台を旋回して加工用砥
石の加工位置を設定して第1の旋回台を固定した
後、第2のトラバース機構にて加工用砥石を被加
工砥石の位置に合せ、そして、第1のトラバース
機構にて加工用砥石を移動することにより、被加
工砥石の先端形状が所定の精度にドレツシング等
される。
[実施例]
以下にこの考案の実施例を図面に基いて説明す
る。
る。
第1図はこの考案の砥石成形機の第一実施例の
要部正面図を示し、第2図はその平面図を示して
いる。
要部正面図を示し、第2図はその平面図を示して
いる。
この考案の砥石成形機は、被加工砥石11を水
平な軸を回転中心として回転可能に支持するワー
クヘツド10と、加工用砥石20を水平な軸を回
転中心として回転可能に装着する砥石台22と、
この砥石台22を垂直な軸を回転中心として旋回
可能に支持する第1の旋回台24と、この第1の
旋回台24の水平直線移動を司る第1のトラバー
ス機構30と、この第1のトラバース機構30を
水平方向に旋回可能に支持する第2の旋回台26
と、この第2の旋回台26の水平直線移動を司る
第2のトラバース機構40とで主要部が構成され
ている。
平な軸を回転中心として回転可能に支持するワー
クヘツド10と、加工用砥石20を水平な軸を回
転中心として回転可能に装着する砥石台22と、
この砥石台22を垂直な軸を回転中心として旋回
可能に支持する第1の旋回台24と、この第1の
旋回台24の水平直線移動を司る第1のトラバー
ス機構30と、この第1のトラバース機構30を
水平方向に旋回可能に支持する第2の旋回台26
と、この第2の旋回台26の水平直線移動を司る
第2のトラバース機構40とで主要部が構成され
ている。
上記ワークヘツド10は、駆動モータ12に減
速機13を介して連結される第1の被加工砥石支
持部14と、この第1の加工砥石支持部14と対
向する位置において移動手段15により進退可能
に保持される第2の被加工砥石支持部16とで構
成されており、これら両被加工砥石支持部14,
16は、その間に被加工砥石11を垂直な面内に
挟持し、その状態でこの被加工砥石11を回転さ
せることができるように支持する。この場合、移
動手段15は、あり溝(図示せず)を有する固定
ベツド17と、この固定ベツド17のあり溝に摺
動可能に嵌合されると共に上記第2の被加工砥石
支持部16を回転可能に支持する芯出し軸18を
取付けた可動体19と、ハンドル19aの回転運
動を直線運動に変える機構(図示せず)とで構成
されており、そして、ハンドル19aの回転操作
によつて可動体19すなわち第2の被加工砥石支
持部16を進退移動し得る構造となつている。
速機13を介して連結される第1の被加工砥石支
持部14と、この第1の加工砥石支持部14と対
向する位置において移動手段15により進退可能
に保持される第2の被加工砥石支持部16とで構
成されており、これら両被加工砥石支持部14,
16は、その間に被加工砥石11を垂直な面内に
挟持し、その状態でこの被加工砥石11を回転さ
せることができるように支持する。この場合、移
動手段15は、あり溝(図示せず)を有する固定
ベツド17と、この固定ベツド17のあり溝に摺
動可能に嵌合されると共に上記第2の被加工砥石
支持部16を回転可能に支持する芯出し軸18を
取付けた可動体19と、ハンドル19aの回転運
動を直線運動に変える機構(図示せず)とで構成
されており、そして、ハンドル19aの回転操作
によつて可動体19すなわち第2の被加工砥石支
持部16を進退移動し得る構造となつている。
上記砥石台22は、加工用砥石20を水平な軸
を回転中心として回転可能に装着すると共に、こ
の加工用砥石20の回転を司る加工側の駆動モー
タ21を装着するブロツク状に形成されている。
この場合、加工側駆動モータ21は上記ワークヘ
ツド10の駆動モータ12より高速回転されるよ
うになつている(具体的には、ワークヘツド10
の駆動モータ12の回転数が5〜95r.p.mに対し
て、加工側駆動モータ21の回転数が90〜1700r.
p.mである)。上記砥石台22の下端面に設けら
れた凹所23内には第1の旋回台24に立設され
た第1の回転軸25がベアリング25aを介して
回転可能に嵌合され、これによつて砥石台22が
水平な面内を旋回できるように支持されている
(第3図及び第4図参照)。また、砥石台22の下
端部にはフランジ部22aが突設されており、こ
のフランジ部22aに穿設された貫通項22bを
貫通する固定ボルト22cが第1の旋回台24に
遊嵌状に埋設された截頭円錐状の駒22dに螺合
されることにより、砥石台22が第1の旋回台2
4に固定されるようになつている。この砥石台2
2に装着される加工用砥石20は、第5図に示す
ように、端面と、この端面に隣接する外周面にそ
れぞれドレツサ面20a及び20bを形成した拡
開開口状のダイヤモンド砥粒製カツプ形砥石にて
形成されている。
を回転中心として回転可能に装着すると共に、こ
の加工用砥石20の回転を司る加工側の駆動モー
タ21を装着するブロツク状に形成されている。
この場合、加工側駆動モータ21は上記ワークヘ
ツド10の駆動モータ12より高速回転されるよ
うになつている(具体的には、ワークヘツド10
の駆動モータ12の回転数が5〜95r.p.mに対し
て、加工側駆動モータ21の回転数が90〜1700r.
p.mである)。上記砥石台22の下端面に設けら
れた凹所23内には第1の旋回台24に立設され
た第1の回転軸25がベアリング25aを介して
回転可能に嵌合され、これによつて砥石台22が
水平な面内を旋回できるように支持されている
(第3図及び第4図参照)。また、砥石台22の下
端部にはフランジ部22aが突設されており、こ
のフランジ部22aに穿設された貫通項22bを
貫通する固定ボルト22cが第1の旋回台24に
遊嵌状に埋設された截頭円錐状の駒22dに螺合
されることにより、砥石台22が第1の旋回台2
4に固定されるようになつている。この砥石台2
2に装着される加工用砥石20は、第5図に示す
ように、端面と、この端面に隣接する外周面にそ
れぞれドレツサ面20a及び20bを形成した拡
開開口状のダイヤモンド砥粒製カツプ形砥石にて
形成されている。
上記第1のトラバース機構30は、第3図に示
すように、直線摺動ベアリング31を介して上記
第1の旋回台24を摺動可能に支持すると共に、
第1の旋回台24の下面に突設された矩形状可動
子32を摺動可能に案内する案内凹溝33とを有
する第1の摺動台34と、この第1の摺動台34
に回転のみ可能に支承されると共に上記可動子3
2に刻設されたねじ孔35に貫通螺合される第1
のねじ軸36と、この第1のねじ軸36の回転を
司る間欠回転駆動手段であるステツプモータ37
とで構成されており、ステツプモータ37の間欠
回転が直線運動に変えられて第1の旋回台24が
第1の摺動台34に沿つて移動され、加工用砥石
20のトラバース幅が任意に設定できるようにな
つている。
すように、直線摺動ベアリング31を介して上記
第1の旋回台24を摺動可能に支持すると共に、
第1の旋回台24の下面に突設された矩形状可動
子32を摺動可能に案内する案内凹溝33とを有
する第1の摺動台34と、この第1の摺動台34
に回転のみ可能に支承されると共に上記可動子3
2に刻設されたねじ孔35に貫通螺合される第1
のねじ軸36と、この第1のねじ軸36の回転を
司る間欠回転駆動手段であるステツプモータ37
とで構成されており、ステツプモータ37の間欠
回転が直線運動に変えられて第1の旋回台24が
第1の摺動台34に沿つて移動され、加工用砥石
20のトラバース幅が任意に設定できるようにな
つている。
上記第1のトラバース機構30を水平面内旋回
可能に支持する第2の旋回台26には第2の回転
軸27が突設されており、この第2の回転軸27
が上記第1の摺動台34の下面に設けられた凹所
28内にベアリング27aを介して嵌合されて、
第1のトラバース機構30部を水平面内旋回可能
に支持している。なおこの場合、第1の摺動台3
4の下端部にはフランジ部34aが突設されてお
り、このフランジ部34aに穿設された貫通孔3
4bを貫通する固定ボルト34cが第2の旋回台
26に遊嵌状に埋設された截頭円錐状の駒34d
に螺合されることにより、第1の摺動台34が第
2の旋回台26に固定されるようになつている。
可能に支持する第2の旋回台26には第2の回転
軸27が突設されており、この第2の回転軸27
が上記第1の摺動台34の下面に設けられた凹所
28内にベアリング27aを介して嵌合されて、
第1のトラバース機構30部を水平面内旋回可能
に支持している。なおこの場合、第1の摺動台3
4の下端部にはフランジ部34aが突設されてお
り、このフランジ部34aに穿設された貫通孔3
4bを貫通する固定ボルト34cが第2の旋回台
26に遊嵌状に埋設された截頭円錐状の駒34d
に螺合されることにより、第1の摺動台34が第
2の旋回台26に固定されるようになつている。
また、上記第2のトラバース機構40は、第3
図及び第4図に示すように、第2の摺動台41上
に突設されたあり形案内凸条42に第2の旋回台
26の下面に設けられたあり溝43を摺動可能に
嵌合すると共に、第2の旋回台26の下面に突設
された矩形状可動子44を第2の摺動台41に設
けられた案内凹溝45内に摺動可能に嵌合し、第
2の摺動台41に回転のみ可能に支承される第2
のねじ軸46を可動子44に刻設されたねじ孔4
7に貫通螺合した構造となつており、第2のねじ
軸46に装着された操作ハンドル48の回転操作
によつて第2の旋回台26が水平方向に移動し得
るようになつている。
図及び第4図に示すように、第2の摺動台41上
に突設されたあり形案内凸条42に第2の旋回台
26の下面に設けられたあり溝43を摺動可能に
嵌合すると共に、第2の旋回台26の下面に突設
された矩形状可動子44を第2の摺動台41に設
けられた案内凹溝45内に摺動可能に嵌合し、第
2の摺動台41に回転のみ可能に支承される第2
のねじ軸46を可動子44に刻設されたねじ孔4
7に貫通螺合した構造となつており、第2のねじ
軸46に装着された操作ハンドル48の回転操作
によつて第2の旋回台26が水平方向に移動し得
るようになつている。
上記のように構成されるこの考案の砥石成形機
において、上記第1の旋回台24に支持される砥
石台22の旋回角度は第1のトラバース機構30
のトラバース方向に関して±60°の範囲となつて
おり、また、第2の旋回台26にて支持される第
1のトラバース機構30の旋回角度は、第1のト
ラバース機構30のトラバース方向に関して±
90°の計180°の範囲となつている。
において、上記第1の旋回台24に支持される砥
石台22の旋回角度は第1のトラバース機構30
のトラバース方向に関して±60°の範囲となつて
おり、また、第2の旋回台26にて支持される第
1のトラバース機構30の旋回角度は、第1のト
ラバース機構30のトラバース方向に関して±
90°の計180°の範囲となつている。
一方、砥石成形機の基台50の側方上部に立設
された支柱51にはブラケツト52を介してズー
ム式顕微鏡53が装着されると共に、テレビカメ
ラ54が装着され、テレビカメラ54に写された
砥石加工部はモニタ55上に投影されるようにな
つている。
された支柱51にはブラケツト52を介してズー
ム式顕微鏡53が装着されると共に、テレビカメ
ラ54が装着され、テレビカメラ54に写された
砥石加工部はモニタ55上に投影されるようにな
つている。
次に、この考案の砥石成形機のツルーイング及
びドレツシング加工について説明する。
びドレツシング加工について説明する。
◎ 被加工砥石の幅精度加工
第6図は被加工砥石11の幅精度加工の一態様
を示す説明図で、被加工砥石11の一方の面を加
工用砥石20の外側面のドレツサ面20bにてド
レツシング等する場合である。この場合、まず、
第2の旋回台26に対して第1のトラバース機構
30を90°旋回し、第2の旋回台26を固定して、
トラバース方向を設定する。次に、第1の旋回台
24上の砥石台22を第1のトラバース機構30
のトラバース方向に対して45°(平面図において下
方側)旋回して第1の旋回台24を固定する。そ
して、第2のトラバース機構40により加工用砥
石20の外側面側ドレツサ面20bを被加工砥石
11に位置合せした後、第1のトラバース機構3
0のステツプモータ37が作動して被加工砥石1
1の一方の面がドレツシング等される。
を示す説明図で、被加工砥石11の一方の面を加
工用砥石20の外側面のドレツサ面20bにてド
レツシング等する場合である。この場合、まず、
第2の旋回台26に対して第1のトラバース機構
30を90°旋回し、第2の旋回台26を固定して、
トラバース方向を設定する。次に、第1の旋回台
24上の砥石台22を第1のトラバース機構30
のトラバース方向に対して45°(平面図において下
方側)旋回して第1の旋回台24を固定する。そ
して、第2のトラバース機構40により加工用砥
石20の外側面側ドレツサ面20bを被加工砥石
11に位置合せした後、第1のトラバース機構3
0のステツプモータ37が作動して被加工砥石1
1の一方の面がドレツシング等される。
被加工砥石11の他方の面をドレツシング等す
るには、上述と同様にトラバース方向を設定した
後、砥石台22をトラバース方向に対して上記と
反対方向すなわち平面図において上方へ45°旋回
して第1の旋回台24を固定すれば、被加工砥石
11の他方の面をドレツシング等することができ
る(第7図参照)。
るには、上述と同様にトラバース方向を設定した
後、砥石台22をトラバース方向に対して上記と
反対方向すなわち平面図において上方へ45°旋回
して第1の旋回台24を固定すれば、被加工砥石
11の他方の面をドレツシング等することができ
る(第7図参照)。
◎ 被加工砥石の端面凹凸加工
第8図及び第9図は被加工砥石11の端面凹凸
加工の一態様を示す説明図で、被加工砥石11の
先端側端面の両側を一定角度(45°)にドレツシ
ング等する場合である。この場合、まず、第2の
旋回台26に対して第1のトラバース機構30を
135°旋回し、第2の旋回台26を固定して、トラ
バース方向を設定する。次に、第1の旋回台24
上の砥石台22を第1のトラバース機構30のト
ラバース方向に対して90°旋回して第1の旋回台
24を固定する。そして、第2のトラバース機構
40により加工用砥石20の端面側のドレツサ面
20a(以下に端面ドレツサ面という)を被加工
砥石11に位置合せした後、第1のトラバース機
構30のステツプモータ37が作動して被加工砥
石11の一方の傾斜面がドレツシング等される
(第8図参照)。
加工の一態様を示す説明図で、被加工砥石11の
先端側端面の両側を一定角度(45°)にドレツシ
ング等する場合である。この場合、まず、第2の
旋回台26に対して第1のトラバース機構30を
135°旋回し、第2の旋回台26を固定して、トラ
バース方向を設定する。次に、第1の旋回台24
上の砥石台22を第1のトラバース機構30のト
ラバース方向に対して90°旋回して第1の旋回台
24を固定する。そして、第2のトラバース機構
40により加工用砥石20の端面側のドレツサ面
20a(以下に端面ドレツサ面という)を被加工
砥石11に位置合せした後、第1のトラバース機
構30のステツプモータ37が作動して被加工砥
石11の一方の傾斜面がドレツシング等される
(第8図参照)。
他方の傾斜面をドレツシング等する場合には、
第1のトラバース機構30を上記135°の旋回位置
に対して90°旋回してトラバース方向を設定して
行うことができる(第9図参照)。
第1のトラバース機構30を上記135°の旋回位置
に対して90°旋回してトラバース方向を設定して
行うことができる(第9図参照)。
なお、被加工砥石11の端面凹凸加工は必ずし
も加工用砥石20の端面ドレツサ面20aで行う
必要はなく、加工用砥石20の外側面のドレツサ
面20b(外側ドレツサ面)によつてもドレツシ
ング等を行うことは可能である(第10図参照)。
も加工用砥石20の端面ドレツサ面20aで行う
必要はなく、加工用砥石20の外側面のドレツサ
面20b(外側ドレツサ面)によつてもドレツシ
ング等を行うことは可能である(第10図参照)。
◎ 被加工砥石の端面平坦加工
第11図は被加工砥石11の端面平坦加工の一
態様を示す説明図で、被加工用砥石20の端面を
加工用砥石20の端面ドレツサ面20aにてドレ
ツシング等する場合である。この場合、まず、第
1のトラバース機構30をワークヘツド10の回
転軸方向と平行な状態にして第2の旋回台26を
固定して、トラバース方向を設定する。次に、第
1の旋回台24上の砥石台22を第1のトラバー
ス機構30のトラバース方向に対して90°旋回し
て第1の旋回台24を固定する。そして、トラバ
ース方向に対して直交する方向に設定された第2
のトラバース機構40により加工用砥石20の端
面ドレツサ面20aを被加工砥石11に位置合せ
した後、第1のトラバース機構30のステツプモ
ータ37が作動して被加工砥石11の端面がドレ
ツシング等される。
態様を示す説明図で、被加工用砥石20の端面を
加工用砥石20の端面ドレツサ面20aにてドレ
ツシング等する場合である。この場合、まず、第
1のトラバース機構30をワークヘツド10の回
転軸方向と平行な状態にして第2の旋回台26を
固定して、トラバース方向を設定する。次に、第
1の旋回台24上の砥石台22を第1のトラバー
ス機構30のトラバース方向に対して90°旋回し
て第1の旋回台24を固定する。そして、トラバ
ース方向に対して直交する方向に設定された第2
のトラバース機構40により加工用砥石20の端
面ドレツサ面20aを被加工砥石11に位置合せ
した後、第1のトラバース機構30のステツプモ
ータ37が作動して被加工砥石11の端面がドレ
ツシング等される。
◎ マルチ砥石の幅精度加工
第12図は複数(図面では2枚の場合を示す)
の被加工砥石11,11を有するマルチ砥石の幅
精度加工の一態様を示す説明図で、マルチ砥石の
各被加工砥石11,11の幅精度加工を加工用砥
石20の外側ドレツサ面20bにてドレツシング
等する場合である。この場合、まず、第2の旋回
台26に対して第1のトラバース機構30を90°
旋回し、第2の旋回台26を固定して、トラバー
ス方向を設定する。次に、第1の旋回台24上の
砥石台22を第1のトラバース機構30のトラバ
ース方向に対して45°(平面図において下方側)旋
回して第1の旋回台24を固定する。そして、第
2のトラバース機構40により加工用砥石20の
外側ドレツサ面20bを被加工砥石11に位置合
せした後、第1のトラバース機構30のステツプ
モータ37が作動して被加工砥石11の一方の傾
斜面がドレツシング等される。
の被加工砥石11,11を有するマルチ砥石の幅
精度加工の一態様を示す説明図で、マルチ砥石の
各被加工砥石11,11の幅精度加工を加工用砥
石20の外側ドレツサ面20bにてドレツシング
等する場合である。この場合、まず、第2の旋回
台26に対して第1のトラバース機構30を90°
旋回し、第2の旋回台26を固定して、トラバー
ス方向を設定する。次に、第1の旋回台24上の
砥石台22を第1のトラバース機構30のトラバ
ース方向に対して45°(平面図において下方側)旋
回して第1の旋回台24を固定する。そして、第
2のトラバース機構40により加工用砥石20の
外側ドレツサ面20bを被加工砥石11に位置合
せした後、第1のトラバース機構30のステツプ
モータ37が作動して被加工砥石11の一方の傾
斜面がドレツシング等される。
[考案の効果]
以上に説明したように、この考案の砥石成形機
によれば、ワークヘツドに支持された被加工砥石
に対して加工用砥石を位置合せすべく第1のトラ
バース機構と第2のトラバース機構とをそれぞれ
2箇所で旋回可能に形成して成るため、以下のよ
うな効果が得られる。
によれば、ワークヘツドに支持された被加工砥石
に対して加工用砥石を位置合せすべく第1のトラ
バース機構と第2のトラバース機構とをそれぞれ
2箇所で旋回可能に形成して成るため、以下のよ
うな効果が得られる。
1 加工用砥石が二重旋回されると共に、二重の
トラバースを有するので、三次元の角度調整が
でき、1種類の加工用砥石で被加工砥石の幅決
め及び先端凹凸加工を高精度に行うことができ
る。
トラバースを有するので、三次元の角度調整が
でき、1種類の加工用砥石で被加工砥石の幅決
め及び先端凹凸加工を高精度に行うことができ
る。
2 加工用砥石にカツプ形砥石を使用することに
より、複数枚の被加工砥石を有するマルチ砥石
のドレツシング等をも同時に行うことができ
る。
より、複数枚の被加工砥石を有するマルチ砥石
のドレツシング等をも同時に行うことができ
る。
3 超薄型の砥石、幅広の砥石に関係なく、砥石
の幅精度及び先端凹凸加工のドレツシング等を
行うことができる。
の幅精度及び先端凹凸加工のドレツシング等を
行うことができる。
第1図はこの考案の砥石成形機の1使用態様を
示す正面図、第2図はその平面図、第3図は第2
図の−断面図、第4図は第3図の−断面
図、第5図はこの考案における加工用砥石の斜視
図、第6図ないし第12図はそれぞれこの考案の
砥石成形機の別の加工態様を示す説明図である。 符号説明、10……ワークヘツド、11……被
加工砥石、20……加工用砥石、20a……端面
ドレツサ面、20b……外側ドレツサ面、22…
…砥石台、24……第1の旋回台、26……第2
の旋回台、30……第1のトラバース機構、37
……ステツプモータ(間欠回転駆動手段)、40
……第2のトラバース機構。
示す正面図、第2図はその平面図、第3図は第2
図の−断面図、第4図は第3図の−断面
図、第5図はこの考案における加工用砥石の斜視
図、第6図ないし第12図はそれぞれこの考案の
砥石成形機の別の加工態様を示す説明図である。 符号説明、10……ワークヘツド、11……被
加工砥石、20……加工用砥石、20a……端面
ドレツサ面、20b……外側ドレツサ面、22…
…砥石台、24……第1の旋回台、26……第2
の旋回台、30……第1のトラバース機構、37
……ステツプモータ(間欠回転駆動手段)、40
……第2のトラバース機構。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 水平な軸を回転中心として被加工砥石を回転
可能に支持するワークヘツドと、水平な軸を回
転中心として加工用砥石を回転可能に支持する
砥石台と、垂直な軸を旋回中心として上記砥石
台を旋回可能に支持する第1の旋回台と、この
第1の旋回台の水平直線移動を司る第1のトラ
バース機構と、垂直な軸を旋回中心として上記
第1のトラバース機構を旋回可能に支持する第
2の旋回台と、この第2の旋回台の水平直線移
動を司る第2のトラバース機構とを備えている
ことを特徴とする砥石成形機。 (2) 第1のトラバース機構が、回転運動を直線運
動に変える機構を有すると共に、上記回転運動
の駆動源を間欠回転駆動手段にて形成して成る
実用新案登録請求の範囲第1項記載の砥石成形
機。 (3) 加工用砥石が、端面とこの端面に隣接する外
周面とにそれぞれドレツサ面を有する拡開開口
状のカツプ形砥石である実用新案登録請求の範
囲第1項記載の砥石成形機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987139307U JPH0426206Y2 (ja) | 1987-09-14 | 1987-09-14 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987139307U JPH0426206Y2 (ja) | 1987-09-14 | 1987-09-14 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6446162U JPS6446162U (ja) | 1989-03-22 |
JPH0426206Y2 true JPH0426206Y2 (ja) | 1992-06-24 |
Family
ID=31402441
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987139307U Expired JPH0426206Y2 (ja) | 1987-09-14 | 1987-09-14 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0426206Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5254679B2 (ja) * | 2008-06-23 | 2013-08-07 | 株式会社ディスコ | 切削ブレードのドレス方法 |
JP5039875B2 (ja) * | 2009-11-24 | 2012-10-03 | セイコーインスツル株式会社 | ドレス装置、ドレス方法、及び数値制御プログラム |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5755014U (ja) * | 1980-09-17 | 1982-03-31 |
-
1987
- 1987-09-14 JP JP1987139307U patent/JPH0426206Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5755014U (ja) * | 1980-09-17 | 1982-03-31 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6446162U (ja) | 1989-03-22 |
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