JPH04145881A - 振動波駆動装置 - Google Patents
振動波駆動装置Info
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- JPH04145881A JPH04145881A JP2267641A JP26764190A JPH04145881A JP H04145881 A JPH04145881 A JP H04145881A JP 2267641 A JP2267641 A JP 2267641A JP 26764190 A JP26764190 A JP 26764190A JP H04145881 A JPH04145881 A JP H04145881A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/005—Mechanical details, e.g. housings
- H02N2/0055—Supports for driving or driven bodies; Means for pressing driving body against driven body
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/106—Langevin motors
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、棒状弾性体に設けられた電気−機械エネルギ
ー変換素子に電気エネルギーを供給することにより、棒
状振動体としての弾性体を振動させ振動子の質点に円又
は楕円運動を生じさせ、振動子に押圧した移動体を摩擦
駆動させる超音波モータ、特にカメラ等の光学機器、プ
リンタ等の事務機器に好適な超音波モータの支持方法に
関するものである。
ー変換素子に電気エネルギーを供給することにより、棒
状振動体としての弾性体を振動させ振動子の質点に円又
は楕円運動を生じさせ、振動子に押圧した移動体を摩擦
駆動させる超音波モータ、特にカメラ等の光学機器、プ
リンタ等の事務機器に好適な超音波モータの支持方法に
関するものである。
従来超音波モータとしては、円環状の弾性体に曲げ振動
を起こし、摩擦力によりレンズ駆動用移動体を駆動させ
るタイプのものが、カメラ用AF機構などで実用化され
ている。しかし、この従来のタイプのものはリング形状
であるため、加圧機構を含めたユニットとしては、比較
的コスト高であり、中空を要求されていないモータ用途
としてはコスト上不利である。そこで、中実型で加圧系
などの構成が容易なタイプのモータが、近年特願平1−
173528号として本出願人より提案された。
を起こし、摩擦力によりレンズ駆動用移動体を駆動させ
るタイプのものが、カメラ用AF機構などで実用化され
ている。しかし、この従来のタイプのものはリング形状
であるため、加圧機構を含めたユニットとしては、比較
的コスト高であり、中空を要求されていないモータ用途
としてはコスト上不利である。そこで、中実型で加圧系
などの構成が容易なタイプのモータが、近年特願平1−
173528号として本出願人より提案された。
第5図、第6図は該提案にかかる超音波モータを示すも
ので、該提案にかかる棒状の超音波モータの振動子lの
支持は、電気−機械エネルギー変換素子としての2枚の
圧電素子(たとえばPZT)4と、振動子lとともに振
動体を構成する挟持部材2との間に支持用電極板22を
挟み込み、該電極板22をビス26等により固定部材2
5に固定する構造により行われていた。なお、3は圧電
素子4、電極板22を挟んで振動子lと挟持部材2とを
係合させるボルト、24はワッシャ23を電極板22に
押しつけるバネである。また支持用電極板22の形状は
第5図示の様に端部につば部を有する形状で、ビス26
が嵌入される孔はビス26の外径より大きな径となって
いる。
ので、該提案にかかる棒状の超音波モータの振動子lの
支持は、電気−機械エネルギー変換素子としての2枚の
圧電素子(たとえばPZT)4と、振動子lとともに振
動体を構成する挟持部材2との間に支持用電極板22を
挟み込み、該電極板22をビス26等により固定部材2
5に固定する構造により行われていた。なお、3は圧電
素子4、電極板22を挟んで振動子lと挟持部材2とを
係合させるボルト、24はワッシャ23を電極板22に
押しつけるバネである。また支持用電極板22の形状は
第5図示の様に端部につば部を有する形状で、ビス26
が嵌入される孔はビス26の外径より大きな径となって
いる。
ところて上述の様な構成の超音波モータの場合には、振
動体32の振動特性の維持の為に振動の方向、主として
振動体1,2の軸と直角の方向に自由度を持たせる必要
があるために、前述の振動体固定用ビス26は完全に締
め付けることがてきない。
動体32の振動特性の維持の為に振動の方向、主として
振動体1,2の軸と直角の方向に自由度を持たせる必要
があるために、前述の振動体固定用ビス26は完全に締
め付けることがてきない。
その結果、モータ駆動時に支持用電極板22が左右(す
なわち振動体32の軸に直角な方向)にずれて、そのず
れる際に電極22とワッシャ23との間に発生する摩擦
によってモータの効率が上がらないという問題があった
。
なわち振動体32の軸に直角な方向)にずれて、そのず
れる際に電極22とワッシャ23との間に発生する摩擦
によってモータの効率が上がらないという問題があった
。
本発明の目的はかかる問題を解決した超音波モータを提
供せんとするものである。
供せんとするものである。
本発明はかかる課題を解決するために、振動体と該振動
体から駆動力を受ける移動体とを圧接する加圧部材の一
端を支持する支持部材を固定部材に固定し、結果的に振
動体を間接的に支持したものである。
体から駆動力を受ける移動体とを圧接する加圧部材の一
端を支持する支持部材を固定部材に固定し、結果的に振
動体を間接的に支持したものである。
第1図は本発明の第1実施例にかかるカメラ用超音波モ
ータの平面図、第2図は第1図示モータの要部構成図で
ある。
ータの平面図、第2図は第1図示モータの要部構成図で
ある。
次に該モータについて説明するが、以下の各実施例に於
て第5図、第6図示モータと同一機能については同一符
号を付してその説明を省略する。
て第5図、第6図示モータと同一機能については同一符
号を付してその説明を省略する。
■は第6図示振動子と同一機能を有する金属性の円筒状
の振動子で、駆動力を回転体9の傾斜部9aに伝達する
傾斜部1a、ボルト3が螺合されるネジ部1bを有して
いる。2は第6図示挟持部材と同一機能を有する金属性
の円筒状の挟持部材で、該部材2もボルト3が螺合され
るネジ部2aを有している。ボルト3は2枚の圧電素子
4を振動子lと挟持部材2とで挟持可能とする為のボル
トで、該ボルト3の頭部3aには所定の深さの孔が設け
られ、その孔の先端にボルト固定用ピン6の先端が固定
される。
の振動子で、駆動力を回転体9の傾斜部9aに伝達する
傾斜部1a、ボルト3が螺合されるネジ部1bを有して
いる。2は第6図示挟持部材と同一機能を有する金属性
の円筒状の挟持部材で、該部材2もボルト3が螺合され
るネジ部2aを有している。ボルト3は2枚の圧電素子
4を振動子lと挟持部材2とで挟持可能とする為のボル
トで、該ボルト3の頭部3aには所定の深さの孔が設け
られ、その孔の先端にボルト固定用ピン6の先端が固定
される。
該ピン6は、カメラの所定の部材に固定された回り止め
12と共に振動体1,2の回転を所定範囲内に規制する
ものである。
12と共に振動体1,2の回転を所定範囲内に規制する
ものである。
なお、振動体32の直径が10[mm〕の場合、ピン6
の直径は1〔mm〕、ピン6の先端部3bの直径は1.
4〜2.0 [mm)程度のご(小径のものであって、
この部分の構造が振動体32の振動特性に悪影響を与え
ない様に設計されている。前述の2枚の圧電素子4の構
成は第3図に示す通りである。
の直径は1〔mm〕、ピン6の先端部3bの直径は1.
4〜2.0 [mm)程度のご(小径のものであって、
この部分の構造が振動体32の振動特性に悪影響を与え
ない様に設計されている。前述の2枚の圧電素子4の構
成は第3図に示す通りである。
すなわち、圧電素子4は2枚の圧電素子4A、 4B
(尚2枚でなく、4枚であっても良い)で構成され、圧
電素子4A、4Bの夫々は片面側に分極方向が互いに異
なり、且つ厚み方向に分極された2つの電極(+電極a
1−電極b)が中心軸線位置に形成された絶縁部dの両
側に対称に形成されると共に、他面側に十電極a1−電
極すの共通電極Cが形成されていて、振動体1.2の軸
線に対して互いに位置的位相が90°の角度ずれて配置
されている。
(尚2枚でなく、4枚であっても良い)で構成され、圧
電素子4A、4Bの夫々は片面側に分極方向が互いに異
なり、且つ厚み方向に分極された2つの電極(+電極a
1−電極b)が中心軸線位置に形成された絶縁部dの両
側に対称に形成されると共に、他面側に十電極a1−電
極すの共通電極Cが形成されていて、振動体1.2の軸
線に対して互いに位置的位相が90°の角度ずれて配置
されている。
5は一端がボルト3の先端に固定され、他端が固定フラ
ンジ7に固定された加圧部材としてのスプリングで、該
スプリング5の付勢力により移動体としての回転体9と
振動体1.2とが傾斜部1a、9aを接触点として回転
可能に摩擦接触する。8はカメラの一部分である固定部
材13に支持部材としての固定フランジ7を締付けるビ
ス、10は回転体9の回転力をカメラのスプールに伝達
する為のギヤ、11は回転体9と固定フランジ7との間
の伝達を遮断する為のベアリングで、固定フランジ7、
ビス8、固定部材13によるモータの固定による影響が
振動体1.2に及ばない様にするためのものである。
ンジ7に固定された加圧部材としてのスプリングで、該
スプリング5の付勢力により移動体としての回転体9と
振動体1.2とが傾斜部1a、9aを接触点として回転
可能に摩擦接触する。8はカメラの一部分である固定部
材13に支持部材としての固定フランジ7を締付けるビ
ス、10は回転体9の回転力をカメラのスプールに伝達
する為のギヤ、11は回転体9と固定フランジ7との間
の伝達を遮断する為のベアリングで、固定フランジ7、
ビス8、固定部材13によるモータの固定による影響が
振動体1.2に及ばない様にするためのものである。
次に上記構成にかかるモータの動作について説明する。
電極板4Dと電極板4Cとの間に交流電源V1から電圧
vlを、また電極板4Dと電極板4Eとの間に交流電源
v2から電圧■2を印加することにより、圧電素子4A
の厚み方向における伸縮・変位による振動と、圧電素子
4Bの厚み方向における伸縮変位による振動とが生じ、
それらが振動体で合成され、振動体1.2が振動させら
れる。
vlを、また電極板4Dと電極板4Eとの間に交流電源
v2から電圧■2を印加することにより、圧電素子4A
の厚み方向における伸縮・変位による振動と、圧電素子
4Bの厚み方向における伸縮変位による振動とが生じ、
それらが振動体で合成され、振動体1.2が振動させら
れる。
交流電圧V1と交流電圧■2・とは、第4図に示すよう
に、振幅及び周波数が共に同じで、時間的、空間的位相
が90°のずれを有している。
に、振幅及び周波数が共に同じで、時間的、空間的位相
が90°のずれを有している。
したがって、振動体は、軸心を中心とし、屈伸する縄飛
びの縄のような円運動(以下縄飛び振動と称す)を行う
ことになる。なお、この円運動が生じる原理については
、公知であるので説明は省略する。
びの縄のような円運動(以下縄飛び振動と称す)を行う
ことになる。なお、この円運動が生じる原理については
、公知であるので説明は省略する。
この実施例の場合、振動体は間接的に所定位置へ固定さ
れるので、モータをビス8によりしっかりと固定しても
モータの損失は少ない、換言すれば効率の良いモータが
得られる。
れるので、モータをビス8によりしっかりと固定しても
モータの損失は少ない、換言すれば効率の良いモータが
得られる。
第7図、第8図は本発明の第2実施例にかかるカメラ用
超音波モータの平面図並びに要部構成図にして、スプリ
ング5の先端側フックに平行ピン14を用いることによ
りフックを掛ける部分の強度を大きくした実施例である
。
超音波モータの平面図並びに要部構成図にして、スプリ
ング5の先端側フックに平行ピン14を用いることによ
りフックを掛ける部分の強度を大きくした実施例である
。
該実施例における固定フランジ7は第1図示固定フラン
ジ7に設けられた穴7a、 7bと同様な穴7a。
ジ7に設けられた穴7a、 7bと同様な穴7a。
7bと、スプリング5が通される穴7Cを有し、穴7a
、7bに平行ピン14が掛は渡される。また固定フラン
ジ7は振動の減衰特性上、樹脂で作られておりフックが
掛けられる部分の摩耗、損傷を防止している。
、7bに平行ピン14が掛は渡される。また固定フラン
ジ7は振動の減衰特性上、樹脂で作られておりフックが
掛けられる部分の摩耗、損傷を防止している。
また振動体1.2の回り止めとしては、挟持部材2と圧
電素子4の間に挟持された回り止め用電極15が用いら
れている。なおその他の構成及び動作は第1実施例のモ
ータと同様であるので省略する。
電素子4の間に挟持された回り止め用電極15が用いら
れている。なおその他の構成及び動作は第1実施例のモ
ータと同様であるので省略する。
第9図、第10図は本発明の第3実施例にかかる超音波
モータの平面図、要部構成図である。尚、該実施例以後
の実施例については、主として前述の実施例との差異に
ついてのみ説明する。
モータの平面図、要部構成図である。尚、該実施例以後
の実施例については、主として前述の実施例との差異に
ついてのみ説明する。
該第3実施例は回転体加圧用のスプリングを引張りコイ
ルスプリングから圧縮コイルスプリング5Aに変更した
ものである。これによりモータの組立てが格段に容易と
なる。
ルスプリングから圧縮コイルスプリング5Aに変更した
ものである。これによりモータの組立てが格段に容易と
なる。
なお、スプリング5Aを用いたために、固定用フランジ
7は図示の様な、一部にスプリング5Aが当接する段差
部7aを有する構造となっている。17はスプリング5
Aの一端が当接するワッシャ、18はE形すング、3A
は前述のポルト3の機能と固定用フランジ7を介してス
プリング5Aのバネ力を回転体9に伝え、回転体9と振
動体1.2とを摩擦係合させる機能とを有するボルトで
ある。
7は図示の様な、一部にスプリング5Aが当接する段差
部7aを有する構造となっている。17はスプリング5
Aの一端が当接するワッシャ、18はE形すング、3A
は前述のポルト3の機能と固定用フランジ7を介してス
プリング5Aのバネ力を回転体9に伝え、回転体9と振
動体1.2とを摩擦係合させる機能とを有するボルトで
ある。
第11図、第12図は本発明の他の実施例にかかる超音
波モータの平面図並びに要部構成図にして、該実施例は
第9図、第10図示実施例の圧縮スプリング5Aによっ
て加圧力を発生する方式と、第7図、第8図に示した電
極板15による回り止め方式とを組み合わせたものであ
る。
波モータの平面図並びに要部構成図にして、該実施例は
第9図、第10図示実施例の圧縮スプリング5Aによっ
て加圧力を発生する方式と、第7図、第8図に示した電
極板15による回り止め方式とを組み合わせたものであ
る。
第13図、第14図は本発明の更に他の実施例にかかる
超音波モータの平面図並びに要部構成図にして、該実施
例は振動体の振動に最も影響が少ないと思われる節位置
に円環状の軟質ゴムリング19を巻き付けて、所定位置
に設けられた固定部材20がゴムリング19を抱(様に
固定された例である。
超音波モータの平面図並びに要部構成図にして、該実施
例は振動体の振動に最も影響が少ないと思われる節位置
に円環状の軟質ゴムリング19を巻き付けて、所定位置
に設けられた固定部材20がゴムリング19を抱(様に
固定された例である。
軟質ゴムリング19を用いることにより振動体の回転方
向以外は自由度を持たせている。
向以外は自由度を持たせている。
第15図、第16図は本発明の他の実施例にかかる超音
波モータの平面図並びに要部構成図にして、該実施例は
第9図、第10図示実施例とほぼ同様で、第10図示圧
縮コイルスプリング5Aに代えて皿バネ21を用いてコ
ストダウンを図った例である。
波モータの平面図並びに要部構成図にして、該実施例は
第9図、第10図示実施例とほぼ同様で、第10図示圧
縮コイルスプリング5Aに代えて皿バネ21を用いてコ
ストダウンを図った例である。
第17図〜第19図は本発明の他の実施例にかかる超音
波モータの平面図、要部構成図、並びに第10図示実施
の斜視図の一部である。該実施例は第10図示実施例の
ビルト3Aを、ボルト3(第18図参照)と、該ポルト
3のネジ部に螺合したピン27により構成した例である
。ピン27は第19図に示す様に中間に径方向に突き出
た突起28を有し、該突起28は固定フランジ7の突起
7bと噛み合う構造となっている。そしてこの噛み合い
により振動体1.2の回転は規制されている。
波モータの平面図、要部構成図、並びに第10図示実施
の斜視図の一部である。該実施例は第10図示実施例の
ビルト3Aを、ボルト3(第18図参照)と、該ポルト
3のネジ部に螺合したピン27により構成した例である
。ピン27は第19図に示す様に中間に径方向に突き出
た突起28を有し、該突起28は固定フランジ7の突起
7bと噛み合う構造となっている。そしてこの噛み合い
により振動体1.2の回転は規制されている。
第20図は本発明の他の実施例にかかるカメラ用超音波
モータの要部構成図である。
モータの要部構成図である。
第20図において、7はネジ8によってカメラの地板4
0にネジ止めされた固定ブ1ランジ、9は振動子9の駆
動力によって回転する回転体で、該回転体9の回転力は
該回転体9と一体的に回転するギヤ10゜該ギヤ10に
噛合するギヤ30、該ギヤ30に噛合するギヤ33該ギ
ヤ31に嵌合したギヤ32を介して、カメラの回転筒3
3に伝達される。36はギヤ31に噛合したギヤで、該
ギヤ36には前記回転筒の位置、速度を検出するための
パルス板35が固着される。
0にネジ止めされた固定ブ1ランジ、9は振動子9の駆
動力によって回転する回転体で、該回転体9の回転力は
該回転体9と一体的に回転するギヤ10゜該ギヤ10に
噛合するギヤ30、該ギヤ30に噛合するギヤ33該ギ
ヤ31に嵌合したギヤ32を介して、カメラの回転筒3
3に伝達される。36はギヤ31に噛合したギヤで、該
ギヤ36には前記回転筒の位置、速度を検出するための
パルス板35が固着される。
37はパルス板35の位置、速度を検出する公知のフォ
トカプラである。38はフォトカプラ37に接続された
リード線で、該リード線38はカメラのレンズ制御回路
(不図示)に接続されている。
トカプラである。38はフォトカプラ37に接続された
リード線で、該リード線38はカメラのレンズ制御回路
(不図示)に接続されている。
次に上記構成にかかるモータの動作について説明する。
4枚の圧電素子4に不図示の公知の駆動回路から交流電
圧が印加されると、振動体112は圧電素子4の分極状
態に応じた複数の平面内であって、かつ印加される交流
電圧の電気的位相差に応じた振動を圧電素子4から与え
られるので、振動体1.2の表面粒子には回転運動が生
じ、この結果、回転体9は振動子1の傾斜部・から駆動
力を受けて回転する。
圧が印加されると、振動体112は圧電素子4の分極状
態に応じた複数の平面内であって、かつ印加される交流
電圧の電気的位相差に応じた振動を圧電素子4から与え
られるので、振動体1.2の表面粒子には回転運動が生
じ、この結果、回転体9は振動子1の傾斜部・から駆動
力を受けて回転する。
このためギヤl0130.31を介してギヤ32は回転
させられ、ギヤ32に噛合した回転筒33も回転して、
該回転筒33の回転に伴って不図示のカメラの撮影レン
ズの光学系(不図示)がピント調整の為に移動する。
させられ、ギヤ32に噛合した回転筒33も回転して、
該回転筒33の回転に伴って不図示のカメラの撮影レン
ズの光学系(不図示)がピント調整の為に移動する。
第21図は本発明の超音波モータを適用したカメラの撮
影レンズ部分の要部構成図である。
影レンズ部分の要部構成図である。
該実施例は第20図に示した実施例のカメラとほとんど
同じで、回転体9の回転に連動するギヤ32に前述の回
転筒33が噛合していて、そのヘリコイド部33aと固
定筒34のへリコイド部34aとがヘリコイド結合する
様構成されている。そして回転筒33が回転体9の回転
に連動して回転することによって、撮影レンズの合焦用
光学系りが光軸に沿って移動する実施例である。
同じで、回転体9の回転に連動するギヤ32に前述の回
転筒33が噛合していて、そのヘリコイド部33aと固
定筒34のへリコイド部34aとがヘリコイド結合する
様構成されている。そして回転筒33が回転体9の回転
に連動して回転することによって、撮影レンズの合焦用
光学系りが光軸に沿って移動する実施例である。
以上の様に振動体を間接的に支持したので、振動体の支
持による効率の低下が解消し、効率の良い超音波モータ
が得られるものである。
持による効率の低下が解消し、効率の良い超音波モータ
が得られるものである。
第1図は本発明の超音波モータの一実施例の平面図、
第2図は第1図示モータの要部構成図、第3図は第1図
示モータの圧電素子及び電極の配置図、 第4図は第3図示圧電素子に印加される交流電圧の波形
図、 第5図、第6図は従来の超音波モータの平面図及び要部
構成図、 第7図、第8図は本発明の他の実施例の超音波モータの
平面図及び要部構成図、 第9図、第10図は本発明の他の実施例にかかる超音波
モータの平面図及び要部構成図、第11図〜第19図は
本発明の更に他の実施例にかかる超音波モータの平面図
及び要部構成図、第20図、第21図は本発明の棒状超
音波モータを適用したカメラの要部構成図を夫々示すも
のである。 7・・・固定フランジ 8・・・ビス 13.40・・・固定部材
示モータの圧電素子及び電極の配置図、 第4図は第3図示圧電素子に印加される交流電圧の波形
図、 第5図、第6図は従来の超音波モータの平面図及び要部
構成図、 第7図、第8図は本発明の他の実施例の超音波モータの
平面図及び要部構成図、 第9図、第10図は本発明の他の実施例にかかる超音波
モータの平面図及び要部構成図、第11図〜第19図は
本発明の更に他の実施例にかかる超音波モータの平面図
及び要部構成図、第20図、第21図は本発明の棒状超
音波モータを適用したカメラの要部構成図を夫々示すも
のである。 7・・・固定フランジ 8・・・ビス 13.40・・・固定部材
Claims (2)
- (1)振動体に設けられた電気−機械エネルギー変換素
子に電気信号を印加することによって前記振動体の異な
る複数の平面内に振動を励起させ、かつ夫々の振動に時
間的に所定の位相差をたせることにより、前記振動体の
表面に回転運動を生じさせ、その一端が前記振動体と作
用的に係合した加圧部材からの付勢力により移動体を前
記振動体に圧接係合し、前記回転運動により前記移動体
を摩擦駆動する超音波モータにおいて、前記加圧部材の
他端を支持する支持部材と、該支持部材を所定位置に設
けられた固定部材に固着する固着部材とを設けたことを
特徴とする超音波モータ。 - (2)振動体に設けられた電気−機械エネルギー変換素
子に電気信号を印加することによって前記振動体の異な
る複数の平面内に振動を励起させ、かつ夫々の振動に時
間的に所定の位相差をたせることにより、前記振動体の
表面に回転運動を生じさせ、その一端が前記振動体と作
用的に係合した加圧部材からの付勢力により移動体を前
記振動体に圧接係合し、前記回転運動により前記移動体
を摩擦駆動する超音波モータを有する装置において、前
記加圧部材の他端を支持する支持部材と、該支持部材を
所定位置に設けられた固定部材に固着する固着部材と、
前記移動体の移動を駆動力として負荷へ伝達する伝達部
材とを設けたことを特徴とする装置。
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DE69126086T DE69126086T2 (de) | 1990-10-05 | 1991-10-04 | Durch Vibration angetriebener Motor |
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JP6548697B2 (ja) * | 2017-06-15 | 2019-07-24 | キヤノン株式会社 | リニア駆動機構、撮像装置、レンズ鏡筒及びステージ移動装置 |
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-
1990
- 1990-10-05 JP JP2267641A patent/JP3015090B2/ja not_active Expired - Fee Related
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1991
- 1991-10-04 EP EP91309134A patent/EP0479614B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-10-04 DE DE69126086T patent/DE69126086T2/de not_active Expired - Fee Related
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1993
- 1993-09-30 US US08/129,579 patent/US5684353A/en not_active Expired - Fee Related
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EP0479614A2 (en) | 1992-04-08 |
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US5684353A (en) | 1997-11-04 |
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