JPH04133540U - 移動テーブル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本考案は、べース上に移動可能に設けたステ
ージの浮上りや傾きを防止する。 【構成】 べース１上面にスラスト軸受を介してステー
ジ２を支持し、ステージ２の側辺に駆動装置９、１０、
１１を連結する。べース上面とステージ側辺に直交する
リニアガイド１９、２０を取付け、その両ガイドに、ヒ
ンジ軸２６を介して連結するスライド部材２１を嵌合さ
せる。ステージ２が移動すると、スライド部材がスライ
ド又は屈曲してステージの動きに追従し、ステージの浮
上りと偏心荷重に対する傾きを防止する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、高精度な位置決めを行なうための移動テーブルに関し、特に、移 動中のテーブルの浮上り防止と、偏心荷重に対する強度を向上させた支持構造に 関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

半導体のフォトマスクやスクリーン印刷機のワークなどの位置決めに用いられ る作業テーブルには、出来るだけコンパクトな形状で高精度にテーブルを位置決 めすることができる移動テーブルが求められる。

【０００３】 このような要求に対処した移動テーブルとして、本出願人が実願平２−２５５ ９４号や実願平２−４５３０９号で提案したものがある。この移動テーブルは、 べースの上面にスラスト軸受を介してステージを移動可能に支持し、そのステー ジの側辺に、ステージを互いに直交する方向に直線駆動する複数の駆動装置を連 結して成っており、この構造では、べースとステージの間に軸受を介在させるだ けなので、テーブルを積み重ねた従来のＸＹテーブルに比べて、テーブルの形状 をコンパクトに形成できる利点がある。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、上記の構造において、スラスト軸受の上にステージをその自重でも って支持するようにした場合、駆動装置の駆動によりステージが急速に加減速し た際や、外部からステージに振動が加わった場合、ステージの浮き上りが生じや すい傾向がある。このようなステージの浮上りは、移動テーブルを画像処理装置 と連結させてモニタリングに応用した場合に、拡大した映像の揺れ現象を生じさ せる問題があり、また、ワークの重量が大きい場合には、ステージに保持したワ ークの位置ずれを生じさせる不具合がある。

【０００５】 さらに、スクリーン印刷の際、テーブルの中心から偏った位置でステージをあ てたり、プリント基板への穴あけ等で偏心荷重が加わった場合、その偏心荷重に よってステージに傾きが生じやすい問題もある。

【０００６】 そこで、この考案は、ステージの動きを阻害することなく、そのステージの浮 上りと偏心荷重に対する傾きを防止できる移動テーブルを提供しようとするもの である。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

上記の課題を解決するため、この考案は、べースの上面にスラスト軸受を介し てステージを移動可能に支持し、そのステージの側辺にステージを互いに直交す る方向に直線駆動する複数の駆動装置を連結した移動テーブルにおいて、上記べ ースと、ステージの側辺とに、それぞれ互いに直交する方向に延びるリニアガイ ドを設け、その両リニアガイドの間を、各リニアガイドとスライド可能に嵌合す るスライド部材で連結した構造としたものである。

【０００８】 また、第２の手段として、この考案は、上記の構造におけるスライド部材を、 それぞれ一方のリニアガイドに嵌合する２つの部材に分割し、その両分割部材を 、べース上面に垂直なヒンジ軸で連結した構造を採用したのである。

【０００９】

【作用】

上記の構造において、ステージがそれぞれ直交する方向に移動すると、その動 きに応じてスライド部材が直交するリニアガイド上をスライドし、ステージとべ ース間の浮上りと、偏心荷重によるステージの傾きを防止する。

【００１０】 また、第２の手段においては、分割したスライド部材がヒンジ軸を支点に回動 するため、ステージを回動方式とした場合のステージの動きにスライド部材の動 きを追従させることができる。

【００１１】

【実施例】

図１乃至図６は、実施例の移動テーブルを示す。

【００１２】 図に示すように、べース１の上面に、スラスト軸受３が載置され、そのスラス ト軸受３の上にステージ２が支持されている。

【００１３】 上記スラスト軸受３は、図４に示すように、平板状の保持器４に多数のボール 挿入孔５を設け、その挿入孔５にボール６を回動自在に組み込んで形成されてお り、ボール６の転がりによりステージ２をべース１上面に対して全方向に移動可 能に案内する。

【００１４】 また、ベース１上面には、複数のピン７が取付けられ、このピン７が、ボール ６の転がりにより移動するスラスト軸受３の動きを一定の範囲で規制している。

【００１５】 べース１の隣接する側辺には、それぞれ支持板８を介して駆動装置９、１０、 １１が取付けられている。この駆動装置９、１０、１１は、ステージ２を含む平 面内において互いに直交する方向に伸縮可能になっており、その各駆動装置９、 １０、１１から伸びる接続シャフト１２が、それぞれ継手１３を介してステージ ２の隣接する側辺２ａ、２ｂに連結している。

【００１６】 上記継手１３は、ステージ２の側辺２ａ、２ｂに平行に固定される案内棒１４ と、その案内棒１４に移動可能に嵌合するスライダ１５とから構成されており、 このスライダ１５は、ヒンジピン１６を介して接続シャフト１２に連結されてい る。この継手１３は、スライダ１５による案内と、ヒンジピン１６による回動に より、各駆動装置の接続シャフト１２をステージ２の側辺に対して平行にスライ ド可能かつ回動可能に連結する。

【００１７】 なお、各駆動装置９、１０、１１は、接続シャフトを直線移動させる構造のも のであれば用いることができ、例えば、ボールねじ装置や、油圧や空気圧等の流 体圧を利用したシリンダ装置、或いは電動シリンダ等が利用できる。

【００１８】 一方、ステージ２における各駆動装置９、１０、１１の連結側辺と向き合う側 辺２ｃ、２ｄには、それぞれ浮上り防止装置１７、１８が設けられている。

【００１９】 この浮上り防止装置１７、１８は、ステージ２の各側辺２ｃ、２ｄにべース１ 上面に対して水平に取付けたリニアガイド１９と、そのリニアガイド１９と直交 する方向にべース１の上面に取付けたリニアガイド２０と、その両リニアガイド １９、２０にスライド可能に嵌合するスライド部材２１とから成っており、この スライド部材２１は、各リニアガイド１９、２０に嵌合する２つの分割ブロック ２２、２３から形成されている。

【００２０】 また、この２つの分割ブロックのうち、一方のブロック２２の端部は、図５に 示すように、他方のブロック２３が嵌合する二叉部２４で形成されており、この 嵌合部分に針状ころ軸受２５を介して貫通したヒンジ軸２６が、各ブロック２２ 、２３をステージ２を含む平面内において回動可能に連結している。

【００２１】 上記の各ブロック２２、２３と各リニアガイド１９、２０は、図６に示すよう なリニアボール軸受２７を用いて移動可能に嵌合している。このリニアボール軸 受２７は、リニアガイド１９、２０の上面と両側面に向き合って複数のボール循 環路２８を形成し、そのボール循環路２８に多数のボール２９を収納して成って おり、リニアガイド１９、２０とブロック２２、２３が相対移動すると、ボール ２９がボール循環溝２８を循環し、リニアガイド１９、２０に対してブロック２ ２、２３を転がり案内する。

【００２２】 また、各リニアガイド１９、２０の両端部には、スライド部材２１の動きを止 めるためのストッパピン３０、３１が取付けられている。

【００２３】 上記のような構造で成る実施例の移動テーブルにおいては、駆動装置１０、１ １を作動させずに駆動装置９を作動させると、駆動装置１０、１１に連結する継 手１３のスライダ１５が案内棒１４をスライドし、ステージ２を一方向に直線運 動させる。この場合、一方の浮上り防止装置１７におけるスライド部材２１がべ ース１上面のリニアガイド２０をスライドし、他方の浮上り防止装置１８のスラ イド部材２１がステージ２側辺のリニアガイド１９をスライドして、ステージ２ の浮上りを防止する。

【００２４】 また、駆動装置９を停止した状態で、駆動装置１０、１１を同量作動させると 、上記とは直角方向にステージ２を直線移動させることができるが、この場合は 、一方の浮上り防止装置１８のスライド部材２１がべース上面のリニアガイド２ ０をスライドし、他方の浮上り防止装置１７のスライド部材２１がステージ側辺 のリニアガイド１９をスライドして浮上りを防止する。

【００２５】 一方、駆動装置１０を停止した状態で駆動装置９を伸縮させ、それに応じて駆 動装置１１を伸縮させると、ステージ２は停止した駆動装置１０の連結部を支点 として回動する。この場合、両浮上り防止装置１７、１８のスライド部材２１、 ２１が、ヒンジ軸２６を支点に屈曲してステージ２の動きに追従する。

【００２６】 このように、上記の構造では、ステージ２の直線移動と回動の動きに何ら支障 をきたすことなくステージの浮上りを完全に防止することができる。

【００２７】 なお、上記の実施例では、３個の駆動装置によりステージに直線運動と回動の 動きを行なわせる移動テーブルについて示したが、べース上にスライド軸受を介 して支持したステージを、２個の駆動装置によりＸ軸とＹ軸の２方向に移動でき るようにしたＸＹテーブルにも、同様に適用することができる。この場合は、ス テージに回動の機能を与える必要がないので、浮上り防止装置のスライド部材を 分割しない一体の形状のもので形成することができる。

【００２８】 また、スラスト軸受は、図示したボールを備える転がり軸受の他に、静圧軸受 やすべり軸受、又はそれらを組み合わせたものを用いることができる。

【００２９】

【効果】

以上のように、この考案の移動テーブルは、べースとステージにそれぞれステ ージの移動方向に延びるリニアガイドを設け、その各リニアガイドをスライド部 材で連結したので、ステージの動きを阻害することなくステージの浮上りを完全 に防止することができると共に、偏心荷重に対するステージの傾きを無くすこと ができ、高精度で安定したステージの移動が行なえる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例の移動テーブルを示す一部破断斜視図

【図２】同上の平面図

【図３】同上の浮上り防止装置を示す平面図

【図４】図３の縦断側面図

【図５】同上のヒンジ軸の連結部分を示す断面図

【図６】同上のスライド部材とリニアガイドの嵌合部を
示す断面図

【符号の説明】

１ べース ２ ステージ ３ スラスト軸受 ９、１０、１１ 駆動装置 １７、１８ 浮上り防止装置 １９、２０ リニアガイド ２１ スライド部材 ２２、２３ ブロック ２６ ヒンジ軸 ２７ リニアボール軸受

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 べースの上面にスラスト軸受を介してス
   テージを移動可能に支持し、そのステージの側辺に、ス
   テージを互いに直交する方向に直線駆動する複数の駆動
   装置を連結した移動テーブルにおいて、上記べースと、
   ステージの側辺とに、それぞれ互いに直交する方向に延
   びるリニアガイドを設け、その両リニアガイドの間を、
   各リニアガイドとスライド可能に嵌合するスライド部材
   で連結したことを特徴とする移動テーブル。
2. 【請求項２】 上記スライド部材が、それぞれ一方のリ
   ニアガイドに嵌合する２つの部材に分割され、その分割
   部材が、べース上面に垂直なヒンジ軸で連結されている
   ことを特徴とする請求項１に記載の移動テーブル。