JP7309403B2 - 回転載物台 - Google Patents
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Description
本発明にかかる他の回転載物台は、前記第1の接触部及び前記第2の接触部の少なくとも一方に自動調心玉軸受が設けられており、前記自動調心玉軸受が前記抱込部に接触していることを特徴とする。
本発明にかかる他の回転載物台は、載置面の傾斜を調整するための送り装置を有する回転載物台であって、前記送り装置は、送り機構に連動して移動し前記載置面に接触する接触部と、ばねにより与圧され一端が前記載置面に連結された引張部とを有し、前記接触部が前記載置面に加える外力と、前記引張部が前記載置面に加える外力と、が平衡することを特徴とする。
<実施の形態1>
図1の断面図、図2及び図3の斜視図(分解図)、図4の断面図(拡大図)を用いて、本発明の実施の形態1にかかる回転載物台100の構成について説明する。回転載物台100は、駆動モータの回転軸31により回転可能に支持された回転ベース30、回転ベース30上に揺動可能に支持された載置面21、X軸に対する載置面21の傾斜を調整するための送り装置10を有する。
一般に、回転載物台はX軸方向傾斜を調整するための送り装置と、Y軸方向傾斜を調整するための送り装置とをそれぞれ有している。例えば、実施の形態1の回転載物台100が、X軸方向及びY軸方向の傾斜を調整するための抱込部23及び送り装置10をそれぞれ有しているものとすると、Y軸方向の送り装置10が駆動する際には、X軸方向の送り装置10の抱込み構造内において、抱込部23が接触部14及び16に沿ってY軸方向に摺動することとなる。またX軸方向の送り装置10が駆動する際には、Y軸方向の送り装置10の抱込み構造内において、抱込部23が接触部14及び16に沿ってX軸方向に摺動することとなる。このとき、予圧量を高めて保持力を増加させようとすると、抱込部23と、接触部14及び16との間に生じる摩擦力も高くなるため、ロストモーションが発生しレベリングの精度が悪化する可能性がある。例えば、所望の精度で傾斜調整ができなかったり、傾斜調整を複数回行わなければならなかったりするという問題が生じ得る。本実施の形態は、このような問題を解決するため、実施の形態1において抱込部23と、接触部14及び16との間に生じていた摩擦力を低減するための機構を備えるものである。
実施の形態3は、送り装置10において生じる摩擦力を低減可能な他の構成例である。
図7、図8、及び図7のA-A断面図である図9を用いて、本発明の実施の形態3にかかる回転載物台300の構成について説明する。回転載物台300は、駆動モータの回転軸31により回転可能に支持された回転ベース30、回転ベース30上にX軸方向及びY軸方向に揺動可能に支持された載置面21、載置面21の傾斜を調整するための送り装置10を有する。なお、本図ではX軸方向の傾斜を調整可能な送り装置10を図示しているが、回転載物台300は、実施の形態2で示したようにX軸方向及びY軸方向の傾斜を調整するための送り装置10をそれぞれ有していて良い。
あるいは、固定部材19と保持部材241とを引張コイルばねにより連結することで引張部を構成しても良い。
10 送り装置
11 従動歯車
12 送り機構
121 送りねじ(ボールねじ)
122 送りねじ(ナット)
123、124 スライダ
13 与圧部材
14 接触部
141 自動調心玉軸受
15 ばね
16 接触部
161、162 自動調心玉軸受
17 ばね支持部材
18 送り機構
181 従動歯車
182 送りねじ(ボールねじ)
183 送りねじ(ナット)
184 スライダ
19 ワイヤ固定部材
21 載置面
22 突起部
23 抱込部
241、242 ばね保持部材
30 回転ベース
31 回転軸
32 連結部材
41 傾斜リング
42 保持器
51 ワイヤ
61 モータ
62 駆動歯車
Claims (5)
- 載置面の傾斜を調整するための送り装置を有する回転載物台であって、
前記送り装置は、送り機構に連動して移動する第1の接触部と、ばねにより与圧される第2の接触部と、を有し、
前記第2の接触部は、前記ばねを介して前記送り機構に連結されており、
前記移動方向に対向して配置された前記第1の接触部と前記第2の接触部とが、前記載置面に連動する抱込部を挟み込んでいる
ことを特徴とする回転載物台。 - 請求項1に記載の回転載物台において、
前記第1の接触部及び前記第2の接触部の少なくとも一方に自動調心玉軸受が設けられており、
前記自動調心玉軸受が前記抱込部に接触している
ことを特徴とする回転載物台。 - 載置面の傾斜を調整するための送り装置を有する回転載物台であって、
前記送り装置は、送り機構に連動して移動する第1の接触部と、ばねにより与圧される第2の接触部と、を有し、前記第1の接触部と前記第2の接触部とは前記載置面にそれぞれ接触し、
前記第1の接触部及び前記第2の接触部の少なくとも一方に自動調心玉軸受が設けられている
ことを特徴とする回転載物台。 - 載置面の傾斜を調整するための送り装置を有する回転載物台であって、
前記送り装置は、送り機構に連動して移動し前記載置面に接触する接触部と、ばねにより与圧され一端が前記載置面に連結された引張部と、を有し、
前記引張部は前記送り機構に連結されていて、前記接触部が前記載置面に加える外力と前記引張部が前記載置面に加える外力とは互いに反対向きであって平衡している
ことを特徴とする回転載物台。 - 載置面の傾斜を調整するための送り装置を有する回転載物台であって、
前記送り装置は、送り機構に連動して移動し前記載置面に接触する接触部と、ばねにより与圧され一端が前記載置面に連結された引張部と、を有し、
前記接触部が前記載置面に加える外力と前記引張部が前記載置面に加える外力とは互いに反対向きであって平衡し、
前記接触部に自動調心玉軸受が設けられている
ことを特徴とする回転載物台。
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