JPH04113260A - 表面欠陥の検出方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は例えば鋼板などの被検査物の表面の疵及び色ム
ラなどの表面欠陥を検出する方法及びその装置に関する
ものである。

［従来の技術］ 鋼板の表面欠陥には、例えばカキ疵、打ち疵などの表面
疵や色ムラなどがある。

従来これら表面欠陥の検出方法としては、被検査物に磁
界を与え、欠陥部からの漏洩磁束を検知するか、もしく
は検出コイルと被検査物との間の磁気結合係数の変化を
検知する磁気探傷法や、被検査物の表面に微小なレーザ
ビームを照射して走査したとき、その照射強度が欠陥部
で大きく変化することを利用した光学的検出法など種々
の方法が提案されている。

［発明が解決しようとする課題］ 上記の磁気探傷法においては、表面疵のように局部的に
断面形状の変化がある部分や、介在物などのように材質
の異なる異物が混入している部分の、いずれの部分にも
磁界を与えると漏洩磁束が生じる。また検出コイルと被
検査物との間の磁気結合係数の変化は、前記いずれの部
分においても発生する。

このように磁気探傷法では表面疵以外の内質欠陥も検出
対象となり両方が検出されてしまうため、表面欠陥のみ
を検査対象として絞った検査を行う場合には適さない。

またこの検出方法においては、被検査物と検出部との距
離が変動すると、検出器の感度や磁気結合係数が変動す
るため、常に被検査物と検出器との距離を一定に保つた
めの保持機構が必要である。従って磁気探傷装置は大規
模で高価格になるという問題点があった。

またレーザビームによる光学的検出法と磁気探傷法にお
いては、表面疵のように局部的な形状変化に対しては欠
陥検出が可能であるが、色ムラのように形状又は材質に
変化のないものについては検出ができないという問題点
があった。

またレーザビームによる光学的欠陥検出装置も高価であ
り、経済的な面から容易に導入できないという問題点が
あった。

本発明はかかる問題点を解決するためになされたもので
、被検査物の表面疵のほか、汚れなどによる表面の色ム
ラについても検出が可能で、且つ装置が安価で構成でき
る表面欠陥検出方法及び装置を得ることを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 本発明の請求項１に係る表面欠陥検出方法は、被検査物
の表面の同一位置に複数の単色光を相異なる方向から照
射し、該照射位置をカメラの視野内として撮影した反射
光を赤色、緑色、青色の３原色成分に分光し、該分光さ
れた各色成分光毎の強度レベルをそれぞれアレイ状に配
列された複数の受光素子により電気信号として検出し、
該検出した３原色成分光の各受光素子毎の電気信号の値
の変化を判別して被検査物の表面欠陥を検出するもので
ある。

本発明の請求項２に係る表面欠陥検出方法は、前記請求
項１に係る方法において、前記被検査物の同一位置に照
射する複数の単色光はそれぞれ直線状に集束された光束
であり、前記分光された３原色成分光毎の強度レベルを
それぞれ電気信号として検出するアレイ受光素子は、各
色成分毎にそれぞれ複数の受光素子が直線状に配列され
たリニアアレイ配列のものである。

本発明の請求項３に係る表面欠陥検出装置は、被検査物
の表面の同一位置に複数の単色光を相異なる方向から照
射する複数の単色光照射手段と、前記照射位置をカメラ
の視野内として、その反射光を撮影する撮影手段と、前
記撮影された反射光を赤色、緑色、青色の３原色成分に
分光する分光手段と、前記分光された３原色成分光をそ
れぞれアレイ状に配列された複数の受光素子により受光
し、各受光素子毎にその受光強度レベルを電気信号とし
てそれぞれ検出するアレイ受光センサと、前記アレイ受
光センサにより検出された３原色成分先の各受光素子毎
の電気信号の値の変化を判別して被検査物の表面欠陥を
検出する欠陥検出手段とを備えたものである。

本発明の請求項４に係る表面欠陥検出装置は、前記請求
項３に係る装置において、前記被検査物の同一位置に照
射する複数の単色光照射手段として、それぞれの単色光
が前記照射位置において直線状に集束された光束を照射
する複数の直線状単色光照射手段と、前記分光された３
原色成分光毎の強度レベルをそれぞれ電気信号として検
出するアレイ受光センサとして、各色成分毎にそれぞれ
複数の受光素子が直線状に配列されたリニアアレイ受光
センサとを備えたものである。

［作　用］ 本発明の請求項１及び請求項３に係る表示欠陥検出方法
及び装置においては、複数の単色光照射手段は、被検査
物の表面の同一位置に複数の単色光を相異なる方向から
照射し、撮影手段は前記照射位置をカメラの視野内とし
てその反射光を撮影する。分光手段は前記撮影された反
射光を赤色ミ緑色、青色の３原色成分に分光し、アレイ
受光センサは前記分光された３原色成分光をそれぞれア
レイ状に配列された複数の受光素子により受光し、各受
光素子毎にその受光強度レベルを電気信号としてそれぞ
れ検出する。欠陥検出手段は前記アレイ受光センサによ
り検出された３原色成分光の各受光素子毎の電気信号の
変化を判別して被検査物の表面欠陥を検出する。

本発明の請求項２及び請求項４に係る表示欠陥検出法及
び装置においては、それぞれ前記請求項１及び請求項３
に係る方法及び装置における前記被検査物の同一位置に
照射する複数の単色光照射手段として、直線状単色光照
射手段はそれぞれの単色光が前記照射位置において直線
状に集束された光束を照射する。また前記分光された３
原色成分光毎の強度レベルをそれぞれ電気信号として検
出するアレイ受光センサとして、リニアアレイ受光セン
サが各色成分毎にそれぞれ直線状に配列された複数の受
光信号により信号検出を行なう。

「実施例］ 第１図は本発明の一実施例を示す表面欠陥検出装置の構
成図であり、第２図（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ表面健
全部と表面欠陥部における光の反射を説明する図である
。

第１図及び第２図において、１は鋼板などの被検査物、
２は入射した光信号からＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（
青色）の３原色成分の信号をそれぞれ検出するカラー検
出カメラである。

第３図は本発明に係るカラー検出カメラの一実施例を示
すブロック図であり、２１は被検査物１の表面に照射さ
れた直線状の光束からの反射光を撮影して、この撮影し
た反射光を次段のフィルタへ供給する撮影レンズ、２２
Ｒ，２２Ｇ、　２２Ｂはそれぞれ入射光をＲ，Ｇ、Ｈの
３原色の光に分光するＲ用、Ｇ用、Ｂ用のフィルタ、２
３Ｒ，２３Ｇ、　２３Ｂはそれぞれ３原色に分光された
光を照射されると、その光信号を電気信号に変換して出
力するリニアアレイ受光素子と、前記光・電変換された
電気信号を逐次シフトして出力するシフトレジスタとを
内蔵するＲ用、Ｇ用、Ｂ用のリニアアレイ受光センサで
ある。またこの３つのリニアアレイ受光センサ２３Ｒ，
２３Ｇ、　２３Ｂ内の各リニアアレイ受光素子は、例え
ばそれぞれ１０２４個の受光素子が直線状に配列され、
各素子毎に照射された光強度に応じた電圧の電気信号を
出力し、この電圧信号がシフトレジスタを介して順次取
出されるものである。

２４Ｒ，２４Ｇ、　２４ＢはそれぞれＲ用、Ｇ用、Ｂ用
の増巾器であり、前記各リニアアレイ受光センサ２３Ｒ
，２３Ｇ、　２３Ｂの出力信号をそれぞれ信号増巾して
外部に出力する。２５は走査制御回路であり、外部から
の走査制御信号に基づき、Ｒ用、Ｇ用、Ｂ用リニアアレ
イ受光センサ２３Ｒ，２３Ｇ、　２３Ｂ内の各シフトレ
ジスタに供給するためのシフトクロック信号を発生して
出力する。例えば周波数６０Ｈｚ（周期的１８．７ｍ５
）毎の走査制御信号に基づき、それぞれ１０２４個のシ
フトクロック信号を発生して出力する。

第１図の３Ｒは例えば波長が６００　ｒｖ以上の赤色の
光源、３Ｂは例えば波長が５００　ｎａ＋以下の青色の
光源、４Ｒ，４Ｂはそれぞれシリンドリカルレンズ（Ｃ
ｙｌｉｎｄｒｉｃａｌ　Ｌｅｎｓ）である。

第４図はシリンドリカルレンズの形状とその光束とを説
明する図である。第４図に示されるようにシリンドリカ
ルレンズ（円柱レンズともいう）は、その縦断面が平行
四辺形であるから母線方向（図の上下の方向）には屈折
が起らない。しかし横断面は直線と円弧で囲まれている
から母線と直角な方向（図の左右の方向）には屈折が起
る。従って入射する平行光線は屈折の後にその焦線位置
において、母線方向に直線状の光束となるように集束さ
れる。

第１図の５は検査制御装置であり、この表面欠陥検出装
置全体の制御を行う装置である。

第５図は本発明に係る検査制御装置の一実施例を示すブ
ロック図であり、５１Ｒ，５１Ｇ、　５１Ｂは前記カラ
ー検出カメラ２からそれぞれ入力されるＲ信号、Ｇ信号
、Ｂ信号用のバッファである。５２Ｒ１５２Ｇ、　５２
Ｂはそれぞれ前記バッファ５１Ｒ，５１Ｇ。

５１Ｂから入力されるアナログ電圧信号をデジタルデー
タに変換するＲ用、Ｇ用、Ｂ用のＡ／Ｄ変換器、５３は
走査信号増巾器であり、前記走査制御信号をカラー検出
カメラ２へ供給する。５４はマイクロプロセッサなどを
中心として構成されるコントローラであり、内部にＲ，
Ｇ、Ｂデータ記憶部、データ比較部、判別部、プログラ
ム記憶部、制御部、走査データ出力部を含んでいる。Ｒ
，Ｇ、Ｂブタ−記憶部はＲ用、Ｇ用、Ｂ用Ａ／Ｄ変換器
５２Ｒ，５２Ｇ、　５２Ｂから逐次入力されるＲ、Ｇ、
Ｂデータを一旦記憶し、制御部の制御により読出したデ
ータをデータ比較部に供給する。データ比較部は、Ｒ，
Ｇ、Ｂリニアイレイ素子のＩｌ、Ｉｊ−配列順位におけ
る異なるカラーデータ間のデータ値の比較や、配列順位
の前後による同一カラーデータ間のデータ値の比較など
を行なう。判別部は前記データ比較部の比較結果に基づ
き健全部か欠陥部か判別をする。プログラム記憶部はコ
ントローラ５４が実行する検査プログラムを内蔵する。

制御部はプログラム記憶部から検査プログラムを読出し
、コントローラ５４全体の制御を行なう。検査データ出
力部は判別部の判別結果を検査データとして出力する。

５５は制御データ出力回路で、検査制御装置５から外部
（例えば被検査物の搬送制御装置）へ制御データを出力
する。５６は検査データ出力回路で、検査制御装置５か
ら外部（例えばプリンタ、ＣＲＴ表示装置、計録計など
）へ検査データを出力する。

また第１図のＬＲ及びＬＢはそれぞれシリンドリカルレ
ンズ４Ｒ及び４Ｂにより、その焦線位置に集束された直
線状の光束である。

第２図〜第５図を参照し、第１図の動作を説明する。

第１図において、被検査物１の上部に配置されたカラー
検出カメラ２に対して左右の相対する方向にそれぞれ赤
色光源３Ｒ及び青色光源３Ｂを設ける。赤色光源３Ｒ及
び青色光源３Ｂからの各単色光はそれぞれシリンドリカ
ルレンズ４Ｒ及び４Ｂを通過すると、第４図において説
明したように、その焦線位置に直線状に集束された光束
ＬＲ及びＬＢが得られる。この２つの光束の焦線位置が
被検査物１の表面上の同一位置となるように２つの光源
３Ｒ，３Ｂ及びシリンドリカルレンズ４Ｒ。

４Ｂが配置される。第１図においては、被検査物１を鋼
板として、この鋼板が搬送される方向と直角方向の鋼板
上の同一の直線位置に２つの単色光の直線状の光束が照
射されるように調整される。

従って被検査物１の表面上の照射位置においては２つの
直線状の光束ＬＲ及びＬＢが照射される結果、赤色光と
青色光の波長域で合成された合成光の光束が照射される
ことになる。

カラー検出カメラ２は前記２つの直線状光束ＬＲ及びＬ
Ｂが合成されて照射される被検査物１の真上に配置され
、その内蔵する撮影レンズ２１は前記照射された光束が
被検査物１の表面から反射される反射光（合成光）を同
一位置から撮影できる十分なる視野角を有するものであ
る。撮影レンズ２１により撮影された前記反射光は、そ
れぞれＲ用。

Ｇ用、Ｂ用フィルタ２２Ｒ，２２Ｇ、　２２Ｂを介して
分光され、Ｒ，Ｇ、Ｂの３原色成分光としてそれぞれＲ
用、Ｇ用、Ｂ用リニアアレイ受光センサ２３Ｒ１２３Ｇ
、　２３Ｂを照射する。ここで重要なことは、まずＲ用
、Ｇ用７　Ｂ用リニアアレイ受光素子のアレイ配列方向
と前記直線状の光束ＬＲ及びＬＢの照射される方向（即
ち２つのシリンドリカルレンズ４Ｒ及び４Ｂの焦線の方
向）とが完全に一致していること。次に前記直線状の光
束ＬＲ及びＬＢの照射される範囲（直線状の長さ）と撮
影レンズ２１の視野とが適合していることである。

この結果被検査物１の照射範囲からの反射光により直線
状に配列された各リニアアレイ受光素子内の各受光素子
が十分に照射されることになる。

このように赤色光源３Ｒ，青色光源３Ｂ、　　シリンド
リカルレンズ４Ｒ及び４Ｂ、カラー検出カメラ２並びに
被検査物１の相互位置が決まると、被検査物は所定の速
度でその長手方向（第１図では右側の方向）に搬送され
る。そして検査制御装置５はそのプログラム記憶部に記
憶する検査プログラムに従い、例えば周波数６０　Ｈｚ
毎に走査信号増巾器５３を介して走査制御信号をカラー
検出カメラ２内の走査制御回路２５へ送出する。走査制
御回路２５は、前記６０　ｔ（ｚの周期以内に、例えば
１０２４個のシフトクロック信号をＲ用、Ｇ用、Ｂ用リ
ニアアレイ受光センサ２３Ｒ，２３Ｇ、　２３Ｂ内の各
シフトレジスタに供給する。各リニアアレイ受光センサ
２３Ｒ１２３Ｇ、　２３Ｂは前記被検査物１の表面から
反射される３原色の各色成分毎の光強度に比例した電圧
信号を各素子（例えば前記１０２４個の素子）毎に蓄え
ており、この蓄えているそれぞれ１０２４個の赤色信号
ｒ　　、ｒ　　、ｒ　　・・・、緑色信号ｇ。１ｇ１゜
ｇ　・・・、青色信号す、ｂ、ｂ２・・・を前記シフト
クロック信号に基づき、それぞれ対応するＲ用。

Ｇ用、Ｂ用増巾器２４Ｒ，２４Ｇ、　２４Ｂを介して検
査制御装置５へ送出する。

検査制御装置５は前記赤色信号、緑色信号、青色信号を
それぞれ対応するＲ用、Ｇ用、Ｂ用バッファ５１Ｒ，５
１Ｇ、　５１Ｂ及びＡ／Ｄ変換器５２Ｒ，５２Ｇ、　５
２Ｂを介して量子化された赤色データＲ。

Ｒ、Ｒ・・・、緑色データＧ、Ｇ１．Ｇ２・・・青色デ
ータＢ　　、Ｂ　　、　　Ｂ２・・・として、コントロ
−ラ５４内のＲ，Ｇ、Ｂデータ記憶部に一旦記憶する。

コントローラ５４はこのＲ，Ｇ、Ｂデータ記憶部に記憶
された３原色の各色成分データを読出し、データの相互
比較をして、被検査物１の該当する表面位置が健全部か
欠陥部かの判別を行なう。

第２図（ａ）は表面の健全部における光の反射を説明し
ており、直線状の赤色光束ＬＲと青色光束ＬＢから同程
度の散乱光が得られ、２つの反射強度分布はほぼ同一と
なる。

第２図（ｂ）は表面の欠陥部における光の反射を説明し
ており、被検査物１の疵の角度及び形状と２つの光束Ｌ
Ｒ及びＬＢの入射角との関係により、いずれか一方の単
色光の光束からの反射光がカラー検出カメラ２の方向に
強く反射する。例えば光束ＬＲの方の光の反射が強い場
合、前記３原色のデータの同一配列順位における比較で
は、赤色データＲの値が青色データＢ　の値より大きく
なｎ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　ｎる。また同−力ラーデータの配列順位の前後によ
る比較では、赤色データのＲの値はＲの値ｎ　　　　　
ｎ−１ より大きくなり、青色データのＢ　の値はＢ。−１の値
より小さくなる。

また欠陥が汚れなどの色ムラである場合も、２つの光束
ＬＲ及びＬＢの反射光は健全部と異なる反射強度を示し
たり、一方の波長域で吸収が発生したりする。従って記
憶している健全部における正常のデータを基準として、
この正常データの値より比較的大きな値のデータや小さ
な値のデータが得られた場合に欠陥部であると判別する
ことができる。

第１図の実施例による表面欠陥検出装置では、カラー検
出カメラ２の視野を１００龍〜２００ｍ＋＊の程度に設
定し、リニアアレイ受光素子の素子数を１０２４個とし
たので、被検査物１の巾方向を０．１〜［１，２ｍｍの
分解能により欠陥検出が可能である。

また被検査物１を矢印の方向へ搬送させる移動速度と、
各リニアアレイ受光センサ２３Ｒ，２３Ｇ。

２３Ｂから光・電変換された３原色の信号を読出す信号
走査速度とを同期させておけば（例えば信号の走査繰返
し周波数をｆｉＯＨｚとし、この１／６ｏ秒間における
被検査物１の移動距離を一定としておけば）、被検査物
１の２次元画像が得られ、欠陥の２次元的寸法を測定す
ることができる。

コントローラ５４は検査データ出力回路５６を介して外
部（例えばプリンタ、ＣＲＴ表示装置など）へ検査デー
タを出力し、また制御データ出力回路５５を介して外部
（例えば被検査物の搬送制御装置）へ制御データを出力
し、前記３原色の信号を読出す走査速度と搬送物の移動
速度との同期制御を行なうことができる。

また本実施例においては、被検査物１に対して１組の表
面欠陥検出装置を用いる例を示したが、被検査物１の巾
方向に本装置を複数組並べて設置することにより、大き
な巾の（例えば１〜２ｍ程度）の鋼板などを一度に検査
することができる。

また本実施例によれば、赤色光源や青色光源の単色光を
それぞれシリンドリカルレンズを介して直線状の光束に
集束し、これらの光束の合成光により被検査物の表面欠
陥を検出する例を示したが、本発明はこれに限定される
ものではない。

例えば前記シリンドリカルレンズの焦線位置よりやや近
距離となる位置に被検査物の表面を配設すれば、被検査
物の表面の短冊状の面積が複数の単色光により照射され
るので、この照射部を通常のカラービデオカメラにより
撮影し、ビデオカメラ内の２次元に配列された３原色の
２次元アレイ受光センサからテレビのラスク走査と同様
な２次元走査を行なって色成分毎の信号を読出し、２次
元画像の各色成分毎のデータ比較を高速で行なうことが
できる。この場合は被検査物の搬送速度を速くして、能
率良く被検査物の表面欠陥を検出することができる。

［発明の効果］ 以上のようにこの請求項１または請求項３の発明におい
ては、被検査物の表面の同一位置に複数の単色光を相異
なる方向から照射し、該照射位置をカメラの視野内とし
て撮影した反射光を赤色、緑色、青色の３原色成分に分
光し、該分光された各色成分光毎の強度レベルをそれぞ
れアレイ状に配列された複数の受光素子により電気信号
として検出し、該検出した３原色成分光の各受光素子毎
の電気信号の値の変化を判別して被検査物の表面欠陥を
検出するようにしたので、被検査物の表面疵のほか汚れ
などによる色ムラも検出できるようになり、また従来の
方法による装置よりも安価な表面欠陥検出装置が実現で
きる効果がある。

またこの請求項２または請求項４の発明においては、前
記被検査物の同一位置に照射する複数の単色光はそれぞ
れ直線状の光束に集束され、前記分光された３原色成分
光毎の強度レベルをそれぞれ電気信号として検出するア
レイ受光センサとして、各色成分毎にそれぞれ複数の受
光素子が直線状に配列されたリニアアレイ受光センサを
用いて検出するようにしたので、前記請求項１または請
求項３の発明に基づく装置よりもさらに単純化され安価
で構成できる表面欠陥検出装置が得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す表面欠陥検出装置の構
成図、第２図（ａ）及び（ｂ）は表面健全部と表面欠陥
部における光の反射を説明する図、第３図は本発明に係
るカラー検出カメラの一実施例を示すブロック図、第４
図はシリンドリカルレンズとその光束とを説明する図、
第５図は本発明に係る検査制御装置の一実施例を示すブ
ロック図である。 図において、１は被検査物、２はカラー検出カメラ、３
Ｒは赤色光源、３Ｂは青色光源、４Ｒ。 ４Ｂはシリンドリカルレンズ、５は検査制御装置、２１
は撮影レンズ、２２Ｒ，２２Ｇ、　２２Ｂはそれぞれ３
原色用フィルタ、２３Ｒ，２３Ｇ、　２３Ｂはそれぞれ
３原色用リニアアレイ受光センサ、２４Ｒ，２４Ｇ、　
２４Ｂはそれぞれ３原色用増巾器、５１Ｒ，５１Ｇ、　
５１Ｂはそれぞれ３原色用バッファ、５２Ｒ，５２Ｇ、
　５２Ｂはそれぞれ３原色用Ａ／Ｄ変換器、５３は走査
信号増巾器、５４はコントローラ、５５は制御データ出
力回路、５６は検査データ出力回路、ＬＲ，ＬＢはそれ
ぞれ赤色光及び青色光の直線状光束である。 代理人　弁理士　佐々木　宗　治 被検査物 ４Ｒ４Ｂ　　リッツトリカルレンズ ３Ｒ赤色光源 ＬＲ，ＬＢ　　直線状の光束 表面健全部における反射 （ｂ） 表面欠陥部における反射 第２ 図

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）被検査物の表面の同一位置に複数の単色光を相異
   なる方向から照射し、該照射位置をカメラの視野内とし
   て撮影した反射光を赤色、緑色、青色の３原色成分に分
   光し、該分光された各色成分光毎の強度レベルをそれぞ
   れアレイ状に配列された複数の受光素子により電気信号
   として検出し、該検出した３原色成分光の各受光素子毎
   の電気信号の値の変化を判別して被検査物の表面欠陥を
   検出することを特徴とする表面欠陥の検出方法。
2. （２）前記被検査物の同一位置に照射する複数の単色光
   はそれぞれ直線状に集束された光束であり、前記分光さ
   れた３原色成分光毎の強度レベルをそれぞれ電気信号と
   して検出するアレイ受光素子は、各色成分毎にそれぞれ
   複数の受光素子が直線状に配列されたリニアアレイ配列
   であることを特徴とする請求項１記載の表面欠陥の検出
   方法。
3. （３）被検査物の表面の同一位置に複数の単色光を相異
   なる方向から照射する複数の単色光照射手段と、 前記照射位置をカメラの視野内として、その反射光を撮
   影する撮影手段と、 前記撮影された反射光を赤色、緑色、青色の３原色成分
   に分光する分光手段と、 前記分光された３原色成分光をそれぞれアレイ状に配列
   された複数の受光素子により受光し、各受光素子毎にそ
   の受光強度レベルを電気信号としてそれぞれ検出するア
   レイ受光センサと、 前記アレイ受光センサにより検出された３原色成分光の
   各受光素子毎の電気信号の値の変化を判別して被検査物
   の表面欠陥を検出する欠陥検出手段とを備えたことを特
   徴とする表面欠陥の検出装置。
4. （４）前記被検査物の同一位置に照射する複数の単色光
   照射手段は、それぞれの単色光が前記照射位置において
   直線状に集束された光束を照射する複数の直線状単色光
   照射手段であり、前記分光された３原色成分光毎の強度
   レベルをそれぞれ電気信号として検出するアレイ受光セ
   ンサは、各色成分毎にそれぞれ複数の受光素子が直線状
   に配列されたリニアアレイ受光センサであることを特徴
   とする請求項３記載の表面欠陥の検出装置。