JPH0378748A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は密着性が良く、弾性率が小さく、高感度で高耐
熱の感光性ポリイミド樹脂組成物に関するものである。

１− ２ （従来の技術） 従来、半導体素子の表面保護膜、層間絶縁膜などには、
耐熱性が優れ、また卓越した電気的特性、機械的特性な
どを有するポリイミド樹脂が用いられているが、近年半
導体素子の高集積化、大型化、封止樹脂パッケージの薄
型化、小型化、半田リフローによる表面実装方式などへ
の移行により耐熱サイクル性、耐熱ショック性等の著し
い向上の要求があり、これまでのポリイミド樹脂では、
対応が困難となってきた。

この対策として、例えばポリイミド樹脂にシリコーン成
分を導入して、密着性を上げ弾性率を低く、することが
知られている。（特開昭６１−６４７３０号公報、特開
昭６２−２２３２２８号公報等）一方、ポリイミド樹脂
自身に感光性を付与する技術が最近注目を集めてきた。

これらの感光性を付与したポリイミド樹脂を使用すると
、付与していないポリイミド樹脂に比較してパターン作
成工程の簡素化効果があるだけでなく、毒性の強いエツ
チング液を使用しなくてすむ３− で示されるような構造のポリアミック酸に化学線により
２量化、または重合可能な炭素−炭素二重結合およびア
ミノ基または、その四級化塩を含む化合物を添加した組
成物（例えば特開昭５４−１４５７９４号公報）などが
知られている。

これらは、いずれも適当な有機溶剤に溶解し、フェス状
態で塗布、乾燥した後、フォトマスクを介して紫外線照
射し、現像、リンス処理して所望のパターンを得、さら
に加熱処理することによりポリイミド被膜としている。

しかし、かかる従来の感光化技術をポリイミド樹脂成分
にシリコーン基を導入した高密着、低弾性率のポリイミ
ド樹脂に適用すると、紫外線を照射してもパターニング
することは難しいか、または著しく感度が低く、半導体
工業で通常用いられている露光装置で処理するには不十
分であった。

更には、これらの感光性ポリイミド樹脂の膜厚を厚くし
ていくと光感度が極端に低下してしまい、ので、安全、
公害上も優れており、ポリイミド樹脂の感光性化はポリ
イミド樹脂の高密着、′低弾性率化とともに今後−層重
要な技術となることが期待されている。

感光性ポリイミド樹脂としては、例えば下式で示される
ような構造のエステル基で感光性基を付与したポリイミ
ド前駆体組成物（特公昭５５−３０２０７号公報、特公
昭５５−４１４２２号公報）あるいは下式適正露光時間
が極端に長くなってしまうという欠点があった。

（発明が解決しようとする課題） 本発明の目的とするところは、ポリアミック酸中にシリ
コーン基を導入して密着性を向上させ、弾性率を低下さ
せたにもかかわらず高感度の光硬化性を有し、さらに硬
化後の被膜の耐熱性に優れた感光性樹脂組成物を提供す
るにある。

（課題を解決するだめの手段） 本発明は下記の一般式（Ｉ）で示されるシリコーン系ジ
アミンを１〜５０重量％含有するポリアミック酸（Ａ）
と、感光剤として１分子中にアクリルまたはメタクリル
基を２基以上有し、分子量が５００以下の多官能アクリ
レ−）　（Ｂ）と増感剤として下記一般式（ＩＩ）で示
されるスチリル化合物（Ｃ） と開始剤として下記一般式（Ｉ［［］で示されるグリシ
ン化合物（Ｄ） とを必須成分としくＡ）１００重量部に対し、感光剤（
Ｂ）２０〜２００重量部、増感剤（Ｃ）　１〜１０重量
部および開始剤（Ｄ）１〜２０重量部を配してなる感光
性樹脂組成物を用いることにある。

（作用） 本発明において用いる一般式〔Ｉ〕で示されるシリコー
ン系ジアミンはポリイミド被膜の密着性を向上させ、弾
性率を低下させる効果を有する。

シリコーン系ジアミンの重合度ｎは１〜５０であること
が必要であり、ｎが１未満であると密着性を向上させ、
弾性率を低下させる効果が得られず、またｎが５０を越
える長鎖シリコーン系ジアミンを使用すると、テトラカ
ルボン酸二無水物との反応が定量的に進行しにくくなり
、未反応物として残存し、分子量が大きくならないばか
りか柔軟性７− スルフィＦ、４．４’−ジアミノ−ジフェニルスルホン
、３．３′−ジアミノ−ジフェニルスルホン、４．４’
−ジアミノ−ジフェニルエーテル、３．３’−ジアミノ
−ジフェニルエーテル、ベンジジン、３．３’−ジアミ
ノ−ビフェニル、３，３′−ジメチル−４，４′−ジア
ミノ−ビフェニル、３，３′−ジメトキシ−ベンジジン
、４．４″−ジアミノ−ｐ−テルフェニル、３．３”−
ジアミノ−ｐ−テルフェニル、ビス（ｐ−アミノ−シク
ロヘキシル）メタン、ビス（ｐ−β−アミノ−【−ブチ
ルフェニル）エーテル、ビス（ｐ−β−メチル−ドアミ
ノペンチル）ベンゼン、ｐ−ヒス（２−メチル−４−ア
ミノ−ペンチル）ベンゼン、ｐ−ビス（１，１−ジメチ
ル−５−アミノ−ペンチル）ベンゼン、１．５−ジアミ
ノ−ナフタレン、２，６−ジアミツーナフタレン、２．
４−ビス（β−アミノ−ｔ−ブチル）トルエン、２．４
−ジアミノ−トルエン、ｍ−キシレン−２，５−ジアミ
ン、ｐ−キシレン−２，５−ジアミン、ｍ−キシリレン
−ジアミン、ｐ−キシリレン−ジアミン、２，６−ジア
ミツービリジン、２，５−ジアミノ−ピリジン、２，５
−ジアミノ−１，３，４−オキサジアゾール、ｌ、４−
ジアミノシクロヘキサン、ピペラジン、メチレンージア
ミを低下させ、クラックを発生し易くなるので好ましく
ない。

またシリコーン系ジアミンの使用量は、ポリアミック酸
成分に対して１〜５０重量％が好ましい。

１重量％未満では密着性の向上、弾性率の低下の効果が
得られず、また５０重量％を越えると耐熱性が著しく低
下し、ポリイミド樹脂本来の特徴が得られなくなるので
好ましくない。

本発明で使用するジアミン成分としては上記のシリコー
ン系ジアミンの他に各種特性を付与するために以下に挙
げるような芳香族ジアミンも勿論使用することができる
。

例えばｍ−フェニレン−ジアミン、■−インプロピルー
２．４−７エニレンージアミン、ｐ−フェニレン−ジア
ミン、４．４’−ジアミノ−ジフェニルプロパン、３．
３’ジアミノ−ジフェニルプロパン、４．４’−ジアミ
ノ−ジフェニルエタン、３．３’−ジアミノ−ジフェニ
ルエタン、４．４’−ジアミノ−ジフェニルメタン、３
．３’−ジアミノ−ジフェニルメタン、４．４’−ジア
ミノ−ジフェニルスルフィド、３．３’−ジアミノ−ジ
フェニル８ ン、エチレン−ジアミン、プロピレン−ジアミン、２．
２−ジメチル−プロピレン−ジアミン、テトラメチレン
−ジアミン、ペンタメチレン−ジアミン、ヘキザメチレ
ンージアミン、２．５−ジメチル−へキサメチレン−ジ
アミン、３−メトキシ−へキサメチレン−ジアミン、ヘ
プタメチレン−ジアミン、２．５−ジメチル−へブタメ
チレン−ジアミン、３−メチル−へブタメチレン−ジア
ミン、４，４−ジメチル−へブタメチレン−ジアミン、
オクタメチレン−ジアミン、ノナメチレン−ジアミン、
５−メチル−ノナメチレン−ジアミン、２．５−ジメチ
ル−ノナメチレン−ジアミン、デカメチレン−ジアミン
、１．１０−ジアミノ−１，１０−ジメチル−デカン、
２．１１−ジアミノ−ドデカン、１．１２−ジアミノ−
オクタデカン、２．１２−ジアミノ−オクタデカン、２
．１７−ジアミツーアイコサンなどがあげられるが、こ
れらに限定されるものではない。

ジアミン成分と反応させるテトラカルボン酸二無水物成
分は１種類でも、２種類以上の混合物でもかまわないが
、用いられるテトラカルボン酸二無水物としては、例え
ばピロメリット酸二無水物、１０− ベンゼン−１，２，３，４，−テトラカルボン酸二無水
物、３．３　’、４．４　’−ベンゾフェノンテトラカ
ルポン酸二無、ｌ、２．２’、３．３’−ベンゾフェノ
ンテトラカルポン酸二無水物、２，３．３　’、４　’
−ベンゾフェノンテトラカルポン酸二無水物、ナフタレ
ン−２，３，６，７−テトラカルボン酸二無水物、ナフ
タレン−１，２，５，６−テトラカルボン酸二無水物、
ナフタレン−１，２，４，５−テトラカルボン酸二無水
物、ナフタレン−１，４，５，８−テトラカルボン酸二
無水物、ナフタレン−１，２，６，７−テトラカルボン
酸二無水物、４，８−ジメチル−１，２゜３．５，６．
７−へキサヒドロす７タレンー１．２，５．６−テトラ
カルボン酸二無水物、４，８．−ジメチル−１，２，３
，５゜６．７−へキサヒドロす７タレンー２．３，６．
７−テトラカルボン酸二無水物、２．６−シクロロナフ
タレンー１．４゜５．８−テトラカルボン酸二無水物、
２．７−ジクロロす７タレンー１．４，５．８−テトラ
カルボン酸二無水物、２゜３．６．７−テトラクロロナ
フタレンー１．４，５．８−テトラカルボン酸二無水物
、１，４，５．８−テトラクロロナフタレン−２，３，
６，７−テトラカルボン酸二無水物、３．３″、４．４
　’−ジフェニルテトラカルボン酸二無水物、２゜１ １１．１２−テトラカルボン酸二無水物、フェナンスレ
ン−１，２，７，８−テトラカルボン酸二無水物、フェ
ナンスレン−１，２，６，７−テトラカルボン酸二無水
物、７エナンスレンー１．２．９．ｔｏ−テトラカルボ
ン酸二無水物、シクロペンクン−１，２，３，４−テト
ラカルボン酸二無水物、ピラジン−２，３，５，６−テ
トラカルボン酸二無水物、ピロリジン−２，３，４，５
−テトラカルボン酸二無水物、チオ７エンー２．３，４
．５−テトラカルボン酸二無水物などがあげられるが、
これらに限定するものではない。

本発明における（Ｂ）成分の多官能アクリレートは１分
子中に２個以上のアクリル基またはメタクリル基を有す
る分子量が５００以下のアクリル化合物である。

１分子中にアクリル基が１個である単官能アクリレート
では、光照射しても架橋構造が得られないので、光バタ
ーニングできず、好ましくない。

また、分子量が５００以上であると、均一に溶解させる
ことが困難であるばかりでなく、熱硬化時の処理した後
にも熱飛散せずポリイミド被膜中に３− ２　’、３．３　’−ジフェニルテトラカルボン酸二無
水物、２．３．３　’、４　’−ジフェニルテトラカル
ボン酸二無水物、３．３　”　、４．４　”−ｐ−テル
フェニルテトラカルボン酸二無水物、２．２　”　、３
．３　”−ｐ−テルフェニルテトラカルボン酸二無水物
、２，３．３　”　、４　”−ｐ−テルフェニルテトラ
カルボン酸二無水物、２．２−ビス（２，３−ジカルボ
キシフェニル）−プロパンニ無水物、２．２−ビス（３
゜４、−ジカルボキシフェニル）−プロパンニ無水物、
ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）エーテルニ無水
物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）エーテルニ
無水物、ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）メタン
二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）メタ
ン二無水物、ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）ス
ルホンニ無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル
）スルホンニ無水物、■、■−ビス（２，３−ジカルボ
キシフェニル）エタンニ無水物、■、ｌ−ビス（３，４
−ジカルボキシフェニル）エタンニ無水物、ペリレン−
２゜３．８．９−テトラカルボン酸二無水物、ペリレン
−３，４゜９、ＩＯ−テトラカルボン酸二無水物、ペリ
レン−４，５゜１０．１１−テトラカルボン酸二無水物
、ペリレン−５，６゜＝１２ 残存し、耐熱性が著しく低下するので好ましくない。

多官能アクリレート（Ｂ）　きしては、エチレングリコ
ールジアクリレート、エチレングリコールジメタクリレ
ート、１．４−ブタンジオールジアクリレート、ジエチ
レングリコールジアクリレート、ジエチレングリコール
ジメタクリレート、■、４−ブタンジオールジメタクリ
レート、Ｉ、６−ヘキサンジオールジアクリレート、１
．６−ヘキサンジオールジアクリレート、ネオペンチル
グリコールジアクリレート、ネオベンチルグリコールジ
メタクリレト、ペンタエリスリトールトリアクリレート
、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエ
リスリトールテトラメタクリレート１．トリメチロール
プロパントリアクリレート、トリメチロールプロパント
リメタクリレート、ビスフェノールＡジメタクリレート
などであるが、これらに限定されない。

また、多官能アクリレートの配合量はポリアミド酸の固
形分１００重量部に対して、２０〜２００４ 重量部であることが好ましい。

配合量が２０重量部未満であると充分な光架橋物が得ら
れず、現像時にすべて溶解してしまうので好ましくない
。

また配合量が２００重量部を越えると、添加量が多いた
め有効に光架橋した場合でも熱処理をした際に飛散収縮
が大きく、クラックが生じやすくなるので好ましくない
。

本発明における（Ｃ）成分の増感剤は下記式ＣＩ［）（
式中Ｒ＋ニーＨ，−ＣＨ５，−Ｃ２Ｈ５，−ＣａＨｓで
示されるアミノ基を持ったスチリル化合物である。

感光性樹脂組成物に用いられる増感剤としてはぺ５ ミノベンザル）−アセトン、■、３−ビス＝（４′−ジ
エチルアミノベンザル）−アセトン、Ｎ−フェニル−ジ
ェタノールアミン、Ｎ−ｐ−）リルージエチルアミンな
どがあげられるが、本発明に於いて見いだされたスチリ
ル化合物は、本発明において開始剤として用いるグリシ
ン化合物との組み合わせで用いることによってのみ、驚
くほど優れた増感効果を示す。

この驚くべき相乗効果がいかにして発現されるのか、そ
の理由は今のところ明確ではない。、なお、スチリル化
合物の配合量はポリアミック酸１００重量部に対して１
重量部以上、１０重量部以下が最も好ましく、スチリル
化合物以外の増感剤もこれに併用しても差し支えがない
。

スチリル化合物の配合量が１重量部未満であると、光エ
ネルギーの吸収量が不足し架橋が不十分となり、また、
１０重量部を越えると、光エネルギーの透過量が不足し
、深部の光硬化が迅速に進まず好ましくない。

本発明における（Ｄ）成分の開始剤は下記式（ＩＩＩ）
７ ンゾフエノン、アセトフェノン、アントロン、ｐ。

ｐ′−テトラメチルジアミノベンゾフェノン（ミヒラー
ケトン）、フェナントレン、２−ニトロフルオレン、５
−ニトロアセナフテン、ベンゾキノン、Ｎ−アセチル叩
−ニトロアニリン、ｐ−ニトロアニリン、２−エチルア
ントラキノン、２−ターシャリ−ブチルアントラキノン
、Ｎ−アセチル−４−ニトロ−■−す７チルアミン、ピ
クラミド、１．２−ベンズアンスラキノン、３−メチル
−１，３−ジアザ−１，９−ベンズアンスロン、ｐ、ｐ
　’−テトラエチルジアミノベンゾフェノン、２−クロ
ロ−４−ニトロアニリン、ジベンザルアセトン、１．２
−ナフトキノン、２，５−ビス−（４′−ジエチルアミ
ノベンザル）−シクロペンクン、２．６−ビス−（４’
−ジエチルアミノベンザル）−シクロヘキサノン、２．
６−ビス−（４′−ジメチルアミノベンザル）−４−メ
チル−シクロヘキサノン、２．６−ビス−（４′−ジエ
チルアミノベンザル）−４−メチル−シクロヘキサノン
、４．４’−ビス−（ジメチルアミノ）−カルコン、４
．４’−ビス＝（ジエチルアミノ）−カルコン、ｐ−ジ
メチルアミノベンジリデンインダノン、１，３−ビス−
（４′−ジメチルアロ （式中Ｒ３ニーＨ，−ＣＨ３，−ＣｚＨｓ＋−ＣｓＨｓ
＋０ＣＨｓ、−００ＣＣＨ８，−０ＣｚＨｓ。

００ＣＣｓ）Ｉｓ、−Ｎ（ＣＨ３）２．−Ｎ（ＣｚＨｓ
）ｘ。

ＮＨＣＯＯＣＨｓ、＝Ｃ０ＣＨ１，−ＣＯＣ２Ｈｓ。

ＮＨＣＯＮＨ２，−ＣＨ２０Ｈ，−ＯＨ。

ＣＨ（ＣＨ３）２．−〇（ＣＨ３）り で示されるフェニル基を持ったグリシン化合物である。

感光性樹脂組成物に用いられる開始剤としては２゜２−
ジメトキシ−２−７エニルーアセトフエノン、ｌ−ヒド
ロキシ−シクロヘキシル−フェニルケトン、２−メチル
−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ
ｌ−プロパン、　３．３　’４．４　’−テトラー（Ｌ
−プチルパオキシ力ルポニル）ベンゾフェノン、ベンジ
ル、ベンゾイン−イソプロピルエーテル、ベンゾイン−
イソブチルエーテル、４．４’−ジメトキシベンジル、
１．４−ジベンゾイルベンゼン、４−ベンゾイルビフェ
ニル、２−ベンゾイルナフタレン、メチル−〇−ベンゾ
イルベンゾエート、２．２’−ビス（０−クロロフェニ
ル）−４，４’５．５　’−テトラフェニル−１，２′
−ビイミダ８ ゾール、１０−ブチル−２−クロロアクリドン、エチル
４−ジメチルアミノベンゾエート、ジベンゾイルメタン
、２．４−ジエチルチオキサントン、３，３−ジメチル
−４−メトキシ−ベンゾフェノン、２−ヒドロキシ２−
メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−（４−
イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチル
プロパン−１−オン、１−（４−ドデシルフェニル）−
２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、ｌ−
７エニルー１゜２−ブタンジオン−２−（ｏ−メトキシ
カルボニル）オキシム、ｌ−７エニループロパンブタン
ジオンー２−（。

ベンゾイル）オキシム、■、２−ジフ二二ルーエタンジ
オンー１−（０−ベンゾイル）オキシム、ｌ、３−ジフ
ェニル−プロパントリオン−２−（ｏ−ベンゾイル）オ
キシム、■−フェニルー３−エトキシープロパントリオ
ン−２（０−ベンゾイル）オキシムなどが使用されてい
るが、本発明に於いて見いだされたグリシン化合物は、
増感剤としてのスチリル化合物との組み合わせによって
、他の開始剤にくらべて格段の光反応開始効果を示した
。

この驚くべき効果がいかにして発現されるのかそ９ ブタンジオールジメタクリレート６０ｇ（６０重量部）
と２−（ｐ−ジメチルアミノスチリル）ベンゾオキサゾ
ール４ｇ（４重量部）とＮ−フェニルグリシン８ｇ（８
重量部）を添加し、室温で混合溶解した。

得られた溶液をアルミ板上にスピンナーで塗布し、乾燥
機により８０°Ｃで１時間乾燥した。

このフィルムにコダック社製フォトグラフィックステッ
プタブレットＮｏ２．２１ステツプ（本グレースケール
では、段数が一段増加するごとに透過光量が前段のＬ／
Ｊ２に減少するので現像後の残存段階が大きいものほど
感度が良い）を重ね、５００ｍｊ／ａｍ”の紫外線を照
射し、Ｎ−メチルピロリドン６０重量％、メタノール４
０重量％の現像液を用い現像、さらにイソプロピルアル
コールでリンスをしたところ１４段までパターンが残存
し、高感度であることが判った。

次に、前述と同様な方法でシリコーンウェハー上に塗布
し全面露光し、現像、リンスの各工程を行い、さらに１
５０，２５０．３５０℃で各々３０＝２１ の理由は現在のところ明確ではない。

なお、グリシン化合物の配合量は、ポリアミック酸１０
０重量部に対して１〜２０重量部を必須とし、グリシン
化合物以外の開始剤もこれと併用しても差し支えない。

開始剤としてのグリシン化合物が１重量部未満であると
光感度が十分でなく、好ましくない。

また、２０重量部を越えると、熱処理硬化後の皮膜特性
が低下する。

以下実施例により本発明を具体的に説明する。

実施例１ シリコーンジアミンとしてシロキサン結合が１５（ｎ−
１５）の下記式で示されるもの３５ｇ（ポリアミック酸
中３５重量％）と３．３　’、４．４　’−ベンゾフェ
ノンテトラカルポン酸二無水物４５ｇと４．４′−ジア
ミノジフェニルエーテル２０ｇをＮ−メチルピロリドン
溶媒中で反応させ、得られたポリアミック酸溶液（固形
分で１００重量部）に１，４−＝２０− 分熱硬化した。

密着力試験のため１ｍｍ角に１００ケカツトし、セロテ
ープで引き剥がそうとしたが、１ケも剥がれず、高密着
性であることが判った。

また、別途アルミ板上に塗布し、全面露光、現像、リン
ス、熱硬化したあとアルミ板をエツチングで除去し、フ
ィルムを得た。

得られたフィルムの引張弾性率（ＪＩＳ　Ｋ−６７６０
）は１１０　Ｋｇ／ｍｍ”と小さく、熱分解開始温度は
４３０℃と高かった。

この様に高感度であり、かつ高密着、低弾性率、高耐熱
という非常に優れた効果が同時に得られた。

比較例１−１３ 実施例１の方法に従いシリコーンジアミンのシロキサン
結合数と添加量、感光剤、増感剤、開始剤の種類と添加
量をそれぞれかえ、同様の実験を行い第１表の結果を得
た。

比較例１は開始剤の添加量を０．８重量部にしたもので
、光感度が著しく低くなってしまった。

比較例２は比較例１とは逆に２８重量部にしだも２ ので、この場合フィルム中に開始剤が残留し、このため
熱分解開始温度が低くなってしまった。

比較例３は本発明以外の開始剤を使用したもので、光感
度が低く、実用的ではなかった。

比較例４は増感剤の添加量を０．４重量部にしたもので
、この場合光感度が著しく低く、架橋も不十分であった
。

比較例５は増感剤量を２４重量部としたもので、この場
合光透過量が不足し、深部の硬化が不十分でボイドを発
生し、均一なフィルムにはならなかった。

比較例６は本発明以外の増感剤を使用した場合で光感度
が低く、実用的ではなかった。

比較例７は感光剤の添加量を１５重量部にしたもので、
この場合、光感度が低いだけでなく、架橋が不十分なた
め膜減りも大きかった。

比較例８は感光剤の添加量を２５０重量部にしたもので
、この場合、高温硬化時の飛散量が多く、クラックが発
生、均一なフィルムが得られなかった。

３ 比較例９は本発明以外の感光剤を使用したもので、単官
能アクリレートであるため露光しても３次元化せず現像
時にすべて流れてしまった。

比較例１０はシリコーンジアミンの添加量を０．５重量
％にしたものであり、この場合弾性率を低下させること
が出来なかった。

比較例１１はシリコーンジアミンの添加量を７０重量％
にしたもので、この場合フィルムがモロクなってしまっ
た。

比較例１２はシリコーンジアミンのシロキサン結合数を
ｎ＝ｏとしたもので、この場合柔軟性に欠けるためフィ
ルム化時点でクラックが発生した。

比較例１３はシロキサンジアミンのシロキサン結合数を
ｎ＝１００としたもので、この場合反応性が低く、フィ
ルム化時点で未反応シリコーンが浮き出し、感度も上が
らなかった。

４− （発明の効果） ポリイミド樹脂の主鎖構造中にシロキサン結合を導入し
、密着性の向上や、弾性率の低下を図る試みは、これま
でもなされてきた。

しかしながら、従来の感光性化技術では、シリコーン変
性したポリイミド樹脂の光感度を向上させる適当な増感
剤、開始剤がなく、良好なパターンを得ることが出来な
かった。

しかるに、本発明では、極めて光感度の高い特殊な増感
剤と開始剤との組み合わせを採用することで、少ない光
照射量で良好なパターンを得ることができるようになっ
た。さらに、熱硬化後のポリイミド樹脂は光硬化したア
クリレート類がすべて飛散するので耐熱性が優れ、また
、シリコーン変性しであるので低弾性率で、しかも高密
着性であるという非常に優れた効果が同時にえられた。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）（Ａ）下記式〔 I 〕で示されるシリコーン系ジ
   アミンを１〜５０重量％含有するポリアミック酸▲数式
   、化学式、表等があります▼〔 I 〕 （式中ｎは１〜５０） （Ｂ）１分子中にアクリルまたはメタクリル基を２基以
   上有し、分子量が５００以下の多官能アクリレート （Ｃ）下記式〔II〕で示されるスチリル化合物▲数式、
   化学式、表等があります▼〔II〕（式中Ｒ＿１：−Ｈ、
   −ＣＨ＿３、−Ｃ＿２Ｈ＿５、−Ｃ＿６Ｈ＿５Ｒ＿２：
   ▲数式、化学式、表等があります▼、▲数式、化学式、
   表等があります▼、▲数式、化学式、表等があります▼
   、▲数式、化学式、表等があります▼ ▲数式、化学式、表等があります▼、▲数式、化学式、
   表等があります▼、▲数式、化学式、表等があります▼
   、▲数式、化学式、表等があります▼ ▲数式、化学式、表等があります▼、▲数式、化学式、
   表等があります▼（Ｒ；Ｈ、ＣＨ＿３、Ｃ＿２Ｈ＿５）
   （Ｄ）下記式〔III〕で示されるグリシン化合物▲数式
   、化学式、表等があります▼〔III〕 （式中Ｒ＿３：−Ｈ、−ＣＨ＿３、−Ｃ＿２Ｈ＿５、−
   Ｃ＿６Ｈ＿５、−ＯＣＨ＿３、−ＯＯＣＣＨ＿３、−Ｏ
   Ｃ＿２Ｈ＿５、−ＯＯＣＣ＿２Ｈ＿５−Ｎ（ＣＨ＿３）
   ＿２−Ｎ（Ｃ＿２Ｈ＿５）＿２、−ＮＨＣＯＯＣＨ＿３
   、−ＣＯＣＨ＿３、−ＣＯＣ＿２Ｈ＿５、−ＮＨＣＯＮ
   Ｈ＿２、−ＣＨ＿２ＯＨ、−ＯＨ、−ＣＨ（ＣＨ＿３）
   ＿２、−Ｃ（ＣＨ＿３）＿３）を必須成分とし（Ａ）１
   ００重量部に対して（Ｂ）２０〜２００重量部、（Ｃ）
   １〜１０重量部及び（Ｄ）１〜２０重量部を配してなる
   感光性樹脂組成物。