JP4070686B2 - 基板回転保持装置および回転式基板処理装置 - Google Patents
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Description
第3の発明に係る基板回転保持装置は、第2の発明に係る基板回転保持装置の構成において、各回転式保持部材に磁石が取り付けられたものである。
2 固定式保持部材
3 基板支持部
4 水平位置規制部
5,15 回転式保持部材
6,16 支持部
7,17 保持部
7a 中心軸
6a,16a 回転軸
17a 曲面部
Claims (7)
- 基板を水平に保持しつつ回転させる基板回転保持装置であって、
水平姿勢で回転駆動される回転部材と、
前記基板の外周端縁に当接して前記基板の水平位置を規制する複数の固定式保持部材および複数の回転式保持部材とを備え、
前記複数の回転式保持部材は、所定の回転軸の周りで回動可能に前記回転部材に取り付けられた支持部と、凸状の曲面を有する保持部とからなり、かつ前記基板の回転中心に関して互いに非対称な位置に配置され、
前記保持部の前記曲面は、前記支持部の回動に伴って前記基板の外周端縁に当接するように前記支持部に前記回転軸に対して偏心して設けられ、
前記複数の固定式保持部材は、前記基板の回転中心に関して前記複数の回転式保持部材とそれぞれ対向する位置に配置され、前記複数の固定式保持部材は、互いに隣接するように、またはさらに他の固定式保持部材を挟んで配置され、
各回転式保持部材は、外的要因により受動的に他の回転式保持部材とは独立に回動可能であることを特徴とする基板回転保持装置。 - 前記複数の回転式保持部材の前記支持部は磁力により回転駆動されることを特徴とする請求項1記載の基板回転保持装置。
- 各回転式保持部材に磁石が取り付けられたことを特徴とする請求項2記載の基板回転保持装置。
- 前記支持部は、前記基板の裏面の周縁部を支持する上面部を有し、
前記保持部は、前記支持部の前記上面部に前記回転軸に対して偏心して設けられた円柱体からなることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の基板回転保持装置。 - 前記支持部は、前記基板の裏面の周縁部を支持する上面部を有し、
前記保持部の前記曲面は、前記支持部の前記上面部に前記回転軸から外周縁にかけて形成されたことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の基板回転保持装置。 - 前記基板がオリエンテーションフラット部を有しかつそのオリエンテーションフラット部の中央部が前記複数の回転式保持部材のうち一の回転式保持部材に対向するように位置した場合に、他の回転式保持部材の前記保持部の前記曲面が前記オリエンテーションフラット部を除く前記基板の外周端縁に当接しているときに前記一の回転式保持部材の前記保持部の前記曲面が前記オリエンテーションフラット部の中央部に当接しないことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の基板回転保持装置。
- 請求項1〜6のいずれかに記載の基板回転保持装置を備えたことを特徴とする回転式基板処理装置。
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