JPH0341468Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案はチツプ状部品移送装置、特に、半導体
ウエーハを分割して得られ、XYテーブル上に載
置されているペレツトを吸着し、測定ステーシヨ
ンに移送してその特性を測定した後、測定結果に
基づいて、チツプ状部品を分類収納ステーシヨン
内に送り出すためのチツプ状部品移送装置に関す
る。

従来の技術 XYテーブル１上に固着された分割済半導体ウ
エーハ２から、吸着ノズル３による真空吸引を利
用してペレツト４をピツクアツプし、吸着ノズル
３の回転移動経路に配設されたチツプ状部品であ
るペレツトの測定ステーシヨン５に供給してその
電気的もしくは機械的特性を測定した後、測定結
果に基づいてペレツト４を分類収納ステーシヨン
６に送り出すチツプ状部品移送装置が電子部品の
製造工程等で使用されている。

在来のチツプ状部品移送装置は、第２図に示す
ように、回転駆動軸７に、移動方向に沿つて所定
の中心角θをなして二又状に延びる２本１組の吸
着ノズル支持アーム３ａ，３ｂを取付け、この吸
着ノズル支持アームの先端に装着された２個の吸
着ノズル３，３の同時上下動と同時回転を利用し
て、ペレツト４を半導体ウエーハ２から測定ステ
ーシヨン５〜あるいは測定ステーシヨン５から分
類収納ステーシヨン６へ順次移動させている。よ
り詳しく説明すると、先ず第１段階として、第１
の吸着ノズル支持アーム３ａを、XYテーブル１
上に位置決め固定されている分割済半導体ウエー
ハ２上に、また第２の吸着ノズル支持アーム３ｂ
をペレツト測定ステーシヨン５上に同時降下さ
せ、第１の吸着ノズル支持アーム３ａの先端に取
付けられた吸着ノズル３によつて、半導体ウエー
ハ２上に整列している第１のペレツト４ａを吸着
保持すると共に、第２の吸着ノズル支持アーム３
ｂの先端に固着された吸着ノズル３によつて測定
ステーシヨン５上に載置されている第２のペレツ
ト４ｂを吸着保持する。第２段階として、第１の
吸着ノズル支持アーム３ａおよび第２の吸着ノズ
ル支持アーム３ｂを、半導体ウエーハ２および測
定ステーシヨン５の上方に引き上げ、回転駆動軸
７により第１の吸着ノズル支持アーム３ａおよび
第２の吸着ノズル支持アーム３ｂを角度θ、（こ
の例示では45゜）だけ反時計方向に回転させ、第
１の支持アーム３ａの先端に固着された吸着ノズ
ル３に吸引保持されている第１のペレツト４ａを
測定ステーシヨン５上に、同時に、第２の支持ア
ーム３ｂの先端に固着された吸着ノズル３に吸引
保持されている第２のペレツト４ｂを分類収納ス
テーシヨン６上に移動させる。次に第３段階とし
て、第１の吸着ノズル支持アーム３ａおよび第２
の吸着ノズル支持アーム３ｂを、測定ステーシヨ
ン５および分類収納ステーシヨン６上に同時降下
させ、この状態でペレツト吸着ノズル３，３によ
る吸引保持状態を解除することによつて、第１の
ペレツト４ａを測定ステーシヨン５に、また特性
の測定を終了した第２のペレツト４ｂを分類収納
ステーシヨン６に座着させる。この後、第４段階
として、ペレツト４ａおよび４ｂを開放した第１
の吸着ノズル支持アーム３ａおよび第２の吸着ノ
ズル支持アーム３ｂに同時上昇運動を与えて吸着
ノズル３，３を測定ステーシヨン５および分類収
納ステーシヨン６の上方に引き上げ、この状態で
回転駆動軸７の逆回転を介して第１の吸着ノズル
支持アーム３ａを半導体ウエーハ２の上方へ、ま
た、第２の吸着ノズル支持アーム３ｂを測定ステ
ーシヨン５の上方へ移動させる。

考案が解決しようとする問題点 以上の説明から理解されるように、２個１対に
連設された吸着ノズル３，３を有する支持アーム
３ａ，３ｂは、分類収納ステーシヨン６に特性の
測定を終了したペレツト４を送り出した後、空の
状態で原位置に復帰していることになる。このた
め、復帰ストロークをペレツト４の移送に利用す
ることができず、吸着移送手段の空運転によつて
移送作業のインデツクスが大幅に低下してしま
う。

本考案の主要な目的は、２個１対のペレツト吸
着移送手段によつて構成された在来装置に認めら
れた上記問題点を解決し得るインデツクスの高い
チツプ状部品移送装置を提供することにある。

問題点を解決するための手段 上記問題点を解決するため本考案は、チツプ状
部品吸着移送手段の回転移動経路に配設されたチ
ツプ状部品位置決め用のXYテーブルの両側にチ
ツプ状部品処理ステーシヨンを設け、上記XYテ
ーブルとチツプ状部品処理ステーシヨンとの間
を、上記移送手段を往復させる装置において、共
通の回転駆動軸に、移動方向に沿つて所定の中心
角形成下に放射状に延びる２個１対のチツプ状部
品吸着移送手段を２組以上固着することを特徴と
している。そして本考案は、例えばペレツト吸着
移送手段の回転移動経路に配設されたチツプ状部
品であるペレツトの位置決め用のXYテーブルの
両側に、ペレツト吸着移送手段と同数でペレツト
の処理を行う測定ステーシヨンおよび測定済みペ
レツトの分類収納ステーシヨンを所定の位相角形
成下に順次配設したチツプ状部品の選別装置等に
好適な装置である。

作 用 ２本１対のペレツト吸着アームからなるチツプ
状部品吸着移送手段を２組以上回動自在に支持
し、これに対応してチツプ状部品吸着移送手段の
回転移動経路に、XYテーブルを中心としてチツ
プ状部品吸着移送手段と同数のチツプ状部品測定
ステーシヨンおよび測定済みチツプ状部品の分類
収納ステーシヨンを配設することによつて、チツ
プ状部品吸着移送手段の復帰ストロークを後続の
チツプ状部品の吸着と移送に利用することができ
る。

実施例 第１図は本考案に係るチツプ状部品移送装置の
略示平面図である。チツプ状部品移送装置は、共
通の回転駆動軸１０に、回動方向に沿つて所定の
中心角、例えば45゜の交叉角を形成して放射状に
延びる２本１組のチツプ状部品であるペレツトの
吸着アームから構成されたペレツト吸着移送手段
２０を２組固着することによつて揺動式のペレツ
ト吸着移送装置が形成されている。この２組のペ
レツト吸着移送手段２０ａ，２０ｂの回転移動経
路の中心には、所定個数のペレツト１３，１３…
を整列配置してなるフルカツト形半導体ウエーハ
１１を位置決め状態で支持するXYテーブル１２
が配設されており、このXYテーブル１２の両側
には、前記２組のペレツト吸着移送手段２０ａお
よび２０ｂを構成するそれぞれ２本のペレツト吸
着アーム１３ａと１３ｂ、および１３ｃと１３ｄ
との交叉角（この例示では45゜）と同一の位相差
を維持して、前記ペレツト吸着移送手段２０と同
数のペレツトの処理を行う測定ステーシヨン１４
ａ，１４ｂ、ならびに測定済みペレツトの分類収
納ステーシヨン１５ａ，１５ｂが順次配設されて
いる。それぞれのペレツト吸着アーム１３ａ，１
３ｂおよび１３ｃ，１３ｄの先端部には常法に従
つてペレツト吸着ノズル１６ａ，１６ｂおよび１
６ｃ，１６ｄが装着されている。

以下本考案装置の動作手順を説明する。先ず、
第１のペレツト吸着移送手段２０ａおよび第２の
ペレツト吸着移送手段２０ｂを下降位置に移動さ
せ、第３のペレツト吸着アーム１３ｃの先端に取
付けられた吸着ノズル１６ｃによつてフルカツト
形半導体ウエーハ１１上に整列状態で配置されて
いるペレツト１８を吸引保持し、これと同時に第
４のペレツト吸着アーム１３ｄの先端に取付けら
れた吸着ノズル１６ｄによつて、第２のペレツト
測定ステーシヨン１４ｂ上に載置されている特性
測定済みのペレツト１８を吸引保持する。このと
き、第１のペレツト吸着アーム１３ａおよび第２
のペレツト吸着アーム１３ｂは空の状態にしてお
く。次いで第１のペレツト吸着移送手段２０ａと
第２のペレツト吸着移送手段２０ｂを上昇位置に
移動させ、回転駆動軸１０の反時計方向回転によ
つて第３の吸着ノズル１６ｃを第２のペレツト測
定ステーシヨン１４ｂ上に、また第４の吸着ノズ
ル１６ｄを第２の測定済みペレツトの分類収納ス
テーシヨン１５ｂ上に移動させる。この状態でペ
レツト吸着アーム１３ｃ，１３ｄを下降位置に同
時移動させ、吸着ノズル１６ｃ，１６ｄに吸引保
持されているペレツト１８，１８を、第２のペレ
ツト測定ステーシヨン１４ｂおよび第２の分類収
納ステーシヨン１５ｂ上に解放すると共に、フル
カツト形半導体ウエーハ１１上に移動して来た第
２のペレツト吸着アーム１３ｂの先端に取付けら
れた吸着ノズル１６ｂによつて、フルカツト形半
導体ウエーハ１１上に整列配置されているペレツ
ト１８を吸引保持する。これと同時に第１のペレ
ツト吸着アーム１３ａの先端に取付けられた吸着
ノズル１６ａによつて、第１のペレツト測定ステ
ーシヨン１４ａ上から特性測定済みのペレツト１
８を吸引保持する。この後、第１のペレツト吸着
移送手段２０ａおよび第２のペレツト吸着移送手
段２０ｂを同時に上昇位置に引き上げ、この状態
でこれらのペレツト吸着移送手段２０ａ，２０ｂ
を45゜だけ時計方向に回転させ、前記第２の吸着
ノズル１３ｂを第１のペレツト測定ステーシヨン
１４ａ上に、またペレツト測定ステーシヨン１４
ａから吸引したペレツト１８を保持する第１の吸
着ノズル１３ａを第１の分類収納ステーシヨン１
５ａ上に移動させそれぞれ位置決めする。この状
態でペレツト吸着移送手段２０ａ，２０ｂを下降
させ、前記吸着ノズル１３ｂに吸引保持されてい
る特性測定前のペレツト１８を第１のペレツト測
定ステーシヨン１４ａ上に解放すると共に、第１
の吸着ノズル１３ａに吸引保持されている特性測
定済みペレツト１８を第１の分類収納ステーシヨ
ン１５ａ上に解放する。このようにして、第１お
よび第２のペレツト吸着移送手段２０ａおよび２
０ｂによるペレツト１８の特性の測定と分類収納
ステーシヨン１５ｂへの収納動作が終了する。

本考案装置は上記の如く構成されているから、
第１のペレツト吸着移送手段２０ａおよび第２の
ペレツト吸着移送手段２０ｂの45゜単位の反時計
方向ステツプ回転と、45゜単位の時計方向ステツ
プ回転とを併用することによつて、１サイクルで
２個のペレツト１８，１８について特性の測定と
分類収納ステーシヨンへの収納を終了することが
できる。

尚、上記実施例においては、２組のペレツト吸
着移送手段２０ａ，２０ｂによつてチツプ状部品
移送装置が構成されているが、もし必要であれ
ば、回転駆動軸１０の全周に亘つて所定の配設位
相角形成下に３組以上のペレツト吸着手段を配置
することも可能である。

考案の効果 ２本１対のチツプ状部品吸着アームからなるチ
ツプ状部品吸着移送手段を２組以上回動自在に支
持し、これに対応してチツプ状部品吸着移送手段
の回転移動経路に、XYテーブルを中心として、
前記チツプ状部品吸着移送手段と同数のチツプ状
部品状部品測定ステーシヨンおよび測定済みペレ
ツトの分類収納ステーシヨンを配設することによ
つて、チツプ状部品吸着移送手段の復帰ストロー
クを後続のチツプ状部品の吸着と移送に利用する
ことのできるインデツクスの高いチツプ状部品移
送装置が形成される。例えば上記実施例によれ
ば、在来装置に比較して２倍のインデツクスを持
つたチツプ状部品移送装置が形成される。本考案
は、構造を複雑化させることなく高い生産性を発
揮し得る選別装置を提供するものとして、電子部
品等の製造工程の合理化に在来装置の水準を大幅
に上廻る効果をあげることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案のチツプ状部品移送装置の略示
平面図であり、第２図は従来装置の略示平面図で
ある。 １０……回転駆動軸、１１……半導体ウエー
ハ、１２……XYテーブル、１３……チツプ状部
品（ペレツト）吸着アーム、１４……チツプ状部
品（ペレツト）測定ステーシヨン、１５……チツ
プ状部品（ペレツト）分類収納ステーシヨン、１
６……チツプ状部品（ペレツト）吸着ノズル、２
０……チツプ状部品（ペレツト）吸着移送手段。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. チツプ状部品吸着移送手段の回転移動経路に配
   設されたチツプ状部品位置決め用のXYテーブル
   の両側にチツプ状部品処理ステーシヨンを設け、
   上記XYテーブルとチツプ状部品処理ステーシヨ
   ンとの間を、上記移送手段を往復させる装置にお
   いて、共通の回転駆動軸に、移動方向に沿つて所
   定の中心角形成下に放射状に延びる２個１対のチ
   ツプ状部品吸着移送手段を２組以上固着すること
   を特徴とするチツプ状部品移送装置。