JPH032869A - 耐高熱性レリーフ構造体の製法 - Google Patents
耐高熱性レリーフ構造体の製法Info
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Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
オキサゾール前駆物質からなる耐高熱性レリーフ構造体
の製法に関する。
ーフ構造体を製造するための、すなわち有機絶縁層を価
格的に良好に直接構造化するための耐熱性フォトレジス
トのベース樹脂として使用される。この前駆物質から得
られるポリベンゾオキサゾールは高い熱安定性、僅かな
吸水性及び傑出した電気的特性によって優れている(こ
れに関しては欧州特許出願公開第0291778号明細
書参照)、従って半導体製造分野での有機誘電体として
並びに特にアルカリ性のエツチング処理におけるエツチ
ングマスクとして適している。
は慣用の露光装置(密着露光又は投影露光)により光種
造化することができる。しかしこの場合フォトレジスト
は感光性基を有するか又は光活性成分を含有している必
要がある。ネガ型レジストとして使用される網状化可能
の不飽和基を有する光種造化可能のポリベンゾオキサゾ
ール前駆物質は、例えば欧州特許第0041677号明
細書から公知である。光活性成分としてジアゾナフトキ
ノンのようなジアゾキノンを存するポリベンゾオキサゾ
ール前駆物質をベースとするポジ型レジストは、欧州特
許第0023662号明細書、欧州特許出願公開第02
9177,9号明細書及びドイツ連邦共和国特許出願公
開第3716629号明細書から公知である。
性成分に起因する難点が生じる可能性がある。すなわち
不飽和基は重合反応を惹起し、その結果レジスト溶液の
粘度安定性に限界を与えることになる。ジアゾキノンは
熱安定性を欠き、例えばアミノ末端基のような官能基と
反応する可能性があり、これは貯蔵安定性並びにフォト
リソグラフィー法の再現性に好ましくない影響を及ぼす
。
mの波長は除外して)黄光で装備された空間を必要とす
る。
るポジ型又はネガ型レジストで従来生じる可能性のあっ
た特に貯蔵安定性及び再現性に関する問題点を甘受する
ことなしに、ポリベンゾオキサゾール前駆物質からなる
耐高熱性レリーフ構造体を簡単かつ価格的に有利に製造
することのできる方法を提供することにある。
” 、R+ 、R+”及びR1は芳香族基を表し、また
nI 、nz及びn、は以下のものを表す: n、−1〜100、n、及びn、−0、又はnl及びR
2−1〜100、n、−0、又はn2−1〜100、n
l及びn、−〇、又はnl、nl及びn3−1〜100
(R−1&R”及び/又はR,≠R1゜)、又は nl及びn5−1〜100、n、−0(Rq”R”及び
/又はR+”R+”)である〕で示される可溶性ヒドロ
キシポリアミドを層又は箔の形で基板に施し、パルス当
たり> 10 ’ W/cm”の出力密度を有するU■
エキシマ−レーザによりマスクを介して露光し、また水
−アルカリ性現像剤で現像し、その後熱処理することに
より達成される。
は重合可能のすなわち不飽和の基又は光活性成分の不存
在下に光種造化可能である、すなわちその放射域がUV
内にあるエキシマ−レーザ、例えばXeClレーザを用
いて光種造化することができる。従ってレーザの照射(
マスクを介して)により初めて耐高熱性ポリマーの前駆
物質を単独で使用して、すなわち光活性成分を添加する
ことなくまた網状化可能の基を存在させることなく、フ
ォトリソグラフィー法でレリーフ構造体を製造すること
が可能である。光活性成分又は光により網状化する基が
存在しないことから、本発明による方法で使用されるポ
リマー前駆物質及びその溶液並びにこれから製造される
暦又は箔は、例えば周囲からの光又はランプからの光に
対して完全に不感応性である。更にこのポリマー前駆物
質は(従って本発明による方法も)、製造空間を突先で
装備することを必要としない。
らなる層及び箔を(レーザの性能又はエネルギー密度と
の関連において)選択的にポジ型又はネガ型レジストと
して、これに続くアルカリ性現像処理で構造化し得ると
いう利点を提供する。
動及びネガ型挙動間の移行範囲に微細構造物を製造する
ことができる。
れる環化反応、すなわちイミド化反応は公知である(こ
れに関しては文献rsov、 J、 QuanLuII
Electron、 J第4巻、1975年、第128
7〜1288頁並びに同第12巻、1982年、第13
30〜1333頁参照)、これは熱的に励起される行程
、いわゆる熱化学行程であり、ガスレーザ、すなわちC
OアレーザによりIRTJ域で加工する(パルス出力5
0〜100W)。
明で、公知のフォトレジスト溶液の使用下におけるフォ
トリソグラフィー法で得られる構造物と比較可能である
。更に本発明方法の場合その層厚は、光活性成分の使用
下にレリーフ構造体を製造した場合の縮小度に比べて遥
かに僅少な程度で縮小するにすぎない、レーザによるい
わゆる燃焼穿孔後に、すなわち直接材料を切除加工する
ことによって得られる構造物と比べて、本発明方法によ
り製造されたレリーフ構造体は輪郭が一層鮮明でありま
たより微細である。更にこの方法では、燃焼穿孔法の場
合炭化によって生じ得るような沈殿物は基板上にまった
く残らないことが保証される。
は(それぞれレーザ出力及びエネルギー密度に応じて)
ポジ型又はネガ型レジストのそれに相応する挙動を示す
、すなわち各ポリマー層からはポジ又はネガのレリーフ
構造体を製造することができる。従って高いエネルギー
密度及びレーザ出力はポジ型レジストにおいて公知であ
るような特性をもたらす、すなわち露光範囲は(アルカ
リ性)現像剤中で未露光範囲よりも良好に溶解する。こ
れに対して低いエネルギー密度及びレーザ出力はネガ型
レジストにおけるような特性を付与する。すなわち露光
箇所は未露光箇所に比べて(アルカリ性)現像剤中での
溶解性を、(部分的)環化により減少される。平均的な
エネルギー密度及びレーザ出力ではポジ型特性及びネガ
型特性間の移行範囲で露光箇所並びに未露光箇所も(ア
ルカリ性)現像剤に可溶性であり、現像後この両範囲間
の境界面に微細な腺又は構造物を残す。
露光箇所との間の範囲における微細構造体は以下の条件
で得られる。
以下の構造式の芳香族基を有する。
又はBrによって置換されていてもよい。
はlであり、Xは次のものを表す。
を表し、rは2〜18である。
ポリアミドは本発明方法の場合、有利には有機溶剤に溶
かした溶液として基板に施す、その際溶剤として有利に
はN−メチルピロリドンを使用する。しかしその他に類
似の特性を有する他の有機溶剤、例えばメチルホルムア
ミド及びN。
用することができる。
剤を使用することもできる。その際接着剤又は湿潤剤を
ポリマー溶液に加えてもよいが、これらはまた被覆する
前に基板に施してもよい。
法により基板に施される。しかし同様にブラシ掛は及び
ロール掛けのような他の被覆法を使用することもできる
。基板は有利にはガラス、金Tl4vfにアルミニウム
、プラスチック又は半導体物質からなる。
ベンゾオキサゾールに変換される。この場合一般に20
0〜500℃の温度を選択する。
利である。
)−1,1,1,3,3,3・ヘキサフルオルプロパン
(50モル%)、3.3’−ジヒドロキシベンジジン(
50モル%)及びイソフタル酸ジクロリド(90モル%
)から製造したポリベンゾオキサゾール前駆物質(これ
に関しては文献rPolym、 Letters」第2
巻、1964年、第655頁以降参照)18質量部をN
−メチルピロリドン45質量部に溶かし、次いでこの溶
液を0.8μmフィルタで濾過した。引続き濾過した溶
液をスピン−コーティング(Spin−Coating
)法により2800rpm/20秒で、接着剤で処理し
た(すなわちメタノール/水(9515V/V)中のN
−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピル−メチル
−ジメトキシシランの0.5%溶液を24時間放置した
後5000rpm/30秒で施し、80°Cで10分間
加熱した)アルミニウムウェハー上に施し、その後大気
炉中で90’Cで12分間乾燥した。厚さ4.9μmの
ポリマー層が得られた。
ルス当たり40〜60 m J /am”及び出力密度
パルス当たり8・10’−1,2・10’W/ cll
”で4〜12 J /e11”の吸収線量を有するエキ
シマ−レーザ(波長308 nm)により格子マスク(
孔径200μ図、ウェブ120μI、縮小比1:5)を
介して露光した0層厚欠損は0〜5%であった。露光後
基板を90秒間水−アルカリ性現像剤(0,25%のN
MD−3)で現像しく層r¥損失約10%)、引続き拡
散炉中で窒素雰囲気下に熱処理した(熱処理プログラム
:室温〜170°Cで1時間、170〜300℃で1時
間、300〜400℃で1時間、400°C〜室温で4
時間)。
じた。
ルス当たり100〜150mJ/cm”及び出力密度パ
ルス当たり2〜3・l Q’ W/cm”で3〜12J
/cm”の吸収線量を有するエキシマ−レーザ(波長3
080m)により格子マスク(孔径200μm、ウェブ
120μ蒙、縮小比1;5)を介して露光した。露光部
分の層厚欠損は60〜80%であった。露光後基板を9
0秒間水−アルカリ性現像剤(0,25%のNMD−3
)で現像しく未露光部分の層厚損失O%)、引続き拡散
炉中で窒素雰囲気下に熱処理した(熱処理プログラム:
室温〜170℃で1時間、170〜300℃で1時間、
300〜400°Cで1時間、400°Cで1時間、4
00℃〜室温で4時間)、その際層厚3.7μ−の高温
安定性の格子構造物が生じた。
ルス当たり約100mJ/am”及び出力密度パルス当
たり約2・10’W/Ω1で約4J/ cm ”の吸収
線量を有するエキシマ−レーザ(波長308nm)によ
り格子マスク(孔径200μm、ウェブ120μ清、縮
小比l:5)を介して露光した。露光後基板を90秒間
水−アルカリ性現像剤(0,25%のNMD −3>で
現像しく未露光部分の層厚損失0%)、引続き拡散炉中
で窒素雰囲気下に熱処理した(熱処理プログラム;室温
〜170°Cで1時間、170〜300 ’Cで1時間
、300〜400℃で1時間、400°Cで1時間、4
00 ’C〜室温で4時間)、その際露光部分と未露光
部分の境界範囲に層厚3.7μmの微細線条が生じた。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)オリゴマー及び/又はポリマーのポリベンゾオキサ
ゾール前駆物質からなる耐高熱性レリーフ構造体を製造
する方法において、 次の構造式: ▲数式、化学式、表等があります▼ 〔式中R、R^*、R_1、R_1^*及びR_2は芳
香族基を表し、またn_1、n_2及びn_3は以下の
ものを表す: n_1=1〜100、n_2及びn_3=0、又はn_
1及びn_2=1〜100、n_3=0、又はn_2=
1〜100、n_1及びn_3=0、又はn_1、n_
2及びn_3=1〜100(R≠R^*及び/又はR_
1≠R_1^*)、又は n_1及びn_3=1〜100、n_2=0(R≠R^
*及び/又はR_1≠R_1^*)である〕で示される
可溶性ヒドロキシポリアミドを層又は箔の形で基板に施
し、パルス当たり>10^5w/cm^2の出力密度を
有するUVエキシマ−レーザによりマスクを介して露光
し、また水 アルカリ性現像剤で現像し、その後熱処理することを特
徴とする耐高熱性レリーフ構造体の製法。 2)吸収線量4〜12J/cm^2、パルス当たりのエ
ネルギー密度40〜60mJ/cm^2及びパルス当た
りの出力密度8・10^5〜1.2・10^6W/cm
^2で露光し、現像後にネガ型レリーフ像を得ることを
特徴とする請求項1記載の製法。 3)吸収線量3〜12J/cm^2、パルス当たりのエ
ネルギー密度100〜150mJ/cm^2及びパルス
当たりの出力密度2〜3・10^4W/cm^2で露光
し、現像後にポジ型レリーフ像を得ることを特徴とする
請求項1記載の製法。 4)吸収線量約4J/cm^2、パルス当たりのエネル
ギー密度約100mJ/cm^2及びパルス当たりの出
力密度1.5〜2・10^4W/cm^2で露光し、現
像後に露光箇所と未露光箇所との間の範囲内に微細構造
物を得ることを特徴とする請求項1記載の方法。 5)ヒドロキシポリアミドを有機溶剤中の溶液として基
板に施すことを特徴とする請求項1ないし4の1つに記
載の製法。 6)溶剤としてN−メチルピロリドンを使用することを
特徴とする請求項5記載の製法。 7)接着剤及び/又は湿潤剤を使用することを特徴とす
る請求項1ないし6の1つに記載の製法。 8)200〜500℃、有利には300〜450℃の温
度で熱処理することを特徴とする請求項1ないし7の1
つに記載の製法。
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