JPH03270678A - 超音波モータの駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 Ａ、産業上の利用分野 本発明は、圧電体により弾性体に発生した進行性振動波
によって移動子を駆動する超音波モータの駆動装置に関
する。

Ｂ、従来の技術 進行性振動波を利用した超音波モータは、特開昭５９−
１１１６０９号公報にも開示されているように、圧電体
に交番駆動電圧を印加して該圧電体に屈曲振動を生じさ
せて圧電体が貼付けられた弾性体に進行性振動波を生じ
させ、この弾性体に移動子を加圧接触させて摩擦駆動す
るモータである。

第６図は回転式超音波モータの概略構成を示す断面図、
第７図は圧電体側から見た超音波モータの平面図である
。

第６図、第７図の超音波モータについて説明すると、弾
性体１００−３の片側表面には圧電体１００−４が貼付
られており、これら弾性体１００−３と圧電体１００−
４とによって振動体１２０を構成している。また、弾性
体１００−３の片側表面にはスライダ１００−２を介し
てロータ１００−１が加圧接触しており、これらスライ
ダ１００−２とロータ１００−１とは接着されて回転子
１１０を構成している。

圧電体１００−４は第７図に示すように、その表面に４
つの電極および電極群１００−４ａ、１００−４ｂ、１
００−４ｃ、１００−４ｄが設けられており、駆動用電
極群１００−４ａと１００−４ｂには相互にπ／２だけ
位相の異なる交番駆動電圧が印加され、電極１００−４
ｃは接地される。電極１００−４ｄは振動体１２０の振
動状態に応じた交番出力電圧を取り出すために使用され
る。これらの構成および動作については日経メカニカル
１９８３．２．２８号などにより周知であるため、ここ
ではその説明を省略する。

このような超音波モータの駆動制御装置は１例えば特開
昭５９−２０４４７７号公報や特開昭６１−２５１４９
０号公報に開示されたものが知られている。これらの駆
動制御装置は、■モニタ電極１００−４ｄから取りださ
れる電圧値で交番駆動電圧信号の周波数を制御したり、
■圧電体１００−４に印加される交番電圧信号波形とモ
ニタ電極１００−４ｄから出力される電圧信号波形との
位相差により交番駆動電圧信号の周波数を制御するもの
である。

Ｃ８発明が解決しようとする課題 しかしながら、超音波モータは、過渡時における動作特
性が不安定であるという性質を有しており、また、その
モニタ電極の出力電圧も過渡時には不安定である。ここ
で、過渡時とは超音波モータの起動時、駆動中にその速
度を変化させた時、駆動中にその回転方向を切り換えた
時等である。

この過渡時に超音波モータを駆動制御する場合、モニタ
電極の出力電圧および出力電圧波形に基づいてその駆動
条件を制御すると超音波モータの動作が不安定になった
り、あるいは、起動しないという問題が発生する。

この過渡時における超音波モータの不安定現象の原因と
して以下のことが考えられる６第２図は超音波モータの
動作特性を示す図で、横軸は駆動周波数ｆ、縦軸は駆動
速度Ｎおよび駆動電極１００−４　ａに印加される駆動
電圧波形とモニタ電極の出力電圧波形との位相差φであ
り、図中のφ１．φ２はそれぞれの駆動方向における位
相差の特性をを示す、Ｗｌ動電極１００−４ｂの駆動電
圧波形を基準にして、駆動電極１００−４８の駆動電圧
波形の位相が一！ｃ／２だけ進む時の駆動方向を例えば
正転とし、位相差の特性がφｌで示されるとすれば、駆
動電極１００４ａの駆動電圧波形の位相がπ／２だけ遅
れる時は逆転となり、位相差の特性はφ２で示される。

また、図中のＦｌは超音波モータの共振周波数である。

超音波モータは駆動周波数ｆを変えることによりその駆
動速度を可変にできるが１通常、この駆動制御に用いら
れる周波数帯域は共振周波数Ｆ１より高い周波数で、そ
の帯域幅は共振周波数Ｆ１の１０〜１５％程度の狭いも
のである。図に示すように共振周波数Ｆ１付近およびそ
れ以下の周波数では。

わずかな周波数の変化で駆動速度が大きく変わり動作が
不安定である。これよりもさらに低い周波数では駆動制
御ができない。

また、駆動周波数帯域以上の周波数では、駆動方向が逆
転する等の不安定な現象が発生する。この駆動周波数に
起因する問題以外に、駆動電圧が変化した場合にも不゛
安定になることがある。さらに、超音波モータは駆動中
にその回転方向を切り換えた場合の過渡時に動作が不安
定になる。これは、回転方向によって超音波モータの動
作特性が異なることと、駆動電極に印加される駆動電圧
の位相を切り換えるために発生する過渡現象とに起因す
ると考えられる。

次に、過渡時におけるモニタ電極の出力電圧について説
明する。

第８図は、駆動電圧と駆動周波数とを一定として超音波
モータを起動した時のモニタ電極の出力電圧を示すタイ
ムチャートである。時刻ｔ１で駆動電極に駆動電圧を印
加して超音波モータを起動すると、モニタ電極の出力電
圧は徐々に増加していき、時刻ｔ２以後において一定の
電圧となる。

図に示すように起動直後の時刻ｔ１からｔ２までの期間
では、モニタ電極の出力電圧は過渡状態にあり、時刻ｔ
２以後の安定状態の電圧値とは異なる値となる。

また、駆動電極の粁動電圧波形とモニタ電極の出力電圧
波形との間の位相差においても起動時は過渡的に不安定
となり、特に起動直後は第８図に示されるようにモニタ
電極の出力電圧が小さいために位相差の検出に大きな誤
差を生じる。

このようなモニタ電極に発生する過渡現象の原因は停止
状態と駆動状態とで超音波モータの等価インピーダンス
が異なり、これに伴って共振周波数が変化することにあ
ると考えられる。また、別な原因として、超音波モータ
に駆動電圧を供給する電力増幅器にトランスを用いてい
る場合、あるいは駆動電極にコイルを接続している場合
には、駆動電圧が変化すると駆動電極の圧電素子の有す
る容量とトランスあるいはコイルのインダクタンスとの
間で過渡現象を発生することが考えられる。

このように不安定なモニタ電極の出力電圧に基づいて過
渡時の超音波モータの駆動制御を行なうと、駆動周波数
が、安定に動作する駆動周波数帯域内の周波数に設定さ
れず、上述した不安定な領域の駆動周波数となって、超
音波モータは不安定な動作をする。

本発明の技術的課題は、超音波モータの駆動条件を制御
して、過渡時においても安定に超音波モータを駆動する
ことにある。

０６課題を解決するための手段 一実施例を示す第１図に対応づけて本発明を説明すると
、本発明は、圧電体の励振により弾性体に進行性振動波
を発生する固定子と、加圧手段により固定子に加圧接触
され進行性振動波により駆動される移動子とから成る超
音波モータに用いられる駆動装置、特に、超音波モータ
が予め設定された駆動条件で駆動されるように超音波モ
ータの駆動信号を生成する定常時信号発生手段１４，１
５．１６．１７を有する超音波モータ駆動装置に適用さ
れる。

そして、超音波モータの過渡時に適した駆動信号を生成
する過渡時信号生成手段２３．３３と。

過渡時には過渡時信号生成手段２３．３３で生成した駆
動信号を超音波モータに印加し、定常時には定常時信号
生成手段１４，１５，１６，１’７で生成した駆動信号
を超音波モータに印加するように両信号生成手段を切り
換える切換手段２１，２２．３１．３２とを備えること
により、上記技術的課題を遠戚する。

過渡時を超音波モータの起動時とし、過渡時信号生成手
段２３は超音波モータの起動に適した駆動信号を生成す
るようにしたり、過渡時を超音波モータの運動方向の切
り換え時とし、過渡時信号生成手段３３は、この切り換
えに適した駆動信号を生成するようにしてもよい。

２９作用 超音波モータを駆動制御するに際して、定常時は、切換
手段２１，２２，３１．３２が、定常時信号生成手段１
４，１５，１６．１７によって予め設定された駆動条件
に基づいて生成される駆動信号を選択して、超音波モー
タを駆動制御する。

次に、超音波モータの起動時およびその能動方向切換時
は、切換手段２１．２２および３１，３２が、過渡時信
号生成手段２３．３３によって生成されたそれぞれの過
渡時に適した駆動信号を選択して、超音波モーダを駆動
制御する。

なお、本発明の詳細な説明する上記り項およびＥ項では
、本発明を分かり易くするために実施例の図を用いたが
、これにより本発明が実施例に限定されるものではない
。

Ｆ、実施例 第１図は、本発明の一実施例を示すブロック図である。

この実施例は、駆動電圧波形とモニタ電極の出力電圧波
形の位相差が、所定の位相差になるように駆動周波数を
制御する例である。すなわち、それぞれの駆動方向で駆
動電圧の位相差が例えば第２図に示すφ１１．φ１２と
なるように制御するものである。この場合、図示のごと
く駆動周波数はＦ２．［動速度はＮとなる。

１１．１２は波形整形器であり、それぞれ超音波モータ
の駆動電極１００−４ａ、モニタ電極１００−４ｄに接
続されて、超音波モータの駆動電圧波形およびモニタ電
極の出力電圧波形を必要な電圧レベルの方形波に波形整
形する。１３は位相比較器であり、波形整形器１１の出
力、すなわち超音波モータの駆動電極１００−４ａの駆
動電圧波形と、波形整形器１２の出力、すなわちモニタ
電極の出力電圧波形とを比較し位相差を検出して電圧値
として出力する。

第３図はこの位相比較器１３の特性を示す図で、これに
ついて説明する。

縦軸に位相比較器１３の出力電圧を、横軸に駆動電極１
００−４ａの駆動電圧波形を基準として、この電圧波形
とモニタ電極の出力電圧波形との位相差φをそれぞれ表
す。図中のφ１１．φ２１は。

上述した正転時および逆転時の位相差である。位相比較
器１３は位相差ψに応じて第３図に示すような特性の信
号を出力する。

１４．１５はそれぞれ上述の正転時および逆転時の基準
位相差φ１１．φ２１を設定する設定器であり、それら
の出力電圧は信号選択器（ＭＰＸ１）１６の入力端子Ａ
とＢに入力される。この信号選択器（ＭＰＸＩ）１６の
コントロール端子ＣＴＬへは方向入力の信号が接続され
、その信号のレベルがローレベルの時は入力端子Ａの設
定器上４により設定された基準位相差信号が、ハイレベ
ルの時は入力端子Ｂの設定器１５により設定された基準
位相差信号がそれぞれ選択される。１７は誤差増幅器で
、信号選択＠（ＭＰＸＩ）１６で選択された基準位相差
信号と位相比較器１３の出力電圧を比較しその差分を増
幅する。

信号選択器（ＭＰＸ２）２１は、そのコントロール端子
ＣＴＬの信号レベルがハイレベルのときに、入力端子Ｂ
に入力される誤差増幅器１７の出力電圧を選択し、ロー
レベルのときに、設定器２３により設定されて入力端子
Ａに入力される超音波モータ起動時の駆動信号を選択し
、後述の信号選択器（ＭＰＸ３）３１へ送出するもので
ある。

そのコントロール端子ＣＴＬには、モータ駐動時に起動
入力の信号がローレベルからハイレベルに変化した時に
一定時間Ｔ１だけその出力を遅延する遅延回路２２の出
力信号が接続されている。すなわち、起動時には一定時
間Ｔｌだけ設定器２３からの駆動信号を選択する。

信号選択器（ＭＰＸ３）３１は、そのコントロール端子
ＣＴＬへ入力されるタイマ３２からの信号のレベルに従
って、入力端子Ａの信号選択器（ＭＰＸ２）２１の出力
信号と、入力端子Ｂの設定器３３により設定される超音
波モータの駆動方向切換時の駆動信号とを選択して出力
する。

第４図（ａ）はタイマ３２の詳細な回路を、（ｂ）はそ
の動作のタイムチャートを示す。

タイマ３２は、バアファアンプ３４と、ＥＸ○Ｒゲート
３５と、抵抗器３６と、コンデンサ３７とによって構成
され、方向入力の信号はバアファアンプ３４の入力とＥ
ＸＯＲゲート３Ｓの入力とに並列に接続される。時刻ｔ
ｌｏで方向入力の信号がローレベルからハイレベルにな
ると、ＥＸ○Ｒゲート３５の入力の内バアファアンプ３
４を経由する方向入力信号は、抵抗器３６とコンデンサ
３７の遅延回路によって遅延され、（ａ）に示すａ点に
おける波形は（ｂ）のようになる。ＥＸ○Ｒゲート３５
は、その入力のいずれか一方がハイレベルの時だけ出力
をハイレベルにするものであるから、抵抗器３６とコン
デンサ３７により決められた時間Ｔ２だけ））イレベル
になる。同様に。

方向入力の信号がハイレベルからローレベルに変化する
時刻ｔｌｌにおいても、ＥＸＯＲゲート３５の出力は時
間Ｔ２だけハイレベルとなる。このようにタイマ３２は
方向入力の信号が変化する時の一定時間Ｔｌだけその出
力がハイレベルになるものである。

さらに第１図において、抵抗器４１とコンデンサ４２は
、信号選択器（ＭＰＸ３）３１の出力信号、すなわち超
音波モータの駆動信号を電圧制御発振器（以下＋　ＶＣ
Ｏと呼ぶ）４３へ入力する場合のローパスフィルタであ
る。ＶＣＯ４３は入力信号の電圧レベルに比例した周波
数の信号を出力するものである。なお、この周波数は後
述のＤフリップフロップ５１．５２よって１／４に分周
されるので、所定の周波数の４倍に設定されている。

Ｄフリップフロップ５１．５２は、ＶＣＯ４３の周波信
号をクロック入力端子ＣＫへ入力し、その周波数を１／
４に分周するように構成され−る。

Ｄフリップフロップ５１の出力は電力増幅器６１と誘導
性素子７１とを介して駆動電極１００−４ａに接続され
る。また、Ｄフリップフロップ５２の出力はＥＸＯＲゲ
ート５３の一方の入力端子に接続される。ＥＸＯＲゲー
ト５３の他方の入力端子には方向入力の信号が接続され
、その出力は電力増幅器６２と誘導性素子７２とを介し
て駆動電極１００−４ｂに接続される。

方向入力の信号がローレベルの時には、Ｄフリップフロ
ップ５２の出力がそのまま電力増幅器６２で増幅されて
能動電極１００−４ｂに印加されるので、駆動電極１０
０−４ａの駆動電圧波形は駆動電極１００−４ｂの駆動
電圧波形に対してπ／２だけ位相が進む。逆に、方向入
力の信号がハイレベルの時にはＥＸＯＲゲート５３によ
ってＤフリップフロップ５２の出力が反転されるので、
駆動電極１００−４ａの駆動電圧波形は駆動電極１００
−４ｂの駆動電圧波形に対してπ／２だけ位相が遅れる
。なお、電力増幅器６１．６２は起動入力信号がハイレ
ベルの時だけ出力を発生させる。

このように構成される超音波モータの駆動装置の動作を
説明する。

まず、超音波モータを起動する場合は、起動入力の信号
が遅延回路２２へ入力される。遅延回路２２はこの起動
信号を一定時間Ｔｌだけ遅延させるので、その間、信号
選択器（ＭＰＸ２）２１の入力Ａ、すなわち、起動時の
駆動条件を設定する設定器２３の設定電圧が選択される
。そして、起動時に信号選択器（ＭＰＸ３）３１のコン
トロール端子ＣＴＬはローレベルでありこの信号選択器
（ＭＰＸ３）３１はＡ入力を選択している。その結果、
設定器２３の設定電圧信号は信号選択器（ＭＰＸ３）３
１とローパスフィルタ（抵抗器４１とコンデンサ４２）
とを介してＶＣＯ４３に入力される。

ＶＣＯ４３はこの電圧信号に相当する周波信号を発生し
てＤフリップフロップ５１．５２へ送出する。この周波
信号はＤフリップフロップ５１゜５２によって１／４に
分周され、さらに、ＥＸＯＲゲート５３を経て相互にπ
／２の位相差を有する２つの周波信号が生成される。こ
れらの周波信号は電力増幅器６１．６２によって増幅さ
れ、それぞれ誘導性素子７１．７２を介して駆動電極１
００−４ａ、１００−４ｂに印加される。

ここで、方向入力の信号がローレベルの時の駆動方向を
例えば正転とすれば、上述したように、駆動電極１００
−４ａに印加される駆動電圧波形は駆動電極１００−４
ｂの開動電圧波形よりもその位相においてπ／２だけ進
む。

このようにして、設定器２３により設定された最適な起
動時の駆動条件で超音波モータが起動される。遅延回路
２２の遅延時間Ｔ１が経過すると遅延回路出力はハイレ
ベルとなり、信号選択器（ＭＰＸ２）２１は人力Ｂ、す
なわち誤差増幅器１７からの信号を選択する。つまり、
この時点から超音波モータは定常運転に移行する。

次に、超音波モータの定常時の動作を説明する。

定常時は、駆動電極１００−４ａの出力電圧波形（波形
整形器１１の“出力）を基準としたモニタ電極１００−
４ｄの出力電圧波形（波形整形器上２の出力）との位相
差φが２位相比較器１３によって算出され、この信号が
誤差増幅器１７に入力される。誤差増幅器１７の他方の
入力端子には信号選択器（ＭＰＸＩ）１６からの信号が
入力されていて、信号選択器（ＭＰＸＩ）１６のコント
ロール端子ＣＴＬに入力される方向入力の信号がローレ
ベルの時、すなわち正転時は、設定器！４で設定された
基準位相差φ１１の信号が選択され、逆転時は設定器１
５で設定された基準位相差φ２１の信号が選択される。

したがって誤差増幅器１７は、位相比較器１３から印加
される回転中の超音波モータの位相差に相当する電圧と
、基準位相差設定器１４または１５によって設定された
設定電圧との差を出力する。

そして、定常時は、信号選択器（ＭＰＸ２）２１は入力
Ｂを、信号選択器（ＭＰＸ３）３１は入力Ａを選択して
いるので、誤差増幅器１７の出力はローパスフルタ（抵
抗器４１およびコンデ゛ンサ４２）を介して■Ｃ○４３
へ入力される。この信号は上述した手順と同様にＶＣＯ
４３で周波信号に変換され、Ｄフリップフロップ５１．
５２で１／４に分周される。Ｄフリップフロップ５１，
５２の出力はＥＸＯＲゲート５３によって相互に冗／２
の位相差を有する２つの周波信号に変換され、それぞれ
電力増幅器６１．６２と誘導性素子７１゜７２とを介し
て駆動電極１ｏ○−４ａ、１００−４ｂに印加される。

定常時は以上のようなフィードバックループで超音波モ
ータが駆動制御されるので、運転中の位相差が基準位相
差に等しくなるように制御される。

なお、逆転定常運転時は、設定器１５によって設定され
た基準位相差信号が選択されること以外、上述の正転時
と同様に動作するので説明を省略する。

次に、方向入力を切り換えた場合について説明する。い
ま、例えば超音波モータの能動方向が正転であり定常運
転をしているとする。方向入力の信号レベルがハイレベ
ルになって逆転の指令が信号選択器１６．３１およびＥ
ＸＯＲゲート５３へ入力すると、まず、タイマ３２の出
力はハイレベルになり、信号選択器（ＭＰＸ３）３１は
入力Ｂを選択する。つまり、駆動方向切換時の過渡時に
最適な駆動条件を設定する設定器３３の設定電圧が選択
される。この信号は時間Ｔ２の間だけローパスフィルタ
（抵抗器４１．コンデンサ４２）を介してＶＣＯ４３へ
送出され、以後この信号に従って上述した手順と同様に
超音波モータが駆動される。Ｔ２時間後、タイマ３２の
出力はローレベルに戻り、信号選択器（ＭＰＸ３）３１
は入力Ａを選択する。既に、方向入力の信号がハイレベ
ルになった時点で逆転時の設定器１５が信号選択器（Ｍ
ＰＸＩ）１６で選択されているので、この設定器１５に
よって設定された電圧と位相比較器１３の出力電圧との
差に基づいて超音波モータが駆動制御される。

次に、方向入力の信号がハイレベルからローレベルに反
転すると、信号選択器（ＭＰＸＩ）’１６は設定器１４
の電圧信号を選択し、さらに、タイマ３２の出力がハイ
レベルになるので、信号選択器（ＭＰＸ３）３１は設定
器３３で設定された電圧信号を選択し、この駆動方向切
換時に最適な駆動条件に基づいて超音波モータが駆動制
御される。

Ｔ２時間後、タイマ３２の出力が再びローレベルに戻る
と、信号選択器（ＭＰＸ３）３１は入力Ａを選択し、正
転時の基準位相差φｌ】を設定する設定器１４の電圧信
号に基づいて超音波モータは上述の如く駆動制御される
。

以上述べたように、起動時は遅延回路２２の遅延時間Ｔ
１の間だけ、定常時の位相差の制御信号に基づいて超音
波モータを駆動制御することを禁止し、設定器２３によ
って設定された超音波モータを最適に起動する駆動条件
信号に基づいて駆動制御することにより、起動時の不安
定なモニタ電極の出力電圧に影響されることなく安定に
超音波モータを起動することができる。

また、駆動方向切換時も同様に、タイマ３２で設定され
る時間Ｔ２だけ定常時の位相差の制御信号に基づいて超
音波モータを駆動制御することを禁止し、設定器３３に
よって設定された超音波モータを最適に逆転する駆動条
件信号に基づいて駆動制御することにより、安定して超
音波モータの駆動方向を切り換えることができる。

なお、本実施例では起動時および駆動方向切換時に、設
定器２３．３３によってそれぞれ最適な駆動条件を固定
値として設定するようにしたが。

固定した駆動条件に基づいて制御する必要はなく、例え
ば設定器２３．３３の設定電圧を高電圧から低電圧に制
御することにより、駆動周波数を高周波から低周波へと
変化させてもよい。

また、起動時の駆動条件と方向転換時の能動条件がほぼ
一致するような場合には、第８図に示すように、タイマ
３２、信号選択器（ＭＰＸ３）３１、設定器３３を省略
し、遅延回路２２をタイマ３２によって置き換え、さら
に、このタイマ３２へＯＲゲート２４を介して起動入力
と並列に方向入力を接続することによって、設定器２３
を起動時、駆動方向切換時の両方に併用してもよい。

また、方向切り換え時に一定時間超音波モータを停止し
、その後起動するようにしてもよい。この場合は、再起
動した時点から上述の起動時の駆動条件により超音波モ
ータを駆動制御する。

さらに、以上説明した実施例では、超音波モータの駆動
周波数を制御して所望の速度値を得る例を示したが、駆
動電圧を制御して所望の速度値を得る場合についても本
発明を適用できる他、リニア型超音波モータにも同様に
適用できる。

以上の実施例の構成において、設定器１４，１５と、信
号選択器（ＭＰＸＩ）１６と、誤差増幅器１７とが定常
時信号生成手段を、設定器２３゜３３が過渡時信号生成
手段を、信号選択器２１゜３１と５遅延回路２２と、タ
イマ３２とが切換手段をそれぞれ構成する。

Ｇ０発明の詳細 な説明したように本発明によれば、過渡時は、超音波モ
ータを最適に駆動制御する駆動信号を生威し、切換回路
によって定常時の駆動信号からこの過渡時の駆動信号に
切り換えて駆動制御するので、超音波モータを安定に駆
動することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
超音波モータの動作特性を示す図、第３図は位相比較器
の出力電圧特性を示す図、第４図（ａ）、（ｂ）はタイ
マの詳細回路図とその動作を示すタイムチャート、第５
図は第１図に示す実施例の変形例を示すブロック図、第
６図は回転式超音波モータの概略構成を示す断面図、第
７図は圧電体から見た超音波モータの平面図、第８図は
超音波モータのモニタ電極の出力電圧特性を示す図であ
る。 １１．１２：波形整形器　　１３：位相比較器１４．１
５，２３，３３：設定器 １６．２１，３１　：信号選択器 エフ：誤差増幅器　　　　　２２：遅延回路３２：タイ
マ　　　　　　　４１：抵抗器４２：コンデンサ ４３：電圧制御発振器（ＶＣＯ） ５１．５２：Ｄフリップフロップ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）圧電体の励振により弾性体に進行性振動波を発生す
   る固定子と、加圧手段により前記固定子に加圧接触され
   前記進行性振動波により駆動される移動子とから成る超
   音波モータの駆動装置であって、前記超音波モータが予
   め設定された駆動条件で駆動されるように前記超音波モ
   ータの駆動信号を生成する定常時信号生成手段を有する
   超音波モータ駆動装置において、 前記超音波モータの過渡時に適した駆動信号を生成する
   過渡時信号生成手段と、 過渡時には前記過渡時信号生成手段で生成した駆動信号
   を超音波モータに印加し、定常時には前記定常時信号生
   成手段で生成した駆動信号を超音波モータに印加するよ
   うに前記両信号生成手段を切り換える切換手段とを具備
   すること特徴とする超音波モータの駆動装置。 ２）請求項１に記載の超音波モータの駆動装置において
   、 前記過渡時は超音波モータの起動時であり、前記過渡時
   信号生成手段は、超音波モータの起動に適した駆動信号
   を生成することを特徴とする超音波モータの駆動装置。 ３）請求項１に記載の超音波モータの駆動装置において
   、前記過渡時は超音波モータの運動方向の切換え時であ
   り、前記過渡時信号生成手段は、この切り換えに適した
   駆動信号を生成することを特徴とする超音波モータの駆
   動装置。