JPH032623B2 - - Google Patents
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- JPH032623B2 JPH032623B2 JP60232107A JP23210785A JPH032623B2 JP H032623 B2 JPH032623 B2 JP H032623B2 JP 60232107 A JP60232107 A JP 60232107A JP 23210785 A JP23210785 A JP 23210785A JP H032623 B2 JPH032623 B2 JP H032623B2
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- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 35
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 21
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 10
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000012840 feeding operation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D3/00—Control of position or direction
- G05D3/12—Control of position or direction using feedback
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
- G05B19/19—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path
- G05B19/39—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using a combination of the means covered by at least two of the preceding groups G05B19/21, G05B19/27 and G05B19/33
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Control Of Position Or Direction (AREA)
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- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
- Machine Tool Positioning Apparatuses (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、実位置を検出してフイードツク制御
を行う位置制御装置に関し、例えば工作機械のテ
ーブル位置制御等に用いられる装置に関する。
を行う位置制御装置に関し、例えば工作機械のテ
ーブル位置制御等に用いられる装置に関する。
従来、工作機械のテーブル等の被駆動部材を位
置制御する際には、フイードツク制御を行うため
に相対変位を検出する手段として増分型検出器が
用いられている。
置制御する際には、フイードツク制御を行うため
に相対変位を検出する手段として増分型検出器が
用いられている。
例えば、第3図に示す装置においては、テーブ
ル21をボールねじ22を介して図中左右方向へ
移動させるモータ23に増分型位置検出器24が
連結されている。増分型位置検出器24にはテー
ブル21の現在位置を記憶する検出位置レジスタ
25が接続され、電源投入時においては原点復帰
動作に伴なつて0等の原点位置が設定されるとと
もに、動作時にはテーブル21の移動に伴なつて
位置検出器24から逐次出力される変位量データ
が元の値に加算され、現在の実位置を示す検出位
置として再び記憶される。
ル21をボールねじ22を介して図中左右方向へ
移動させるモータ23に増分型位置検出器24が
連結されている。増分型位置検出器24にはテー
ブル21の現在位置を記憶する検出位置レジスタ
25が接続され、電源投入時においては原点復帰
動作に伴なつて0等の原点位置が設定されるとと
もに、動作時にはテーブル21の移動に伴なつて
位置検出器24から逐次出力される変位量データ
が元の値に加算され、現在の実位置を示す検出位
置として再び記憶される。
一方、指令位置レジスタ26には外部のNC装
置等によつて各動作時点での移動目標位置が設定
される。ここで、NC装置等から入力される指令
が位置データである場合には単純な置き換え更新
が行われることになるが、指令が相対的な移動量
である場合、送られた移動量は指令位置レジスタ
26に記憶された元の値に加算され、新たな指令
位置として再び記憶される。そして、検出位置レ
ジスタ25に保持された検出位置と、指出位置レ
ジスタ26に保持された指令位置との差が減算部
27で求められ、この差を減少させるように速度
制御装置28を通じて前記モータ23が動作さ
れ、テーブル21の駆動が行われる。
置等によつて各動作時点での移動目標位置が設定
される。ここで、NC装置等から入力される指令
が位置データである場合には単純な置き換え更新
が行われることになるが、指令が相対的な移動量
である場合、送られた移動量は指令位置レジスタ
26に記憶された元の値に加算され、新たな指令
位置として再び記憶される。そして、検出位置レ
ジスタ25に保持された検出位置と、指出位置レ
ジスタ26に保持された指令位置との差が減算部
27で求められ、この差を減少させるように速度
制御装置28を通じて前記モータ23が動作さ
れ、テーブル21の駆動が行われる。
ところで、前述した装置においては、フイード
バツク用のテーブル21の位置検出がモータ23
に設けた位置検出器24により間接的に行われて
いる。このため、ボールねじ22の機械的な誤差
や位置検出器24の精度に起因する誤差によつ
て、テーブル21の実際の位置と検出位置とが必
ずしも一致しないことがあり、テーブル21を指
令位置が示す所期の位置に正確に移動させること
ができないという問題がある。
バツク用のテーブル21の位置検出がモータ23
に設けた位置検出器24により間接的に行われて
いる。このため、ボールねじ22の機械的な誤差
や位置検出器24の精度に起因する誤差によつ
て、テーブル21の実際の位置と検出位置とが必
ずしも一致しないことがあり、テーブル21を指
令位置が示す所期の位置に正確に移動させること
ができないという問題がある。
このような問題に対し、変換テーブルや関数と
して指令位置または検出位置に対応した補正値を
与える誤差補正装置29が利用されている。各補
正値は別途高精度の測定器等によりテーブル21
の実位置と検出位置との誤差を測定して設定され
ており、動作にあたつて現在の指令位置または検
出位置に対応する補正値を加えることでテーブル
21の実位置と検出位置との誤差が相殺され、テ
ーブル21は指令位置が示す位置に正確に移動さ
せることになる。
して指令位置または検出位置に対応した補正値を
与える誤差補正装置29が利用されている。各補
正値は別途高精度の測定器等によりテーブル21
の実位置と検出位置との誤差を測定して設定され
ており、動作にあたつて現在の指令位置または検
出位置に対応する補正値を加えることでテーブル
21の実位置と検出位置との誤差が相殺され、テ
ーブル21は指令位置が示す位置に正確に移動さ
せることになる。
一方、増分型位置検出器を用いた従来の装置に
おいて、増分型検出器で検出されるのは相対的な
変位量データであり、絶対位置データを得るため
には基準となる絶対位置が必要である。ところ
が、各レジスタ25,26の内容は一旦電源を切
ると消えてしまい、電源投入直後においては基準
となる値が不定または未定となる。このため、電
源投入直後には、テーブル1を移動限度等の機械
的に定まる原点まで移動させる等の原点復帰動作
を行い、この状態で原点に対して所定の初期位置
(0等)を検出位置レジスタ25および指令位置
レジスタ26に設定するという初期化作業が行わ
れている。
おいて、増分型検出器で検出されるのは相対的な
変位量データであり、絶対位置データを得るため
には基準となる絶対位置が必要である。ところ
が、各レジスタ25,26の内容は一旦電源を切
ると消えてしまい、電源投入直後においては基準
となる値が不定または未定となる。このため、電
源投入直後には、テーブル1を移動限度等の機械
的に定まる原点まで移動させる等の原点復帰動作
を行い、この状態で原点に対して所定の初期位置
(0等)を検出位置レジスタ25および指令位置
レジスタ26に設定するという初期化作業が行わ
れている。
しかし、テーブル21等の機械的な移動を伴う
原点復帰動作は時間がかかるものであり、特に、
位置フイードバツクが使用できない状態での移動
となることから高速動作が難しく、電源投入時の
作業能率を向上できないという欠点があつた。
原点復帰動作は時間がかかるものであり、特に、
位置フイードバツクが使用できない状態での移動
となることから高速動作が難しく、電源投入時の
作業能率を向上できないという欠点があつた。
本発明の目的は、電源投入時の原点復帰動作を
省略するとともに、高い位置精度が得られる位置
制御装置を提供することにある。
省略するとともに、高い位置精度が得られる位置
制御装置を提供することにある。
本発明においては、位置検出に絶対位置検出器
を採用し、電源投入直後から絶対位置が直接得ら
れるようにすることで、従来の検出位置のような
基準となる値を確保する必要をなくし、これによ
り電源投入毎の原点復帰動作を省略する。
を採用し、電源投入直後から絶対位置が直接得ら
れるようにすることで、従来の検出位置のような
基準となる値を確保する必要をなくし、これによ
り電源投入毎の原点復帰動作を省略する。
ここで、指令位置が指令位置レジスタに加算さ
れる相対移動量で加減更新されるものでは、指令
位置レジスタに基準となる値が設定されている必
要がある。この際、指令位置レジスタを不揮発メ
モリ等として電源切断時の指令位置を継続保持す
ることも考えられるが、電源切断状態の間に送り
機構等が人為的に移動された場合など、記憶され
た指令位置が実際の位置とが整合しなくなる可能
性がある。本発明では、これらの点を考慮し、電
源投入時に絶対位置検出器の検出位置によつて指
令位置レジスタの初期設定を行い、これにより実
位置に整合した指令位置を確保する。
れる相対移動量で加減更新されるものでは、指令
位置レジスタに基準となる値が設定されている必
要がある。この際、指令位置レジスタを不揮発メ
モリ等として電源切断時の指令位置を継続保持す
ることも考えられるが、電源切断状態の間に送り
機構等が人為的に移動された場合など、記憶され
た指令位置が実際の位置とが整合しなくなる可能
性がある。本発明では、これらの点を考慮し、電
源投入時に絶対位置検出器の検出位置によつて指
令位置レジスタの初期設定を行い、これにより実
位置に整合した指令位置を確保する。
さらに、指令位置レジスタの初期設定にあたつ
て、検出位置の続み取りが機構部分の任意の位置
で行われ、各位置毎の誤差等までが読み込まれる
可能性を考慮し、絶対位置検出器で得た検出位置
を誤差補正装置で補正することにより初期設定さ
れる指令位置の精度を確保する。
て、検出位置の続み取りが機構部分の任意の位置
で行われ、各位置毎の誤差等までが読み込まれる
可能性を考慮し、絶対位置検出器で得た検出位置
を誤差補正装置で補正することにより初期設定さ
れる指令位置の精度を確保する。
一方、検出器自体の位置精度を考慮すると、絶
対型位置検出器は増分型位置検出器に比べて十分
な精度のものが得られていないことが現状である
ため、被駆動部材の移動範囲をカバーする直線型
絶対位置検出器に分解能の高いレゾルバを併用す
ることにより、直線型で移動範囲に対応した絶対
位置を検出するとともに、レゾルバによつて微小
桁部分を精度的に補償できるようにし、これによ
り絶対位置を高精度に検出できるようにする。
対型位置検出器は増分型位置検出器に比べて十分
な精度のものが得られていないことが現状である
ため、被駆動部材の移動範囲をカバーする直線型
絶対位置検出器に分解能の高いレゾルバを併用す
ることにより、直線型で移動範囲に対応した絶対
位置を検出するとともに、レゾルバによつて微小
桁部分を精度的に補償できるようにし、これによ
り絶対位置を高精度に検出できるようにする。
本発明は、これらにより前記目的を達成しよう
とするものである。
とするものである。
〔実施例〕
本発明の一実施例として、NC工作機械のテー
ブル位置決め制御に適用した例を図面を用いて説
明する。
ブル位置決め制御に適用した例を図面を用いて説
明する。
第1図において、駆動源であるモータ3に結ば
れた動力伝動力伝達装置としてのボールねじ2に
は、その回転に伴い図中左右方向へ移動可能に構
成された被駆動部材としてのテーブル1が螺合さ
れている。テーブル1の移動範囲に沿つてテーブ
ル1の位置を一意に測定可能な直線型位置検出器
11が設けられているとともに、モータ3にその
モータ3の主軸の回転角すなわちボールねじ2の
回転角からテーブル1の移動範囲内での位置を一
意ではないが精密に測定可能なレゾルバ4が連結
されている。レゾルバ4および直線型位置検出器
11で検出された検出データは、位置検出装置1
2へ送られ、そこでテーブル1の絶対位置が算出
される。位置演算装置12で算出された絶対位置
は、検出位置レジスタ5に転送された後、加算部
10において誤差補正装置9から与えられる補正
値で補正される。
れた動力伝動力伝達装置としてのボールねじ2に
は、その回転に伴い図中左右方向へ移動可能に構
成された被駆動部材としてのテーブル1が螺合さ
れている。テーブル1の移動範囲に沿つてテーブ
ル1の位置を一意に測定可能な直線型位置検出器
11が設けられているとともに、モータ3にその
モータ3の主軸の回転角すなわちボールねじ2の
回転角からテーブル1の移動範囲内での位置を一
意ではないが精密に測定可能なレゾルバ4が連結
されている。レゾルバ4および直線型位置検出器
11で検出された検出データは、位置検出装置1
2へ送られ、そこでテーブル1の絶対位置が算出
される。位置演算装置12で算出された絶対位置
は、検出位置レジスタ5に転送された後、加算部
10において誤差補正装置9から与えられる補正
値で補正される。
誤差補正装置9には、予め前記テーブル1が移
動範囲内の任意の位置にあるときの前記検出位置
レジスタ5による検出位置と、別の高精度の測定
器による実測位置との比較により得られた誤差デ
ータとが、運転時の任意の検出位置に対応するテ
ーブル1の正確な位置に補正することが可能なよ
うに、変換テーブルあるいは関数による近似とし
て内蔵されている。そして前記検出位置レジスタ
5からの検出位置に対応する誤差データが前記加
算部10へ送られ、そこで検出位置と加算され
る。加算部10の結果は、減算部7において、指
令位置レジスタ6の指令位置と減算されるととも
に、電源投入時のみ指令位置レジスタ6に転送さ
れる。減算部7の結果、つまり指令位置と検出位
置との差は、速度制御置8へ送られ、モータ3を
駆動させる。なお、前述した検出位置レジスタ
5、指令位置レジスタ6、減算部7および速度制
御装置8によりモータ3を制御する動作制御手段
が構成されている。
動範囲内の任意の位置にあるときの前記検出位置
レジスタ5による検出位置と、別の高精度の測定
器による実測位置との比較により得られた誤差デ
ータとが、運転時の任意の検出位置に対応するテ
ーブル1の正確な位置に補正することが可能なよ
うに、変換テーブルあるいは関数による近似とし
て内蔵されている。そして前記検出位置レジスタ
5からの検出位置に対応する誤差データが前記加
算部10へ送られ、そこで検出位置と加算され
る。加算部10の結果は、減算部7において、指
令位置レジスタ6の指令位置と減算されるととも
に、電源投入時のみ指令位置レジスタ6に転送さ
れる。減算部7の結果、つまり指令位置と検出位
置との差は、速度制御置8へ送られ、モータ3を
駆動させる。なお、前述した検出位置レジスタ
5、指令位置レジスタ6、減算部7および速度制
御装置8によりモータ3を制御する動作制御手段
が構成されている。
以上のように構成された装置においては、電源
投入があると、初期状態のテーブル1の絶対位置
は、直線型位置検出器11とレゾルバ4から検出
される検出データをもとに位置演算装置12で算
出される。位置演算装置12で算出された絶対検
出位置は、検出位置レジスタ5に転送された後、
加算部10において、関数による近似を用いた関
数型の誤差補正装置9で補正され、指令位置レジ
スタ6に転送される。従つて、指令位置レジスタ
6には、電源投入時にテーブル1の実際の位置に
対応した正確な初期値が設定される。
投入があると、初期状態のテーブル1の絶対位置
は、直線型位置検出器11とレゾルバ4から検出
される検出データをもとに位置演算装置12で算
出される。位置演算装置12で算出された絶対検
出位置は、検出位置レジスタ5に転送された後、
加算部10において、関数による近似を用いた関
数型の誤差補正装置9で補正され、指令位置レジ
スタ6に転送される。従つて、指令位置レジスタ
6には、電源投入時にテーブル1の実際の位置に
対応した正確な初期値が設定される。
ここで、NC装置から移動指令があると、その
移動指令により指令位置レジスタ6が書きかえら
れる。その結果、前記指令位置レジスタ6内の指
令位置と、検出位置レジスタ5内の現在位置に補
正を加えた値との差によつてモータ3が動作され
る。これにより、ボールねじ2を介してテーブル
1が駆動される。このとき、移動中のテーブル1
の位置は直線型位置検出器11およびレゾルバ4
により検出され、位置演算位置5において絶対位
置として算出され、誤差補正装置9によりテーブ
ル1の正確な絶対位置に補正された後、前記指令
位置と比較されるので、テーブル1を指令位置へ
正確に駆動する。
移動指令により指令位置レジスタ6が書きかえら
れる。その結果、前記指令位置レジスタ6内の指
令位置と、検出位置レジスタ5内の現在位置に補
正を加えた値との差によつてモータ3が動作され
る。これにより、ボールねじ2を介してテーブル
1が駆動される。このとき、移動中のテーブル1
の位置は直線型位置検出器11およびレゾルバ4
により検出され、位置演算位置5において絶対位
置として算出され、誤差補正装置9によりテーブ
ル1の正確な絶対位置に補正された後、前記指令
位置と比較されるので、テーブル1を指令位置へ
正確に駆動する。
以上のような動作を行う本実施例によれば、絶
対型位置検出器である直線型位置検出器11に加
えて精度補償用のレゾルバ4を併用するため、検
出装置の上位桁を直線型位置検出器11によるテ
ーブル1に対応した絶対型出力とし、かつ下位桁
をレゾルバ4の高分解能により補償することがで
き、絶対型出力でありながら精度の高い位置検出
を行うことができる。
対型位置検出器である直線型位置検出器11に加
えて精度補償用のレゾルバ4を併用するため、検
出装置の上位桁を直線型位置検出器11によるテ
ーブル1に対応した絶対型出力とし、かつ下位桁
をレゾルバ4の高分解能により補償することがで
き、絶対型出力でありながら精度の高い位置検出
を行うことができる。
また、絶対型位置検出を行うため、電源投入直
後のテーブル1の原点復帰動作を省略でき、従来
の増分型に比べて作業能率を大幅に向上すること
ができる。
後のテーブル1の原点復帰動作を省略でき、従来
の増分型に比べて作業能率を大幅に向上すること
ができる。
さらに、電源投入直後にテーブル1の初期位置
を各レジスタ5,6に書き込むことで原点復帰動
作を省略しても所定の位置制御ないし送り動作を
何ら問題なく行うことができる。
を各レジスタ5,6に書き込むことで原点復帰動
作を省略しても所定の位置制御ないし送り動作を
何ら問題なく行うことができる。
特に、電源投入時に誤差補正装置9で補正した
検出位置を指令位置レジスタ6に初期設定するこ
とで、基準となる指令位置の精度を確保すること
ができ、制御にあたつての精度低下を未然に回避
できる。
検出位置を指令位置レジスタ6に初期設定するこ
とで、基準となる指令位置の精度を確保すること
ができ、制御にあたつての精度低下を未然に回避
できる。
そして、実際の動作にあたつては処理速度の速
い関数型の誤差補正装置9により補正を行うこと
ができる。従つて、本実施例によれば、高精度か
つ高速にテーブル1を指令位置へ駆動することが
できる。
い関数型の誤差補正装置9により補正を行うこと
ができる。従つて、本実施例によれば、高精度か
つ高速にテーブル1を指令位置へ駆動することが
できる。
なお、前記実施例では、検出位置を基準とする
誤差補正装置9を用いたが、第2図に示す本発明
の他の実施例においては、指令位置を基準とする
誤差補正装置9と逆変換装置9Aを用いる。すな
わち誤差補正装置9は指令位置レジスタ6に接続
され、さらに前記実施例では直接指令位置レジス
タ6に接続されていた検出位置レジスタ5との接
続は前記誤差補正装置9に並設された逆変換装置
9Aに接続されている。
誤差補正装置9を用いたが、第2図に示す本発明
の他の実施例においては、指令位置を基準とする
誤差補正装置9と逆変換装置9Aを用いる。すな
わち誤差補正装置9は指令位置レジスタ6に接続
され、さらに前記実施例では直接指令位置レジス
タ6に接続されていた検出位置レジスタ5との接
続は前記誤差補正装置9に並設された逆変換装置
9Aに接続されている。
このような構成において、電源投入があると前
記実施例と同様に、直線型位置検出器11とレゾ
ルバ4とからの検出データをもとに位置演算装置
12が絶対位置を算出するが、本実施例において
はこの値はそのまま検出位置レジスタ5に書き込
まれ、さらに指令位置レジスタ6および逆変換装
置9Aへ転送される。このとき、逆変換装置9A
は、ある値が誤差補正装置9による補正を受けた
場合に前記検出位置になるという前記ある値を求
めるものであり、電源投入時に指令位置レジスタ
6に転送される前記検出位置を補正する。ここ
で、NC装置からの移動指令があつた場合、移動
指令に基づき指令位置レジスタ6を書換えるとと
もに、指令位置レジスタ6の内容に基づき動作を
開始し、前記誤差補正装置9で補正した指令位置
と検出位置とが等しくなるまで検出および駆動を
繰り返しすることにより、テーブル1を指令位置
へ正確に駆動する。
記実施例と同様に、直線型位置検出器11とレゾ
ルバ4とからの検出データをもとに位置演算装置
12が絶対位置を算出するが、本実施例において
はこの値はそのまま検出位置レジスタ5に書き込
まれ、さらに指令位置レジスタ6および逆変換装
置9Aへ転送される。このとき、逆変換装置9A
は、ある値が誤差補正装置9による補正を受けた
場合に前記検出位置になるという前記ある値を求
めるものであり、電源投入時に指令位置レジスタ
6に転送される前記検出位置を補正する。ここ
で、NC装置からの移動指令があつた場合、移動
指令に基づき指令位置レジスタ6を書換えるとと
もに、指令位置レジスタ6の内容に基づき動作を
開始し、前記誤差補正装置9で補正した指令位置
と検出位置とが等しくなるまで検出および駆動を
繰り返しすることにより、テーブル1を指令位置
へ正確に駆動する。
本実施例においては、指令位置を基準に誤差補
正を行うため、電源投入時に、指令位置レジスタ
6の設定を行う際、逆変換装置9Aにより誤差補
正装置9の逆変換を行い、通常動作時とは別の補
正をする必要があり、前記実施例に比較して構造
が複雑になる。しかし、テーブル1の原点復帰動
作の省略をはじめとする前記実施例の効果は全て
同様であるうえ、誤差補正装置9による補正動作
は間歇的に指令位置が与えられた際にその都度行
えばよいことになる。このため、テーブル1の位
置検出ループ内にある場合のようにテーブル1の
移動に伴なつて時々変化する検出位置に対して頻
繁に演算を行う必要がなく、位置検出ループにお
けるオーバーヘツドを低減でき、従つて前記実施
例よりもさらに高速に動作できるという効果があ
る。
正を行うため、電源投入時に、指令位置レジスタ
6の設定を行う際、逆変換装置9Aにより誤差補
正装置9の逆変換を行い、通常動作時とは別の補
正をする必要があり、前記実施例に比較して構造
が複雑になる。しかし、テーブル1の原点復帰動
作の省略をはじめとする前記実施例の効果は全て
同様であるうえ、誤差補正装置9による補正動作
は間歇的に指令位置が与えられた際にその都度行
えばよいことになる。このため、テーブル1の位
置検出ループ内にある場合のようにテーブル1の
移動に伴なつて時々変化する検出位置に対して頻
繁に演算を行う必要がなく、位置検出ループにお
けるオーバーヘツドを低減でき、従つて前記実施
例よりもさらに高速に動作できるという効果があ
る。
前述の2つの実施例において、位置検出器とし
ては、直線型位置検出器11とレゾルバ4の組み
合わせを用いたが、本発明はこれに限定されるも
のではなく、レゾルバ4に代えてインダクトシ
ン、マグネスケールあるいは絶対型エンコーダを
用いてもよく、要するに基本となる絶対型位置検
出器に補助的な高精度の検出器を組み合わせると
いうことである。
ては、直線型位置検出器11とレゾルバ4の組み
合わせを用いたが、本発明はこれに限定されるも
のではなく、レゾルバ4に代えてインダクトシ
ン、マグネスケールあるいは絶対型エンコーダを
用いてもよく、要するに基本となる絶対型位置検
出器に補助的な高精度の検出器を組み合わせると
いうことである。
このような補助的な検出器としては、微小値を
高精度に検出できるように、なるべくテーブル1
の移動に対して変位量が大きくなる部分に配置す
ることが望ましく、前記実施例のように駆動用の
モータ3の主軸の回転角検出などを行うものとす
ることが望ましい。
高精度に検出できるように、なるべくテーブル1
の移動に対して変位量が大きくなる部分に配置す
ることが望ましく、前記実施例のように駆動用の
モータ3の主軸の回転角検出などを行うものとす
ることが望ましい。
また、基本となる絶対型検出器としては、必ず
しも直線型位置検出器11に限られるものではな
く、高精度の絶対型エンコーダをモータ3に単独
で配してもよく、要するに絶対型の位置検出が可
能であればよいが、テーブル1等の被駆動部材の
位置に一対一で確実に対応できるように前記実施
例のような移動範囲全体をカバーする直線型であ
ることが望ましい。
しも直線型位置検出器11に限られるものではな
く、高精度の絶対型エンコーダをモータ3に単独
で配してもよく、要するに絶対型の位置検出が可
能であればよいが、テーブル1等の被駆動部材の
位置に一対一で確実に対応できるように前記実施
例のような移動範囲全体をカバーする直線型であ
ることが望ましい。
一方、誤差補正装置9として関数により近似的
に補正を行う関数型を用いたが変換テーブル型を
用いれば、処理が複雑になるため処理速度が低下
するが、より高精度の補正が可能であり、さらに
両者を併用して関数型を基本に、関数による近似
では補正が及ばない特異点に関する誤差データの
みを変換テーブルとして補助的に用いれば高速か
つ高精度度の補正を行うことが可能となる。
に補正を行う関数型を用いたが変換テーブル型を
用いれば、処理が複雑になるため処理速度が低下
するが、より高精度の補正が可能であり、さらに
両者を併用して関数型を基本に、関数による近似
では補正が及ばない特異点に関する誤差データの
みを変換テーブルとして補助的に用いれば高速か
つ高精度度の補正を行うことが可能となる。
前述のように、本発明によれば位置制御装置の
動作を高速かつ高精度にすることができる。
動作を高速かつ高精度にすることができる。
第1図は本発明の一実施例を示す構成図、第2
図は本発明の他の実施例を示す構成図、第3図は
従来例を示す構成図である。 1…テーブル、2…ボールねじ、3…モータ、
4…レゾルバ、9…誤差補正装置、11…直線型
位置検出器。
図は本発明の他の実施例を示す構成図、第3図は
従来例を示す構成図である。 1…テーブル、2…ボールねじ、3…モータ、
4…レゾルバ、9…誤差補正装置、11…直線型
位置検出器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 所定の移動範囲を移動される被駆動部材と、
この被駆動部材を動力伝達装置を介して駆動する
駆動源と、この駆動源または動力伝達装置に設け
られて前記被駆動部材の位置を検出する位置検出
器と、指令位置を保持しかつ外部入力された相対
移動量が加算される指令位置レジスタと、この指
令位置レジスタに保持された指令位置と前記位置
検出器が出力する検出位置との差に基づいて前記
駆動源を制御する動作制御手段と、前記動作制御
手段に前記指令位置または検出位置の値に対応し
た補正値を与える誤差補正装置と、を備えた位置
制御装置において、 前記位置検出器として絶対型位置検出器を備え
るとともに、 電源投入時に伴なつて、前記絶対型位置検出器
から検出位置を求め、その値に対応する補正値を
前記誤差補正装置から求め、この補正値で前記検
出位置を補正した値を前記指令位置レジスタに設
定するように構成されたことを特徴とする位置制
御装置。 2 特許請求の範囲第1項において、前記絶対型
位置検出器は、前記被駆動部材の移動範囲に渡つ
て設けられた直線型絶対位置検出器を備えるとと
もに、精度補償用に前記駆動源に設けられたレゾ
ルバを備えて構成されていることを特徴とする位
置制御装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60232107A JPS6294251A (ja) | 1985-10-17 | 1985-10-17 | 位置制御装置 |
KR1019860008655A KR900002540B1 (ko) | 1985-10-17 | 1986-10-15 | 위치 제어장치 |
DE19863635305 DE3635305A1 (de) | 1985-10-17 | 1986-10-17 | Positionssteuergeraet |
US06/920,062 US4795955A (en) | 1985-10-17 | 1986-10-17 | Position control apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60232107A JPS6294251A (ja) | 1985-10-17 | 1985-10-17 | 位置制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6294251A JPS6294251A (ja) | 1987-04-30 |
JPH032623B2 true JPH032623B2 (ja) | 1991-01-16 |
Family
ID=16934113
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60232107A Granted JPS6294251A (ja) | 1985-10-17 | 1985-10-17 | 位置制御装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4795955A (ja) |
JP (1) | JPS6294251A (ja) |
KR (1) | KR900002540B1 (ja) |
DE (1) | DE3635305A1 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH0833763B2 (ja) * | 1988-03-01 | 1996-03-29 | 義昭 垣野 | 数値制御装置 |
US4988932A (en) * | 1989-10-10 | 1991-01-29 | Eastman Kodak Company | Constant velocity servosystem wtih high positional accuracy |
US5034671A (en) * | 1990-01-25 | 1991-07-23 | Honeywell Inc. | Manual damper motor control |
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JPH06245561A (ja) * | 1993-02-10 | 1994-09-02 | Fanuc Ltd | サーボモータの異常負荷検出制御方法 |
DE4319715C2 (de) * | 1993-06-15 | 1995-08-17 | Kodak Ag | Verfahren zum Bewegen eines Drehkörpers |
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US6260282B1 (en) | 1998-03-27 | 2001-07-17 | Nikon Corporation | Stage control with reduced synchronization error and settling time |
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CN117798815B (zh) * | 2024-03-01 | 2024-05-14 | 江苏京创先进电子科技有限公司 | 分度台转动控制方法、***及减薄机 |
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US4484287A (en) * | 1980-09-30 | 1984-11-20 | Fujitsu Fanuc Limited | System for restoring numerically controlled machine tool to former condition |
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JPS59188518A (ja) * | 1983-04-11 | 1984-10-25 | Fanuc Ltd | サ−ボ制御系の絶対位置検出方式 |
-
1985
- 1985-10-17 JP JP60232107A patent/JPS6294251A/ja active Granted
-
1986
- 1986-10-15 KR KR1019860008655A patent/KR900002540B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1986-10-17 DE DE19863635305 patent/DE3635305A1/de active Granted
- 1986-10-17 US US06/920,062 patent/US4795955A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR900002540B1 (ko) | 1990-04-20 |
JPS6294251A (ja) | 1987-04-30 |
DE3635305C2 (ja) | 1991-11-28 |
DE3635305A1 (de) | 1987-04-23 |
US4795955A (en) | 1989-01-03 |
KR870004352A (ko) | 1987-05-09 |
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Legal Events
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EXPY | Cancellation because of completion of term |