JPH03253272A - 振動波モータ - Google Patents
振動波モータInfo
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- JPH03253272A JPH03253272A JP2050203A JP5020390A JPH03253272A JP H03253272 A JPH03253272 A JP H03253272A JP 2050203 A JP2050203 A JP 2050203A JP 5020390 A JP5020390 A JP 5020390A JP H03253272 A JPH03253272 A JP H03253272A
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- Japan
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- vibration wave
- fixed
- wave motor
- bearing
- encoder
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Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野コ
本発明は進行性振動波により移動体を摩擦駆動させる振
動波モータに関するものである。
動波モータに関するものである。
[従来の技術]
圧電体の屈曲振動を利用した振動波モータの構造に関す
る提案は特開昭83−73887号等で提案されている
。
る提案は特開昭83−73887号等で提案されている
。
前記提案は、
1)小型・コンパクトな振動波モータ
2)放熱性にすぐれた振動波モータ
3)効率の高い振動波モータ
4)加圧力調整の容易な振動波モータ
を提供するものである。
振動波モータの駆動原理は公知なため、詳しく説明しな
いが、以下に簡単に説明する。
いが、以下に簡単に説明する。
振動波モータは、金属製の例えば円環形状に形成された
弾性体の片面に圧電素子を接着剤により接着し、該圧電
素子に形成された駆動用の2つの圧電素子群に夫々位相
の異なる交流電圧を印加することにより弾性体上に2つ
の定在波を励起し、これら定在波の合成によって屈曲振
動である進行性振動波を形成する。
弾性体の片面に圧電素子を接着剤により接着し、該圧電
素子に形成された駆動用の2つの圧電素子群に夫々位相
の異なる交流電圧を印加することにより弾性体上に2つ
の定在波を励起し、これら定在波の合成によって屈曲振
動である進行性振動波を形成する。
一方、弾性体の他面側には、例えば円環形状の部材がバ
ネ等の加圧手段を介して加圧され、該弾性体に形成され
る進行性振動波による摩擦駆動により該部材を移動させ
、あるいは該弾性体を移動させる。
ネ等の加圧手段を介して加圧され、該弾性体に形成され
る進行性振動波による摩擦駆動により該部材を移動させ
、あるいは該弾性体を移動させる。
第5図により、従来例を説明する。
2はモータのカバーであり、1はケースである。弾性体
3には、圧電体4を固着してあり、これらがステータ(
振動体)5を構成している。ステータ5の発熱によるモ
ータ温度の上昇は、ステータ5がらカバー2、ケース1
へと伝導・放散させる構造となっている。
3には、圧電体4を固着してあり、これらがステータ(
振動体)5を構成している。ステータ5の発熱によるモ
ータ温度の上昇は、ステータ5がらカバー2、ケース1
へと伝導・放散させる構造となっている。
8はリング6にスライダ7を固着して構成されたロータ
で、このロータ8はゴム体9を挟んでサラバネ10の加
圧力によってステータ5に押し付けられ、シャフト11
と一体で回転するようになっている。加圧力はシム12
の厚みを適当に選んで調整してからスナップリング13
によって保持するため、きわめて容易に調整できる。シ
ャフト11はケース1及びカバー2のそれぞれに装着さ
れたベアリング14及び15により回転自在に軸支され
ている。
で、このロータ8はゴム体9を挟んでサラバネ10の加
圧力によってステータ5に押し付けられ、シャフト11
と一体で回転するようになっている。加圧力はシム12
の厚みを適当に選んで調整してからスナップリング13
によって保持するため、きわめて容易に調整できる。シ
ャフト11はケース1及びカバー2のそれぞれに装着さ
れたベアリング14及び15により回転自在に軸支され
ている。
第6図は、従来例の振動波モータにエンコーダ装置を取
付けた状態を示す図である。
付けた状態を示す図である。
35はエンコーダ装置であり、エンコーダ取付板40に
ビス41により固定され、振動波モータのシャフト11
とはシャフト段付部11−bにカップリング42により
接続されている。
ビス41により固定され、振動波モータのシャフト11
とはシャフト段付部11−bにカップリング42により
接続されている。
[発明が解決しようとしている課題]
しかしながら上記従来例では、シャフト11は、別部材
であるケース1及びカバー2に夫々形成されたベアリン
グ嵌入部に装着した2ケのベアリング14.15により
軸支されていたため、次のよにな欠点があった。
であるケース1及びカバー2に夫々形成されたベアリン
グ嵌入部に装着した2ケのベアリング14.15により
軸支されていたため、次のよにな欠点があった。
1) 2ケの軸受部がそれぞれ別々の部材に構成され
ており、ケース1及びカバー2のハメ合い誤差により、
軸受部の同軸度が大きくなるためそれらに軸支されたシ
ャフト11の回転中心の倒れを生じる。
ており、ケース1及びカバー2のハメ合い誤差により、
軸受部の同軸度が大きくなるためそれらに軸支されたシ
ャフト11の回転中心の倒れを生じる。
そのためシャフト11に固定されたロータ8及びカバー
2に固定されたステータ5のそれぞれの対向面の平行度
が大きくなってしまう。この欠点を除去するために従来
例ではステータ5の薄肉部3−aとロータ8の支持構造
による可撓性により、前記平行度誤差を吸収しようとし
ているが、必ずしも完全とは言えず、片当たりや片減り
が生じたり、振動波モータの特徴である「素早い立ち上
がり、立ち下がり」を行った場合にロータ8及びステー
タ5の可撓性構造のたわみ追従が遅れたり、またその反
力で不用意な加振力を発生させる原因になり、モータに
彩管を及ぼしたり、精度が低下したりする。
2に固定されたステータ5のそれぞれの対向面の平行度
が大きくなってしまう。この欠点を除去するために従来
例ではステータ5の薄肉部3−aとロータ8の支持構造
による可撓性により、前記平行度誤差を吸収しようとし
ているが、必ずしも完全とは言えず、片当たりや片減り
が生じたり、振動波モータの特徴である「素早い立ち上
がり、立ち下がり」を行った場合にロータ8及びステー
タ5の可撓性構造のたわみ追従が遅れたり、またその反
力で不用意な加振力を発生させる原因になり、モータに
彩管を及ぼしたり、精度が低下したりする。
2) シャフト11とモータ装置の取付面2−aとの直
角度が必要とされる場合(たとえば直角度10μm以下
)低速で高トルクを発生するという振動波モータのもう
一つの特徴を最も生かせるモータの使用方法は直結駆動
方式であるが、直結駆動方式の多くの場合、被駆動部に
対するシャフトの直角精度が要求される。しかしながら
、従来例では、上記のようにシャフト11と取付面2−
aとの直角度を向上させることは困難であり、せっかく
の振動波モータの特徴を生かせないという欠点があった
。
角度が必要とされる場合(たとえば直角度10μm以下
)低速で高トルクを発生するという振動波モータのもう
一つの特徴を最も生かせるモータの使用方法は直結駆動
方式であるが、直結駆動方式の多くの場合、被駆動部に
対するシャフトの直角精度が要求される。しかしながら
、従来例では、上記のようにシャフト11と取付面2−
aとの直角度を向上させることは困難であり、せっかく
の振動波モータの特徴を生かせないという欠点があった
。
3) サーボモータの70%がモータにエンコーダを
内蔵していることかられかるように、エンコーダ内蔵の
ニーズが非常に強く、中でも高精度で高分解能のエンコ
ーダを内蔵する場合、そのエンコーダの特性からして、
エンコーダのロータ部とエンコーダのステータ検出部と
の位置関係やエンコーダのロータが装着されるシャフト
11との同軸度や振れ精度は極めて高精度が要求される
が、上記2)の欠点に記載したように従来例では明らか
に高精度化が困難となっている。
内蔵していることかられかるように、エンコーダ内蔵の
ニーズが非常に強く、中でも高精度で高分解能のエンコ
ーダを内蔵する場合、そのエンコーダの特性からして、
エンコーダのロータ部とエンコーダのステータ検出部と
の位置関係やエンコーダのロータが装着されるシャフト
11との同軸度や振れ精度は極めて高精度が要求される
が、上記2)の欠点に記載したように従来例では明らか
に高精度化が困難となっている。
また第6図に示す、エンコーダ装置35をカップリング
42により接続した構成では、エンコーダ装置35を含
むモータ装置が大きくなり、装置の小型化のさまたげに
なっていた。
42により接続した構成では、エンコーダ装置35を含
むモータ装置が大きくなり、装置の小型化のさまたげに
なっていた。
また第6図のように、エンコーダ装置35をカップリン
グ42で接続していたので、カップリング42による芯
ずれ誤差や、シャフト11より低いねじれ剛性によるね
じり誤差やねじれ振動により位置検出誤差を生していた
。
グ42で接続していたので、カップリング42による芯
ずれ誤差や、シャフト11より低いねじれ剛性によるね
じり誤差やねじれ振動により位置検出誤差を生していた
。
本発明の目的は、このような従来の問題を解決し、極め
て高精度なシャフト等の出力部材の直角度を得ることが
でき、またエンコーダ装置を取り付けた場合でも良好な
位置検出を得ることができる振動波モータを提供するこ
とにある。
て高精度なシャフト等の出力部材の直角度を得ることが
でき、またエンコーダ装置を取り付けた場合でも良好な
位置検出を得ることができる振動波モータを提供するこ
とにある。
[課題を解決するための手段]
本発明の目的を達成するための要旨とするところは、進
行性振!III波の形成される環状の振動体を支持固定
部材にて固定すると共に、出力部材に固定された移動体
を該振動体に加圧手段を介して加圧接触させ、該振動体
に形成された進行性振動波により該移動体を摩擦駆動し
、回転の中心に位置せしめた該出力部材から回転出力を
える振動波モータにおいて、該出力部材を回転自在に支
持する軸受部材を同一部材に複数設けたことを特徴とす
る振動波モータにある。
行性振!III波の形成される環状の振動体を支持固定
部材にて固定すると共に、出力部材に固定された移動体
を該振動体に加圧手段を介して加圧接触させ、該振動体
に形成された進行性振動波により該移動体を摩擦駆動し
、回転の中心に位置せしめた該出力部材から回転出力を
える振動波モータにおいて、該出力部材を回転自在に支
持する軸受部材を同一部材に複数設けたことを特徴とす
る振動波モータにある。
[作 用コ
上記した構成の振動波モータは、同一部材に複数の軸受
部材を設け、これらの軸受部材のみによって出力部材を
回転可能に支持することにより、これら複数の軸受部材
の同軸度、及び出力部材の直角度の高精度化を実現する
。
部材を設け、これらの軸受部材のみによって出力部材を
回転可能に支持することにより、これら複数の軸受部材
の同軸度、及び出力部材の直角度の高精度化を実現する
。
[実 施 例]
第1図は本発明による振動波モータの一実施例を示す縦
断面図である。
断面図である。
なお、第1図において、第5図及び第6図に示す従来例
と同一機能の部材には同一の符合を付してその説明は省
略する。
と同一機能の部材には同一の符合を付してその説明は省
略する。
1はモータのケース、2はモータのハウジングで、ハウ
ジング2とケース1により覆われた空間内にロータ8及
びステータ5が収容されている。ハウジング2の中央部
には筒部2−dが一体的に形成され、その両端部と外端
部に夫々一体的かつ同軸上に形成された軸受嵌入部2−
す及び2−cに玉軸受14及び15が装着され、これら
玉軸受14及び15を介して出力軸11が回転自在にか
つ玉軸受の内輪に対しては、図の上下方向にすべり移動
可能に軸支されている。またハウシング2には、圧電素
子4を弾性体3に固着したステータ5がネジ21により
取付けられている。
ジング2とケース1により覆われた空間内にロータ8及
びステータ5が収容されている。ハウジング2の中央部
には筒部2−dが一体的に形成され、その両端部と外端
部に夫々一体的かつ同軸上に形成された軸受嵌入部2−
す及び2−cに玉軸受14及び15が装着され、これら
玉軸受14及び15を介して出力軸11が回転自在にか
つ玉軸受の内輪に対しては、図の上下方向にすべり移動
可能に軸支されている。またハウシング2には、圧電素
子4を弾性体3に固着したステータ5がネジ21により
取付けられている。
スライダー7はリング6に固着されており、リング6と
支持体20の間にゴムリング9を挟んでロータ8を構成
している。
支持体20の間にゴムリング9を挟んでロータ8を構成
している。
下側の玉軸受14の内輪に当接した予圧カラー17と、
加圧ボス18に挟まれたスプリング10を、加圧ホス1
8の端面18−8と支持体20の端面20−aに圧力を
加えてたわませ、それぞれの止めどス1つと22を締め
ることにより、スプリング10のバネ力により軸受14
に予圧を与えるとともに、ロータ8をステータ5に加圧
接触させている。
加圧ボス18に挟まれたスプリング10を、加圧ホス1
8の端面18−8と支持体20の端面20−aに圧力を
加えてたわませ、それぞれの止めどス1つと22を締め
ることにより、スプリング10のバネ力により軸受14
に予圧を与えるとともに、ロータ8をステータ5に加圧
接触させている。
方、軸受15には出力軸11に固着された予圧カラー1
6により予圧がかけられている。
6により予圧がかけられている。
すなわち、ケース1はハウジング2に取り付けられるだ
けの車なるカバーとしての機能を有するだけで、出力軸
11の軸受のための機能は有していない。
けの車なるカバーとしての機能を有するだけで、出力軸
11の軸受のための機能は有していない。
本実施例におけるハウジング2の仕上げ加工方法例を第
2図に従って説明する。25は旋盤のチャックであり、
ハウジング2の筒部2−dをチャックし、ハウジング2
を回転させて切削刃物23及び24により、軸受嵌入部
2−bと2−c及び基準面2−aを連続して加工仕上げ
する。
2図に従って説明する。25は旋盤のチャックであり、
ハウジング2の筒部2−dをチャックし、ハウジング2
を回転させて切削刃物23及び24により、軸受嵌入部
2−bと2−c及び基準面2−aを連続して加工仕上げ
する。
これにより、基準面2−aに対する軸受嵌入部2−aと
2−bの軸線との直角度を1μD程度の高精度に加工す
ることができる。高精度に仕上げ加工されたハウジング
2の軸受嵌入部2−d、 2−cに2ケの軸受14,1
5を装着し、装着した2ケの軸受14.15により、出
力軸11を軸支する構造とすることにより、モータ基準
面2−aに対して、極めて高精度な直角度を実現できる
。
2−bの軸線との直角度を1μD程度の高精度に加工す
ることができる。高精度に仕上げ加工されたハウジング
2の軸受嵌入部2−d、 2−cに2ケの軸受14,1
5を装着し、装着した2ケの軸受14.15により、出
力軸11を軸支する構造とすることにより、モータ基準
面2−aに対して、極めて高精度な直角度を実現できる
。
第3図は、第1図に示す振動波モータに光学式エンコー
ダ装置を組込んだ例を示す。
ダ装置を組込んだ例を示す。
出力軸11の段付部11−aにチャート台29が固着さ
れている。チャート台29のエンコーダチャート28の
取付面29−8は、振動波モータAを駆動させて、粗加
工を施しており、取付面29−aは出力軸11に対して
、高精度に加工されている。さらにその取付面29−a
にはエンコーダチャート28が固着されている。
れている。チャート台29のエンコーダチャート28の
取付面29−8は、振動波モータAを駆動させて、粗加
工を施しており、取付面29−aは出力軸11に対して
、高精度に加工されている。さらにその取付面29−a
にはエンコーダチャート28が固着されている。
ハウジング2のエンコーダ固定側部材25の取付面2−
e及び2−fは軸受嵌入面2−b及び2−cと同時に第
2図の例と同様の加工方法にて切削加工を施し、軸受嵌
入部に対して、同軸度及び直角度が高精度に加工されて
いる。
e及び2−fは軸受嵌入面2−b及び2−cと同時に第
2図の例と同様の加工方法にて切削加工を施し、軸受嵌
入部に対して、同軸度及び直角度が高精度に加工されて
いる。
27はインデックスチャートで、固定側部材25に固着
されており、30は発光素子31の取付台で、固定側部
材25に固着されていて、発光素子31の光はチャート
28及びインデックスチャート27を透過して、固定側
部材25に固着された受光素子26に達する。33は、
発光素子31及び受光素子26の増幅及び波形整形回路
であり、スペーサ32により取付台30に固定されてい
る。34はエンコーダケースで、エンコーダ35の光学
部品及び回路部の保護をしている。増幅及び波形整形さ
れた信号は、図示しない信号線により図示しない外部の
モータ制御回路に導かれ、モータの回転制御がなされる
。
されており、30は発光素子31の取付台で、固定側部
材25に固着されていて、発光素子31の光はチャート
28及びインデックスチャート27を透過して、固定側
部材25に固着された受光素子26に達する。33は、
発光素子31及び受光素子26の増幅及び波形整形回路
であり、スペーサ32により取付台30に固定されてい
る。34はエンコーダケースで、エンコーダ35の光学
部品及び回路部の保護をしている。増幅及び波形整形さ
れた信号は、図示しない信号線により図示しない外部の
モータ制御回路に導かれ、モータの回転制御がなされる
。
第3図の実施例では、モータAの外側にエンコーダ35
を配置したが、モータAの内部に配置しても良く、エン
コーダの方式も実施例の方式に限らずレーザーロータリ
ーエンコーダのように他の光学式エンコーダでも良く、
光学式以外の方式でも良い。
を配置したが、モータAの内部に配置しても良く、エン
コーダの方式も実施例の方式に限らずレーザーロータリ
ーエンコーダのように他の光学式エンコーダでも良く、
光学式以外の方式でも良い。
第4図は他の実施例を示す。
本実施例は内側の軸受、15°を、出力軸11に直接イ
ンナーレース11−aを形成し、軸受を組み付けた軸一
体型軸受としている。軸一体型軸受15°は、軸受内輪
を省略した構成となっており、内輪の精度誤差がなくな
るので、さらに出力軸の高精度化が実現され、第1図の
実施例より更に高精度な振動波モータを提供できる。
ンナーレース11−aを形成し、軸受を組み付けた軸一
体型軸受としている。軸一体型軸受15°は、軸受内輪
を省略した構成となっており、内輪の精度誤差がなくな
るので、さらに出力軸の高精度化が実現され、第1図の
実施例より更に高精度な振動波モータを提供できる。
また、第1図の実施例の予圧カラー16は、軸一体型軸
受15°ではインナーレース11−aにより予圧を付与
することができるので省略できる。また上記各実施例で
は、玉軸受を使用したが、すべり軸受や動圧及び静圧軸
受でもよく、さらに磁気軸受であっても良く、またそれ
らの組合せたものでも良い。
受15°ではインナーレース11−aにより予圧を付与
することができるので省略できる。また上記各実施例で
は、玉軸受を使用したが、すべり軸受や動圧及び静圧軸
受でもよく、さらに磁気軸受であっても良く、またそれ
らの組合せたものでも良い。
また、これら各実施例では内輪側回転となっているが、
外輪回転としても良い。
外輪回転としても良い。
さらに、軸受嵌入部2−b、2−cと、モータ基準面2
−a等をハウジング2の成形時に、一体成形により成形
してもよい。
−a等をハウジング2の成形時に、一体成形により成形
してもよい。
[発明の効果]
以上説明したように、本発明によれば、複数の軸受部材
を同一部材に設け、これらの軸受部材により、出力部材
を軸支することにより、従来にない、極めて高精度な出
力軸の直角度が実現でき、高精度が要求される被駆動部
に対して、十分適用できる高精度な振動波モータを提供
することができる。
を同一部材に設け、これらの軸受部材により、出力部材
を軸支することにより、従来にない、極めて高精度な出
力軸の直角度が実現でき、高精度が要求される被駆動部
に対して、十分適用できる高精度な振動波モータを提供
することができる。
また、出力部材の高精度化の実現により、高精度で高分
解能を有するエンコーダを内蔵した振動波モータを提供
することができる。
解能を有するエンコーダを内蔵した振動波モータを提供
することができる。
また軸受部を同一部材に構成したことにより、軸受部の
ユニット化が可能となり、組立性の向上をはかれるとい
う効果もあわせもつ。
ユニット化が可能となり、組立性の向上をはかれるとい
う効果もあわせもつ。
さらに、エンコーダ装置を振動波モータの出力軸に組み
付けることにより、従来の振動波モータとエンコーダ装
置をカップリングにより接続していたがこのカップリン
グの精度誤差による芯ずれ誤差かなくなることと、カッ
プリングのねじれ剛性は出力軸のそれより低く、ねじれ
誤差やねじれ振動を発生していたが、それがなくなり、
より高精度な位置検出及び制御が可能となった。
付けることにより、従来の振動波モータとエンコーダ装
置をカップリングにより接続していたがこのカップリン
グの精度誤差による芯ずれ誤差かなくなることと、カッ
プリングのねじれ剛性は出力軸のそれより低く、ねじれ
誤差やねじれ振動を発生していたが、それがなくなり、
より高精度な位置検出及び制御が可能となった。
第1図は本発明による振動波モータの一実施例を示す縦
断面図、第2図はそのハウジング部材の加工方法を説明
する図、第3図はエンコーダを組付けた振動波モータの
実施例、第4図は他の実施例を示す縦断面図、第5図は
従来の振動波モータを示す縦断面図、第6図はエンコー
ダを組付けた従来例を示す縦断面図である。 1・・・モータケース 2・・・ハウジング3・・
・弾性体 4・・・圧電素子5・・・ステー
タ 6・・・リング7・・・スライダ
8・・・ロータ9・・・ゴムリング 10・・
・スプリング11・・・出力軸 12・・・ス
ペーサ13・・・スナップリング 14・・・軸受15
・・・軸受 16.17・・・予圧カラー1
8・・・加圧ボス 19,21.22・・・ネジ
20・・・支持体 23.24・・・切削刃物
25・・・固定側部材 26・・・受光素子27・
・・インデックスチャート 28・・・チャート 29・・・チャート台3
0・・・取付台 31・・・発光素子32・・
・スペーサ 33・・・エンコーダ回路 34・・・エンコーダケース 35・・・エンコーダ装置 他4名 第3図 第2図 第 4 図 第 図 第 図
断面図、第2図はそのハウジング部材の加工方法を説明
する図、第3図はエンコーダを組付けた振動波モータの
実施例、第4図は他の実施例を示す縦断面図、第5図は
従来の振動波モータを示す縦断面図、第6図はエンコー
ダを組付けた従来例を示す縦断面図である。 1・・・モータケース 2・・・ハウジング3・・
・弾性体 4・・・圧電素子5・・・ステー
タ 6・・・リング7・・・スライダ
8・・・ロータ9・・・ゴムリング 10・・
・スプリング11・・・出力軸 12・・・ス
ペーサ13・・・スナップリング 14・・・軸受15
・・・軸受 16.17・・・予圧カラー1
8・・・加圧ボス 19,21.22・・・ネジ
20・・・支持体 23.24・・・切削刃物
25・・・固定側部材 26・・・受光素子27・
・・インデックスチャート 28・・・チャート 29・・・チャート台3
0・・・取付台 31・・・発光素子32・・
・スペーサ 33・・・エンコーダ回路 34・・・エンコーダケース 35・・・エンコーダ装置 他4名 第3図 第2図 第 4 図 第 図 第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 進行性振動波の形成される環状の振動体を支持固定
部材にて固定すると共に、出力部材に固定された移動体
を該振動体に加圧手段を介して加圧接触させ、該振動体
に形成された進行性振動波により該移動体を摩擦駆動し
、回転の中心に位置せしめた該出力部材から回転出力を
える振動波モータにおいて、 該出力部材を回転自在に支持する軸受部材 を同一の部材に複数設けたことを特徴とする振動波モー
タ。 2 請求項1の振動波モータにおける複数の軸受部材を
支持する部材は振動体を支持する支持固定部材であるこ
とを特徴とする振動波 モータ。 3 請求項2の振動波モータにおける固定部材に、回転
検出手段の固定部側を固定し、出力部材に該回転検出手
段の回転部材を固定したことを特徴とする振動波モータ
。 4 請求項3の振動波モータにおける固定部材における
回転検出手段の取付け接合面と、出力部材の軸受部材を
支持する該固定部材の支持面とを切削加工による切削面
、あるいは一体成形法により一体的に成形された成形面
としたことを特徴とする振動波モータ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2050203A JPH03253272A (ja) | 1990-03-01 | 1990-03-01 | 振動波モータ |
US07/663,427 US5164629A (en) | 1990-03-01 | 1991-03-01 | Vibration wave driven motor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2050203A JPH03253272A (ja) | 1990-03-01 | 1990-03-01 | 振動波モータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03253272A true JPH03253272A (ja) | 1991-11-12 |
Family
ID=12852561
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2050203A Pending JPH03253272A (ja) | 1990-03-01 | 1990-03-01 | 振動波モータ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5164629A (ja) |
JP (1) | JPH03253272A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US8970091B2 (en) | 2010-12-09 | 2015-03-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration-type driving apparatus |
CN106871941A (zh) * | 2017-02-20 | 2017-06-20 | 重庆机床(集团)有限责任公司 | 一种易于拆装的精密角度编码器 |
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ATE489734T1 (de) * | 2005-05-26 | 2010-12-15 | Nikon Corp | Vibrierender aktuator und methode zum betreiben eines vibrierenden aktuators |
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JPS63262074A (ja) * | 1987-04-20 | 1988-10-28 | Koji Onuma | 複合モ−タ |
JPS63265575A (ja) * | 1987-04-21 | 1988-11-02 | Canon Inc | モ−タ− |
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JPH0279782A (ja) * | 1988-09-12 | 1990-03-20 | Shinji Kawase | 超音波モータ |
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-
1990
- 1990-03-01 JP JP2050203A patent/JPH03253272A/ja active Pending
-
1991
- 1991-03-01 US US07/663,427 patent/US5164629A/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5164629A (en) | 1992-11-17 |
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