JPH1094274A - 振動型駆動装置およびこれを備えた装置 - Google Patents
振動型駆動装置およびこれを備えた装置Info
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- JPH1094274A JPH1094274A JP8240359A JP24035996A JPH1094274A JP H1094274 A JPH1094274 A JP H1094274A JP 8240359 A JP8240359 A JP 8240359A JP 24035996 A JP24035996 A JP 24035996A JP H1094274 A JPH1094274 A JP H1094274A
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- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract 1
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- 238000005452 bending Methods 0.000 description 13
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 7
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 振動型駆動装置の移動体の加圧部に応力集中
が生じ、破損したりクリープが発生したりする。 【解決手段】 電気−機械エネルギー変換により振動が
励起される振動体１と、この振動体に加圧接触して駆動
される移動体１４とを有する振動型駆動装置において、
上記移動体を、振動体への接触部２と、外部への出力部
６と、接触部の振動体への接触方向に交差する方向（例
えば、接触部がリング状に形成されて振動体に軸方向に
接触する場合には、接触部の径方向）に延びて接触部お
よび出力部を連結するとともに加圧力を発生する加圧部
５′とを有する構成とし、加圧部の加圧方向厚さを、こ
の加圧部の（径方向）中間部分から接触部および出力部
に近付くほど厚くする。
が生じ、破損したりクリープが発生したりする。 【解決手段】 電気−機械エネルギー変換により振動が
励起される振動体１と、この振動体に加圧接触して駆動
される移動体１４とを有する振動型駆動装置において、
上記移動体を、振動体への接触部２と、外部への出力部
６と、接触部の振動体への接触方向に交差する方向（例
えば、接触部がリング状に形成されて振動体に軸方向に
接触する場合には、接触部の径方向）に延びて接触部お
よび出力部を連結するとともに加圧力を発生する加圧部
５′とを有する構成とし、加圧部の加圧方向厚さを、こ
の加圧部の（径方向）中間部分から接触部および出力部
に近付くほど厚くする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、振動体により移動
体を摩擦駆動する振動型駆動装置に関するものである。
体を摩擦駆動する振動型駆動装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】振動型モータ（振動型駆動装置）は、カ
メラのレンズ鏡筒や複写機の感光ドラム等の駆動源とし
て最近多用されつつある。このような振動型モータは、
実開平６−２９９８号公報および図５に示すように、リ
ング状の弾性体３の底面に圧電素子４を固定配置した振
動体１と、この振動体１（弾性体３）の上面に接触する
接触リング２とを有して構成されている。振動体１は、
ベース部材１０にネジ１３によって固定されており、振
動体１の表面には摺動材７が接着されている。また、接
触リング２の内周には円盤状のばね５が設けられ、さら
にばね５の内周には出力軸１１に連結されるボス６が設
けられている。
メラのレンズ鏡筒や複写機の感光ドラム等の駆動源とし
て最近多用されつつある。このような振動型モータは、
実開平６−２９９８号公報および図５に示すように、リ
ング状の弾性体３の底面に圧電素子４を固定配置した振
動体１と、この振動体１（弾性体３）の上面に接触する
接触リング２とを有して構成されている。振動体１は、
ベース部材１０にネジ１３によって固定されており、振
動体１の表面には摺動材７が接着されている。また、接
触リング２の内周には円盤状のばね５が設けられ、さら
にばね５の内周には出力軸１１に連結されるボス６が設
けられている。
【０００３】これら接触リング２とばね５とボス６とは
一体的に回転し、移動体１４を構成する。そして、この
移動体１４において、接触リング２は、図６に示すよう
にばね５を振動体１側に弾性変位させることにより、所
定の加圧力で振動体１に圧接される。
一体的に回転し、移動体１４を構成する。そして、この
移動体１４において、接触リング２は、図６に示すよう
にばね５を振動体１側に弾性変位させることにより、所
定の加圧力で振動体１に圧接される。
【０００４】ところで、ばね５の断面形状は、図６に示
すように外周（接触リング２）側から内周（ボス６）側
に向かって板厚が増加する形状となっている。ここで、
図３に、板圧が一定の穴あき円盤を外周にて単純支持
（自由端支持）するとともに、内周にて固定支持（固定
端支持）し、内周に荷重した場合の円盤の変形とこれに
作用する曲げ応力の分布を示す。この図から分かるよう
に、外周自由端・内周固定端の場合は、最外周で曲げ応
力が最小値（零）となり、内周に向かうに従って曲げ応
力が大きくなる。
すように外周（接触リング２）側から内周（ボス６）側
に向かって板厚が増加する形状となっている。ここで、
図３に、板圧が一定の穴あき円盤を外周にて単純支持
（自由端支持）するとともに、内周にて固定支持（固定
端支持）し、内周に荷重した場合の円盤の変形とこれに
作用する曲げ応力の分布を示す。この図から分かるよう
に、外周自由端・内周固定端の場合は、最外周で曲げ応
力が最小値（零）となり、内周に向かうに従って曲げ応
力が大きくなる。
【０００５】上記実開平６−２９９８号公報では、図５
に示す振動型モータのばね５を外周自由端・内周固定端
とみなして、ばね５の厚さを外周側から内周側に向かっ
て増加させることにより、曲げ応力が大きい内周部分の
応力集中を避けることができるとともに、曲げ応力が小
さい外周部分の厚みを薄くして変位をできるだけ大きく
とることができるとしている。
に示す振動型モータのばね５を外周自由端・内周固定端
とみなして、ばね５の厚さを外周側から内周側に向かっ
て増加させることにより、曲げ応力が大きい内周部分の
応力集中を避けることができるとともに、曲げ応力が小
さい外周部分の厚みを薄くして変位をできるだけ大きく
とることができるとしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記公
報および図５に示す振動型モータでは、ばね５の外周部
分の厚さに比べてかなり厚く形成された接触リング２が
用いられており、このリング部はリムの役割を果たすた
め、ばね５の外周は自由端ではなく、ほぼ固定端とみな
せる。内周固定端・外周固定端の場合の変形および応力
分布は、図４に示すようになり、曲げ応力は、最外周お
よび最内周で極値となり、中間部分で最小値（零）とな
る。
報および図５に示す振動型モータでは、ばね５の外周部
分の厚さに比べてかなり厚く形成された接触リング２が
用いられており、このリング部はリムの役割を果たすた
め、ばね５の外周は自由端ではなく、ほぼ固定端とみな
せる。内周固定端・外周固定端の場合の変形および応力
分布は、図４に示すようになり、曲げ応力は、最外周お
よび最内周で極値となり、中間部分で最小値（零）とな
る。
【０００７】従って、上記公報および図５に示す振動型
駆動装置を試験すると、接触リング２とばね５の接合部
分（ばね５の最も薄い部分）にて応力集中が発生し、疲
労による破断やクリープが生じて加圧力が低下し、モー
タ特性が悪化するおそれがある。
駆動装置を試験すると、接触リング２とばね５の接合部
分（ばね５の最も薄い部分）にて応力集中が発生し、疲
労による破断やクリープが生じて加圧力が低下し、モー
タ特性が悪化するおそれがある。
【０００８】そこで、本願発明では、移動体におけるば
ね部の応力集中を確実に回避することができるようにし
た振動型駆動装置を提供することを目的としている。
ね部の応力集中を確実に回避することができるようにし
た振動型駆動装置を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願発明では、電気−機械エネルギー変換により振
動が励起される振動体と、この振動体に加圧接触して駆
動される移動体とを有する振動型駆動装置において、上
記移動体を、振動体への接触部と、外部への出力部と、
接触部の振動体への接触方向に交差する方向（例えば、
接触部がリング状に形成されて振動体に軸方向に接触す
る場合には、接触部の径方向）に延びて接触部および出
力部を連結するとともに加圧力を発生する加圧部とを有
する構成とし、加圧部の加圧方向厚さを、この加圧部の
（径方向）中間部分から接触部および出力部に近付くほ
ど厚くしている。
に、本願発明では、電気−機械エネルギー変換により振
動が励起される振動体と、この振動体に加圧接触して駆
動される移動体とを有する振動型駆動装置において、上
記移動体を、振動体への接触部と、外部への出力部と、
接触部の振動体への接触方向に交差する方向（例えば、
接触部がリング状に形成されて振動体に軸方向に接触す
る場合には、接触部の径方向）に延びて接触部および出
力部を連結するとともに加圧力を発生する加圧部とを有
する構成とし、加圧部の加圧方向厚さを、この加圧部の
（径方向）中間部分から接触部および出力部に近付くほ
ど厚くしている。
【００１０】すなわち、本願発明では、接触部および出
力部に接合された加圧部の両端がほぼ固定端とみなせる
場合において、加圧部のうち小さな曲げ応力が作用する
中間部分の肉厚を薄くして十分な弾性変形量（十分な加
圧力）を確保できるようにするとともに、大きな曲げ応
力が作用する両端に向かって肉厚を増加させて両端の破
損やクリープを防止し、長時間にわたって安定的な性能
が得られるようにしている。
力部に接合された加圧部の両端がほぼ固定端とみなせる
場合において、加圧部のうち小さな曲げ応力が作用する
中間部分の肉厚を薄くして十分な弾性変形量（十分な加
圧力）を確保できるようにするとともに、大きな曲げ応
力が作用する両端に向かって肉厚を増加させて両端の破
損やクリープを防止し、長時間にわたって安定的な性能
が得られるようにしている。
【００１１】なお、接触部がリング状に形成されている
場合、加圧部の形状としては 円盤状でも放射状に延び
る梁状でもよい。
場合、加圧部の形状としては 円盤状でも放射状に延び
る梁状でもよい。
【００１２】また、接触部と出力部と加圧部とを組み立
てて移動体を構成してもよいし、これらを一体形成して
移動体を構成してもよい。
てて移動体を構成してもよいし、これらを一体形成して
移動体を構成してもよい。
【００１３】そして、本願発明では、このような振動型
駆動装置を駆動源として備えることにより、駆動系の性
能が安定しており寿命も長い装置を実現できるようにし
ている。
駆動装置を駆動源として備えることにより、駆動系の性
能が安定しており寿命も長い装置を実現できるようにし
ている。
【００１４】
（第１実施形態）図１には、本発明の第１実施形態であ
る振動型モータ（振動型駆動装置）を示している。な
お、従来の振動型モータと共通する構成要素については
同符号を付している。１は振動体である。この振動体１
は、リング状の弾性体３とこの弾性体３の底面に固定さ
れた２相の圧電素子（電気−機械エネルギー変換素子）
４とから構成されており、弾性体３の内周部がベース部
材１０にネジ１３によって取り付けられることにより、
ベース部材１０に対して固定保持される。なお、振動体
１の表面には摺動材７が接着されている。
る振動型モータ（振動型駆動装置）を示している。な
お、従来の振動型モータと共通する構成要素については
同符号を付している。１は振動体である。この振動体１
は、リング状の弾性体３とこの弾性体３の底面に固定さ
れた２相の圧電素子（電気−機械エネルギー変換素子）
４とから構成されており、弾性体３の内周部がベース部
材１０にネジ１３によって取り付けられることにより、
ベース部材１０に対して固定保持される。なお、振動体
１の表面には摺動材７が接着されている。
【００１５】１４は移動体であり、この移動体１４は、
振動体１（弾性体３）の上面に接触する接触リング（接
触部）２と、この接触リング２の内周に設けられて接触
リング２の振動体１に対する接触方向（図中上下方向）
に交差する方向（図中左右方向）に延びる円盤状のばね
（加圧部）５′と、ばね５′の内周に設けられてモータ
出力軸１１にスプライン結合したボス（出力部）６とか
ら一体形成されている。ばね５′は、モータ出力軸１１
の上部軸受け９によって内周側がモータ軸方向下方（振
動体１に近付く方向）に押されて弾性変形することによ
り、接触リング２を振動体１に圧接させるための加圧力
を発生する。
振動体１（弾性体３）の上面に接触する接触リング（接
触部）２と、この接触リング２の内周に設けられて接触
リング２の振動体１に対する接触方向（図中上下方向）
に交差する方向（図中左右方向）に延びる円盤状のばね
（加圧部）５′と、ばね５′の内周に設けられてモータ
出力軸１１にスプライン結合したボス（出力部）６とか
ら一体形成されている。ばね５′は、モータ出力軸１１
の上部軸受け９によって内周側がモータ軸方向下方（振
動体１に近付く方向）に押されて弾性変形することによ
り、接触リング２を振動体１に圧接させるための加圧力
を発生する。
【００１６】このように構成された振動型モータでは、
２相の圧電素子４のそれぞれに互いに位相が異なる周波
信号を印加することによって振動体１（弾性体３）に振
動を励起し、振動体１の表面に進行性振動波を生じさせ
る。移動体１４に摺動材７を介して圧接した接触リング
２は、振動体１の振動によって回転駆動され、この回転
がばね５′およびボス６を介してモータ出力軸１１に伝
達されてモータ出力として取り出される。なお、本実施
形態のモータ出力は、複写機に備えられる感光ドラム２
０の駆動に用いられる。
２相の圧電素子４のそれぞれに互いに位相が異なる周波
信号を印加することによって振動体１（弾性体３）に振
動を励起し、振動体１の表面に進行性振動波を生じさせ
る。移動体１４に摺動材７を介して圧接した接触リング
２は、振動体１の振動によって回転駆動され、この回転
がばね５′およびボス６を介してモータ出力軸１１に伝
達されてモータ出力として取り出される。なお、本実施
形態のモータ出力は、複写機に備えられる感光ドラム２
０の駆動に用いられる。
【００１７】ここで、ばね５′の断面形状は、図２に示
すように径方向中間部分が最も薄く、この中間部分から
両端（接触リング２およびボス６側）に近付くほど厚く
なっている。
すように径方向中間部分が最も薄く、この中間部分から
両端（接触リング２およびボス６側）に近付くほど厚く
なっている。
【００１８】一方、ばね５′に作用する曲げ応力は、図
４に示したように、最外周および最内周で極値となり、
中間部分で最小値（零）となる。すなわち、本実施形態
では、ばね５′のうち曲げ応力が小さい中間部分は薄く
形成されており、曲げ応力が大きな両端部分は厚く形成
されている。したがって、本実施形態によれば、ばね
５′のうち接触リング２やボス６との接合部分にて応力
集中が発生するのを防止でき、上記接合部分の破断やク
リープを回避することができるので、長時間にわたって
安定したモータ性能を得ることができ、感光ドラム２０
を長時間安定的に駆動することができる。
４に示したように、最外周および最内周で極値となり、
中間部分で最小値（零）となる。すなわち、本実施形態
では、ばね５′のうち曲げ応力が小さい中間部分は薄く
形成されており、曲げ応力が大きな両端部分は厚く形成
されている。したがって、本実施形態によれば、ばね
５′のうち接触リング２やボス６との接合部分にて応力
集中が発生するのを防止でき、上記接合部分の破断やク
リープを回避することができるので、長時間にわたって
安定したモータ性能を得ることができ、感光ドラム２０
を長時間安定的に駆動することができる。
【００１９】一方、ばね５′のうち中間部分では十分な
弾性変形量を確保できるので、接触リング２を十分な加
圧力で振動体１に接触させることができ、振動型モータ
を効率よく作動させることができる。
弾性変形量を確保できるので、接触リング２を十分な加
圧力で振動体１に接触させることができ、振動型モータ
を効率よく作動させることができる。
【００２０】なお、上記実施形態では、移動体のばねを
円盤状に形成し他場合について説明したが、本発明で
は、ばねをボス６から放射状に延びる梁状に形成しても
よい。また、上記実施形態では、移動リング２、ばね５
およびボス６からなる移動体を一体形成した場合につい
て説明したが、本発明では、移動リング、ばねおよびボ
スを組み立てて移動体を構成してもよい。
円盤状に形成し他場合について説明したが、本発明で
は、ばねをボス６から放射状に延びる梁状に形成しても
よい。また、上記実施形態では、移動リング２、ばね５
およびボス６からなる移動体を一体形成した場合につい
て説明したが、本発明では、移動リング、ばねおよびボ
スを組み立てて移動体を構成してもよい。
【００２１】さらに、上記実施形態では、リングタイプ
の振動型モータについて説明したが、本発明は、これ以
外のタイプの振動型モータにも適用することができる。
の振動型モータについて説明したが、本発明は、これ以
外のタイプの振動型モータにも適用することができる。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本願発明によれ
ば、接触部および出力部に接合された加圧部の両端がほ
ぼ固定端とみなせる場合において、加圧部のうち小さな
曲げ応力が作用する中間部分の肉厚を薄くし、大きな曲
げ応力が作用する両端に向かって肉厚を増加させている
ので、中間部分において十分な弾性変形量（すなわち、
十分な加圧力）を確保できるとともに、両端の破損やク
リープを防止して長時間にわたって安定的な性能を得る
ことができる。
ば、接触部および出力部に接合された加圧部の両端がほ
ぼ固定端とみなせる場合において、加圧部のうち小さな
曲げ応力が作用する中間部分の肉厚を薄くし、大きな曲
げ応力が作用する両端に向かって肉厚を増加させている
ので、中間部分において十分な弾性変形量（すなわち、
十分な加圧力）を確保できるとともに、両端の破損やク
リープを防止して長時間にわたって安定的な性能を得る
ことができる。
【００２３】そして、このような振動型駆動装置を駆動
源として備えることにより、駆動系の性能が安定し寿命
も長い装置を実現することができる。
源として備えることにより、駆動系の性能が安定し寿命
も長い装置を実現することができる。
【図１】本発明の第１実施形態である振動型モータの断
面図である。
面図である。
【図２】上記振動型モータの移動体の断面図である。
【図３】外周自由端・内周固定端のばねの変形および応
力分布図である。
力分布図である。
【図４】外周固定端・内周固定端のばねの変形および応
力分布図である。
力分布図である。
【図５】従来の振動型モータの断面図である。
【図６】従来の振動型モータの移動体の断面図である。
【符号の説明】 １ 振動体 ２ 接触リング（接触部） ３ 弾性体 ４ 圧電素子 ５ ばね（加圧部） ６ ボス（出力部） ７ 摺動材 ８，９ 軸受け １０ ベース部材 １１ モータ出力軸 １４ 移動体
Claims (6)
- 【請求項１】 電気−機械エネルギー変換により振動が
励起される振動体と、この振動体に加圧接触して駆動さ
れる移動体とを有する振動型駆動装置において、 前記移動体は、前記振動体への接触部と、外部への出力
部と、前記接触部の前記振動体への接触方向に交差する
方向に延びて前記接触部および出力部を連結するととも
に加圧力を発生する加圧部とを有して構成されており、 前記加圧部の加圧方向厚さが、この加圧部の中間部分か
ら前記接触部および出力部に近付くほど厚くなっている
ことを特徴とする振動型駆動装置。 - 【請求項２】 前記接触部がリング状に形成されて前記
振動体に軸方向に接触しており、 前記加圧部が前記接触部の径方向に延びていることを特
徴とする請求項１に記載の振動型駆動装置。 - 【請求項３】 前記加圧部が円盤状に形成されているこ
とを特徴とする請求項２に記載の振動型駆動装置。 - 【請求項４】 前記加圧部が梁状に形成されていること
を特徴とする請求項２に記載の振動型駆動装置。 - 【請求項５】 前記接触部と前記出力部と前記加圧部と
が一体形成されて前記移動体を構成していることを特徴
とする請求項１から４のいずれかに記載の振動型駆動装
置。 - 【請求項６】 請求項１から５のいずれかに記載の振動
型駆動装置を備えたことを特徴とする装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8240359A JPH1094274A (ja) | 1996-09-11 | 1996-09-11 | 振動型駆動装置およびこれを備えた装置 |
| US08/925,616 US5834878A (en) | 1996-09-11 | 1997-09-09 | Vibration wave driving device and apparatus having the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8240359A JPH1094274A (ja) | 1996-09-11 | 1996-09-11 | 振動型駆動装置およびこれを備えた装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1094274A true JPH1094274A (ja) | 1998-04-10 |
Family
ID=17058324
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8240359A Pending JPH1094274A (ja) | 1996-09-11 | 1996-09-11 | 振動型駆動装置およびこれを備えた装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5834878A (ja) |
| JP (1) | JPH1094274A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101867316A (zh) * | 2010-06-08 | 2010-10-20 | 浙江大学 | 锥面浮动转子超声波电机 |
| JP2018513325A (ja) * | 2015-04-15 | 2018-05-24 | ジェネシス ロボティクス エルエルピー | ウェーブアクチュエータ |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015168787A1 (en) * | 2014-05-05 | 2015-11-12 | Genesis Advanced Technology Inc. | Buckling wave disk |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5066884A (en) * | 1989-02-10 | 1991-11-19 | Nikon Corporation | Ultrasonic motor having high drive efficiency |
| JPH03253272A (ja) * | 1990-03-01 | 1991-11-12 | Canon Inc | 振動波モータ |
| US5225734A (en) * | 1990-03-01 | 1993-07-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave driven motor |
| DE69125525T2 (de) * | 1990-05-24 | 1997-09-04 | Canon Kk | Schwingungswellenmotor |
| JP2962861B2 (ja) * | 1991-05-20 | 1999-10-12 | キヤノン株式会社 | 振動波モータ |
| US5152152A (en) * | 1992-02-10 | 1992-10-06 | Thermo King Corporation | Method of determining refrigerant charge |
| FR2708790B1 (fr) * | 1993-07-30 | 1995-10-27 | Crouzet Automatismes | Moteur à ondes acoustiques de surface. |
| FR2742011B1 (fr) * | 1995-11-30 | 1998-02-20 | Sfim Ind | Moteur a vibrations a interface rotor/stator a alliage a memoire de forme |
| FR2743457B1 (fr) * | 1996-01-04 | 1998-03-06 | Figest Bv | Moteur piezoelectrique a onde progressive |
-
1996
- 1996-09-11 JP JP8240359A patent/JPH1094274A/ja active Pending
-
1997
- 1997-09-09 US US08/925,616 patent/US5834878A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101867316A (zh) * | 2010-06-08 | 2010-10-20 | 浙江大学 | 锥面浮动转子超声波电机 |
| JP2018513325A (ja) * | 2015-04-15 | 2018-05-24 | ジェネシス ロボティクス エルエルピー | ウェーブアクチュエータ |
| JP2021181087A (ja) * | 2015-04-15 | 2021-11-25 | ジェネシス ロボティクス エルエルピー | ウェーブアクチュエータ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5834878A (en) | 1998-11-10 |
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