JPH03232709A - 窒化珪素繊維用ポリシラザン及びその製法 - Google Patents

窒化珪素繊維用ポリシラザン及びその製法

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JPH03232709A
JPH03232709A JP2822790A JP2822790A JPH03232709A JP H03232709 A JPH03232709 A JP H03232709A JP 2822790 A JP2822790 A JP 2822790A JP 2822790 A JP2822790 A JP 2822790A JP H03232709 A JPH03232709 A JP H03232709A
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molecular weight
temperature
perhydropolysilazane
average molecular
ammonia
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JP2822790A
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English (en)
Inventor
Isato Nishii
西井 勇人
Yoshio Kawashima
河嶌 善雄
Koji Okuda
奥田 浩次
Yasuo Shimizu
泰雄 清水
Masaaki Ichiyama
一山 昌章
Takeshi Isoda
礒田 武志
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Tonen General Sekiyu KK
Original Assignee
Tonen Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は窒化珪素繊維用ペルヒドロポリシラザン及びそ
の製法に係る。
〔従来の技術〕
本出願人は窒化珪素製造用前駆体として使用できるペル
ヒドロポリシラザン及びその合成方法を開示した(特公
昭63−16325号公報)。このペルヒドロポリシラ
ザンは側鎖がすべて水素からなり有機基を含まないので
セラミック収率が高く、また炭素を含まないので電気絶
縁性も優れているという特徴と、分子量が液体を示すも
のはもちろん、固体を示すものでも溶剤可溶であるため
成形、特に紡糸が容易であるという特徴を有し、従って
窒化珪素繊維の前駆体としても有用である。
また、このペルヒドロポリシラザンのSi/N組成比を
低減し、分子量を大きくするためにアンニモアで改質し
たり、加熱重合する方法についても開示している(特願
平1−138107、特願平1138108号公報)。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記の方法で得られるペルヒドロポリシラザンは分子量
分布がブロードであり、高分子量分がゲル化を起こし易
いため、特に厳密な性状管理が要求される繊維用途で次
の如き問題があった。すなわち、ポリマー濃縮ないし紡
糸工程においてゲル化によりロスが発生して繊維の収率
が低下する。
また、紡糸工程でゲル生成して糸切れが発生してしまう
そこで、本発明は、上記の如き問題点に鑑み、窒化珪素
繊維の製造用途に好適なペルヒドロポリシラザン及びそ
の製造方法を提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は、上記目的を達成するために、次の一般式 で表わされる骨格を有するペルヒドロポリシラザンであ
って、ポリスチレン換算数平均分子量が1400〜40
00、重量平均分子量Mwと数平均分子量Mnとの比M
 w / M nが7゜0以下、かつSi とNのモル
組成比が0.75〜1.25であることを特徴とする窒
化珪素繊維用ペルヒドロポリシラザンを提供する。
本発明のペルヒドロポリシラザンは、従来技術の欄に記
載した先頭に開示したように、また後記のように、ジク
ロロシランとアンモニアの反応生成物、またはこれをア
ンニモア又は熱重合で改質したものであるので、一般式
+5HJH+で表わされる骨格を有し、これにアンモニ
アにもとづくNH−単位が付加した構造を有する。
本発明の窒化珪素繊維用ペルヒドロポリシラザン(以下
、単に「ポリシラザン」とも称する。)の分子量は数平
均分子量が1400〜4000 (ポリスチレン換算)
である。分子量が1400以下の場合、凝固性が不足し
ているため繊維として賦形化できないし、また4000
を超えると、高分子量分のためゲル化しやすくなるから
である。
また、ポリシラザンの分子量分布は重量平均分子量M−
と数平均分子量Mnの比(Mw/Mn)が7.0以下で
ある。Mw/Mnが7.0を越すと、ポリシラザンの熱
安定性が悪くなり、ゲル化するからである。
さらに、ポリシラザンのSi/Nのモル組成比が0.7
5〜1.25の範囲内であるべきである。Si /Nが
1.25を越えると窒化珪素繊維の機械的強度が著しく
低下し、また前駆体繊維の焼成条件がシビアになるから
である。一方、Si/Nが0.75より小さいポリシラ
ザンでは、架橋構造のためゲル化し易く、取り扱いが困
難である。
本発明によれば、同様にして、上記の如きポリシラザン
を製造する方法として、ジクロロシランとルイス塩基を
一5℃〜20℃の温度、大気圧〜10kg/cm2Gの
圧力下で反応させて錯体を生成し、該R体に錯体1モル
に対し3モル以上のアンモニアを一5℃〜50℃の温度
、大気圧〜10kg/cj Gの圧力下で反応させ、さ
らに必要に応じて、該ペルヒドロポリシラザンの溶液を
不活性ガス雰囲気または0.85以下のアンニモアモル
分率とし、−5℃〜120℃の温度、大気圧〜15kg
/d Gの圧力下で改質することを特徴とする方法を提
供する。
出発原料としてはジクロロシランを用いる。他のハロシ
ランでもベルヒドロシラザンの生成は可能であるが、取
り扱い上及び経済上から好ましいので本発明ではジクロ
ロシランを用いる。
このジクロロシランに、先ず、ルイス塩基を付加させて
錯体を形成させる。
使用する塩基はハロシランとアダクトを形成する反応以
外の反応をしないルイス塩基である。このような塩基と
しては例えば、3級アミン類(トリメチルアミン、ジメ
チルエチルアミン、ジエチルメチルアミン、及びトリエ
チルアミン等のトリアルキルアミン、ピリジン、ピコリ
ンジメチルアニリン及びこれらの誘導体)、立体障害性
の基を有する2級アミン類、フォスフイン、スチピン、
アルシン及びこれらの誘導体等(例えばトリメチルフォ
スフイン、ジメチルエチルフォスフイン、メチルジエチ
ルフォスフイン、トリエチルフォスフイン、トリメチル
アルシン、トリメチルスチビン、トリメチルアミン、ト
リエチルアミン等)を挙げることができる。中でも、低
沸点でアンモニアより塩基性の小さい塩基(例えばピリ
ジン、ピコリン、トリメチルフォスフイン、ジメチルエ
チルフォスフイン、メチルジエチルフォスフイン、トリ
エチルフォスフイン)が好ましく、特にピリジン及びピ
コリンが取扱上及び経済上から好ましい ジクロロシランに対するルイス塩基の量は、モル比で0
.5以上、好ましくは1.0以上、より好ましくは1.
5以上とするのがよい。
ジクロロシランにルイス塩基を付加させて錯体を形成さ
せる際の反応媒体としては、ルイス塩基単独、あるいは
非反応性溶媒とルイス塩基との混合物を用いるのがよい
。非反応性溶媒としては、脂肪族炭化水素、脂環式炭化
水素、芳香族炭化水素の炭化水素溶媒、ハロゲン化メタ
ン、ハロゲン化エタン、ハロゲン化ベンゼン等のハロゲ
ン化炭化水素、脂肪族エーテル、脂環式エーテル等のエ
ーテル類が使用できる。
好ましい溶媒は、塩化メチレン、クロロホルム、四塩化
炭素、ブロモホルム、塩化エチレン、塩化エチリデン、
トリクロロエタン、テトラクロロエターン等のハロゲン
化炭化水素、エチルエーテル、イソプロピルエーテル、
エチルブチルエーテル、ブチルエーテル、1,2−ジオ
キシエタン、ジオキサン、ジメチルジオキサン、テトラ
ヒドロフラン、テトラヒドロピラン等のエーテル類、ペ
ンタン、ヘキサン、イソヘキサン、メチルペンタン、ヘ
プタン、イソへブタン、オクタン、イソオクタン、シク
ロペンクン、メチルシクロペンタン、シクロヘキサン、
メチルシクロヘキサン、ベンゼン、トルエン、キシレン
、エチルベンゼン等の炭化水素である。これらの溶媒の
うち、安全性などの点から、ジクロロメタンやピリジン
が特に好ましい。
溶媒中のジクロロシランの濃度は任意とすることができ
るが、1〜15重量%(以下、%と略称する)の範囲と
するのがよい。
本発明では、この錯体形成を、不活性ガス雰囲気中、−
5℃〜20℃の温度、大気圧−10kg/allGの圧
力下で行なうことが好ましい。20″C以上の温度では
一05iHzC42z 、ピリジンが反応しないで不活
性ガスとともに飛散し、出口ラインの閉塞・収率の低下
の原因となる。また5iHzCfzが不均化をおこす。
−5℃以下の温度では低温の冷媒が必要となるためコス
ト高になる。圧力については特に限定はないが、経済性
理由等から大気圧−10kg/ ctA Gが望ましい
反応は極めて速いので反応時間を任意に定めることがで
きる。
次に、このようにして製造した錯体に乾燥アンモニアを
反応させて加安分解(アンモノリシス)を行なわせる。
この際使用するアンモニアは気体でも液体でもよい。ア
ンモニアの乾燥は、例えば固体水酸化ナトリウムに通し
た後、金属ナトリウムに通すなどの方法により行なうの
がよい。アンモニアの添加量は、ジクロロシランの合計
量に対して、モル比で3.0以上、好ましくは4〜15
倍とするのがよい。反応溶媒、反応圧力、時間とも錯体
形成時の条件と同じでよい。但し、閉鎖系ではアンモニ
ア加圧となる。又、反応系中の水分量は、例えば500
ppm以下とするのが望ましい。
反応雰囲気はアンニモア又は不活性ガス雰囲気を用いる
反応温度は一5℃〜50℃とする。従来は錯体形成時と
同じ条件でアンモノリシスを行なっていたが、アンモノ
リシス反応時の温度を上げると生成物の分子量が増加す
るので、これを分子量制御に利用することができる。
反応終了後、濾過などの常用手段を用いて塩化アンモニ
ウムを除去してポリシラザンを得ることができる。必要
に応じて、塩化アンモニウム除去前に溶媒を追加してポ
リシラザンを希釈、洗浄する。
得られたポリシラザンは生成条件に応じて、本発明の所
期の特性値を有するポリシラザンであることができるが
、次の改質反応と組み合せて条件を制御することにより
、より容易に所期の特性値を有するポリシラザンを生成
することができる。
改質反応は、塩化アンモニウム除去後のポリシラザン溶
液をアンモニア又は不活性ガス雰囲気下、5℃〜120
℃の温度、大気圧〜15kg/cmlGの圧力下でアン
モニアを添加し、0.5〜30時間程時間待してポリン
ラザン架橋反応を行なうものである。
このとき、ポリシラザン溶液中のアンモニアモル分率は
0.85以下とする。アンモニア分率が0.85以上だ
と改質反応速度が速すぎて、分子量、S i / N比
の制御が困難である。この改質反応では、特にSi/N
比との分子量調整ができる。ピリジン中に溶解している
NH3の量と反応温度、時間を変えることで分子量およ
びSi/N比を制御できる。
分子量は加熱する時間と温度を変えることによって制御
することができる。温度が低いと反応速度が遅いために
加熱時間を長く取らなければならず、高いと反応速度が
速すぎて制御が困難となる。Si/N比は反応時間とポ
リシラザン溶液中のアンモニアモル分率を変えることで
制御できる。アンモニアモル分率を高くすると反応生成
物のSi/N比が下がる。また、反応時間が長いとSi
/N比が下がる。圧カ一定で温度を上昇するとアンモニ
アモル分率が減少するため最終プロダクトの数平均分子
量とSi/N比にみあうよう、反応温度、圧力、時間を
調整する。
このように、本発明では、(1)ジクロロシランの錯体
生成、(2)アンモノリシス反応、(3)改質反応、特
に(2)、(3)の反応、改質条件を制御することによ
って、本発明が目的とする所期の特性値を有する窒化珪
素繊維用ペルヒドロポリシラザンを製造することができ
る。
〔実施例〕
皇311よ 反応装置を第1図に示す。第1図中、1はジクロロシラ
ン貯槽、2は溶媒貯槽、3は反応器、4は窒素ガス管、
5はアンモニアガス管、6は恒温槽、7はモーター、8
は温度計9と連動したヒーター、10は排ガス管である
。この装置を用いて以下の反応を実施した。
温度が0℃の恒温槽内に設置した反応器内を乾燥窒素で
置換した後、乾燥ピリジン900mを入れ゛温度が一定
となるまで保持した後、撹拌しながらジクロロシラン(
Si82C12) 101.0 gを加え、白色固体状
のアダクトを得た。反応混合物をOocに冷却し、攪拌
しながら、乾燥アンモニア72gを吹きこんだ。
反応終了後、乾燥窒素を吹きこみ、未反応のアンモニア
を除去した後、窒素雰囲気下で加圧濾過し、濾液850
mを得た。この濾液に乾燥。−キシレン1000mを加
え、約900−になるまで減圧下で溶媒を除去し、さら
に乾燥0−キシレン1000dを加え再び減圧蒸留して
700dの溶媒を得た。溶液の一部を分取し、さらに溶
媒を減圧除去すると無色の粘性液体が得られた。
この粘性液体を、GPCにより分子量を測定したところ
数平均分子量(Mn)は528、重量平均分子量(Mw
)は996であり、重量平均分子量と数平均分子量の比
(Mn/Mw)は1.88であった。
また、そのIRスペトクル(溶媒:0−キシレン)の分
析の結果、波数(C1−’) 3350および1175
のN−Hに基づく吸収; 2170のSi −Hに基づ
く吸収i 1020〜820の5i−Hおよび5i−N
−3iに基づく吸収を示すことが確認された。さらに、
このポリマーの’ H−NMR(プロトン核磁気共鳴)
スペトクル(60MHz、 溶媒;  CDCj23 
/基準物質TMS)を分析したところ64.8 (br
、 5iHzまたは5in)δ4.4 (br、 Si
H:+) 、61.4 (br、 NH)の吸収が確認
された。また、前記重合体の元素組成(重量%)はSi
  :64.3  N :26.8. O: 1.9 
、 C: 2.6であった。
f1■江η 参考例1と同様の装置を用いて以下の反応を実施した。
温度が0℃の恒温槽内に設置した反応器内を乾燥窒素で
置換した後、乾燥ピリジン9ooIIdlを入れ温度が
一定となるまで保持した後、攪拌しながらジクロロシラ
ン(SiH2C12) 101.0 gを加え、白色固
体状のアダクトを得た。次に反応混合物を30″Cに設
定し、攪拌しながら、乾燥アンモニア72gを吹きこん
だ。
反応終了後、乾燥窒素を吹きこみ、未反応のアンモニア
を除去した後、窒素雰囲気下で加圧濾過し、濾液850
−を得た。この濾液に乾燥。−キシレン1000mを加
え、約900dになるまで減圧下で溶媒を除去し、さら
に乾燥0−キシレン1000戚を加え再び減圧茎留して
700戚の溶媒を得た。?8液の一部を分取し、さらに
溶媒を減圧除去すると白色の固体状の無機シラザンが得
られた。
GPCにより分子量を測定したところ数平均分子量(M
n)は1280、重量平均分子量(Mw)は3359で
あり、重量平均分子量と数平均分子量の比(Mw/ M
 n )は2.62であった。元素分析により、珪素と
窒素の組成比は1.20であった。
夫隻桝よ 参考例1と同様の装置を用いて以下の反応を実施した。
温度がO″Cの恒温槽内に設置した反応器内を乾燥窒素
で置換した後、乾燥ピリジン900mを入れ温度が一定
となるまで保持した後、攪拌しながらジクロロシラン(
SiH2C12) 101.0 gを加え、白色固体状
のアダクトを得た。次に反応混合物を50℃に加熱し、
攪拌しながら、乾燥アンモニア72gを吹きこんだ。
反応終了後、乾燥窒素を吹きこみ、未反応のアンモニア
を除去した後、窒素雰囲気下で加圧濾過し、濾液85(
ldを得た。この濾液に乾燥。−キシレン1000−を
加え、約900−になるまで減圧下で溶媒を除去し、さ
らに乾燥0−キシレン1000−を加え再び減圧蒸留し
て700−の溶液を得た。溶液の一部を分取し、さらに
溶媒を減圧除去すると白色固体状の無機シラザンが得ら
れた。
GPCにより分子量を測定したところ数平均分子量(M
n)は1620、重量平均分子量(M−)は5022で
あり、重量平均分子量と数平均分子量の比(Mw/Mn
)は3.10であった。元素分析により、珪素と窒素の
組成比は1.25であった。
さらに、ロータリーエバポレーターで溶媒を減圧除去し
た。溶液が十分に曳糸性を示すようになったとき減圧除
去を中止した。この溶液を乾式紡糸装置の脱泡容器に移
送して紡糸溶液とした。約2時間、60℃で静置脱泡後
、30℃で口径0.1 rmのノズルより、130℃の
乾燥空気雰囲気下の紡糸塔内に吐出し、300m/分の
速度で巻き取り、平均繊維径7.nの繊維を得た。
次いで、前記紡糸繊維に1kg/now”の張力を作用
させながら、窒素雰囲気下で室温から1200℃まで、
180℃/時間で昇温しで窒化珪素繊維とした。
この窒化珪素繊維の引っ張り強度は200〜290kg
/腫2(平均230kg/m2)、弾性率は16〜26
 ton / I!lll1”(平均21ton /■
りであった。この窒化珪素繊維を元素分析したところ、
窒素は33.2重量%、酸素は3.3重量%であった。
ル較±玉 参考例1.で得られた無機シラザンをロータリーエバポ
レーターで溶媒を減圧除去したところ溶媒を完全に除去
しても粘度が足りず、曳糸性を示すには至らなかったた
め紡糸できなかった。
凡Ml引η 参考例2.で得られた無機シラザンをロータリーエバポ
レーターで溶媒を減圧除去した。溶液が十分に曳糸性を
示すようになったとき減圧除去を中止した。この溶液を
乾式紡糸装置の脱泡容易に移送して紡糸溶液とした。約
2時間、60″Cで静置脱泡後、30℃で口径0.1 
mのノズルより、130℃の乾燥空気雰囲気下の紡糸塔
内に吐出し、300m/分の速度で巻き取り、平均繊維
径10,1ullの繊維を得た。
次いで、前記紡糸繊維に1 kg / me 2の張力
を作用させながら、窒素雰囲気下で室温から1200″
Cまで180″C/時間で昇温しだが、焼成した窒化珪
素繊維を走査型電子顕微鏡で観察したところ、一部、回
りの繊維と融着していた。融着していない部分について
引っ張り強度・弾性率を測定したところ引っ張り強度は
100〜190kg/m+++”(平均150kg/f
f11112)、弾性率は12〜20ton /ltm
2(平均15ton 、/n112)であった。
夫隻斑茎 反応装置を第2図に示す。第2図中、1は無機シラザン
貯槽、2は反応器、3は窒素ガス管、4はアンモニアガ
ス管、5は恒温槽、6はモーター7は温度計8と連動し
たヒーター 9は圧力計と連動した調節弁、11は排ガ
ス管である。
温度が60℃の恒温槽内に設置した反応器内を乾燥窒素
で置換した後、参考例1.で得られた無機シラザンのピ
リジン溶e600−を入れ温度が一定となるまで保持し
た後、アンモニアガスを注入した。
調節弁から余分なガスを放出して反応器の圧力が5 k
g / cdr Gとなるように設定し、14時間保持
した。
途中、放出されたガスをガスクロマトグラフィーで分析
したところ大量の水素が含まれていた。
反応終了後、700ad!の乾燥O−キシレンを加え乾
燥窒素を吹き込み、未反応のアンモニアを除去した後、
約100dになるまで減圧下で溶媒を除去し、さらに乾
燥0−キシレン700Idを加え再び減圧蒸留して50
0mの溶液を得た。溶液の一部を分取し、さらに溶媒を
減圧除去すると白色固体状のシラザンが得られた。
GPCにより分子量を測定したところ数平均分子量(M
n)は1927、重量平均分子量(Mw)は7309で
あり、重量平均分子量と数平均分子量の比(Mw/Mn
)は3.79であった。元素分析により、珪素と窒素の
組成比は1.05であった。
サラニ、ロータリーエバポレーターで溶媒を減圧除去し
た。溶液が十分に曳糸性を示すようになったとき減圧除
去を中止した。この溶液を乾式紡糸装置の脱泡容器に移
送して紡糸溶液とした。約2時間、60”Cで静置脱泡
後、30℃で口径0.1 mのノズルより、130℃の
乾燥空気雰囲気下の紡糸塔内に吐出し、300m/分の
速度で巻き取り、平均繊維径7paの繊維を得た。
次いで、前記紡糸繊維に1kg/nm”の張力を作用さ
せながら、窒素雰囲気下で室温から1200℃まで、1
80℃/時間で昇温しで窒化珪素繊維とした。
この窒化珪素繊維の引っ張り強度は220〜360kg
/■t(平均290kg / m 2)、弾性率は19
〜30ton/m”(平均24ton /鵬っであった
。この窒化珪素繊維を元素分析したところ、窒素は35
.3重量%、酸素は2.1重置%であった。
実施例2.と同一の装置を用いて反応を行った。
温度が30℃の恒温槽内に設置した反応器内を乾燥窒素
で置換した後、参考例1.で得られた無機シラザンのピ
リジン溶液600−を入れ温度が一定となるまで保持し
た後、アンモニアガスを注入した。
調節弁から余分なガスを放出して反応器の圧力が4kg
/cm2Gとなるように設定し、10時間保持した。
途中、放出されたガスをガスクロマドグー7フイーで分
析したところ大量の水素が含まれていた。
反応終了後、700dの乾燥0−キシレンを加え乾燥窒
素を吹きこみ、未反応のアンモニアを除去した後、約7
00 ad!になるまで減圧下で溶媒を留去し、この操
作をさらに2回くり返した。溶液の一部を分取し、さら
に溶媒を減圧除去すると白色固体状めシラザンが得られ
た。
GPCにより分子量を測定したところ数平均分子量(M
n)は2201、重量平均分子量(M−は8692であ
り、重量平均分子量と数平均分子量の比(M wr/M
n)は3.95であった。元素分析により、珪素と窒素
の組成比は0.95であった。
さらに、ロータリーエバポレーターで溶媒を減圧除去し
た。溶液が十分に曳糸性を示すようになったとき減圧除
去を中止した。この溶液を乾式紡糸装置の脱泡容器に移
送して紡糸溶液とした。約2時間、60℃で静置脱泡後
、30℃で口径0.1−のノズルより、130℃の乾燥
空気雰囲気下の紡糸塔内に吐出し、300m/分の速度
で巻き取り、平均繊維径7μの繊維を得た。
次いで、前記紡糸繊維に1kg/m2の張力を作用させ
ながら、窒素雰囲気下で室温から1200″Cまで、1
80℃/時間で昇温しで窒化珪素繊維とした。
この窒化珪素繊維の引っ張り強度は280〜380kg
/=2(平均320kg / am ”)、弾性率は2
1〜30ton/ ttm”(平均25ton /ma
+”)であった。
夫嵐開ル 実施例2.と同様の装置を用いて以下の反応を実施した
温度が80℃の恒温槽内に設置した反応器内を乾燥窒素
で置換した後、参考例1.で得られた無機シラザンのピ
リジン溶液600 dを入れ、窒素で加圧したまま密閉
系で20時間保持した。この間大量のガスが発生し圧力
が上昇したが、ガスクロマトグラフィーで分析したとこ
ろ発生したガスは水素であった。反応終了後、100d
の乾燥エチルヘンゼンを加えて、温度60℃7−溶媒を
減圧留去すると白色固体状の無機シラザンが得られた。
GPCにより分子量を測定したところ数平均分子量(M
n)は2312、重量平均分子量(M−は10599で
あり、重量平均分子量と数平均分子量の比(Mh/Mn
)は4.59であった。元素分析により、珪素と窒素の
組成比は1.20であった。
この白色粉末にトルエンを加えて徐々に溶解し、溶液が
十分に曳糸性を示すようになったときトルエンの添加を
中止した。この溶液を乾式紡糸装置の脱泡容器に移送し
て約2時間、60℃で静置脱泡後、40℃で口径0.0
8m+のノズルより、130℃の乾燥空気雰囲気下の紡
糸塔内に吐出し、500m/分の速度で巻き取り、平均
繊維径10#11の繊維を得た。
次いで、前記紡糸繊維に1kg/■2の張力を作用させ
ながら、窒素雰囲気下で室温から1200℃まで、18
0℃/時間で昇温して窒化珪素繊維とした。
この窒化珪素繊維の引っ張り強度は220〜310kg
/IIIm ” (平均260kg/mIす、弾性率は
13〜23ton/ mt(平均19ton /騰りで
あった。
夫隻±l 実施例2.と同一の装置を用いて反応を実施した。
温度が120℃の恒温槽内に設置した反応器内を乾燥窒
素で置換した後、参考例1.で得られた無機シラザンの
ピリジン溶液600 mを入れ、窒素で加圧したまま密
閉系で12時間保持した。この間大量のガスが発生し圧
力が上昇したが、ガスクロマトグラフィーで分析したと
ころ発生したガスは水素であった。反応終了後、700
−の乾燥エチルベンゼンを加えて、温度60℃で溶媒を
減圧留去すると白色固体状の無機シラザンが得られた。
GPCにより分子量を測定したところ数平均分子量(M
n)は3290、重量平均分子量(M−)は19730
であり、重量平均分子量と数平均分子量の比(M w/
Mn)は6.00であった。元素分析により、珪素と窒
素の組成比は1822であった。
この白色粉末を実施例3.と同一の方法で紡糸・焼成を
行い窒化珪素繊維を得た。この窒化珪素繊維の引っ張り
強度は160〜280kg/m”(平均220kg/−
2)、弾性率は15〜30ton /1111”(平均
21ton /−りであった。
亥11引謂 実施例2.と同一の装置を用いて反応を行った。
温度が60℃の恒温槽内に設置した反応器内を乾燥窒素
で置換した後、参考例2で得られた無機シラザンのピリ
ジン溶液600 mを入れ温度が一定となるまで保持し
た後、アンモニアガスを注入した。
調節弁から余分なガスを放出して反応器の圧力が5kg
/CdGとなるように設定し、14時間保持した。
途中、放出されたガスをガスクロマトグラフィーで分析
したところ大量の水素が含まれていた。
反応終了後、700jdの乾燥0−キシレンを加え乾燥
窒素を吹きこみ、未反応のアンモニアを除去した後、約
700jleになるまで減圧下で溶媒留去し、この操作
をさらに2回くり返した。溶液の一部を分取し、さらに
溶媒を減圧除去すると白色固体状の無機シラザンが得ら
れた。
GPCにより分子量を測定したところ数平均分子量(M
n)は2950、重量平均分子量(M−)は13730
であり、重量平均分子量と数平均分子量の比(M w/
Mn)は4.65であった。元素分析により、珪素と窒
素の組成比は1.02であった。
サラに、ロータリーエバポレーターで溶媒を減圧除去し
た。溶液が十分に曳糸性を示すようになったとき減圧除
去を中止した。この溶液を乾式紡糸装置の脱泡容器に移
送して紡糸溶液とした。約2時間、60゛Cで静置脱泡
後、30゛Cで口径0.1−のノズルより、130℃の
乾燥空気雰囲気下の紡糸塔内に吐出し、300m/分の
速度で巻き取り、平均繊維径7.nの繊維を得た。
次いで、前記紡糸繊維に1kg/mi+”の張力を作用
させながら、窒素雰囲気下で室温から1200℃まで、
180℃/時間で昇温しで窒化珪素繊維とした。
この窒化珪素繊維の引っ張り強度は220〜350kg
/B2(平均300kg/mm2)、弾性率は20〜3
2ton/l1II112(平均25ton /■2)
であった。
なお、上記の例のうち参考例1.2、比較例1で得られ
たポリシラザンは紡糸できなかった。
以上の結果のうち主なものを、下記表に示す。
実施例2.と同一の装置を用いて反応を行った。
温度が0℃の恒温槽内に設置した反応器内を乾燥窒素で
置換した後、参考例1.で得られた無機シラザンのピリ
ジン溶液600−を入れ温度が一定となるまで保持した
後、アンモニアガスを注入した。
調節弁から余分なガスを放出して反応器の圧力が2.5
kg/cm2Gとなるように設定し、1時間保持した。
途中、放出されたガスをガスクロマトグラフィーで分析
したところ大量の水素が含まれていた。
反応終了後、700dの乾燥0−キシレンを加え乾燥窒
素を吹きこみ、未反応のアンモニアを除去した後、約7
00dになるまで減圧下で溶媒を留去し、この操作をさ
らに2回くり返した。溶液の一部を分取し、さらに溶媒
を減圧除去すると白色固体状の無機シラザンが得られた
C,PCにより分子量を測定したところ数平均分子量(
Mn)は1421、重量平均分子量(M−)は5826
であり、重量平均分子量と数平均分子量の比(Mw/ 
M n )は4.10であった。元素分析ムこより、珪
素と窒素の組成比は0.86であった。
さらに、ロータリーエバポレーターで溶媒を減圧除去し
た。溶液が十分に曳糸性を示すようになったとき減圧除
去を中止した。この溶液を乾式紡糸装置の脱泡容器に移
送して、約2時間、60℃で静置脱泡後、30℃で口径
0.1 mmのノズルより、130℃の乾燥空気雰囲気
下の紡糸塔内に吐出し、300m/分の速度で巻き取り
、平均繊維径7趨の繊維を得た。
次いで、前記紡糸繊維に1kg/m”の張力を作用させ
ながら、窒素雰囲気下で室温から1200’Cまで、1
80℃/時間で昇温しで窒化珪素繊維とした。
この窒化珪素繊維の引っ張り強度は240〜380kg
/閣2(平均330kg/■す、弾性率は25〜35 
ton / m ”(平均28ton/a+m”)であ
った。
[発明の効果〕 本発明によれば、窒化珪素繊維製造用の前駆体として好
適なペルヒドロポリシラザンが得られ、紡糸が容易化し
、また繊維の収率が向上する効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は実施例の合成装置の模式図である。 1・・・ジクロロシラン槽、2・・・溶媒槽、3・・・
反応器、      4・・・窒素ガス管、5・・・ア
ンモニア管、   6・・・恒温槽。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、一般式 ▲数式、化学式、表等があります▼ で表わされる骨格を有するペルヒドロポリシラザンであ
    って、ポリスチレン換算数平均分子量が1400〜40
    00であり、重量平均分子量Mwと数平均分子量Mnと
    の比Mw/Mnが7.0以下、かつSiとNのモル組成
    比が0.75〜1.25であることを特徴とする窒化珪
    素繊維用ペルヒドロポリシラザン。 2、ジクロロシランとルイス塩基を−5℃〜20℃の温
    度、大気圧〜10kg/cm^2Gの圧力下で反応させ
    て錯体を生成し、該錯体に錯体1モルに対し3モル以上
    のアンモニアを−5℃〜50℃の温度、大気圧〜10k
    g/cm^2Gの圧力下で反応させることを特徴とする
    請求項1記載の窒化繊維用ペルヒドロポリシラザンの製
    法。 3、請求項2記載の方法で得られたペルヒドロポリシラ
    ザンをさらに、該ペルヒドロポリシラザンの溶液に不活
    性ガスまたはアンモニアを0.85以下の溶液中アンモ
    ニア分率で供給し、−5℃〜−120℃の温度、大気圧
    〜15kg/cm^2Gの圧力下で改質させる窒化珪素
    繊維用ペルヒドロポリシラザンの製法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7429637B2 (en) * 2003-02-12 2008-09-30 Samsung Electronics Co., Ltd. Compositions including perhydro-polysilazane used in a semiconductor manufacturing process and methods of manufacturing semiconductor devices using the same
JP2011142207A (ja) * 2010-01-07 2011-07-21 Az Electronic Materials Kk ポリシラザンを含むコーティング組成物

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US7429637B2 (en) * 2003-02-12 2008-09-30 Samsung Electronics Co., Ltd. Compositions including perhydro-polysilazane used in a semiconductor manufacturing process and methods of manufacturing semiconductor devices using the same
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