JPH0323269A - 透光性酸窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法 - Google Patents
透光性酸窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法Info
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- JPH0323269A JPH0323269A JP1153889A JP15388989A JPH0323269A JP H0323269 A JPH0323269 A JP H0323269A JP 1153889 A JP1153889 A JP 1153889A JP 15388989 A JP15388989 A JP 15388989A JP H0323269 A JPH0323269 A JP H0323269A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、透光怜に優れた多結晶酸窒化アルミニウム焼
結体、特に厚さ５ ｍｓ以上で使用する耐久性光学窓材
等の用途に好適な透光性酸窒化アルミニウム焼結体、及
びその製造方法に関する。
結体、特に厚さ５ ｍｓ以上で使用する耐久性光学窓材
等の用途に好適な透光性酸窒化アルミニウム焼結体、及
びその製造方法に関する。
（従来の技術）
酸窒化アルミニウムは酸化アルミニウムと窒化アルミニ
ウムの複合化合物であり、窒化アルミニウムのモル分率
が３０〜３７モル％の範囲において立方晶の単一相とな
るため、結晶粒界での光敗熱が少なく、高密度に焼結し
た場合非常に高い透光性を示すことが知られている。
ウムの複合化合物であり、窒化アルミニウムのモル分率
が３０〜３７モル％の範囲において立方晶の単一相とな
るため、結晶粒界での光敗熱が少なく、高密度に焼結し
た場合非常に高い透光性を示すことが知られている。
通常、酸窒化アルミニウム焼結体の透光性は可視領域の
波長０．３μｍ付近から急激に高くなり、赤外領域の波
長３〜４μｍ付近で最高となる。従つ゛Ｃ酸窒化アルミ
ニウム焼結体は光学窓のような透光性材料として有望視
され、従来から各種の方法によって製造が試みられてい
るが、満足すべき透光性を備えた酸窒化アルミニウム焼
結体は得られていない。
波長０．３μｍ付近から急激に高くなり、赤外領域の波
長３〜４μｍ付近で最高となる。従つ゛Ｃ酸窒化アルミ
ニウム焼結体は光学窓のような透光性材料として有望視
され、従来から各種の方法によって製造が試みられてい
るが、満足すべき透光性を備えた酸窒化アルミニウム焼
結体は得られていない。
例えば、特開昭５８ − ７４５７７号公報には、硼素
やイソトリウム又はこれらの化合物を混合するか若しく
は気相からドーピングしながら、酸窒化アルミニウム粉
末を窒素ガス中において１．９００Ｃ’以上の温度で常
圧焼結する方法が記載されている。しかし、硼素やイツ
｝ ＩＪウム等が焼結体中に添加又はドーピングされる
と部分的に第２相が出現しやすくなり、この組織的不均
一性により光が散乱されるので、直径５Ｑｓｕａ以上の
大型材になると光学的に均一なものが得難い欠点があっ
た。更に、常圧焼結では、透光性が得られるまで緻密化
すると粒戊長が避けられず、得られる焼結体の強度が低
くなるという欠点があった。
やイソトリウム又はこれらの化合物を混合するか若しく
は気相からドーピングしながら、酸窒化アルミニウム粉
末を窒素ガス中において１．９００Ｃ’以上の温度で常
圧焼結する方法が記載されている。しかし、硼素やイツ
｝ ＩＪウム等が焼結体中に添加又はドーピングされる
と部分的に第２相が出現しやすくなり、この組織的不均
一性により光が散乱されるので、直径５Ｑｓｕａ以上の
大型材になると光学的に均一なものが得難い欠点があっ
た。更に、常圧焼結では、透光性が得られるまで緻密化
すると粒戊長が避けられず、得られる焼結体の強度が低
くなるという欠点があった。
一万、酸窒化アルミニウム粉末を窒素ガス中でホットプ
レスすることにより、酸窒化アルミニウム焼結体を得る
方法も知られている。しかし、ホットプレスではグラフ
ァイト型の強度上の制約から５ Ｑ Ｑ ｋｙＣｒｍ
”以上の高圧をかけることが鋳しく、これ以下の圧力で
は上下二方向加圧であることにもより、焼結体の充分な
緻密化が進行せず、満足すべき直線透過率が得られなか
った。
レスすることにより、酸窒化アルミニウム焼結体を得る
方法も知られている。しかし、ホットプレスではグラフ
ァイト型の強度上の制約から５ Ｑ Ｑ ｋｙＣｒｍ
”以上の高圧をかけることが鋳しく、これ以下の圧力で
は上下二方向加圧であることにもより、焼結体の充分な
緻密化が進行せず、満足すべき直線透過率が得られなか
った。
従って、これら従来の方法で製造された透光性酸窒化ア
ルミニウム焼結体では、試料厚さ２錦の薄い材料でも波
長０．４〜４．５μｍでの直線透過率が最高で８５％程
度及び平均で８０％程度と低く、耐久性光学窓材等の厚
さ５ｗ以上で使用される透光性材料としては更に直線透
過率の向上が必要であった。
ルミニウム焼結体では、試料厚さ２錦の薄い材料でも波
長０．４〜４．５μｍでの直線透過率が最高で８５％程
度及び平均で８０％程度と低く、耐久性光学窓材等の厚
さ５ｗ以上で使用される透光性材料としては更に直線透
過率の向上が必要であった。
本発明はかかる従来の事情に鑑み、大型材でも光学的に
均一で優れた透光性を有し、特に厚さが５ｍ以上の可視
及び赤外領域における耐久性光学窓材として優れた直線
透過率と強度を備えた透光性酸窒化アルミニウム焼結体
、及びその製造方法を提供することをロ的とする。
均一で優れた透光性を有し、特に厚さが５ｍ以上の可視
及び赤外領域における耐久性光学窓材として優れた直線
透過率と強度を備えた透光性酸窒化アルミニウム焼結体
、及びその製造方法を提供することをロ的とする。
（課題を解決するための手段）
−Ｌ記目的を達或するため、本発明の透光性酸窒化アル
ミニウム焼結体の製造方法では、純度９９％以上、比表
面積（ＢＥＴ値）３ｔｒＶｇ以上の酸窒化アルミニウム
粉末を、温度１４００〜ｉｓｏｏ ｃ”及び圧力１００
〜５００ ｋＶ′ｃｍ”での真空中又は窒素ガス中にお
けるホットプレスにより理論密度比９５％以上に緻密化
し、次に温度１５００〜２０００ Ｃ’及び圧力５００
ｋｇ／ｃｍ”以上でＨＩＰ処理することを特徴とする。
ミニウム焼結体の製造方法では、純度９９％以上、比表
面積（ＢＥＴ値）３ｔｒＶｇ以上の酸窒化アルミニウム
粉末を、温度１４００〜ｉｓｏｏ ｃ”及び圧力１００
〜５００ ｋＶ′ｃｍ”での真空中又は窒素ガス中にお
けるホットプレスにより理論密度比９５％以上に緻密化
し、次に温度１５００〜２０００ Ｃ’及び圧力５００
ｋｇ／ｃｍ”以上でＨＩＰ処理することを特徴とする。
上記方法によって製造される本発明の透光性酸窒化アル
ミニウム焼結体は、純度９９％以上の多結晶酸窒化アル
ミニウム焼結体からなり、試料厚さ５鴨での直線透過率
が波長０．４〜４．５μｍの可視及び赤外領域で平均８
０％以上であることを特徴とする。
ミニウム焼結体は、純度９９％以上の多結晶酸窒化アル
ミニウム焼結体からなり、試料厚さ５鴨での直線透過率
が波長０．４〜４．５μｍの可視及び赤外領域で平均８
０％以上であることを特徴とする。
〔作用）
本発明方法の原料である酸窒化アルミニウム粉末は、不
純物吸収による透光性の低下を防ぐために９９％以上の
純度のものを使用し、特にＦｅ等の７！１移金属元素の
含有は好ましくない。又、酸窒化アルミニウム粉末は一
次粒子が約０．５μｍ以下、即ち比表面積がＢＥＴ値で
３ ｍ’／ｇ以上、好ましくは１０〜２０１ｒＶｇであ
ることが、平均粒径が３０μｍ以下と微細で且つ緻密な
酸窒化アルミニウム焼結体を得るために必要である。
純物吸収による透光性の低下を防ぐために９９％以上の
純度のものを使用し、特にＦｅ等の７！１移金属元素の
含有は好ましくない。又、酸窒化アルミニウム粉末は一
次粒子が約０．５μｍ以下、即ち比表面積がＢＥＴ値で
３ ｍ’／ｇ以上、好ましくは１０〜２０１ｒＶｇであ
ることが、平均粒径が３０μｍ以下と微細で且つ緻密な
酸窒化アルミニウム焼結体を得るために必要である。
このように高純度で且つ微細な酸窒化アルミーウム粉末
としては、酸化アルミニウム微粉末に力一ボン粉末を混
合し、窒素ガス中で還元して得られる粉末、或いは微粒
の酸化アルミニウム粉末と窒化アルミニウム粉末とを混
合し窒素ガス中で反応させて得られる粉末が好適である
。
としては、酸化アルミニウム微粉末に力一ボン粉末を混
合し、窒素ガス中で還元して得られる粉末、或いは微粒
の酸化アルミニウム粉末と窒化アルミニウム粉末とを混
合し窒素ガス中で反応させて得られる粉末が好適である
。
本発明方法において、ホットプレスは真空中又は窒素ガ
ス中で行ない、焼結温度は１４００〜１８００Ｃとする
。１４００ Ｃ’未満の温度では理論密度比９５％以上
の高密度な焼結体を得難く、１８００ Ｃ″を超えると
粒戊長が進行しすぎ、後のＨＩＰの効果が小さくなり、
又曲げ強度が２５０ ＭＰａに達しないからである。又
、ホットプレスの圧力が１００１＄ｍ”未満では理論密
度比９５％以上の高密度な焼結体を得難く、逆に５００
ｋ９Ａｍ”を超えると強度的に通常のグラファ・イト
型の使用が嬉しくなる。
ス中で行ない、焼結温度は１４００〜１８００Ｃとする
。１４００ Ｃ’未満の温度では理論密度比９５％以上
の高密度な焼結体を得難く、１８００ Ｃ″を超えると
粒戊長が進行しすぎ、後のＨＩＰの効果が小さくなり、
又曲げ強度が２５０ ＭＰａに達しないからである。又
、ホットプレスの圧力が１００１＄ｍ”未満では理論密
度比９５％以上の高密度な焼結体を得難く、逆に５００
ｋ９Ａｍ”を超えると強度的に通常のグラファ・イト
型の使用が嬉しくなる。
尚、本発明方法では、酸化イツ｝ ＩＪウム等の焼結助
剤を添加したり、硼素等をドーピングする必要もない。
剤を添加したり、硼素等をドーピングする必要もない。
焼結温度を下げるために焼結助剤を添加する場合でも、
０．５重量％以下と少量で済む為第２相の析出による透
過率の低下や屈折率のばらつきが殆ど無い。
０．５重量％以下と少量で済む為第２相の析出による透
過率の低下や屈折率のばらつきが殆ど無い。
上記のホットプレスで得られた焼結体は、次のＨ Ｉ
Ｐ処理において１６００〜２０００ Ｃ’の温度及び５
００Ｊ９’ｔ”以上の圧力で等方的に加圧されるので、
望性変形や拡散機構により空孔の除去が促進され、更に
高密度化及び光学的均一化が達成され、焼結体の透光性
が一層向上する。
Ｐ処理において１６００〜２０００ Ｃ’の温度及び５
００Ｊ９’ｔ”以上の圧力で等方的に加圧されるので、
望性変形や拡散機構により空孔の除去が促進され、更に
高密度化及び光学的均一化が達成され、焼結体の透光性
が一層向上する。
ＨＩＰで用いるガスは、Ａｒ等の不活性ガス、窒素ガス
、又は酸素ガス、或いはこれらの混合ガスが好まし〈、
特に酸素ガス又は酸素の混合ガスを使用すればＨＩＦ処
理時の焼結体からの脱酸素を補なうことが出来るので組
戒比ずれによる透光性の低下を防止できる利点がある。
、又は酸素ガス、或いはこれらの混合ガスが好まし〈、
特に酸素ガス又は酸素の混合ガスを使用すればＨＩＦ処
理時の焼結体からの脱酸素を補なうことが出来るので組
戒比ずれによる透光性の低下を防止できる利点がある。
尚、ホットプレスで得られた焼結体の理論密度比が９５
％未満の場合には、残留気孔の多くが所謂解放気孔とな
り、この気孔を通って１｛ＩＰで用いる高圧ガスが焼結
体内部に侵入してしまうため、ＨＩＰによる高密度化が
充分に進行しない結果となる。
％未満の場合には、残留気孔の多くが所謂解放気孔とな
り、この気孔を通って１｛ＩＰで用いる高圧ガスが焼結
体内部に侵入してしまうため、ＨＩＰによる高密度化が
充分に進行しない結果となる。
上記本発明方法により得られる酸窒化アルミニウム焼結
体は、高純度であると同時に非常に緻密であるから直線
透過率が極めて高く、５１ｌＩｓの試料厚さであっても
波長０．４〜４．５μｍの可視及び赤外領域で平均８０
％以上の直線透過率が得られる。
体は、高純度であると同時に非常に緻密であるから直線
透過率が極めて高く、５１ｌＩｓの試料厚さであっても
波長０．４〜４．５μｍの可視及び赤外領域で平均８０
％以上の直線透過率が得られる。
又、組織的不均一性が無いので部分的な光の散乱等がな
くなり、直径５０ｌＩ１１Ｉ以上の大型材でも光学的に
均一な材料が得られる。
くなり、直径５０ｌＩ１１Ｉ以上の大型材でも光学的に
均一な材料が得られる。
更に、本発明方法によれば焼結時の粒戊長が最少限度に
抑えられるので、平均粒径が３０μｍ以下と極めて微細
な組織となり、優れた透光性と同時に高い強度を備えた
酸窒化アルミニウム焼結体が得られる。
抑えられるので、平均粒径が３０μｍ以下と極めて微細
な組織となり、優れた透光性と同時に高い強度を備えた
酸窒化アルミニウム焼結体が得られる。
実施例１
純度９９％、比表面ｆ１ｌ５ｒｒ？／ｇ（ＢＩｃＴ値）
の高純度酸窒化アルミニウム粉末を、５ Ｘ １０ −
”ｔｏｒｒの真空史において内径ＩＱＱｓｓのグラフ
ァイト型を用いて１６５０σの潟度と３ Ｑ Ｑ ｋｙ
ｆｘ ”の圧力で３時間ホットプレスＬ，て、理論密度
比９７．５％の白色の焼結体を得た。次に、この焼結体
をＨＩＰ装置に入れ、Ａｒガスを用い１８００ Ｃ”の
温度及び２０００ ｋｇ７ｅｗｓ”の圧力で２時間のＨ
ＩＰ処理を行なった。得られた酸窒化アルミニウム焼結
体は外観的に無色透明であった。
の高純度酸窒化アルミニウム粉末を、５ Ｘ １０ −
”ｔｏｒｒの真空史において内径ＩＱＱｓｓのグラフ
ァイト型を用いて１６５０σの潟度と３ Ｑ Ｑ ｋｙ
ｆｘ ”の圧力で３時間ホットプレスＬ，て、理論密度
比９７．５％の白色の焼結体を得た。次に、この焼結体
をＨＩＰ装置に入れ、Ａｒガスを用い１８００ Ｃ”の
温度及び２０００ ｋｇ７ｅｗｓ”の圧力で２時間のＨ
ＩＰ処理を行なった。得られた酸窒化アルミニウム焼結
体は外観的に無色透明であった。
上記の酸窒化アルミニウム焼結体を厚さ５ｍに鏡面研磨
加工し、分光光度計で直綿透過率を測定したところ、波
長０．４〜２μｍの領域で平均８０％及び波長２〜４．
５μｍの領域で平均８５％の優れた透光性を示した。又
、Ｊ工Ｓ Ｒ １６０１に基ずく四点曲げ強度は３１０
ＭＰａと優れた値を示した。
加工し、分光光度計で直綿透過率を測定したところ、波
長０．４〜２μｍの領域で平均８０％及び波長２〜４．
５μｍの領域で平均８５％の優れた透光性を示した。又
、Ｊ工Ｓ Ｒ １６０１に基ずく四点曲げ強度は３１０
ＭＰａと優れた値を示した。
』Ａ１ヱ
純度９９％、比表面積１０ ｒｒｌ／ｇ， （Ｂ Ｅ
Ｔ値）の高純度酸窒化アルミニウム粉末を、Ｉ Ｘ １
０−”ｔｏｒｒの真空中において内径１００ｍｓのグラ
７アイト型を用いて１６００σの温度と５００ ｋｖｆ
−ｍ２の圧力で２時間ホットプレスし、理論密度比９８
％の白色の焼結体を得た。更に、この焼結体をＨＩＰ装
置に入れ、窒素ガスを用い１７５０ Ｃ’の温度及び２
０００１ｖｆ−♂の圧力で２．５時間のＨＩＰ処理を行
なって、外観的に無色透明な酸窒化アルミニウム焼結体
を得た。
Ｔ値）の高純度酸窒化アルミニウム粉末を、Ｉ Ｘ １
０−”ｔｏｒｒの真空中において内径１００ｍｓのグラ
７アイト型を用いて１６００σの温度と５００ ｋｖｆ
−ｍ２の圧力で２時間ホットプレスし、理論密度比９８
％の白色の焼結体を得た。更に、この焼結体をＨＩＰ装
置に入れ、窒素ガスを用い１７５０ Ｃ’の温度及び２
０００１ｖｆ−♂の圧力で２．５時間のＨＩＰ処理を行
なって、外観的に無色透明な酸窒化アルミニウム焼結体
を得た。
この酸窒化アルミニウム焼結体を厚さ５闘に鏡面研磨加
工し、分光光度計で測定した直線透過率は、波長０．４
〜２μｍの領域で平均８１％及び波長２〜４．５μｍの
領域で平均８５％であった。又、この焼結体の四点曲げ
強度は３４０ ＭＰａであった。
工し、分光光度計で測定した直線透過率は、波長０．４
〜２μｍの領域で平均８１％及び波長２〜４．５μｍの
領域で平均８５％であった。又、この焼結体の四点曲げ
強度は３４０ ＭＰａであった。
実施例３
純度９９％、比表面積３ ｒｒＶｇ （Ｂ Ｅ Ｔ値）
の高純度酸窒化アルミニウム粉末に、酸化イットリウム
粉末０，５ｗｔ％をエタノール中でボールミル混合し、
．その混合粉末を１気圧の窒素ガス中において内径１２
０１ＩＩ１１＋のグラファイト型を用いて１５５０ Ｃ
’の温度と５００ ｋＶＣｒｎ”の圧力で３時間ホット
プレスし、理論密度比９６％の白色の焼結体を得た。更
に、この焼結体をＨＩＰ装置に入れ、Ｎ−１％Ｏ 混合
ガスを用い１７００σの温度及び２０００ ｋｙＡｍの
圧力にて２．５時間のＨＩＰ処理を行なった。得られた
酸窒化アルミニウム焼結体は外観的に無色透明であった
。
の高純度酸窒化アルミニウム粉末に、酸化イットリウム
粉末０，５ｗｔ％をエタノール中でボールミル混合し、
．その混合粉末を１気圧の窒素ガス中において内径１２
０１ＩＩ１１＋のグラファイト型を用いて１５５０ Ｃ
’の温度と５００ ｋＶＣｒｎ”の圧力で３時間ホット
プレスし、理論密度比９６％の白色の焼結体を得た。更
に、この焼結体をＨＩＰ装置に入れ、Ｎ−１％Ｏ 混合
ガスを用い１７００σの温度及び２０００ ｋｙＡｍの
圧力にて２．５時間のＨＩＰ処理を行なった。得られた
酸窒化アルミニウム焼結体は外観的に無色透明であった
。
この酸窒化アルミニウム焼結体を厚さ５關に鏡面研磨加
工し、分光光度計でｉ定した直線透過率は、波長０．４
〜２μｍの領域で平均８１％及び波長２〜４．５μｍの
領域で平均８５％であった。又、この焼結体の四点曲げ
強度は３００ ＭＰａを示した。
工し、分光光度計でｉ定した直線透過率は、波長０．４
〜２μｍの領域で平均８１％及び波長２〜４．５μｍの
領域で平均８５％であった。又、この焼結体の四点曲げ
強度は３００ ＭＰａを示した。
本発明によれば、高密度であり可視及び赤外領域におい
て試料厚さ５ｇＩｓで平均８０％以上の非常に優れた直
線透過率を有し、直径５０箇以上の大型材であっても光
学的に均一な透光性酸窒化アルミニウム焼結体を提供す
ることが出来る。
て試料厚さ５ｇＩｓで平均８０％以上の非常に優れた直
線透過率を有し、直径５０箇以上の大型材であっても光
学的に均一な透光性酸窒化アルミニウム焼結体を提供す
ることが出来る。
しかもこの酸窒化アルミニウム焼結体は、平均粒径が３
０μｍ以下と極めて微細な組織で高い強度を備えている
ので、耐久性光学窓材として特に悪条件下で使用される
厚さ５一以上の赤外透過窓材として有用である。
０μｍ以下と極めて微細な組織で高い強度を備えている
ので、耐久性光学窓材として特に悪条件下で使用される
厚さ５一以上の赤外透過窓材として有用である。
手続補正書（自発）
１．事件の表示
平威１年特 許
ｌ［第１５３８８９号
ｌ 補正をする者
事件との関係
Claims (4)
- （１）純度９９％以上及び比表面積（ＢＥＴ値）３ｍ＾
２／ｇ以上の酸窒化アルミニウム粉末を、温度１４００
〜１８００℃及び圧力１００〜５００ｋｇ／ｃｍ＾２で
の真空中又は窒素ガス中におけるホツトプレスにより理
論密度比９５％以上に緻密化し、次に温度１５００〜２
０００℃及び圧力５００ｋｇ／ｃｍ＾２以上でＨＩＰ処
理することを特徴とする透光性酸窒化アルミニウム焼結
体の製造方法。 - （２）ＨＩＰ処理は不活性ガス、窒素ガス又は酸素ガス
、若しくはこれらの混合ガスを用いることを特徴とする
、請求項（１）記載の透光性酸窒化アルミニウム焼結体
の製造方法。 - （３）純度９９％以上の多結晶酸窒化アルミニウム焼結
体からなり、試料厚さ５ｍｍでの直線透過率が波長０．
４〜４．５μｍの可視及び赤外領域で平均８０％以上で
あることを特徴とする透光性酸窒化アルミニウム焼結体
。 - （４）焼結体の平均粒径が３０μｍ以下であり、四点曲
げ強度が２５０ＭＰａ以上であることを特徴とする請求
項（３）記載の酸窒化アルミニウム焼結体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1153889A JPH0323269A (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | 透光性酸窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1153889A JPH0323269A (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | 透光性酸窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0323269A true JPH0323269A (ja) | 1991-01-31 |
Family
ID=15572330
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1153889A Pending JPH0323269A (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | 透光性酸窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0323269A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102875152A (zh) * | 2012-09-13 | 2013-01-16 | 大连海事大学 | 一种AlON透明陶瓷的低温快速制备方法 |
| JP2013212993A (ja) * | 2007-09-03 | 2013-10-17 | Tokuyama Corp | 改質窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
| JP2014532615A (ja) * | 2011-11-07 | 2014-12-08 | セラムテック−イーテック ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＣｅｒａｍＴｅｃ−Ｅｔｅｃ ＧｍｂＨ | 透明セラミック |
-
1989
- 1989-06-16 JP JP1153889A patent/JPH0323269A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013212993A (ja) * | 2007-09-03 | 2013-10-17 | Tokuyama Corp | 改質窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
| JP2014532615A (ja) * | 2011-11-07 | 2014-12-08 | セラムテック−イーテック ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＣｅｒａｍＴｅｃ−Ｅｔｅｃ ＧｍｂＨ | 透明セラミック |
| CN102875152A (zh) * | 2012-09-13 | 2013-01-16 | 大连海事大学 | 一种AlON透明陶瓷的低温快速制备方法 |
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