JPH03275561A - 透光性ｙａｇ焼結体及びその製造方法 - Google Patents
透光性ｙａｇ焼結体及びその製造方法Info
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- JPH03275561A JPH03275561A JP7416190A JP7416190A JPH03275561A JP H03275561 A JPH03275561 A JP H03275561A JP 7416190 A JP7416190 A JP 7416190A JP 7416190 A JP7416190 A JP 7416190A JP H03275561 A JPH03275561 A JP H03275561A
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Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は透光性に優れた多結晶ＹＡＧ焼結体、特に厚さ
３關以上で使用する赤外透過窓等の用途に好適な透光性
ＹＡＧ焼結体、及びその製造方法に関する。
３關以上で使用する赤外透過窓等の用途に好適な透光性
ＹＡＧ焼結体、及びその製造方法に関する。
ＹＡＧ （イットリウム・アルミニウム・ガーネツト：
ＹＡＩＯ）はイツトリア（ＹＯ）とアルミナ１龜口 （ＡｌＯ）とからなる酸化物で、結晶型が立方晶である
ため結晶粒界での散乱がおこり難く、良好な透光性を示
す。
ＹＡＩＯ）はイツトリア（ＹＯ）とアルミナ１龜口 （ＡｌＯ）とからなる酸化物で、結晶型が立方晶である
ため結晶粒界での散乱がおこり難く、良好な透光性を示
す。
通常、ＹＡＧの透光性は波長０．３μｍ付近から急激に
高くなり、赤外領域の波長３〜５μｍ付近まで均一な透
光性を示す。従って、ＹＡＧは光学窓のような透光性材
料として有望であり、従来がらＹＡ（）粉末の焼結によ
って透光性材料を開発することが試みられている。
高くなり、赤外領域の波長３〜５μｍ付近まで均一な透
光性を示す。従って、ＹＡＧは光学窓のような透光性材
料として有望であり、従来がらＹＡ（）粉末の焼結によ
って透光性材料を開発することが試みられている。
例えば、高純度のＹＡＧ粉末を圧綿成形し、無加圧で焼
結することにより、肉眼で透明な焼結体が得られた例が
報告されている。
結することにより、肉眼で透明な焼結体が得られた例が
報告されている。
しかし、従来のＹＡＧ焼結体の製造方法はいずれも粉末
成形体の無加圧焼結によるもので、粒成長ノコントロー
ルが難しいため、空孔が残存しやすく、例えば体積比で
１０〜１００ ｐｐｍの空孔が残存するのが普通であっ
た。このため、従来のＹＡＧ焼結体では、残存する空孔
により光が散乱されて直線透過率が低下し、吸収係数が
大きかった。
成形体の無加圧焼結によるもので、粒成長ノコントロー
ルが難しいため、空孔が残存しやすく、例えば体積比で
１０〜１００ ｐｐｍの空孔が残存するのが普通であっ
た。このため、従来のＹＡＧ焼結体では、残存する空孔
により光が散乱されて直線透過率が低下し、吸収係数が
大きかった。
又、緻密化を促進するため焼結助剤を添加する方法もあ
るが、焼結助剤が焼結体中に第２相として出現しやすい
ため、組織的不均一性により光が散乱されたり又焼結助
剤自身の吸収によって、無添加のものより直線透過率が
更に低下し、吸収係数が大きくなる欠点があった。
るが、焼結助剤が焼結体中に第２相として出現しやすい
ため、組織的不均一性により光が散乱されたり又焼結助
剤自身の吸収によって、無添加のものより直線透過率が
更に低下し、吸収係数が大きくなる欠点があった。
このように従来方法で製造されたＹＡＧ焼結体は透光性
が低く、試料厚さ３關での直線透過率が最大でも７０％
程度（＠収係数にして０．５ｃｍ−’程度）であり、厚
さ、３ ｍｍ以上で使用される赤外透過窓等の材料とし
て用いるには不充分であった。
が低く、試料厚さ３關での直線透過率が最大でも７０％
程度（＠収係数にして０．５ｃｍ−’程度）であり、厚
さ、３ ｍｍ以上で使用される赤外透過窓等の材料とし
て用いるには不充分であった。
本発明はかかる従来の事情に鑑み、高純度且つ高密度で
透光性のレベルが高く、特に厚さ３ｓｍ以上で用いる赤
外透過窓材等として好適な直線透過率、即ち吸収係数に
して０．２〜Ｑ、１ｃｎ−’以下を有する透光性ＹＡＧ
焼結体、及びその製造方法を提供することを目的とする
。
透光性のレベルが高く、特に厚さ３ｓｍ以上で用いる赤
外透過窓材等として好適な直線透過率、即ち吸収係数に
して０．２〜Ｑ、１ｃｎ−’以下を有する透光性ＹＡＧ
焼結体、及びその製造方法を提供することを目的とする
。
上記目的を遠戚するため、本発明の透光性ＹＡＧ焼結体
の製造方法では、純度９９．６％以上及び比表面積（Ｂ
ＥＴ値）４〃ｇ以上のＹＡＧ粉末を、温度１３００〜１
７００℃及び圧力１００〜５００ ｋＶｃｍ”での真空
中におけるホットプレスにより理論密度比９５％以上に
緻密化し、次に温度１４００〜１８００Ｃ”及び圧力５
００ ｋｇ／ｃｍ”以上でＨＩＰ処理することを特徴と
する０ 上記方法により製造される本発明の透光性ＹＡＧ焼結体
は、純度９９．６％以上の多結晶ＹＡＧ焼結体からなり
、吸収係数が波長０．４〜３μｍの可視及び近赤外光領
域でＱ、’ｌ ｃｍ−’以下、及び波長３〜５μｍの赤
外光領域で０．１Ｃ１）１以下であることを特徴とする
ものであって、従来にない極めて優れた透光性を有する
。
の製造方法では、純度９９．６％以上及び比表面積（Ｂ
ＥＴ値）４〃ｇ以上のＹＡＧ粉末を、温度１３００〜１
７００℃及び圧力１００〜５００ ｋＶｃｍ”での真空
中におけるホットプレスにより理論密度比９５％以上に
緻密化し、次に温度１４００〜１８００Ｃ”及び圧力５
００ ｋｇ／ｃｍ”以上でＨＩＰ処理することを特徴と
する０ 上記方法により製造される本発明の透光性ＹＡＧ焼結体
は、純度９９．６％以上の多結晶ＹＡＧ焼結体からなり
、吸収係数が波長０．４〜３μｍの可視及び近赤外光領
域でＱ、’ｌ ｃｍ−’以下、及び波長３〜５μｍの赤
外光領域で０．１Ｃ１）１以下であることを特徴とする
ものであって、従来にない極めて優れた透光性を有する
。
上記の如く本発明においては、真空中でのホットプレス
及びその後のＨＩＰ （熱間等方圧プレス）により、焼
結助剤を添加せずに高密度で吸収係数の小さい（直線透
過率の高い）ＹＡＧ焼結体を得ることが出来る。又、焼
結助剤を添加する必要がないので従来のような第２相に
よる透過率の低下がない。
及びその後のＨＩＰ （熱間等方圧プレス）により、焼
結助剤を添加せずに高密度で吸収係数の小さい（直線透
過率の高い）ＹＡＧ焼結体を得ることが出来る。又、焼
結助剤を添加する必要がないので従来のような第２相に
よる透過率の低下がない。
本発明の透光性ＹＡＧ焼結体の透光性は、具体的には、
試料厚さ３闘での直線透過率が波長０．４〜３μｍの可
視及び近赤外光領域で７０〜７５％以上（吸収係数にし
て０．２Ｃ１）１−’以下）、及び波長３〜５μｍの赤
外光領域で７５〜８０％以上（吸収係数にしてＱ、ｌｃ
ｗ＋”以下）テアル。
試料厚さ３闘での直線透過率が波長０．４〜３μｍの可
視及び近赤外光領域で７０〜７５％以上（吸収係数にし
て０．２Ｃ１）１−’以下）、及び波長３〜５μｍの赤
外光領域で７５〜８０％以上（吸収係数にしてＱ、ｌｃ
ｗ＋”以下）テアル。
かかる透光性ＹＡＧ焼結体の製造原料であるＹＡＧ粉末
は１、不純物吸収による透光性の低下を防ぐために９９
．６％以上の純度のものを使用し、特にＦθ等の遷移金
属元素の含有は好ましくない。又、ＹＡＧ粉末は一次粒
子の粒径が約０．３μｍ以下、即ち表面積がＢＩＴ値で
４ ｍ／ｇ以上であることが緻密な焼結体を得るために
必要である。上記の如く高純度で且つ微細なＹＡＧ粉末
としては、イツトリウムとアルミニウムの塩化物を溶が
した水に硫酸イオンを添加し、更に尿素を加えて加熱し
、沈殿したＹＡＧ粉末を乾燥して得られるもの等が好適
である。
は１、不純物吸収による透光性の低下を防ぐために９９
．６％以上の純度のものを使用し、特にＦθ等の遷移金
属元素の含有は好ましくない。又、ＹＡＧ粉末は一次粒
子の粒径が約０．３μｍ以下、即ち表面積がＢＩＴ値で
４ ｍ／ｇ以上であることが緻密な焼結体を得るために
必要である。上記の如く高純度で且つ微細なＹＡＧ粉末
としては、イツトリウムとアルミニウムの塩化物を溶が
した水に硫酸イオンを添加し、更に尿素を加えて加熱し
、沈殿したＹＡＧ粉末を乾燥して得られるもの等が好適
である。
ホットプレスは真空中で行ない、温度は１３００〜１７
００ ℃とする。１３００σ未満の温度では理論密度比
９５％以上の高密度な焼結体を得ることが難しく、１７
００℃を超えると異常粒成長が起こり易くなり、粗大粒
子中に空孔がトラップされて散乱の要因となるので、透
光性が低下してしまう。又、ホットプレスの圧力が１０
０ ｋｇ／ｃｍ”未満では理論密度比９５％以上の高密
度な焼結体を得ることが難しく、逆に５００ ｋｙ’ｃ
ｖａ”を超えると強度的に通常のグラファイト型の使用
が難しくなるので好ましくない。
００ ℃とする。１３００σ未満の温度では理論密度比
９５％以上の高密度な焼結体を得ることが難しく、１７
００℃を超えると異常粒成長が起こり易くなり、粗大粒
子中に空孔がトラップされて散乱の要因となるので、透
光性が低下してしまう。又、ホットプレスの圧力が１０
０ ｋｇ／ｃｍ”未満では理論密度比９５％以上の高密
度な焼結体を得ることが難しく、逆に５００ ｋｙ’ｃ
ｖａ”を超えると強度的に通常のグラファイト型の使用
が難しくなるので好ましくない。
ＨＩＰ処理においては、１４００−１８００ Ｃ”の温
度及び５００１ｖ’ｃ−以上の圧力で焼結体が等方的に
加圧されるので、塑性変形や拡散機構により空孔の除去
が促進されて更に高密度化が遠戚され、透光性が一層向
上する。ＨＩＰで用いる高圧ガスとしては、Ａｒ等の不
活性ガス、Ｎ ガス又はＯガス、或いはこれらの混合ガ
スが好ましく、特にＯガスを混合すればＨＩＦ処理時の
焼結体からの脱酸素を防止して透光性の低下を防ぐ利点
がある。これらのガスは５００１ａａＡｔｍ″以上（２
０００に９Ａｍ以下）の高圧でしかも等方的に働くため
、従来のホットプレス法（約５００ ｋｇ／ｃｍ”以下
で上下二方向加圧）よりも空孔の除去による緻密化が均
一に進行し、透光性に優れたＹＡＧ焼結体が得られる。
度及び５００１ｖ’ｃ−以上の圧力で焼結体が等方的に
加圧されるので、塑性変形や拡散機構により空孔の除去
が促進されて更に高密度化が遠戚され、透光性が一層向
上する。ＨＩＰで用いる高圧ガスとしては、Ａｒ等の不
活性ガス、Ｎ ガス又はＯガス、或いはこれらの混合ガ
スが好ましく、特にＯガスを混合すればＨＩＦ処理時の
焼結体からの脱酸素を防止して透光性の低下を防ぐ利点
がある。これらのガスは５００１ａａＡｔｍ″以上（２
０００に９Ａｍ以下）の高圧でしかも等方的に働くため
、従来のホットプレス法（約５００ ｋｇ／ｃｍ”以下
で上下二方向加圧）よりも空孔の除去による緻密化が均
一に進行し、透光性に優れたＹＡＧ焼結体が得られる。
尚、ホットプレスで得られた焼結体の理論密度比が９５
％未満の場合には、残留気孔の多くが所謂解放気孔とな
るので、この気孔を通ってＨＩＰで用いる高圧ガスが焼
結体内部に侵入してしまうため、ＨＩＰによる高密度化
が充分に進行し得ない結果となる。
％未満の場合には、残留気孔の多くが所謂解放気孔とな
るので、この気孔を通ってＨＩＰで用いる高圧ガスが焼
結体内部に侵入してしまうため、ＨＩＰによる高密度化
が充分に進行し得ない結果となる。
」１虹躬」工
純度９９．９％、比表面積４ ｒＩＶｇ （Ｂ Ｉｎ
Ｔ値）の高純度ＹＡＧ粉末を、５ Ｘ １０−”ｔｏｒ
ｒの真空中において内径５０１）１）１のグラファイト
型を用いて１４００ ℃の温度及び３００ ｋｇＡｔｌ
Ｌ”の圧力で２時間ホットプレスし、理論密度比９７％
の白色の焼結体を得た。次に、この焼結体をＨＩＰ装置
に入れ、Ａｒガスを用いて１６５０ ℃の湿度及び２０
００ ｋｇ／ｃｍ’の圧力で２時間のＨＩＰ処理を行な
った。得られたＹＡＧ焼結体は外観的に無色透明であっ
た。
Ｔ値）の高純度ＹＡＧ粉末を、５ Ｘ １０−”ｔｏｒ
ｒの真空中において内径５０１）１）１のグラファイト
型を用いて１４００ ℃の温度及び３００ ｋｇＡｔｌ
Ｌ”の圧力で２時間ホットプレスし、理論密度比９７％
の白色の焼結体を得た。次に、この焼結体をＨＩＰ装置
に入れ、Ａｒガスを用いて１６５０ ℃の湿度及び２０
００ ｋｇ／ｃｍ’の圧力で２時間のＨＩＰ処理を行な
った。得られたＹＡＧ焼結体は外観的に無色透明であっ
た。
得られたＹＡＧ焼結体を厚さ３ ｍｓに鏡面研磨加工し
、分光光度計で直線透過率を測定したところ、波長３〜
５μｍの領域で平均７８％（吸収係数で０．１ｃｍ−’
）、及び波長０．４〜３μｍの領域で平均７３％（吸収
係数で０．２＋：Ｍｌ’）の優れた透光性を示した。
、分光光度計で直線透過率を測定したところ、波長３〜
５μｍの領域で平均７８％（吸収係数で０．１ｃｍ−’
）、及び波長０．４〜３μｍの領域で平均７３％（吸収
係数で０．２＋：Ｍｌ’）の優れた透光性を示した。
実施例２
純度９９．７％、比表面積６ｍ’／ｇ（ｎＥＴ値）の高
純度ＹＡＧ粉末を、４Ｘ１０−３ｔｏｒｒの真空中にお
いて内径５０闘のグラファイト型を用いて１６００℃の
温度及び２００ ｋｖｔｍ”の圧力で１時間ホットプレ
スし、理論密度比９６％の白色の焼結体を得た。更に、
この焼結体をＨＩＰ装置に入れ、Ｎ ガスを用いて１７
００Ｃの温度及び１ ｓｏｏ ｋｖ’ｃｍ”の圧力で３
時間のＨＩＰ処理を行なった。得られたＹＡＧ焼結体は
外観的に無色透明であった。
純度ＹＡＧ粉末を、４Ｘ１０−３ｔｏｒｒの真空中にお
いて内径５０闘のグラファイト型を用いて１６００℃の
温度及び２００ ｋｖｔｍ”の圧力で１時間ホットプレ
スし、理論密度比９６％の白色の焼結体を得た。更に、
この焼結体をＨＩＰ装置に入れ、Ｎ ガスを用いて１７
００Ｃの温度及び１ ｓｏｏ ｋｖ’ｃｍ”の圧力で３
時間のＨＩＰ処理を行なった。得られたＹＡＧ焼結体は
外観的に無色透明であった。
このＹＡＧ焼結体を厚さ３ ｓｒｓに鏡面研磨加工して
、分光光度計で直線透過率を測定したところ、波長３〜
５μｍの領域で最高８０％（吸収係数でｏ、 ｏｓ ｃ
ｍ”−” ）、及び波長０．４〜３μｍの領域で平均７
５％（吸収係数で０．１８ｃ＋＋＋−’）の優れた透光
性を示した。
、分光光度計で直線透過率を測定したところ、波長３〜
５μｍの領域で最高８０％（吸収係数でｏ、 ｏｓ ｃ
ｍ”−” ）、及び波長０．４〜３μｍの領域で平均７
５％（吸収係数で０．１８ｃ＋＋＋−’）の優れた透光
性を示した。
実施例３
純度９９．８％、比表面積１０ ｍ’／ｇ （Ｂ Ｅ
Ｔ値）の高純度ＹＡＧ粉末を、８Ｘ１０−”ｔｏｒｒの
真空中において内径５０ｍ１）にのグラファイト型を用
いて１５５０Ｃ”の温度及び４Ｑ Ｑ ｋｌ／Ｃ１ｍ”
の圧力で３時間ホットプレスし、理論密度比９８％の白
色の焼結体を得た。更に〜この焼結体をＨＩＰ装置に入
れ、Ａｒ−５％０混合ガスを用いて１６５０℃の温度及
び１５ｏｏＩｃＱ／ｃ♂の圧力にて２．５時間のＨＩＰ
処理を行なった。得られたＹＡＧ焼結体は外観的に無色
透明であった。
Ｔ値）の高純度ＹＡＧ粉末を、８Ｘ１０−”ｔｏｒｒの
真空中において内径５０ｍ１）にのグラファイト型を用
いて１５５０Ｃ”の温度及び４Ｑ Ｑ ｋｌ／Ｃ１ｍ”
の圧力で３時間ホットプレスし、理論密度比９８％の白
色の焼結体を得た。更に〜この焼結体をＨＩＰ装置に入
れ、Ａｒ−５％０混合ガスを用いて１６５０℃の温度及
び１５ｏｏＩｃＱ／ｃ♂の圧力にて２．５時間のＨＩＰ
処理を行なった。得られたＹＡＧ焼結体は外観的に無色
透明であった。
このＹＡＧ焼結体を厚さ３ ｓｎに鏡面研磨加工して、
分光光度計で直線透過率を測定したところ、波長３°〜
５μｍの領域で最高８２％（ｇ＆収係数で０、０６ Ｃ
１）１−’ ） 、及び波長０．４〜３μｍの領域で平
均７７％（吸収係数で０．１４ Ｃ１）１−’ ）の優
れた透光性を示した。
分光光度計で直線透過率を測定したところ、波長３°〜
５μｍの領域で最高８２％（ｇ＆収係数で０、０６ Ｃ
１）１−’ ） 、及び波長０．４〜３μｍの領域で平
均７７％（吸収係数で０．１４ Ｃ１）１−’ ）の優
れた透光性を示した。
（発明の効果）
本発明によれば、焼結助剤を用いずに、高密度であって
可視及び赤外領域で非常に優れた透光性を有するＹＡＧ
焼結体を得ることが出来る。
可視及び赤外領域で非常に優れた透光性を有するＹＡＧ
焼結体を得ることが出来る。
この透光性ＹＡＧ焼結体は、吸収係数が０．２〜０、Ｉ
ＣＩＩ＋ 以下であるから、厚さ３ ｔ＋ｍ以上で使
用される赤外透過窓等の素材として特に有用である。
ＣＩＩ＋ 以下であるから、厚さ３ ｔ＋ｍ以上で使
用される赤外透過窓等の素材として特に有用である。
Claims (3)
- （１）純度９９．６％以上及び比表面積（ＢＥＴ値）４
（ｍ＾２／ｇ以上のＹＡＧ（イットリウム・アルミニウ
ム・ガーネツト）粉末を、温度１３００〜１７００℃及
び圧力１００〜５００ｋｇ／ｃｍ＾２での真空中におけ
るホットプレスにより理論密度比９５％以上に緻密化し
、次に温度１４００〜１８００℃及び圧力５００ｋｇ／
ｃｍ＾２以上でＨＩＰ処理することを特徴とする透光性
ＹＡＧ焼結体の製造方法。 - （２）ＨＩＰ処理は不活性ガス、窒素ガス又は酸素ガス
、若しくはこれらの混合ガスを用いることを特徴とする
、請求項（１）記載の透光性ＹＡＧ焼結体の製造方法。 - （３）純度９９．６％以上の多結晶ＹＡＧ焼結体からな
り、吸収係数が波長０．４〜３μｍの可視及び近赤外光
領域で０．２ｃｍ以下、及び波長３〜５μｍの赤外光領
域で０．１ｃｍ＾−＾１以下であることを特徴とする透
光性ＹＡＧ焼結体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7416190A JPH03275561A (ja) | 1990-03-23 | 1990-03-23 | 透光性ｙａｇ焼結体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7416190A JPH03275561A (ja) | 1990-03-23 | 1990-03-23 | 透光性ｙａｇ焼結体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03275561A true JPH03275561A (ja) | 1991-12-06 |
Family
ID=13539154
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7416190A Pending JPH03275561A (ja) | 1990-03-23 | 1990-03-23 | 透光性ｙａｇ焼結体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03275561A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6916559B2 (en) | 1997-02-26 | 2005-07-12 | Kyocera Corporation | Ceramic material resistant to halogen plasma and member utilizing the same |
| WO2006106745A1 (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-12 | Fujifilm Corporation | 透光性材料およびその製造方法 |
| US7253129B2 (en) * | 2003-01-27 | 2007-08-07 | Konoshima Chemical Co., Ltd. | Rare earth garmet sintered compact |
| JP4688307B2 (ja) * | 2000-07-11 | 2011-05-25 | コバレントマテリアル株式会社 | 半導体製造装置用耐プラズマ性部材 |
| KR20150112997A (ko) | 2013-02-08 | 2015-10-07 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 투광성 금속 산화물 소결체의 제조 방법 및 투광성 금속 산화물 소결체 |
-
1990
- 1990-03-23 JP JP7416190A patent/JPH03275561A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6916559B2 (en) | 1997-02-26 | 2005-07-12 | Kyocera Corporation | Ceramic material resistant to halogen plasma and member utilizing the same |
| JP4688307B2 (ja) * | 2000-07-11 | 2011-05-25 | コバレントマテリアル株式会社 | 半導体製造装置用耐プラズマ性部材 |
| US7253129B2 (en) * | 2003-01-27 | 2007-08-07 | Konoshima Chemical Co., Ltd. | Rare earth garmet sintered compact |
| WO2006106745A1 (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-12 | Fujifilm Corporation | 透光性材料およびその製造方法 |
| JP2006282447A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | 透光性材料およびその製造方法 |
| US7691765B2 (en) | 2005-03-31 | 2010-04-06 | Fujifilm Corporation | Translucent material and manufacturing method of the same |
| KR20150112997A (ko) | 2013-02-08 | 2015-10-07 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 투광성 금속 산화물 소결체의 제조 방법 및 투광성 금속 산화물 소결체 |
| US9604853B2 (en) | 2013-02-08 | 2017-03-28 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Light transmitting metal oxide sintered body manufacturing method and light transmitting metal oxide sintered body |
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