JPH03221343A - 溝加工用芯出し治具 - Google Patents
溝加工用芯出し治具Info
- Publication number
- JPH03221343A JPH03221343A JP1273390A JP1273390A JPH03221343A JP H03221343 A JPH03221343 A JP H03221343A JP 1273390 A JP1273390 A JP 1273390A JP 1273390 A JP1273390 A JP 1273390A JP H03221343 A JPH03221343 A JP H03221343A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- center
- board
- reference bar
- groove
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000003754 machining Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N chlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1 MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003562 lightweight material Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000004071 soot Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、半円筒形なとの円筒分割体に溝加工を施す場
合、より具体的には半導体用ウェーハボートに同一形状
の溝加工を行うために必要な該ボートの中心軸を取り出
す芯出し治具に関する。
合、より具体的には半導体用ウェーハボートに同一形状
の溝加工を行うために必要な該ボートの中心軸を取り出
す芯出し治具に関する。
［従来の技術］
半円筒形ウェーハホードにウェーハを立てて保持する溝
を加工する際、ウェーハボートの微少な変形が加工点の
中心を一定にすす、全体としての芯出し・をし・ないと
溝の深さ・幅なと同一形状のものを加工するのか難し・
く、またホード中心と加工具の中心とを合致させるため
の当該ボート中心の設定に仮Ｍ芯出しを行うためその試
し切りの手間から多くの時間を要し、大変能率が悪かっ
た。
を加工する際、ウェーハボートの微少な変形が加工点の
中心を一定にすす、全体としての芯出し・をし・ないと
溝の深さ・幅なと同一形状のものを加工するのか難し・
く、またホード中心と加工具の中心とを合致させるため
の当該ボート中心の設定に仮Ｍ芯出しを行うためその試
し切りの手間から多くの時間を要し、大変能率が悪かっ
た。
［発明が解決し・ようとする問題点コ
ラニーへボートなと、略円筒分割体の軸方向に見ろ微少
′な変形が溝切り箇所ことの中心点を変化させる。し・
かじ、この変形は全体的に緩やかであるから、この変形
状態を利用してウェーハボート全長に沿う中心軸の設定
を試みろ。
′な変形が溝切り箇所ことの中心点を変化させる。し・
かじ、この変形は全体的に緩やかであるから、この変形
状態を利用してウェーハボート全長に沿う中心軸の設定
を試みろ。
［問題を解決する為の手段］
基準バーを中心としてこれに支持した倣い曲面体は、ウ
ェーハボートの変形が少なけれはボートの長と同し長さ
のものを使用し、変形が三次元的である場合には、ボー
トを１０〜３０に分割するような長さの倣い曲面体とし
て、これを連接する。
ェーハボートの変形が少なけれはボートの長と同し長さ
のものを使用し、変形が三次元的である場合には、ボー
トを１０〜３０に分割するような長さの倣い曲面体とし
て、これを連接する。
いずれも倣い曲面体がボートの被加工面に沿って嵌装さ
れ、その基準バーは全ての被加工面の中心をそのまま設
定できろ。
れ、その基準バーは全ての被加工面の中心をそのまま設
定できろ。
［作用および実施例］
第１図の半円筒形ウェーへホ、−）Ｌこ対する満加］１
用芯出し治具（１）は、塩化ヒニール等の軽量な（オ質
からな０、その上置筒形のボート倣い曲面体（２）の凸
面の曲率は、ウェーハボート（４）内曲面と同しである
。この７１−１−ト倣い曲面体（２）：ま、この中心位
置で基準へ−（３）に装着・支持される。支持部に’３
’）は、必要に応し４個又は複数個使う。倣い曲面体（
２）の曲面母線は基準バー（３３）と平行である。ホー
ド倣い曲面体（２）をウェーハホード（４）の内曲面に
嵌装すると、几スートの変形に沿う基準バー（３）がそ
のまま各点の中心を設定する。第２図に示す溝加工機（
８）のスピンドル（７）を基準バーに３）に沿って中心
を測定させろと、ボート（４）の中心か割り出されろ。
用芯出し治具（１）は、塩化ヒニール等の軽量な（オ質
からな０、その上置筒形のボート倣い曲面体（２）の凸
面の曲率は、ウェーハボート（４）内曲面と同しである
。この７１−１−ト倣い曲面体（２）：ま、この中心位
置で基準へ−（３）に装着・支持される。支持部に’３
’）は、必要に応し４個又は複数個使う。倣い曲面体（
２）の曲面母線は基準バー（３３）と平行である。ホー
ド倣い曲面体（２）をウェーハホード（４）の内曲面に
嵌装すると、几スートの変形に沿う基準バー（３）がそ
のまま各点の中心を設定する。第２図に示す溝加工機（
８）のスピンドル（７）を基準バーに３）に沿って中心
を測定させろと、ボート（４）の中心か割り出されろ。
このためにスピンドル（７）に電気マイクロメータ（６
）を取り付けて、ボート（４）の中心座標を読み取らせ
るのが良い。溝加工機（８）の中心と読み取った中心と
を合致させτウェーハボート （４）に溝を彫る。
）を取り付けて、ボート（４）の中心座標を読み取らせ
るのが良い。溝加工機（８）の中心と読み取った中心と
を合致させτウェーハボート （４）に溝を彫る。
、Ｅ記芯出し冶ｇ（１）の変形例とし・て、第３図（（
Ｌ）には、軽量１ヒの九（こボート倣い曲面体（２）を
複数個に分割し・た例を示す。基準バー（：３）に等間
隔に支持してこれらを連結する。同（）））には、倣い
曲面体（２）ζこ複数個の窓を開けろ場合を示す。また
、ウェーハボート（４）の内曲面中心軸が；３次に的に
変形し・ている場合に使えろように、ボート倣い曲面体
（２）をホードの１０〜３０分割に相当するように短く
し・で、基準バー（３）に連接し・、基準バー（３）を
曲線定規のよに使う。
Ｌ）には、軽量１ヒの九（こボート倣い曲面体（２）を
複数個に分割し・た例を示す。基準バー（：３）に等間
隔に支持してこれらを連結する。同（）））には、倣い
曲面体（２）ζこ複数個の窓を開けろ場合を示す。また
、ウェーハボート（４）の内曲面中心軸が；３次に的に
変形し・ている場合に使えろように、ボート倣い曲面体
（２）をホードの１０〜３０分割に相当するように短く
し・で、基準バー（３）に連接し・、基準バー（３）を
曲線定規のよに使う。
軽量化とともに芯出し・治具にフレキシヒリテイーを与
え、ボートの変形に沿う機能を高めるのが良い。
え、ボートの変形に沿う機能を高めるのが良い。
［発明の効果］
本発明の芯出し治具をウェーハボートの内面に接触嵌合
させるたけて、該ウェーハホード各被加工箇所の中心を
設定でき、溝加工機の加工中心を当該設定中心と正確に
一致できるので、非常に簡単に短時間の正確な芯出しか
可能になった。即ち、誰かやってもウェーハホードに同
し・ように溝を加してき、溝加工のはらつきかなくなっ
た。叉、ｉＫ来のウェーハ、１．− ）試しＬ月りのセ
・斐かなく、重ζこウェーハホード満加工芯出しは、軽
い材料を使用し、構造的にも間隙を設けるなとして軽量
化を行えはその作業性が一層向上する。
させるたけて、該ウェーハホード各被加工箇所の中心を
設定でき、溝加工機の加工中心を当該設定中心と正確に
一致できるので、非常に簡単に短時間の正確な芯出しか
可能になった。即ち、誰かやってもウェーハホードに同
し・ように溝を加してき、溝加工のはらつきかなくなっ
た。叉、ｉＫ来のウェーハ、１．− ）試しＬ月りのセ
・斐かなく、重ζこウェーハホード満加工芯出しは、軽
い材料を使用し、構造的にも間隙を設けるなとして軽量
化を行えはその作業性が一層向上する。
第１図は溝加工用芯出し治具の斜視図、第２図は溝加工
用芯出し・治具を使って溝加工し・でいる図、及び第３
図（ａ ）、（ｂ）はホード倣い曲面体の変更例をそれ
ぞれボす。 （１） ＴＩＩ＃加工用芯出し治具 （２）ボート倣い曲面体 （：３）基準バー （３゛）支持部 （４）ウェーハホード く５）溝加工機テーブル （６）電気マイクロメータ （７）廣加工代スヒント ル （８）溝加工機
用芯出し・治具を使って溝加工し・でいる図、及び第３
図（ａ ）、（ｂ）はホード倣い曲面体の変更例をそれ
ぞれボす。 （１） ＴＩＩ＃加工用芯出し治具 （２）ボート倣い曲面体 （：３）基準バー （３゛）支持部 （４）ウェーハホード く５）溝加工機テーブル （６）電気マイクロメータ （７）廣加工代スヒント ル （８）溝加工機
Claims (1)
- 略円筒分割体の内周面に溝加工をするための治具であっ
て、略円筒分割体の内周面とほぼ同一曲率の外周面を有
する倣い曲面体と、倣い曲面体の外周面の中心軸を規定
する基準バーと、基準バーと倣い曲面体との接続保持手
段と、からなることを特徴とする溝加工用芯出し治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1273390A JPH03221343A (ja) | 1990-01-24 | 1990-01-24 | 溝加工用芯出し治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1273390A JPH03221343A (ja) | 1990-01-24 | 1990-01-24 | 溝加工用芯出し治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03221343A true JPH03221343A (ja) | 1991-09-30 |
Family
ID=11813638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1273390A Pending JPH03221343A (ja) | 1990-01-24 | 1990-01-24 | 溝加工用芯出し治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03221343A (ja) |
-
1990
- 1990-01-24 JP JP1273390A patent/JPH03221343A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2525598B2 (ja) | 回転式パレツトシステム | |
| ATE34110T1 (de) | Werkzeugaufnahmevorrichtung und werkzeugtraeger. | |
| US5944329A (en) | Reversible micromachining locator | |
| WO1994022625A1 (en) | Method of machining crank shaft | |
| DE59801146D1 (de) | Vorrichtung zum Ausrichten von Rundlauffehlern eines Werkzeugs | |
| JPH03221343A (ja) | 溝加工用芯出し治具 | |
| ES2079750T3 (es) | Procedimiento para el mecanizado con arranque de virutas de piezas con superficies con simetria de rotacion, con preferencia de cigueñales, y dispositivo para realizar un procedimiento de este tipo. | |
| US3120062A (en) | Gauging device and method for machining operations | |
| JPH10249676A (ja) | 数値制御工作機械によるワークの加工方法 | |
| KR100512463B1 (ko) | 크랭크축밀러에의한공작물의가공방법및가공용커터장치 | |
| US4162065A (en) | Work holding fixture for cylindrical workpieces | |
| US2586639A (en) | Centering gauge | |
| CN213003796U (zh) | 一种四爪式工件的夹具模具 | |
| KR100988612B1 (ko) | 선반용 가공공구 및 이를 이용한 가공방법 | |
| JP2663646B2 (ja) | 被削面の研削精度測定方法 | |
| JPH09300120A (ja) | 孔内面溝加工用工具 | |
| CN218080847U (zh) | 一种悬挂器卡瓦锥套燕尾槽线切割加工工装 | |
| SU917964A1 (ru) | Приспособление дл установки шпиндел с инструментом относительно заготовки | |
| JPS6228369Y2 (ja) | ||
| KR0133747Y1 (ko) | 각도분할용 치구 | |
| CN206578700U (zh) | 一种用于传感器铁芯切割加工的定位夹具 | |
| JPH0825103A (ja) | クランクシャフトのｒ溝加工装置及びｒ溝加工方法 | |
| JPS63123662A (ja) | 倣い加工用モデル芯出し治具 | |
| JP3806470B2 (ja) | 切刃位置計測方法とそれに用いる切刃位置計測用チップ | |
| JPH0115502Y2 (ja) |