JPH03221343A - 溝加工用芯出し治具 - Google Patents
溝加工用芯出し治具Info
- Publication number
- JPH03221343A JPH03221343A JP1273390A JP1273390A JPH03221343A JP H03221343 A JPH03221343 A JP H03221343A JP 1273390 A JP1273390 A JP 1273390A JP 1273390 A JP1273390 A JP 1273390A JP H03221343 A JPH03221343 A JP H03221343A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- center
- board
- reference bar
- groove
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 17
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- MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N chlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1 MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003562 lightweight material Substances 0.000 description 1
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- 239000004071 soot Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、半円筒形なとの円筒分割体に溝加工を施す場
合、より具体的には半導体用ウェーハボートに同一形状
の溝加工を行うために必要な該ボートの中心軸を取り出
す芯出し治具に関する。
合、より具体的には半導体用ウェーハボートに同一形状
の溝加工を行うために必要な該ボートの中心軸を取り出
す芯出し治具に関する。
[従来の技術]
半円筒形ウェーハホードにウェーハを立てて保持する溝
を加工する際、ウェーハボートの微少な変形が加工点の
中心を一定にすす、全体としての芯出し・をし・ないと
溝の深さ・幅なと同一形状のものを加工するのか難し・
く、またホード中心と加工具の中心とを合致させるため
の当該ボート中心の設定に仮M芯出しを行うためその試
し切りの手間から多くの時間を要し、大変能率が悪かっ
た。
を加工する際、ウェーハボートの微少な変形が加工点の
中心を一定にすす、全体としての芯出し・をし・ないと
溝の深さ・幅なと同一形状のものを加工するのか難し・
く、またホード中心と加工具の中心とを合致させるため
の当該ボート中心の設定に仮M芯出しを行うためその試
し切りの手間から多くの時間を要し、大変能率が悪かっ
た。
[発明が解決し・ようとする問題点コ
ラニーへボートなと、略円筒分割体の軸方向に見ろ微少
′な変形が溝切り箇所ことの中心点を変化させる。し・
かじ、この変形は全体的に緩やかであるから、この変形
状態を利用してウェーハボート全長に沿う中心軸の設定
を試みろ。
′な変形が溝切り箇所ことの中心点を変化させる。し・
かじ、この変形は全体的に緩やかであるから、この変形
状態を利用してウェーハボート全長に沿う中心軸の設定
を試みろ。
[問題を解決する為の手段]
基準バーを中心としてこれに支持した倣い曲面体は、ウ
ェーハボートの変形が少なけれはボートの長と同し長さ
のものを使用し、変形が三次元的である場合には、ボー
トを10〜30に分割するような長さの倣い曲面体とし
て、これを連接する。
ェーハボートの変形が少なけれはボートの長と同し長さ
のものを使用し、変形が三次元的である場合には、ボー
トを10〜30に分割するような長さの倣い曲面体とし
て、これを連接する。
いずれも倣い曲面体がボートの被加工面に沿って嵌装さ
れ、その基準バーは全ての被加工面の中心をそのまま設
定できろ。
れ、その基準バーは全ての被加工面の中心をそのまま設
定できろ。
[作用および実施例]
第1図の半円筒形ウェーへホ、−)Lこ対する満加]1
用芯出し治具(1)は、塩化ヒニール等の軽量な(オ質
からな0、その上置筒形のボート倣い曲面体(2)の凸
面の曲率は、ウェーハボート(4)内曲面と同しである
。この71−1−ト倣い曲面体(2):ま、この中心位
置で基準へ−(3)に装着・支持される。支持部に’3
’)は、必要に応し4個又は複数個使う。倣い曲面体(
2)の曲面母線は基準バー(33)と平行である。ホー
ド倣い曲面体(2)をウェーハホード(4)の内曲面に
嵌装すると、几スートの変形に沿う基準バー(3)がそ
のまま各点の中心を設定する。第2図に示す溝加工機(
8)のスピンドル(7)を基準バーに3)に沿って中心
を測定させろと、ボート(4)の中心か割り出されろ。
用芯出し治具(1)は、塩化ヒニール等の軽量な(オ質
からな0、その上置筒形のボート倣い曲面体(2)の凸
面の曲率は、ウェーハボート(4)内曲面と同しである
。この71−1−ト倣い曲面体(2):ま、この中心位
置で基準へ−(3)に装着・支持される。支持部に’3
’)は、必要に応し4個又は複数個使う。倣い曲面体(
2)の曲面母線は基準バー(33)と平行である。ホー
ド倣い曲面体(2)をウェーハホード(4)の内曲面に
嵌装すると、几スートの変形に沿う基準バー(3)がそ
のまま各点の中心を設定する。第2図に示す溝加工機(
8)のスピンドル(7)を基準バーに3)に沿って中心
を測定させろと、ボート(4)の中心か割り出されろ。
このためにスピンドル(7)に電気マイクロメータ(6
)を取り付けて、ボート(4)の中心座標を読み取らせ
るのが良い。溝加工機(8)の中心と読み取った中心と
を合致させτウェーハボート (4)に溝を彫る。
)を取り付けて、ボート(4)の中心座標を読み取らせ
るのが良い。溝加工機(8)の中心と読み取った中心と
を合致させτウェーハボート (4)に溝を彫る。
、E記芯出し冶g(1)の変形例とし・て、第3図((
L)には、軽量1ヒの九(こボート倣い曲面体(2)を
複数個に分割し・た例を示す。基準バー(:3)に等間
隔に支持してこれらを連結する。同()))には、倣い
曲面体(2)ζこ複数個の窓を開けろ場合を示す。また
、ウェーハボート(4)の内曲面中心軸が;3次に的に
変形し・ている場合に使えろように、ボート倣い曲面体
(2)をホードの10〜30分割に相当するように短く
し・で、基準バー(3)に連接し・、基準バー(3)を
曲線定規のよに使う。
L)には、軽量1ヒの九(こボート倣い曲面体(2)を
複数個に分割し・た例を示す。基準バー(:3)に等間
隔に支持してこれらを連結する。同()))には、倣い
曲面体(2)ζこ複数個の窓を開けろ場合を示す。また
、ウェーハボート(4)の内曲面中心軸が;3次に的に
変形し・ている場合に使えろように、ボート倣い曲面体
(2)をホードの10〜30分割に相当するように短く
し・で、基準バー(3)に連接し・、基準バー(3)を
曲線定規のよに使う。
軽量化とともに芯出し・治具にフレキシヒリテイーを与
え、ボートの変形に沿う機能を高めるのが良い。
え、ボートの変形に沿う機能を高めるのが良い。
[発明の効果]
本発明の芯出し治具をウェーハボートの内面に接触嵌合
させるたけて、該ウェーハホード各被加工箇所の中心を
設定でき、溝加工機の加工中心を当該設定中心と正確に
一致できるので、非常に簡単に短時間の正確な芯出しか
可能になった。即ち、誰かやってもウェーハホードに同
し・ように溝を加してき、溝加工のはらつきかなくなっ
た。叉、iK来のウェーハ、1.− )試しL月りのセ
・斐かなく、重ζこウェーハホード満加工芯出しは、軽
い材料を使用し、構造的にも間隙を設けるなとして軽量
化を行えはその作業性が一層向上する。
させるたけて、該ウェーハホード各被加工箇所の中心を
設定でき、溝加工機の加工中心を当該設定中心と正確に
一致できるので、非常に簡単に短時間の正確な芯出しか
可能になった。即ち、誰かやってもウェーハホードに同
し・ように溝を加してき、溝加工のはらつきかなくなっ
た。叉、iK来のウェーハ、1.− )試しL月りのセ
・斐かなく、重ζこウェーハホード満加工芯出しは、軽
い材料を使用し、構造的にも間隙を設けるなとして軽量
化を行えはその作業性が一層向上する。
第1図は溝加工用芯出し治具の斜視図、第2図は溝加工
用芯出し・治具を使って溝加工し・でいる図、及び第3
図(a )、(b)はホード倣い曲面体の変更例をそれ
ぞれボす。 (1) TII#加工用芯出し治具 (2)ボート倣い曲面体 (:3)基準バー (3゛)支持部 (4)ウェーハホード く5)溝加工機テーブル (6)電気マイクロメータ (7)廣加工代スヒント ル (8)溝加工機
用芯出し・治具を使って溝加工し・でいる図、及び第3
図(a )、(b)はホード倣い曲面体の変更例をそれ
ぞれボす。 (1) TII#加工用芯出し治具 (2)ボート倣い曲面体 (:3)基準バー (3゛)支持部 (4)ウェーハホード く5)溝加工機テーブル (6)電気マイクロメータ (7)廣加工代スヒント ル (8)溝加工機
Claims (1)
- 略円筒分割体の内周面に溝加工をするための治具であっ
て、略円筒分割体の内周面とほぼ同一曲率の外周面を有
する倣い曲面体と、倣い曲面体の外周面の中心軸を規定
する基準バーと、基準バーと倣い曲面体との接続保持手
段と、からなることを特徴とする溝加工用芯出し治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1273390A JPH03221343A (ja) | 1990-01-24 | 1990-01-24 | 溝加工用芯出し治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1273390A JPH03221343A (ja) | 1990-01-24 | 1990-01-24 | 溝加工用芯出し治具 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03221343A true JPH03221343A (ja) | 1991-09-30 |
Family
ID=11813638
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1273390A Pending JPH03221343A (ja) | 1990-01-24 | 1990-01-24 | 溝加工用芯出し治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03221343A (ja) |
-
1990
- 1990-01-24 JP JP1273390A patent/JPH03221343A/ja active Pending
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