JPH03214904A - 誘電体共振器の共振周波数調整用トリミング装置 - Google Patents

誘電体共振器の共振周波数調整用トリミング装置

Info

Publication number
JPH03214904A
JPH03214904A JP1133290A JP1133290A JPH03214904A JP H03214904 A JPH03214904 A JP H03214904A JP 1133290 A JP1133290 A JP 1133290A JP 1133290 A JP1133290 A JP 1133290A JP H03214904 A JPH03214904 A JP H03214904A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
dielectric resonator
trimming
amount
frequency
resonant frequency
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1133290A
Other languages
English (en)
Inventor
Masaaki Nakajima
中島 正昭
Takashi Yano
谷野 隆
Masaaki Tanaka
正明 田中
Naoki Nishimoto
直樹 西本
Shigeo Masaki
茂生 正木
Eiji Masuyama
増山 栄二
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP1133290A priority Critical patent/JPH03214904A/ja
Publication of JPH03214904A publication Critical patent/JPH03214904A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
  • Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は誘電体フィルタなどに使用する誘電体共振器の
共振周波数を測定し、周波数トリミング不要あるいは周
波数のトリミングが可能か不可能かを判断し、トリミン
グ可能であればトリミングを行い、トリミング後の共振
周波数を測定して良品・不良品の判定と選別を行う機能
を持った誘電体共振器の共振周波数調整用トリミング装
置に関するものである。
従来の技術 従来の誘電体共振器の共振周波数調整用トリミングは、
導電性のダイヤモンドなどの砥石を用いて行っており、
共振周波数測定中は誘電体共振器から砥石を遠ざける必
要がある.そのため共振周波数を測定後、砥石で誘電体
共振器の電源を切削し、砥石を遠ざけてから再度周波数
測定を行うという作業を手作業で繰り返し行っていた。
発明が解決しようとする課題 このような従来の周波数調整用トリミングでは、トリミ
ング用の砥石が導電性物質によって形成されていたため
、誘電体共振器に近づくことにより周波数検出部と誘電
体共振器との結合容量に影響を与えるため測定のたびに
砥石を遠ざける必要があり、作業効率が悪く、また、手
作業で行っていたため作業者の熟練度による切削量の調
整バラツキや、計測器の読み取り誤差等の要因で正確な
周波数調整用トリミングができなかった。また1個当り
のトリミング所要時間も作業者により、大きなバラツキ
があった. 本発明は上記課題を解決するもので、周波数調整用トリ
ミングと計測を同時に行い大幅なトリミング時間の短縮
と、自動化により計測器の読み取り誤差を防止し、また
リュータ制御の分解能を向上することで微調整を可能と
した誘電体共振器の共振周波数調整用トリミング装置を
提供するものである。
課題を解決するための手段 上記課題を解決するために本発明は、非導電性ダイヤモ
ンド砥石を用いたリュータと駆動パルス数に応じて移動
量の制御が可能なXテーブル駆動機構、周波数測定値よ
り切削量を制御する演算処理部、誘電体共振器の保持及
び共振周波数を測定するチャノク部、周波数測定端子及
び測定器を有する構成としたものである。
作用 上記構成において、チャック部はトリミング中の誘電体
共振器の保持と、誘電体共振器と周波数測定端子との結
合状態を安定化する機能を有し、周波数測定端子は共振
周波数を測定するため誘電体共振器と計測器間の結合状
態を安定化させるもので、ダイヤモンド砥石は非導電性
で誘電体共振器を切削しながら共振周波数を計測するこ
とを可能にするもので、ダイヤモンド砥石を前後に駆動
させるXテーブル駆動機構によって切削量を制御し、計
測器は共振波形のピーク周波数を検出し共振周波数を求
める機能を有し、演算処理部ではトリミングの終了を判
断して砥石のXテーブル駆動機構に制御命令を与える機
能を有し、以上の機能を有機的に結合することにより安
定した周波数調整用トリミングが可能となるものである
実施例 以下、本発明の一実施例について図面を参照しながら説
明する。第4図は本発明の誘電体共振器の共振周波数調
整用トリミング装置の全体を示す概略図である。第4図
において、lは本体でこの本体lにはチャック部2が間
欠回転運動するインデックステーブル3に取付けてある
。この本体1は誘電体共振器投入部4を持ち、ここから
トリミングされる誘電体共振器l8が供給される.この
インデックステーブル3の周囲には、良品用の取り出し
部6と取り出しガイド7及び砥石8が先端に設けられた
リュータ9が設置されている.この零体1とは別に測定
器lOと演算処理部11が設置されている。第1図は本
発明の誘電体共振器の共振周波数調整用トリミング装置
の一実施例におけるトリミング部を示す。第1図におい
て9はリュータで、8は砥石、l2は誘電体共振器l8
の測定端子(GND側)、l3は測定端子l2を誘電体
共振器l8の測定端子l2と結合させると共に誘電体共
振器1Bの後退を防ぐ着座ブロック、l4は測定端子1
6(測定器入出力側)を保持するための測定端子ブロッ
ク、15は測定端子l6を測定端子ブロックl4に固定
するためのコネクタ、16は測定器10の人出力用の測
定端子、2は誘電体共振器18を保持するチャック部、
l8は誘電体共振器、Bは誘電体共振器l8のトリミン
グを行う位置を示す。
第2図において19は着座ブロック13を誘電体共振器
18に圧接させる圧力バネ、20は測定端子(GND側
)12の支持柱、2lは着座ブロック13と測定端子(
GND側)12との接触を保つ可動性のあるベアリング
である. 第3図(a), (b)において22はトリミング前の
誘電体共振器l8を収納するマガジン、23はチャック
部2に誘電体共振器18を装着する前に待機をしておく
保持チャノク、24は保持チャック23からチャノク部
2へ誘電体共振器l8を移送する移送ピン、25はチャ
ンク部2から誘電体共振器18を保持チャック26に移
送する移送ビンである.また4個あるチャソク部2の各
位置における役割を示すと、八の位置では、共振器l8
の移し替え、Bの位置ではトリミングを行い、Cの位置
では不良品の取出し、Dの位置では良品の取出しを行っ
ている。
次に本発明の動作について説明する。第4図に示すよう
にチャック部2はインデックステーブル3と一体化して
おり、図示しない動力により間欠回転をして第3図(b
)のトリミング位置Bにインデックスされる。インデッ
クス後、第2図に示すように測定端子12と一体化され
た着座ブロック13が前進して測定端子l2が誘電体共
振器l8に接地された形でセットされる。セット完了後
リュータ9が誘電体共振器l8の手前まで前進し、第4
図に示す測定器lOより第1図に示す測定端子16を通
して共振周波数を測定する。測定値と共振周波数限界値
の差によって、トリミングの可能、不可能を判断ずる。
トリミング不可能であればリュータ9は待機位置まで後
退する。
次にダイヤモンド砥石8について説明する。第5図にお
いて27は回転軸で28はセラミックの粒子をビトリフ
ァイド(ボンド)で練り固めたセラミック砥石、29は
ダイヤモンドの粒子をビトリファイドで練り固めたダイ
ヤモンド砥石で、セラミック砥石28の先端に接着し切
削力を高めているほか、回転軸27から遠ざけて導電率
を下げてあり、切削面30で誘電体共振器l8のトリミ
ングを行う.次に第6図はこの装置の電気的ブロック図
を示す.誘電体共振器l8の共振周波数を測定器10に
て測定を行い、その値に対して演算処理部l1にてトリ
ミング可否およびトリミング量を演算し、パルスモー夕
制御ユニット3lおよびバルスモータドライハ32、X
テーブル駆動機構33へトリミング量の指令を行いリュ
ータ9、砥石8にて誘電体共振器18をトリミングする
.この方式は演算処理部1lの内部のソフトウェアに関
するもので、そのフローチャートは第7図に示す.測定
器10にてピークサーチを行って共振周波数を測定後ト
リミング可能ならば、共振点での伝送レベルを測定し、
トリミングの目標周波数における伝送レベルが共振点の
伝送レベルに達した時点でトリミングの終了を判断する
. また、第8図のフローチャートに示すように演算によっ
て求めたパルス数だけりューターを前進させて切削する
こともできる. 演算式の一例は下記に示すものとする。
パルス送り量=目標周波数一測定周波数/係数(目標周
波数一測定周命数) ×トリミング回数 なお係数については実験により求めた値を用いている.
また、削りすぎを防止するため、トリミング回数が増え
てくるとパルス量を減らす工夫をしているほか第1図に
示すようにトリミング位置Bにおいて、コーナーを切削
することで切削量をおさえて削りすぎを防止している。
発明の効果 以上のように本発明の誘電体共振器の共振周波数調整用
トリミング装置によれば、誘電体共振器を保持するチャ
ック部とこの誘電体共振器の周波数を測定する測定端子
と測定器とトリミングする砥石を有するリュータと駆動
パルス数に応じて移動量の制御が可能なXテーブル駆動
機構および演算処理部を有することにより従来のように
測定のたびごとに砥石を誘電体共振器から遠ざける必要
がなく、手作業に比べて約半分の時間でトリミングを行
うことができ、しかも測定を自動で行うため切削量のバ
ラッキがなく読み取り誤差もなくなり品質が安定し確実
なトリミングができ、その実用的効果は大なるものがな
る.
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の誘電体共振器の共振周波数調整用トリ
ミング装置の一実施例におけるトリミング部の説明図、
第2図は同トリミング部の着座ブロックの断面図、第3
図(a),(ロ)は誘電体共振器の搬送方法を示す説明
図、第4図は同装置全体の概略図、第5図は同装置の砥
石の構造を示す説明図、第6図は同装置のシステムブロ
ック図、第7図.第8図は共振器の切削量制御方法を示
すフローチャート図である。 2・・・・・・チャック部、8・・・・・・砥石、9・
・・・・・リュータ、l2・・・・・・測定端子、13
・・・・・・着座ブロック、l4・・・・・・測定端子
ブロック、l5・・・・・・コネクタ、16・・・・・
・測定端子、I8・・・・・・誘電体共振器、B・・・
・・・トリミング位置.

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)誘電体共振器を保持するチャック部と、この誘電
    体共振器の中心孔を貫通し誘電体共振器の開放端に突出
    する測定端子と、この測定端子の突出部分に近接配置さ
    れ測定器に接続される入出力測定端子と、上記誘電体共
    振器の電極部をトリミングする砥石を有するリュータと
    、駆動パルス数に応じて移動量の制御が可能なXテーブ
    ル駆動機構及び共振周波数の測定制御のリュータ移動量
    の演算と駆動制御を行う演算処理部を備えた誘電体共振
    器の共振周波数調整用トリミング装置。
  2. (2)誘電体共振器切削用砥石で誘電体共振器に接触し
    ても共振周波数の測定に影響を及ぼさず、誘電体セラミ
    ックを高速で切削できる非導電性物質で形成されたダイ
    ヤモンド砥石からなる請求項1記載の誘電体共振器の共
    振周波数調整用トリミング装置。
  3. (3)あらかじめ誘電体共振器の共振伝送レベルを測定
    し、次に単一の目標周波数における伝達レベルを監視す
    ることによって、誘電体共振器の切削量を制御する演算
    処理部を有する請求項1記載の誘電体共振器の共振周波
    数調整用トリミング装置。
  4. (4)あらかじめ切削量と周波数の変化量の関係を実験
    的に求めた結果より、まず共振周波数を測定し、目標周
    波数との差より誘電体共振器の切削量の演算処理をする
    ことによって切削量を制御する演算処理部を有する請求
    項1記載の誘電体共振器の共振周波数調整用トリミング
    装置。
JP1133290A 1990-01-19 1990-01-19 誘電体共振器の共振周波数調整用トリミング装置 Pending JPH03214904A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1133290A JPH03214904A (ja) 1990-01-19 1990-01-19 誘電体共振器の共振周波数調整用トリミング装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1133290A JPH03214904A (ja) 1990-01-19 1990-01-19 誘電体共振器の共振周波数調整用トリミング装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH03214904A true JPH03214904A (ja) 1991-09-20

Family

ID=11775080

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1133290A Pending JPH03214904A (ja) 1990-01-19 1990-01-19 誘電体共振器の共振周波数調整用トリミング装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH03214904A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05327324A (ja) * 1992-05-15 1993-12-10 Ngk Spark Plug Co Ltd 誘電体共振器の周波数調整方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54101261A (en) * 1978-01-27 1979-08-09 Hitachi Ltd Wire bonding method and unit used for it
JPS58223564A (ja) * 1982-05-10 1983-12-26 Toshiba Corp 砥石およびその製造法
JPS5915305A (ja) * 1982-07-16 1984-01-26 Murata Mfg Co Ltd 同軸共振器の共振周波数自動調整機
JPS6052102A (ja) * 1983-09-01 1985-03-25 Oki Electric Ind Co Ltd 誘電体共振器および誘電体共振器の共振周波数の調整方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54101261A (en) * 1978-01-27 1979-08-09 Hitachi Ltd Wire bonding method and unit used for it
JPS58223564A (ja) * 1982-05-10 1983-12-26 Toshiba Corp 砥石およびその製造法
JPS5915305A (ja) * 1982-07-16 1984-01-26 Murata Mfg Co Ltd 同軸共振器の共振周波数自動調整機
JPS6052102A (ja) * 1983-09-01 1985-03-25 Oki Electric Ind Co Ltd 誘電体共振器および誘電体共振器の共振周波数の調整方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05327324A (ja) * 1992-05-15 1993-12-10 Ngk Spark Plug Co Ltd 誘電体共振器の周波数調整方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5645466A (en) Apparatus and method for contour grinding gas turbine blades
KR950005873B1 (ko) 공작기계
JPH0258060B2 (ja)
JPH066262B2 (ja) 砥石車のツル−イング装置
EP0687526B1 (en) Polishing method and apparatus for automatic reduction of wafer taper in single-wafer polishing
JP2849387B2 (ja) 導電性研削工具によって工作物を研削する方法および装置
JPH03214904A (ja) 誘電体共振器の共振周波数調整用トリミング装置
JP3975309B2 (ja) ウェーハ面取り方法及び装置
US4998383A (en) Means for resetting a cylindrical grinding machine
JPH10286766A (ja) 薄膜素子の自動ラッピング方法及びその装置
JPH07154117A (ja) 共振周波数調整研削装置及びその研削方法
JPS62282865A (ja) 被加工物加工後の精密測定方法
CN210678021U (zh) 一种机械加工中心用对刀仪
JPH05337787A (ja) 工作機械のボーリング径補正装置
JP2000278066A (ja) 屈曲振動子の特性調整方法
JP2010105128A (ja) 研削盤
US4480410A (en) Precision center lapping apparatus and method
JPH04354673A (ja) 平面研削盤の制御方法
JP2575960B2 (ja) 自動レンズ研削装置
JPH07186044A (ja) 砥石振れ計測装置および砥石ツルーイング装置
JPS632483B2 (ja)
JPH10321674A (ja) チップボンディングヘッドのツール平行度測定方法及びチップボンディングヘッド
JPH0226104A (ja) 同軸型誘電体共振器の共振周波数調整方法
JP2717595B2 (ja) 研削盤におけるドレツシング用ロータリ電極修正装置
JPH0760630A (ja) 平面研削盤