JPH03204212A - 弾性表面波デバイス及び弾性表面波フィルタ - Google Patents
弾性表面波デバイス及び弾性表面波フィルタInfo
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- JPH03204212A JPH03204212A JP34485889A JP34485889A JPH03204212A JP H03204212 A JPH03204212 A JP H03204212A JP 34485889 A JP34485889 A JP 34485889A JP 34485889 A JP34485889 A JP 34485889A JP H03204212 A JPH03204212 A JP H03204212A
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- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 36
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 claims abstract 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
- 238000003780 insertion Methods 0.000 abstract description 4
- 230000037431 insertion Effects 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 240000004050 Pentaglottis sempervirens Species 0.000 description 1
- 235000004522 Pentaglottis sempervirens Nutrition 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- RDYMFSUJUZBWLH-UHFFFAOYSA-N endosulfan Chemical compound C12COS(=O)OCC2C2(Cl)C(Cl)=C(Cl)C1(Cl)C2(Cl)Cl RDYMFSUJUZBWLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）本発明は一方向性変換器、殊にト
ランスバーサル型弾性表面波フィルタを構成する際に使
用する変換器であってインタディジタルトランスジュー
サ（以下ＩＤＴと示す）電極指間′に浮き電極を設けた
浮き電極内部反射型一方向性変換器及び基板の中央にグ
ループ型の一方向性変換器或いは一方向性変換器を配置
し、両側に中央方向に方向性をもつ一方向性変換器或い
は内部反射型一方向性弾性表面波変換器を配置した構造
の弾性表面波変換器に関する。
ランスバーサル型弾性表面波フィルタを構成する際に使
用する変換器であってインタディジタルトランスジュー
サ（以下ＩＤＴと示す）電極指間′に浮き電極を設けた
浮き電極内部反射型一方向性変換器及び基板の中央にグ
ループ型の一方向性変換器或いは一方向性変換器を配置
し、両側に中央方向に方向性をもつ一方向性変換器或い
は内部反射型一方向性弾性表面波変換器を配置した構造
の弾性表面波変換器に関する。
（従来技術）通常の弾性表面波励振デバイス、即ちＩＤ
Ｔ電極によって励振された弾性表面波が当該デバイスの
左右双方向に均等に伝搬するデバイスを波動の送受（入
出力）に用いるタイプのトランスバーサル型弾性表面波
フィルタにおいて基本的に存在する６ｄＢのロスを減少
せしめる為、従来から各種の一方向性弾性表面波変換器
が提案されてきた。
Ｔ電極によって励振された弾性表面波が当該デバイスの
左右双方向に均等に伝搬するデバイスを波動の送受（入
出力）に用いるタイプのトランスバーサル型弾性表面波
フィルタにおいて基本的に存在する６ｄＢのロスを減少
せしめる為、従来から各種の一方向性弾性表面波変換器
が提案されてきた。
これらの一方向性弾性表面波変換器は大別すると、（ａ
）３種のＩＤＴ電極指に各々零度、１２０度及び２４０
度の位相差を有する信号を印加する三相一方向性デバイ
ス。
）３種のＩＤＴ電極指に各々零度、１２０度及び２４０
度の位相差を有する信号を印加する三相一方向性デバイ
ス。
（ｂ）一般のＩＤＴ電極指間を縫ってミアングラインを
設け、これを接地するグループ型一方向性変換器。
設け、これを接地するグループ型一方向性変換器。
（ｃ）アルミニウムＩＤＴ電極指を金の如き大密度金属
の電極指（弾性表面波反射用）とをベアとし弾性表面波
励振の中心と反射の中心との間隔を励起した波動の波長
の１／８とした内部反射一方向性変換器。
の電極指（弾性表面波反射用）とをベアとし弾性表面波
励振の中心と反射の中心との間隔を励起した波動の波長
の１／８とした内部反射一方向性変換器。
の三種が存在するが、（ａ）の三相一方向性変換器は広
い周波数範囲で波動伝搬の一方向性が保たれるものの３
本のバスバーの１本から延びる電極指を他の１本のバス
バー上をオーバーブリッジせしめる必要があり、製造が
極めて困難、従って高価となるのみならずかなり複雑な
位相器を要するという欠陥があった。
い周波数範囲で波動伝搬の一方向性が保たれるものの３
本のバスバーの１本から延びる電極指を他の１本のバス
バー上をオーバーブリッジせしめる必要があり、製造が
極めて困難、従って高価となるのみならずかなり複雑な
位相器を要するという欠陥があった。
また、（ｂ）のグループ型一方向性変換器も従来の構造
ではミアングラインの総延長が長くなり、オーミックな
損失に基づくフィルタの挿入損失が大となるという欠陥
があった。
ではミアングラインの総延長が長くなり、オーミックな
損失に基づくフィルタの挿入損失が大となるという欠陥
があった。
更に（ｃ）の内部反射一方向性変換器は位相器は不要な
るもアルミニウム電極指の他にこれとベアになる全電極
指を別途蒸着する必要があり、工程が複雑となるという
欠陥があり、いずれも満足すべきものではなかった。
るもアルミニウム電極指の他にこれとベアになる全電極
指を別途蒸着する必要があり、工程が複雑となるという
欠陥があり、いずれも満足すべきものではなかった。
また、これらの変換器を用いたフィルタでは、中心周波
数ｆ＝、ｆｔなどの特性をもつ場合、二つ以上の基板及
びＩＤＴを用いて、フィルタを構成していた。
数ｆ＝、ｆｔなどの特性をもつ場合、二つ以上の基板及
びＩＤＴを用いて、フィルタを構成していた。
（発明の目的）本発明は上述したごとき従来の一方向性
弾性表面波の欠陥を除去すべくなされたものであって、
デバイスの製造工程簡易にしたもので、しかも損失の少
ない弾性表面波一方向性変換器を得る方法、及び一方向
性変換器が周波数によっては逆方向にも大きな方向性を
示す一方向性変換器を中心に配置し、両側に内部反射型
の一方向性変換器を配置した構造のフィルタ、及び一つ
の基板上に中心周波数ｆｔＳ ｆｔなどの周波数特性を
もつ一方向性変換器を配置したフィルタに関する発明で
ある。
弾性表面波の欠陥を除去すべくなされたものであって、
デバイスの製造工程簡易にしたもので、しかも損失の少
ない弾性表面波一方向性変換器を得る方法、及び一方向
性変換器が周波数によっては逆方向にも大きな方向性を
示す一方向性変換器を中心に配置し、両側に内部反射型
の一方向性変換器を配置した構造のフィルタ、及び一つ
の基板上に中心周波数ｆｔＳ ｆｔなどの周波数特性を
もつ一方向性変換器を配置したフィルタに関する発明で
ある。
（発明の概要）上述の目的を達成する為、本発明にかか
る弾性表面波一方向性変換器は、基本的にｒＤＴ電極の
正負電極指の電極幅を変化させ、その間に開放型の浮き
電極を挿入した構造成いはＩＤＴ電極の正負電極指の間
であって当該電極指間隙の中心位置からはずれた位置に
電気的にいずれとも非接続のｉ種類の浮き電極を設けた
もの、及び一つの基板上に種々の中心周波数特性をもつ
一方向性変換器の変換器を配置したフィルタに関するも
のである。
る弾性表面波一方向性変換器は、基本的にｒＤＴ電極の
正負電極指の電極幅を変化させ、その間に開放型の浮き
電極を挿入した構造成いはＩＤＴ電極の正負電極指の間
であって当該電極指間隙の中心位置からはずれた位置に
電気的にいずれとも非接続のｉ種類の浮き電極を設けた
もの、及び一つの基板上に種々の中心周波数特性をもつ
一方向性変換器の変換器を配置したフィルタに関するも
のである。
（実施例）以下、本発明を図面に示した実施例に基づい
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
さて、実施例の説明に入る前に本発明の理解を助けるた
め、本発明をなすに至った基本的な考え形について説明
するに、圧電・電歪基板上に通常一般の正負ＩＤＴ電極
を設けそれぞれの電極指の間隔をλ／２とし、これら両
電極間に周波数ｆ＝ｖ／λ（ただし、■は励起する波動
の伝搬速度）なる交流電界を印加すればλにほぼ等しい
弾性表面波が励起され、励起した弾性表面波は、基板１
表面をＩＤＴ電極指列に沿って左右均等に伝搬すること
は周知である。
め、本発明をなすに至った基本的な考え形について説明
するに、圧電・電歪基板上に通常一般の正負ＩＤＴ電極
を設けそれぞれの電極指の間隔をλ／２とし、これら両
電極間に周波数ｆ＝ｖ／λ（ただし、■は励起する波動
の伝搬速度）なる交流電界を印加すればλにほぼ等しい
弾性表面波が励起され、励起した弾性表面波は、基板１
表面をＩＤＴ電極指列に沿って左右均等に伝搬すること
は周知である。
ここで第３図のように、圧電、電歪基板ｌ上に正負ＩＤ
Ｔｉ［極２．３を設け、これからすだれ状に延びるＩＤ
Ｔ電極指２ａ、３ｂ、５ａの幅及び空隙を例えばλ／８
と仮定し、電極指間隙の間にいずれの部分とも電気的に
非接続の浮き電極指４ａ、４ａを設けたとしても電極構
成の対称性の為前記ＩＤＴ電極指によって励起された波
動の前記浮き電極４ａ、４ａによる反射は左右均等にな
されるので、このような電極構成を有するデバイスの波
動伝搬はやはり左右均等である。
Ｔｉ［極２．３を設け、これからすだれ状に延びるＩＤ
Ｔ電極指２ａ、３ｂ、５ａの幅及び空隙を例えばλ／８
と仮定し、電極指間隙の間にいずれの部分とも電気的に
非接続の浮き電極指４ａ、４ａを設けたとしても電極構
成の対称性の為前記ＩＤＴ電極指によって励起された波
動の前記浮き電極４ａ、４ａによる反射は左右均等にな
されるので、このような電極構成を有するデバイスの波
動伝搬はやはり左右均等である。
そこで、本発明である第１図のように、第３図の電極指
３ｂの幅を例えば３ｂの場合の３倍、即ち３λ／１０と
すれば、励起波と反射波の対称性が崩れＩＤＴ電極指列
の左右いずれか一方に伝搬する波動エネルギが大となる
であろう。即ち、第１図は上述したごとき考えかたに基
づいて構成した本発明にかかる浮き電極を有する一方向
性弾性表面波変換器の基本実施例を示す電極構成図であ
って、例えば、正電極に接続されている電極指２ａの幅
はλ／１０、その間隙かλ／１０で負電極に接続された
電極指３ａの電極幅が３λ／１０．３ａと４ａと間隙が
λ／１０で開放型の浮き電極指４ａの幅がλ／１０．そ
の間隙がλ／１０で負電極に接続された電極指５ａ、次
ぎに電極指５ａと電極指２ａの間隙かλ／１０で正電極
に接続されている電極指２ａを周期とする一方向性変換
器とすることのより、励起した波動エネルギが一方向に
強く伝搬する、いわゆる一方向性弾性表面波変換器か得
られる。この場合、電極幅及び間隙は必ずしも正確にこ
れらの値である必要はなく、中心周波数で各々の波の位
相が同位相となるような値であれば良く、インターディ
ジタル変換器の帯域幅を考えると、±８０％の範囲か適
当である。
３ｂの幅を例えば３ｂの場合の３倍、即ち３λ／１０と
すれば、励起波と反射波の対称性が崩れＩＤＴ電極指列
の左右いずれか一方に伝搬する波動エネルギが大となる
であろう。即ち、第１図は上述したごとき考えかたに基
づいて構成した本発明にかかる浮き電極を有する一方向
性弾性表面波変換器の基本実施例を示す電極構成図であ
って、例えば、正電極に接続されている電極指２ａの幅
はλ／１０、その間隙かλ／１０で負電極に接続された
電極指３ａの電極幅が３λ／１０．３ａと４ａと間隙が
λ／１０で開放型の浮き電極指４ａの幅がλ／１０．そ
の間隙がλ／１０で負電極に接続された電極指５ａ、次
ぎに電極指５ａと電極指２ａの間隙かλ／１０で正電極
に接続されている電極指２ａを周期とする一方向性変換
器とすることのより、励起した波動エネルギが一方向に
強く伝搬する、いわゆる一方向性弾性表面波変換器か得
られる。この場合、電極幅及び間隙は必ずしも正確にこ
れらの値である必要はなく、中心周波数で各々の波の位
相が同位相となるような値であれば良く、インターディ
ジタル変換器の帯域幅を考えると、±８０％の範囲か適
当である。
また、各々の電極幅がλ／８で各々の電極間距離がλ／
４であり、正電極指９．１０及び短絡電極指１３で接続
され短絡型の浮き電極指１１，１２、及び開放型の浮き
電極指１４と１５と負電極指１６．１７を半周期とだ一
方向性変換器であって、この場合、正負電極間の短絡型
浮き電極指１１．１２と負正間の短絡型の浮き電極指１
８．１９を接続した構造あって、各々の電極幅λ／８及
び各々の電極間距離λ／４の値が±８０％の範囲にある
ような浮き電極をもつ内部反射型一方向性弾性表面波変
換器とすることにより、広い電極幅で良好な一方向性変
換器が得られる。この場合、電極指９．１０或いは１６
．１７は、一つにまとめた電極としてもよい。また、正
負電極間を接続する電極２２は正或いは負電極のみの間
、正負間のみ、或いは正負正の間などを接続する方法も
本特許に含まれるものとする。
４であり、正電極指９．１０及び短絡電極指１３で接続
され短絡型の浮き電極指１１，１２、及び開放型の浮き
電極指１４と１５と負電極指１６．１７を半周期とだ一
方向性変換器であって、この場合、正負電極間の短絡型
浮き電極指１１．１２と負正間の短絡型の浮き電極指１
８．１９を接続した構造あって、各々の電極幅λ／８及
び各々の電極間距離λ／４の値が±８０％の範囲にある
ような浮き電極をもつ内部反射型一方向性弾性表面波変
換器とすることにより、広い電極幅で良好な一方向性変
換器が得られる。この場合、電極指９．１０或いは１６
．１７は、一つにまとめた電極としてもよい。また、正
負電極間を接続する電極２２は正或いは負電極のみの間
、正負間のみ、或いは正負正の間などを接続する方法も
本特許に含まれるものとする。
また、特許請求の範囲第１項或いは第２項において、開
放型の浮き電極同士４８、開放型の浮き電極の同位相同
士１４と２０．１５と２１などを接続した構造の弾性表
面波変換器とすることにより、大きな反射係数の一方向
性変換器が得られる。
放型の浮き電極同士４８、開放型の浮き電極の同位相同
士１４と２０．１５と２１などを接続した構造の弾性表
面波変換器とすることにより、大きな反射係数の一方向
性変換器が得られる。
また、第４図のように、中心に周波数によって方向性の
異なる一方向性変換器２３、両側に一方向性変換器２４
．２５を配置した構造の一方向性変換器を用いたフィル
タが得られる。また、ｆｌ、ｆｔ５ｆｓなどの中心周波
数をもつ一方向性変換器を同一基板上に配置したフィル
タも本特許に含まれるものとする。
異なる一方向性変換器２３、両側に一方向性変換器２４
．２５を配置した構造の一方向性変換器を用いたフィル
タが得られる。また、ｆｌ、ｆｔ５ｆｓなどの中心周波
数をもつ一方向性変換器を同一基板上に配置したフィル
タも本特許に含まれるものとする。
以上の一方向性変換器の動作周波数として、基本波動作
、２倍、３倍、・・・のどの高調波を行わせる内部反射
型一方向性弾性表面波変換器も本特許に含まれるものと
する。また、上記の説明では、平面図の下側２を正電極
、上側３を負電極としたか、上を正電極に下を負とした
構造も本特許に含まれるものとする。
、２倍、３倍、・・・のどの高調波を行わせる内部反射
型一方向性弾性表面波変換器も本特許に含まれるものと
する。また、上記の説明では、平面図の下側２を正電極
、上側３を負電極としたか、上を正電極に下を負とした
構造も本特許に含まれるものとする。
（発明の効果）本発明にかかる一方向性弾性表面波変換
器は以上説明したごとく構成するものであるから、一般
には、唯二度の蒸着−露光−エツチング工程を以て電極
形成が可能である一方向性変換器、および同一基板上に
種々の周波数特性をもつ一方向性変換器からなる低損失
のフィルタを得るものであり、通常一般の弾性表面波デ
バイスと同等のコストで安価に製造可能であるのみなら
ず、格別の損失を発生する要因が存在しない為、一方向
性変換器本来の特性たるＴＴＥ（）リプルトランジェッ
トエコー）に基づくリップルが少なく、挿入損失の小さ
なフィルタを安価Ｉこ提供する上で著しい効果を奏する
。また、ミャンダーライン電極を用いないグループ型一
方向性すだれ状電極のアース電極の作製及び同じ位相の
浮き電極同士を接続する方法についても、陽極酸化多層
配線法などを用いて、容易に作製できるので、上記の特
徴を失うものではない。
器は以上説明したごとく構成するものであるから、一般
には、唯二度の蒸着−露光−エツチング工程を以て電極
形成が可能である一方向性変換器、および同一基板上に
種々の周波数特性をもつ一方向性変換器からなる低損失
のフィルタを得るものであり、通常一般の弾性表面波デ
バイスと同等のコストで安価に製造可能であるのみなら
ず、格別の損失を発生する要因が存在しない為、一方向
性変換器本来の特性たるＴＴＥ（）リプルトランジェッ
トエコー）に基づくリップルが少なく、挿入損失の小さ
なフィルタを安価Ｉこ提供する上で著しい効果を奏する
。また、ミャンダーライン電極を用いないグループ型一
方向性すだれ状電極のアース電極の作製及び同じ位相の
浮き電極同士を接続する方法についても、陽極酸化多層
配線法などを用いて、容易に作製できるので、上記の特
徴を失うものではない。
以上の実験の結果の一例として、第１図の電極構成での
周波数特性を第５図に示す。中心周波数４１５ＭＨｚで
挿入損失４．１ｄＢが得られている。
周波数特性を第５図に示す。中心周波数４１５ＭＨｚで
挿入損失４．１ｄＢが得られている。
第１図、第２図は本発明に係る一方向性変換器の実施例
を示す電極構成の平面図及び断面図である。また、第３
図は、本発明に至る過程を説明するための図である。第
４図は、本発明に係る中心に周波数によって方向性の異
なる一方向性変換器、両側に中心方向に方向性をもつそ
れぞれの周波数特性をもつ一方向性変換器を配置したフ
ィルタの鳥かん図である。 第５図は実験結果の一例である。 １−・・基板、２．３・・正、負ＩＤＴ電極、２ａｓ
３ａ、 ５ａｓ ９．１０．１６．１７・・・正負夏Ｄ
Ｔ電極指、４ａ、１４．１５．２０．２１−開放型の浮
き電極指、１１．１２．１８．１９・・・短絡型の浮き
電極指、１３．２２−短絡用の電極、２３・・・ｒ、、
ｒ、の一方向性変換器、２４・・・ｆ、の一方向性変換
器、２５・・・ｆ、の一方向性変換器。
を示す電極構成の平面図及び断面図である。また、第３
図は、本発明に至る過程を説明するための図である。第
４図は、本発明に係る中心に周波数によって方向性の異
なる一方向性変換器、両側に中心方向に方向性をもつそ
れぞれの周波数特性をもつ一方向性変換器を配置したフ
ィルタの鳥かん図である。 第５図は実験結果の一例である。 １−・・基板、２．３・・正、負ＩＤＴ電極、２ａｓ
３ａ、 ５ａｓ ９．１０．１６．１７・・・正負夏Ｄ
Ｔ電極指、４ａ、１４．１５．２０．２１−開放型の浮
き電極指、１１．１２．１８．１９・・・短絡型の浮き
電極指、１３．２２−短絡用の電極、２３・・・ｒ、、
ｒ、の一方向性変換器、２４・・・ｆ、の一方向性変換
器、２５・・・ｆ、の一方向性変換器。
Claims (6)
- （１）圧電・電歪物質基板１の表面或いは圧電薄膜基板
にインターディジタル・トランスジューサ電極を配置し
て弾性表面波を励振或いは伝搬してきた弾性表面波を受
信するデバイスにおいて、基本動作周波数での波長をλ
として、前記インターディジタルトランスジューサ電極
の正電極指２ａの幅がλ／１０、次にその中心間距離が
３λ／１０でその幅が３λ／１０の負電極指３ａ、次に
その中心間距離が３λ／１０でその幅がλ／１０でいず
れの電極にも接続されていない開放型の浮き電極指４ａ
、次にその中心間距離がλ／５でその幅がλ／１０の負
電極指５ａ、次にその中心間距離がλ／５でその幅がλ
／１０の正電極指２ａを周期とするインタディジタルト
ランスジューサであって、これらの中心間距離及びこれ
らの電極幅の範囲が±８０％の範囲にあるような浮き電
極をもつ内部反射型一方向性弾性表面波変換器。 - （２）各々の電極幅がλ／８で各々の電極間距離がλ／
４であり、正電極指９、１０及び短絡電極指１３で接続
され短絡型の浮き電極指１１、１２、及び開放型の浮き
電極指１４と１５と負電極指１６、１７を半周期とした
一方向性変換器であって、この場合、正負電極間の短絡
型浮き電極指１１、１２と負正間の短絡型の浮き電極指
１８、１９を電極２２で接続した構造あって、各々の電
極幅λ／８及び各々の電極間距離λ／４の値が±８０％
の範囲にあるような浮き電極をもつ内部反射型一方向性
弾性表面波変換器。 - （３）特許請求の範囲第１項或いは第２項において、開
放型の浮き電極同士４ａ、開放型の浮き電極の同位相同
士１４と２０、１５と２１などを接続した構造の弾性表
面波変換器。 - （４）特許請求の範囲第１項或いは第２項或いは第３項
において、上記の構造の一方向性変換器の動作周波数を
、Ｎを１、２、３などの整数とし、ωを動作周波数の波
長λに対応させた時、Ｎωで動作させる浮き電極をもつ
内部反射型一方向性弾性表面波変換器。 - （５）圧電・電歪物質基板１の表面或いは圧電薄膜基板
にインターディジタル・トランスジューサ電極を配置し
て弾性表面波を励振或いは伝搬してきた弾性表面波を受
信するデバイスにおいて、基板の中央に周波数によって
方向の異なるグループ型の一方向性変換器或いは一方向
性変換器を配置し、両側に中央方向に方向性をもつ一方
向性変換器或いは内部反射型一方向性弾性表面波変換器
を配置した構造の弾性表面波変換器及びフィルタ。 - （６）圧電・電歪物質基板１の表面或いは圧電薄膜基板
にインターディジタル・トランスジューサ電極を配置し
て弾性表面波を励振或いは伝搬してきた弾性表面波を受
信するデバイスにおいて、中心周波数Ｆ＿１、Ｆ＿２な
どのフィルタを得る方法として、同一基板上にそれぞれ
周波数特性の異なる一方向性変換器を配置した構造の弾
性表面波変換器及びフィルタ。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1344858A JP2779675B2 (ja) | 1989-12-31 | 1989-12-31 | 弾性表面波デバイス及び弾性表面波フィルタ |
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| JP1344858A JP2779675B2 (ja) | 1989-12-31 | 1989-12-31 | 弾性表面波デバイス及び弾性表面波フィルタ |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30489697A Division JP2878671B2 (ja) | 1997-10-20 | 1997-10-20 | 弾性表面波デバイス及び弾性表面波フィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03204212A true JPH03204212A (ja) | 1991-09-05 |
| JP2779675B2 JP2779675B2 (ja) | 1998-07-23 |
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ID=18372536
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1344858A Expired - Fee Related JP2779675B2 (ja) | 1989-12-31 | 1989-12-31 | 弾性表面波デバイス及び弾性表面波フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2779675B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05226961A (ja) * | 1992-01-26 | 1993-09-03 | Kazuhiko Yamanouchi | 浮き電極をもつ内部反射型一方向性弾性表面波変換 器及び弾性表面波機能素子 |
| US5438306A (en) * | 1992-07-02 | 1995-08-01 | Kazuhiko Yamanouchi | Surface acoustic wave filter device with symmetrical electrode arrangement |
| US6127904A (en) * | 1994-10-31 | 2000-10-03 | Ngk Insulators, Ltd. | Surface acoustic wave filter having unidirectional and bidirectional transducers |
| US7173360B2 (en) * | 2003-10-08 | 2007-02-06 | Rf Saw Components, Inc. | Single phase undirectional surface acoustic wave transducer and improved reflectors |
| JP2014087039A (ja) * | 2012-10-23 | 2014-05-12 | Kazuhiko Yamanouchi | 一方向性弾性表面波変換器とこれを用いた電子装置 |
| CN112653413A (zh) * | 2020-12-16 | 2021-04-13 | 武汉大学 | 调节超高频体声波谐振器有效机电耦合系数的***及方法 |
-
1989
- 1989-12-31 JP JP1344858A patent/JP2779675B2/ja not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| NOVEL REALISATION OF AN AUTOMATIC TRANSMIT-RECEIVE SWITCH AND TWO BANDPASS FILTERS BY A SINGLE SAW FILTER ELECTRONICS LETTERS 5TH JANUARY=1984 * |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN112653413A (zh) * | 2020-12-16 | 2021-04-13 | 武汉大学 | 调节超高频体声波谐振器有效机电耦合系数的***及方法 |
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| Publication number | Publication date |
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| JP2779675B2 (ja) | 1998-07-23 |
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