JPH0312245U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0312245U JPH0312245U JP7241789U JP7241789U JPH0312245U JP H0312245 U JPH0312245 U JP H0312245U JP 7241789 U JP7241789 U JP 7241789U JP 7241789 U JP7241789 U JP 7241789U JP H0312245 U JPH0312245 U JP H0312245U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellicle
- frame
- pellicle membrane
- membrane
- groove
- Prior art date
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- Pending
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- 239000000428 dust Substances 0.000 claims 1
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Description
第１図ａは、本考案による上部からの平面図、
同図ｂはその上部縦断面の一部であり、同図ｃ，
ｄ，ｅおよびｆはｂの実施例拡大図で、ｆは枠に
形状記憶合金を用いた例を示す図、第２図は、ペ
リクルの従来の模型的な構造図である。 １……ペリクル膜、２……フレーム、３……溝
、４……枠、５……接着剤、６……粘着材、７…
…フオトマスク（レチクル）。
同図ｂはその上部縦断面の一部であり、同図ｃ，
ｄ，ｅおよびｆはｂの実施例拡大図で、ｆは枠に
形状記憶合金を用いた例を示す図、第２図は、ペ
リクルの従来の模型的な構造図である。 １……ペリクル膜、２……フレーム、３……溝
、４……枠、５……接着剤、６……粘着材、７…
…フオトマスク（レチクル）。
Claims (1)
- 半導体製造のリソグラフイ工程における、露光
時のゴミよけカバーとして用いられるペリクルに
おいて、ペリクル膜の周縁部を固定するフレーム
に固定部溝を設け、該溝にペリクル膜上から嵌合
部材を嵌合して、ペリクル膜を前記フレームに固
定したことを特徴とするペリクル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7241789U JPH0312245U (ja) | 1989-06-22 | 1989-06-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7241789U JPH0312245U (ja) | 1989-06-22 | 1989-06-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0312245U true JPH0312245U (ja) | 1991-02-07 |
Family
ID=31610332
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7241789U Pending JPH0312245U (ja) | 1989-06-22 | 1989-06-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0312245U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012058400A (ja) * | 2010-09-07 | 2012-03-22 | Asahi Kasei E-Materials Corp | ペリクルの製造方法 |
| JP2013195852A (ja) * | 2012-03-21 | 2013-09-30 | Asahi Kasei E-Materials Corp | ペリクルの製造方法及びペリクル |
-
1989
- 1989-06-22 JP JP7241789U patent/JPH0312245U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012058400A (ja) * | 2010-09-07 | 2012-03-22 | Asahi Kasei E-Materials Corp | ペリクルの製造方法 |
| JP2013195852A (ja) * | 2012-03-21 | 2013-09-30 | Asahi Kasei E-Materials Corp | ペリクルの製造方法及びペリクル |