JPH03113715A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH03113715A JPH03113715A JP24851089A JP24851089A JPH03113715A JP H03113715 A JPH03113715 A JP H03113715A JP 24851089 A JP24851089 A JP 24851089A JP 24851089 A JP24851089 A JP 24851089A JP H03113715 A JPH03113715 A JP H03113715A
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- thin film
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- film layer
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- Pending
Links
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
この発明は、磁気ディスク等の磁気記録媒体に関するも
のである。
のである。
［従来の技術］
近年、磁気記録装置の小型化、高密度化に対応して、磁
気記録媒体の薄層化並びに狭トラツク化等、高密度化へ
の対応が図られている。例えば薄層化のため磁気記録媒
体は、第６図に示すように、非磁性基板１の上に、スパ
ッタリング法によす磁性層であるγ−ＦｅｚＯａ薄膜層
５を成膜して記録層を形成している。
気記録媒体の薄層化並びに狭トラツク化等、高密度化へ
の対応が図られている。例えば薄層化のため磁気記録媒
体は、第６図に示すように、非磁性基板１の上に、スパ
ッタリング法によす磁性層であるγ−ＦｅｚＯａ薄膜層
５を成膜して記録層を形成している。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、上記のように薄層化並びに狭トラツク化
等、高密度化への対応がなされた従来の磁気記録媒体に
よればＳ／Ｎ比の低下を余儀なくされる。また、単位記
録ビットが微細化することで、磁気記録媒体の磁性材料
の性質が如実に現われてくる。すなわち、記録層である
磁性薄膜層（γ−Ｆｅ、Ｏ，薄膜層５）の深さ方向での
磁気的不均一性がヘッドとの間に形成する磁気回路に悪
影響を与えることで、完全な飽和記録を難しいものとし
、Ｓ／Ｎ比の低下、オーバライド特性の劣化を招く。例
えば第７図は種々の記録密度域におけるγ−Ｆｅ２Ｏ３
薄膜層の膜厚とオーバライド特性の関係を示すグラフで
あるが、このグラフよりわかるように、低密度域におい
ては、薄い膜厚はど良好なオーバライド値を与える一般
的な特性を示すが、記録密度が高くなるにつれ、この関
係は崩れるような傾向を示す。これは、スパツタリング
法によるγ−Ｆｅ２Ｏ３薄膜層５の形成が、非平衡状態
での成膜であるため、 γ−Ｆｅ２Ｏ３薄膜層５において初期数百人に堆積され
る初期堆積層部６が磁気的に不安定な層であることに起
因しており、この初期堆積層部６の存在が高密度記録域
での記録・再生特性を劣化させ、実用に向けての大きな
問題点となっていた。
等、高密度化への対応がなされた従来の磁気記録媒体に
よればＳ／Ｎ比の低下を余儀なくされる。また、単位記
録ビットが微細化することで、磁気記録媒体の磁性材料
の性質が如実に現われてくる。すなわち、記録層である
磁性薄膜層（γ−Ｆｅ、Ｏ，薄膜層５）の深さ方向での
磁気的不均一性がヘッドとの間に形成する磁気回路に悪
影響を与えることで、完全な飽和記録を難しいものとし
、Ｓ／Ｎ比の低下、オーバライド特性の劣化を招く。例
えば第７図は種々の記録密度域におけるγ−Ｆｅ２Ｏ３
薄膜層の膜厚とオーバライド特性の関係を示すグラフで
あるが、このグラフよりわかるように、低密度域におい
ては、薄い膜厚はど良好なオーバライド値を与える一般
的な特性を示すが、記録密度が高くなるにつれ、この関
係は崩れるような傾向を示す。これは、スパツタリング
法によるγ−Ｆｅ２Ｏ３薄膜層５の形成が、非平衡状態
での成膜であるため、 γ−Ｆｅ２Ｏ３薄膜層５において初期数百人に堆積され
る初期堆積層部６が磁気的に不安定な層であることに起
因しており、この初期堆積層部６の存在が高密度記録域
での記録・再生特性を劣化させ、実用に向けての大きな
問題点となっていた。
この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、高記録密度域においても極めて秀れた記録
・再生特性を与えることができる磁気記録媒体を得るこ
とを目的としている。
れたもので、高記録密度域においても極めて秀れた記録
・再生特性を与えることができる磁気記録媒体を得るこ
とを目的としている。
［課題を解決するための手段］
この発明における磁気記録媒体は、非磁性基板上に軟磁
性薄膜層を設け、かつこの軟磁性薄膜層上にγ−Ｆｅ２
Ｏ．薄膜層を設けて面内記録層を形成した。
性薄膜層を設け、かつこの軟磁性薄膜層上にγ−Ｆｅ２
Ｏ．薄膜層を設けて面内記録層を形成した。
［作用］
非磁性基板上に軟磁性薄膜層を設け、この軟磁性薄膜層
上にγ−ＦＢ、Ｃｐｓ薄膜層を成膜することで、軟磁性
薄膜層とこの軟磁性薄膜層上に堆積して形成される初期
堆積層部との間に静的な磁気的結合状態が生じ、初期堆
積層部がエネルギー的に安定な状態となり、この初期堆
積層部を磁気的にキャンセルできる。
上にγ−ＦＢ、Ｃｐｓ薄膜層を成膜することで、軟磁性
薄膜層とこの軟磁性薄膜層上に堆積して形成される初期
堆積層部との間に静的な磁気的結合状態が生じ、初期堆
積層部がエネルギー的に安定な状態となり、この初期堆
積層部を磁気的にキャンセルできる。
［発明の実施例］
以下、この発明の一実施例を第１図乃至第３図に基づい
て説明する。
て説明する。
第１図、第２図において、１は非磁性基板、２はこの非
磁性基板１上に設けられた軟磁性薄膜層、３は軟磁性薄
膜層２上に設けられたｙ−Ｆｅ、０３薄膜層、４はγ−
Ｆｅ２Ｏ３の初期堆積層部である。
磁性基板１上に設けられた軟磁性薄膜層、３は軟磁性薄
膜層２上に設けられたｙ−Ｆｅ、０３薄膜層、４はγ−
Ｆｅ２Ｏ３の初期堆積層部である。
次に作用を説明する。
軟磁性薄膜［２，γ−ＦｅｘＯ３薄膜層３はスパッタリ
ング法により成膜される。
ング法により成膜される。
γ−Ｆｅ、０３の初期堆積層部４は保磁力Ｈｃが１０〜
１０００ｅ程度の磁気的に不安定な層であるが、第２図
に示すように下地として設けられた軟磁性薄膜層２との
間に静的な磁気的結合状態を生じることでエネルギー的
に安定な状態となる。
１０００ｅ程度の磁気的に不安定な層であるが、第２図
に示すように下地として設けられた軟磁性薄膜層２との
間に静的な磁気的結合状態を生じることでエネルギー的
に安定な状態となる。
このように、不安定層である初期堆積層部４を安定とし
、さらに見掛は上、非磁性層としての取り扱いが可能な
ものとすることで、この磁気記録媒体は、非磁性基板１
上に良好に配向し、深さ方向の磁気特性均一性の秀れた
γ−Ｆｅ２Ｏ３薄膜層のみを設けたものとみなすことが
でき、高記録密度域においても極めて秀れた記録・再生
特性を与えることができる。
、さらに見掛は上、非磁性層としての取り扱いが可能な
ものとすることで、この磁気記録媒体は、非磁性基板１
上に良好に配向し、深さ方向の磁気特性均一性の秀れた
γ−Ｆｅ２Ｏ３薄膜層のみを設けたものとみなすことが
でき、高記録密度域においても極めて秀れた記録・再生
特性を与えることができる。
ここで、具体的にＡｌ−Ｍｇ合金サブストレート上にＮ
１−Ｃｕ−Ｐ下地硬化層を設けた非磁性基板１上に、軟
磁性薄膜層２として純鉄薄膜層を設け、さらに１５００
人のγ−Ｆｅ、Ｏ，薄膜層を設けた構成において、純鉄
薄膜層の膜厚に対するＳ／Ｎ比とオーバライド値をグラ
フ化すると第３図に示すようなグラフになった。すなわ
ち、純鉄薄膜層の膜厚Ｏ〜はぼ４００人までの範囲で膜
厚を増すことによりＳ／Ｎ比、オーバライド値ともに大
幅な改善が図られることがわかる。これは、この範囲で
純鉄薄膜層の機能がγ−Ｆｅ、０３の初期堆積層部４に
対して有効に働いているものと考えられる。膜厚６００
Å以上の領域でＳ／Ｎ比。
１−Ｃｕ−Ｐ下地硬化層を設けた非磁性基板１上に、軟
磁性薄膜層２として純鉄薄膜層を設け、さらに１５００
人のγ−Ｆｅ、Ｏ，薄膜層を設けた構成において、純鉄
薄膜層の膜厚に対するＳ／Ｎ比とオーバライド値をグラ
フ化すると第３図に示すようなグラフになった。すなわ
ち、純鉄薄膜層の膜厚Ｏ〜はぼ４００人までの範囲で膜
厚を増すことによりＳ／Ｎ比、オーバライド値ともに大
幅な改善が図られることがわかる。これは、この範囲で
純鉄薄膜層の機能がγ−Ｆｅ、０３の初期堆積層部４に
対して有効に働いているものと考えられる。膜厚６００
Å以上の領域でＳ／Ｎ比。
オーバライド特性が悪化するのは純鉄薄膜層の機能がγ
−Ｆｅ、○、薄膜層３の上層部にまで及んでいるためと
考えられる。このことから、純鉄薄膜層は５００Å以下
の薄膜に成膜することが必要である。
−Ｆｅ、○、薄膜層３の上層部にまで及んでいるためと
考えられる。このことから、純鉄薄膜層は５００Å以下
の薄膜に成膜することが必要である。
また、軟磁性薄膜層２として純鉄薄膜層の代わりにＦｅ
−８ｉ薄膜層を設けて、膜厚に対するＳ／Ｎ比とオーバ
ライド値をグラフ化すると第４図に示すようなグラフに
なった。これによると、膜厚を１００人〜３００人の範
囲にすると良好な特性が得られることがわかる。
−８ｉ薄膜層を設けて、膜厚に対するＳ／Ｎ比とオーバ
ライド値をグラフ化すると第４図に示すようなグラフに
なった。これによると、膜厚を１００人〜３００人の範
囲にすると良好な特性が得られることがわかる。
第５図は軟磁性薄膜層２としてＦ ｅ −Ａ １．−Ｓ
ｉ薄膜層を設け、膜厚に対するＳ／Ｎ比とオーバライド
値をグラフ化したもので、これによれば良好な特性を得
られる膜厚の範囲は狭いが、１００人程度に成膜すれば
良好な特性が得られる。
ｉ薄膜層を設け、膜厚に対するＳ／Ｎ比とオーバライド
値をグラフ化したもので、これによれば良好な特性を得
られる膜厚の範囲は狭いが、１００人程度に成膜すれば
良好な特性が得られる。
［発明の効果］
以上説明したように、この発明における磁気記録媒体は
、非磁性基板上に軟磁性薄膜層を設けた軟磁性薄膜層上
にγ−Ｆｅ２Ｏ３薄膜層を設けて上記面内記録層を形成
したので、高記録密度域においても極めて秀れた記録・
再生特性を与えることができる磁気記録媒体が得られる
。
、非磁性基板上に軟磁性薄膜層を設けた軟磁性薄膜層上
にγ−Ｆｅ２Ｏ３薄膜層を設けて上記面内記録層を形成
したので、高記録密度域においても極めて秀れた記録・
再生特性を与えることができる磁気記録媒体が得られる
。
第１図乃至第３図は本発明の磁気記録媒体の一実施例を
示し、第１図は構成図、第２図は説明図、第３図は軟磁
性薄膜層として純鉄薄膜層を設けた場合の膜厚とＳ／Ｎ
比、オーバライド値の関係を示すグラフ、第４図及び第
５図は本発明の他の実施例を示し、第４図は軟磁性薄膜
層としてＦ ｅ −Ｓ ｉ層を設けた場合の膜厚とＳ／
Ｎ比、オーバライド値の関係を示すグラフ、第５図は軟
磁性薄膜層としてＦｅ−Ａｌ−５ｉ層を設けた場合の膜
厚とＳ／Ｎ比、オーバライド値の関係を示すグラフ、第
６図及び第７図は従来の磁気記録媒体の一例を示す構成
図及び説明図である。 １・・・非磁性基板、２・・・軟磁性薄膜層、３・−・
γ−Ｆｅ２Ｏ３薄膜層。
示し、第１図は構成図、第２図は説明図、第３図は軟磁
性薄膜層として純鉄薄膜層を設けた場合の膜厚とＳ／Ｎ
比、オーバライド値の関係を示すグラフ、第４図及び第
５図は本発明の他の実施例を示し、第４図は軟磁性薄膜
層としてＦ ｅ −Ｓ ｉ層を設けた場合の膜厚とＳ／
Ｎ比、オーバライド値の関係を示すグラフ、第５図は軟
磁性薄膜層としてＦｅ−Ａｌ−５ｉ層を設けた場合の膜
厚とＳ／Ｎ比、オーバライド値の関係を示すグラフ、第
６図及び第７図は従来の磁気記録媒体の一例を示す構成
図及び説明図である。 １・・・非磁性基板、２・・・軟磁性薄膜層、３・−・
γ−Ｆｅ２Ｏ３薄膜層。
Claims (1)
- 非磁性基板と、この非磁性基板上に設けられた面内記
録層とより成る磁気記録媒体において、上記非磁性基板
上に軟磁性薄膜層を設け、かつこの軟磁性薄膜層上にγ
−Ｆｅ＿２Ｏ＿３薄膜層を設けて上記面内記録層を形成
したことを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24851089A JPH03113715A (ja) | 1989-09-25 | 1989-09-25 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24851089A JPH03113715A (ja) | 1989-09-25 | 1989-09-25 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03113715A true JPH03113715A (ja) | 1991-05-15 |
Family
ID=17179257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24851089A Pending JPH03113715A (ja) | 1989-09-25 | 1989-09-25 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03113715A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6716917B2 (en) | 2000-07-26 | 2004-04-06 | Toray Industries, Inc. | Rubber-reinforced styrene transparent resin composition and method of producing the same |
-
1989
- 1989-09-25 JP JP24851089A patent/JPH03113715A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6716917B2 (en) | 2000-07-26 | 2004-04-06 | Toray Industries, Inc. | Rubber-reinforced styrene transparent resin composition and method of producing the same |
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