JPH03108549A - 液滴噴射装置 - Google Patents
液滴噴射装置Info
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- JPH03108549A JPH03108549A JP24699489A JP24699489A JPH03108549A JP H03108549 A JPH03108549 A JP H03108549A JP 24699489 A JP24699489 A JP 24699489A JP 24699489 A JP24699489 A JP 24699489A JP H03108549 A JPH03108549 A JP H03108549A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/10—Finger type piezoelectric elements
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えばインクジェットプリンタ装置における
インクジェット記録ヘッド等に適用される液滴噴射装置
に関するものである。
インクジェット記録ヘッド等に適用される液滴噴射装置
に関するものである。
上記のようなインクジェット記録ヘッドでは、インクの
満たされた液室に加圧してインクの液滴を噴射させるた
めに、圧電体の変形を利用する方式が従来より採用され
ている。例えば第3図に示している第1従来例では、カ
バーブロック30に、その下面から上方へと凹入する複
数の溝を形成した後、これらの溝を下側から薄板状の振
動板31で覆うことによって、それぞれインクの満たさ
れる液室32・・・が構成され、そして、上記振動板3
1の下側に、圧電体材料より成る加圧ブロック33が配
設されている。この加圧ブロック33は、平板状の基底
部34と、この基底部34の上面からそれぞれ上方へ延
びて上端面が振動板31に接着された複数の柱状の圧電
素子部35・・・とを有する形状となされており、各圧
電素子部35の上下の各端面、すなわち基底部34との
接合面、及び振動板31との接着面にそれぞれグランド
電極36・37が、また中間位置に信号電極38が設け
られている。この信号電極38に電圧を印加することに
よって、圧電素子部35に伸び変形が生じ、この変形に
応じて振動板31には、図中二点鎖線で示すように、液
室32内に凹入する変形を生じる。これにより、液室3
2の内容積が減少することから、液室32内の液圧が上
昇し、この結果、液室32内のインクがノズル39を通
して噴射される。
満たされた液室に加圧してインクの液滴を噴射させるた
めに、圧電体の変形を利用する方式が従来より採用され
ている。例えば第3図に示している第1従来例では、カ
バーブロック30に、その下面から上方へと凹入する複
数の溝を形成した後、これらの溝を下側から薄板状の振
動板31で覆うことによって、それぞれインクの満たさ
れる液室32・・・が構成され、そして、上記振動板3
1の下側に、圧電体材料より成る加圧ブロック33が配
設されている。この加圧ブロック33は、平板状の基底
部34と、この基底部34の上面からそれぞれ上方へ延
びて上端面が振動板31に接着された複数の柱状の圧電
素子部35・・・とを有する形状となされており、各圧
電素子部35の上下の各端面、すなわち基底部34との
接合面、及び振動板31との接着面にそれぞれグランド
電極36・37が、また中間位置に信号電極38が設け
られている。この信号電極38に電圧を印加することに
よって、圧電素子部35に伸び変形が生じ、この変形に
応じて振動板31には、図中二点鎖線で示すように、液
室32内に凹入する変形を生じる。これにより、液室3
2の内容積が減少することから、液室32内の液圧が上
昇し、この結果、液室32内のインクがノズル39を通
して噴射される。
一方、第4図には、圧電体の変形で液室の内容積を直接
的に変化させる第2従来例の構成を示している。この場
合、圧電体材料で構成された本体ブロック40の上面側
に溝加工を施すことによって、この本体ブロック40に
、その底部側の平板状の基底部41の上面から、それぞ
れ上方へと突出する複数の隔壁部42・・・が形成され
、これら隔壁部42・・・の上面にカバープレート43
を架設することによって、各隔壁部42・42間の空間
がそれぞれ液室44・・・とじて構成されている。そし
て本体ブロック40には、各隣合う隔壁部42・42間
に、さらに上記基底部41の上面から上方に突出する形
状部が設けられ、この形状部が、外部からの電気信号の
印加に応じて体積変化を生じる圧電素子部45となって
いる。すなわち、この圧電素子部45の上面に第1電極
46が、また基底部41の下面における上記第1電極4
6と対向する位置に第2電極47がそれぞれ設けられ、
これら電極46・47間に電圧を印加することによって
、上記圧電素子部45に体積変化を生じさせ、これによ
り、液室44の容積の減少を生じさせて、インクの噴射
を行うようになされている。
的に変化させる第2従来例の構成を示している。この場
合、圧電体材料で構成された本体ブロック40の上面側
に溝加工を施すことによって、この本体ブロック40に
、その底部側の平板状の基底部41の上面から、それぞ
れ上方へと突出する複数の隔壁部42・・・が形成され
、これら隔壁部42・・・の上面にカバープレート43
を架設することによって、各隔壁部42・42間の空間
がそれぞれ液室44・・・とじて構成されている。そし
て本体ブロック40には、各隣合う隔壁部42・42間
に、さらに上記基底部41の上面から上方に突出する形
状部が設けられ、この形状部が、外部からの電気信号の
印加に応じて体積変化を生じる圧電素子部45となって
いる。すなわち、この圧電素子部45の上面に第1電極
46が、また基底部41の下面における上記第1電極4
6と対向する位置に第2電極47がそれぞれ設けられ、
これら電極46・47間に電圧を印加することによって
、上記圧電素子部45に体積変化を生じさせ、これによ
り、液室44の容積の減少を生じさせて、インクの噴射
を行うようになされている。
ところが、上記第1従来例の構成においては、複数の液
室32・・・に対応させて設けられる各圧電素子部35
と振動板31との組立精度等に起因して、各液室32毎
のインクの噴射特性にばらつきを生じ易いという問題が
ある。それは、例えば基底部34から振動板31までの
各圧電素子部35の高さ寸法が均一でない場合に、圧電
素子部35の上面と振動板31との間の接着層の厚さ寸
法や接着強度等に差を生じ、このときには、各圧電素子
部35の上端面の変位量が同一であっても、各接着層を
介する変位の伝達量がばらつく結果、各液室32毎の振
動板31の変形量に差を生じるためである。
室32・・・に対応させて設けられる各圧電素子部35
と振動板31との組立精度等に起因して、各液室32毎
のインクの噴射特性にばらつきを生じ易いという問題が
ある。それは、例えば基底部34から振動板31までの
各圧電素子部35の高さ寸法が均一でない場合に、圧電
素子部35の上面と振動板31との間の接着層の厚さ寸
法や接着強度等に差を生じ、このときには、各圧電素子
部35の上端面の変位量が同一であっても、各接着層を
介する変位の伝達量がばらつく結果、各液室32毎の振
動板31の変形量に差を生じるためである。
一方、第2従来例の構成においては、圧電素子部45に
体積変化を生じさせるべく第1及び第2電極46・47
間に電圧を印加した場合、圧電素子部45と共に、さら
に液室44の底面側の壁面を構成している基底部41も
画電極46・47間の電界内に位置するために、この基
底部41にも変形を生じる。そしてこの基底部41にお
ける横方向の縮み変形によって、第4図において二点鎖
線で示しているように、隣接する液室44とを区画する
隔壁部42に変形が生じ、この隣接する液室44内の液
圧も変化する。つまりこの場合には、隣接する液室への
影響、いわゆるクロストークを生じて、動作特性が安定
しないという問題がある。
体積変化を生じさせるべく第1及び第2電極46・47
間に電圧を印加した場合、圧電素子部45と共に、さら
に液室44の底面側の壁面を構成している基底部41も
画電極46・47間の電界内に位置するために、この基
底部41にも変形を生じる。そしてこの基底部41にお
ける横方向の縮み変形によって、第4図において二点鎖
線で示しているように、隣接する液室44とを区画する
隔壁部42に変形が生じ、この隣接する液室44内の液
圧も変化する。つまりこの場合には、隣接する液室への
影響、いわゆるクロストークを生じて、動作特性が安定
しないという問題がある。
本発明の液滴噴射装置は、上記課題を解決するために、
インク等の液体を満たした液室に、電気信号を印加した
ときの圧電体の変形に応じる容積変化を生じさせて加圧
することにより、液室を囲繞する壁面に形成されている
ノズルを通して上記液室内の液体を噴射させる液滴噴射
装置において、上記圧電体における電極に挾まれて体積
変化を生じる圧電素子部と、上記電極とが、液室を囲繞
する壁面より内方に設けられていることを特徴としてい
る。
インク等の液体を満たした液室に、電気信号を印加した
ときの圧電体の変形に応じる容積変化を生じさせて加圧
することにより、液室を囲繞する壁面に形成されている
ノズルを通して上記液室内の液体を噴射させる液滴噴射
装置において、上記圧電体における電極に挾まれて体積
変化を生じる圧電素子部と、上記電極とが、液室を囲繞
する壁面より内方に設けられていることを特徴としてい
る。
上記の構成によれば、圧電体の変形は液室を囲繞する壁
面の内部において生じ、したがって、この圧電体の変形
量に直接対応した容積変化が液室に生じる。すなわち、
圧電体の変形量を液室に伝達する過程に介在物がな(、
圧電体の体積変化に直接的に応する液圧変化を生じるこ
ととなる。このため、例えば複数の液室を並設する構成
においても、従来の振動板との組立精度等に起因するば
らつきを生じず、したがって、より均一な噴射特性を有
する構成とすることができる。そして上記の構成におい
ては、液室を囲繞する壁面には、これより内方の電極間
に生じる電界が作用することはなく、したがって隣接す
る液室に連な、る壁面や隣接する液室とを区画する壁面
等には変形を生じない。この結果、隣接する液室に影響
を及ぼすことなく各液室毎の噴射制御を行うことができ
るので、動作特性の安定化を図ることができる。
面の内部において生じ、したがって、この圧電体の変形
量に直接対応した容積変化が液室に生じる。すなわち、
圧電体の変形量を液室に伝達する過程に介在物がな(、
圧電体の体積変化に直接的に応する液圧変化を生じるこ
ととなる。このため、例えば複数の液室を並設する構成
においても、従来の振動板との組立精度等に起因するば
らつきを生じず、したがって、より均一な噴射特性を有
する構成とすることができる。そして上記の構成におい
ては、液室を囲繞する壁面には、これより内方の電極間
に生じる電界が作用することはなく、したがって隣接す
る液室に連な、る壁面や隣接する液室とを区画する壁面
等には変形を生じない。この結果、隣接する液室に影響
を及ぼすことなく各液室毎の噴射制御を行うことができ
るので、動作特性の安定化を図ることができる。
本発明の一実施例を第1図及び第2図に基づいて以下に
説明する。
説明する。
第2図には、インクジェットプリンタ装置に組込まれる
インクジェット記録ヘッドの分解斜視図を示しており、
このヘッドは、例えばジルコン・チタン酸鉛(PZT)
系の圧電体材料から成る本体ブロックl、カバーブロッ
ク2、オリフィスプレート3、背面カバー4から構成さ
れている。
インクジェット記録ヘッドの分解斜視図を示しており、
このヘッドは、例えばジルコン・チタン酸鉛(PZT)
系の圧電体材料から成る本体ブロックl、カバーブロッ
ク2、オリフィスプレート3、背面カバー4から構成さ
れている。
上記本体ブロック1は、平板状の基板部5と、この基板
部5の上面から上方へ突出すると共に前面側(図におい
て左下側)から後面側(図において右上側)へと互いに
平行に延びる複数の直方体形状の圧電素子部6・・・と
を有する形状となされている。これら圧電素子部6・・
・は、基板部5の上面に圧電体シートを積層した後、ダ
イシングによる溝加工によって作製されたものであり、
また上記積層の過程で、各圧電素子部6と基板部5との
間に第1グランド電極7、各圧電素子部6の中間位置に
信号電極8、各圧電素子部6の上面に第2グランド電極
9の各薄層電極がそれぞれ形成されている。
部5の上面から上方へ突出すると共に前面側(図におい
て左下側)から後面側(図において右上側)へと互いに
平行に延びる複数の直方体形状の圧電素子部6・・・と
を有する形状となされている。これら圧電素子部6・・
・は、基板部5の上面に圧電体シートを積層した後、ダ
イシングによる溝加工によって作製されたものであり、
また上記積層の過程で、各圧電素子部6と基板部5との
間に第1グランド電極7、各圧電素子部6の中間位置に
信号電極8、各圧電素子部6の上面に第2グランド電極
9の各薄層電極がそれぞれ形成されている。
一方、カバーブロック2は、上部側の平板状の天板部1
0と、この天板部10の下面から、第1図に示すように
、隣合う圧電素子部6・6間の各離間隙間にそれぞれ上
方より挿入される隔壁部11・・・とを有する形状に形
成されている。このカバーブロック2は、本体ブロック
1の上面側を、例えば紫外線硬化樹脂で絶縁コーティン
グした後、各隔壁部11の下端面が基板部5に接する位
置で相互に接合される。この組立状態において、第1図
に示されているように、カバーブロック2の天板部10
と隔壁部11・11とで三方が、また本体ブロック1の
基板部5で底部側が覆われた空間部がそれぞれ形成され
、これら空間部が、各々インクが満たされる液室12・
・・となっている。この場合、各圧電素子部訃・・は、
底部側の壁面を構成している基板部5の上面から、各液
室12内へと突出する状態で位置すると共に、これら圧
電素子部6に、後述する体積変化を生じさせるための電
極は、外方側の前記第1グランド電極7も、液室を囲繞
する壁面、すなわち上記基板部5よりも内方に、この場
合には、この基板部5における液室12側の面に沿う位
置に設けられている。したがって、信号電極8に電圧を
印加した場合の電界は、第1及び第2グランド電極7・
9間の圧電素子部6の領域のみに生じ、上記第1グラン
ド電極7を超えて基板部5には及ばないものとなってい
る。
0と、この天板部10の下面から、第1図に示すように
、隣合う圧電素子部6・6間の各離間隙間にそれぞれ上
方より挿入される隔壁部11・・・とを有する形状に形
成されている。このカバーブロック2は、本体ブロック
1の上面側を、例えば紫外線硬化樹脂で絶縁コーティン
グした後、各隔壁部11の下端面が基板部5に接する位
置で相互に接合される。この組立状態において、第1図
に示されているように、カバーブロック2の天板部10
と隔壁部11・11とで三方が、また本体ブロック1の
基板部5で底部側が覆われた空間部がそれぞれ形成され
、これら空間部が、各々インクが満たされる液室12・
・・となっている。この場合、各圧電素子部訃・・は、
底部側の壁面を構成している基板部5の上面から、各液
室12内へと突出する状態で位置すると共に、これら圧
電素子部6に、後述する体積変化を生じさせるための電
極は、外方側の前記第1グランド電極7も、液室を囲繞
する壁面、すなわち上記基板部5よりも内方に、この場
合には、この基板部5における液室12側の面に沿う位
置に設けられている。したがって、信号電極8に電圧を
印加した場合の電界は、第1及び第2グランド電極7・
9間の圧電素子部6の領域のみに生じ、上記第1グラン
ド電極7を超えて基板部5には及ばないものとなってい
る。
上記本体ブロック1とカバーブロック2との組立後、前
面側に、第2図に示しているオリフィスプレート3を、
またカバーブロック2の後面側における基板部5上に背
面カバー4をそれぞれ接合して、インクシエンド記録ヘ
ッドが構成される。
面側に、第2図に示しているオリフィスプレート3を、
またカバーブロック2の後面側における基板部5上に背
面カバー4をそれぞれ接合して、インクシエンド記録ヘ
ッドが構成される。
上記オリフィスプレート3には、各液室12に対応する
位置にそれぞれノズルオリフィス13・・・が穿設され
ており、また背面カバー4にはインク供給口14が形成
されている。
位置にそれぞれノズルオリフィス13・・・が穿設され
ており、また背面カバー4にはインク供給口14が形成
されている。
上記カバーブロック2゛は、感光性ガラスを用い、各隔
壁部11間の溝加工を、紫外線露光後、弗酸によるエツ
チングを行うことによって作製されている。この場合、
サイドエッチが少なく、したがって深さ方向の真直性の
優れた溝加工が可能であり、液室12を形成する上記溝
の形状を、例えば深さ200μm、幅400μm、前後
方向の寸法(奥行)5+nmとする微細加工を精度良く
行うことができる。なおこの実施例の場合、例えば40
個の液室12を並設してヘッドを構成しており、この場
合のヘッド全体の大きさを例示すれば、幅30mm、高
さ3IWI11、奥行30++uaである。またオリフ
ィスプレート3は金メツキを施したニッケル板で構成し
ているが、これはポリイミド樹脂材料等で構成すること
もできる。このオリフィスプレート3に、各液室12の
配列ピッチに応じて、例えば直径30μmのノズルオリ
フィス13・・・が穿設されている。
壁部11間の溝加工を、紫外線露光後、弗酸によるエツ
チングを行うことによって作製されている。この場合、
サイドエッチが少なく、したがって深さ方向の真直性の
優れた溝加工が可能であり、液室12を形成する上記溝
の形状を、例えば深さ200μm、幅400μm、前後
方向の寸法(奥行)5+nmとする微細加工を精度良く
行うことができる。なおこの実施例の場合、例えば40
個の液室12を並設してヘッドを構成しており、この場
合のヘッド全体の大きさを例示すれば、幅30mm、高
さ3IWI11、奥行30++uaである。またオリフ
ィスプレート3は金メツキを施したニッケル板で構成し
ているが、これはポリイミド樹脂材料等で構成すること
もできる。このオリフィスプレート3に、各液室12の
配列ピッチに応じて、例えば直径30μmのノズルオリ
フィス13・・・が穿設されている。
上記構成のインクジェット記録ヘッドにおいては、信号
電極8に電圧を印加することによって、圧電素子部6に
は、縦効果によって高さ方向への伸び変形と、横効果に
よって横方向への縮み変形とを生じる。そしてこの場合
、高さ方向の変位係数の方が横方向に比べて約2倍大き
く、この結果、全体・の体積が増加する変形となる。こ
れによって、この圧電素子部6を内包する液室12内の
容積の減少を生じて液圧が上昇する結果、液室内12か
らインクの液滴がノズルオリフィス13を通して噴射さ
れる。
電極8に電圧を印加することによって、圧電素子部6に
は、縦効果によって高さ方向への伸び変形と、横効果に
よって横方向への縮み変形とを生じる。そしてこの場合
、高さ方向の変位係数の方が横方向に比べて約2倍大き
く、この結果、全体・の体積が増加する変形となる。こ
れによって、この圧電素子部6を内包する液室12内の
容積の減少を生じて液圧が上昇する結果、液室内12か
らインクの液滴がノズルオリフィス13を通して噴射さ
れる。
そして上記の構成においては、液室12内に位置してい
る圧電素子部6の体積変化がそのまま液室12の容積変
化となって、インクの噴射が制御され、したがって前記
した従来例での振動板のような介在物に起因する各液室
間での噴射特性のばらつきが解消される。また上記のよ
うな介在物で生じていたエネルギー損失も低減される。
る圧電素子部6の体積変化がそのまま液室12の容積変
化となって、インクの噴射が制御され、したがって前記
した従来例での振動板のような介在物に起因する各液室
間での噴射特性のばらつきが解消される。また上記のよ
うな介在物で生じていたエネルギー損失も低減される。
さらに上記の構成においては、圧電素子部6の体積変化
を生じさせるために信号電極8に電圧を印加したときの
電界は、この信号電極8と第1及び第2グランド電極7
・9間において生じ、第1グランド電極7を超えて基板
部5に作用することがないので、この基板部5には変形
を生じない。したがって前記したクロストークによる動
作特性の不安定化が防止される。また上記実施例におい
ては、信号電極8を挟んで両側にグランド電極7・9を
設けた積層形の圧電素子構成としており、このため、よ
り小さな圧電素子形状で大きな変形量が得られること、
及び上記クロストークの解消が図られることから、ノズ
ルオリフィス13のピッチをより小さくして高密度化さ
れたインクジェット記録ヘッドとして構成することがで
きる。
を生じさせるために信号電極8に電圧を印加したときの
電界は、この信号電極8と第1及び第2グランド電極7
・9間において生じ、第1グランド電極7を超えて基板
部5に作用することがないので、この基板部5には変形
を生じない。したがって前記したクロストークによる動
作特性の不安定化が防止される。また上記実施例におい
ては、信号電極8を挟んで両側にグランド電極7・9を
設けた積層形の圧電素子構成としており、このため、よ
り小さな圧電素子形状で大きな変形量が得られること、
及び上記クロストークの解消が図られることから、ノズ
ルオリフィス13のピッチをより小さくして高密度化さ
れたインクジェット記録ヘッドとして構成することがで
きる。
本発明の液滴噴射装置は、以上のように、インク等の液
体を満たした液室に、電気信号を印加したときの圧電体
の変形に応じる容積変化を生じさせて加圧することによ
り、液室を囲繞する壁面に形成されているノズルを通し
て上記液室内の液体を噴射させるべく構成して成る液滴
噴射装置において、上記圧電体における電極に挟まれて
体積変化を生じる圧電素子部と、上記電極とを、液室を
囲繞する壁面より内方に設けられた構成となっている。
体を満たした液室に、電気信号を印加したときの圧電体
の変形に応じる容積変化を生じさせて加圧することによ
り、液室を囲繞する壁面に形成されているノズルを通し
て上記液室内の液体を噴射させるべく構成して成る液滴
噴射装置において、上記圧電体における電極に挟まれて
体積変化を生じる圧電素子部と、上記電極とを、液室を
囲繞する壁面より内方に設けられた構成となっている。
それゆえ、液室の容積変化を生じさせるための圧電体の
変形が液室内で生じると共に、この変形を生じさせるた
めの電界が液室外に及ぶことがないので、従来生じてい
た振動板等の介装部材との組立精度に起因するばらつき
を生じず、したがって、良好な噴射特性を維持し得ると
共に、複数の液室を並設する構成で、隣接する液室への
影響を生じさせずに個々の液室毎の制御が可能となり、
各液室毎の動作特性の安定化を図ることができる等の効
果を奏する。
変形が液室内で生じると共に、この変形を生じさせるた
めの電界が液室外に及ぶことがないので、従来生じてい
た振動板等の介装部材との組立精度に起因するばらつき
を生じず、したがって、良好な噴射特性を維持し得ると
共に、複数の液室を並設する構成で、隣接する液室への
影響を生じさせずに個々の液室毎の制御が可能となり、
各液室毎の動作特性の安定化を図ることができる等の効
果を奏する。
面図である。
第2図は、上記インクジェット記録ヘッドの分解斜視図
である。
である。
第3図および第4図は、それぞれ従来例を示すものであ
る。
る。
第3図は、第1従来例の構成を示す断面図である。
第4図は、第2従来例の構成を示す断面図である。
5は基板部(壁面)、6は圧電素子部、7は第1グラン
ド電極、8は信号電極、9は第2グランド電極、12は
液室、13はノズルオリフィスである。
ド電極、8は信号電極、9は第2グランド電極、12は
液室、13はノズルオリフィスである。
Claims (1)
- 1、インク等の液体を満たした液室に、電気信号を印加
したときの圧電体の変形に応じる容積変化を生じさせて
加圧することにより、液室を囲繞する壁面に形成されて
いるノズルを通して上記液室内の液体を噴射させる液滴
噴射装置において、上記圧電体における電極に挟まれて
体積変化を生じる圧電素子部と、上記電極とが、液室を
囲繞する壁面より内方に設けられていることを特徴とす
る液滴噴射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1246994A JP2659819B2 (ja) | 1989-09-22 | 1989-09-22 | 液滴噴射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1246994A JP2659819B2 (ja) | 1989-09-22 | 1989-09-22 | 液滴噴射装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03108549A true JPH03108549A (ja) | 1991-05-08 |
JP2659819B2 JP2659819B2 (ja) | 1997-09-30 |
Family
ID=17156796
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1246994A Expired - Fee Related JP2659819B2 (ja) | 1989-09-22 | 1989-09-22 | 液滴噴射装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2659819B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6186619B1 (en) | 1990-02-23 | 2001-02-13 | Seiko Epson Corporation | Drop-on-demand ink-jet printing head |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5288026A (en) * | 1976-01-15 | 1977-07-22 | Xerox Corp | Ink jet apparatus |
JPS5684977A (en) * | 1979-12-13 | 1981-07-10 | Ricoh Co Ltd | Exciting drive system for multihead |
JPS63125343A (ja) * | 1986-11-14 | 1988-05-28 | Canon Inc | 記録ヘツド |
-
1989
- 1989-09-22 JP JP1246994A patent/JP2659819B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5288026A (en) * | 1976-01-15 | 1977-07-22 | Xerox Corp | Ink jet apparatus |
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JPS63125343A (ja) * | 1986-11-14 | 1988-05-28 | Canon Inc | 記録ヘツド |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US6186619B1 (en) | 1990-02-23 | 2001-02-13 | Seiko Epson Corporation | Drop-on-demand ink-jet printing head |
US6742875B2 (en) | 1990-02-23 | 2004-06-01 | Seiko Epson Corp | Drop-on-demand ink-jet printing head |
US6942322B2 (en) | 1990-02-23 | 2005-09-13 | Seiko Epson Corporation | Drop-on-demand ink-jet printing head |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2659819B2 (ja) | 1997-09-30 |
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