JP2011000729A

JP2011000729A - 液体吐出装置

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Publication number: JP2011000729A
Application number: JP2009143305A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Takemoto; 武竹本
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 2009-06-16
Filing date: 2009-06-16
Publication date: 2011-01-06

Abstract

【課題】液体吐出装置において、小型で低コストを維持しながら、クロストークの発生を極力少なくするよう工夫すること。
【解決手段】圧力室用側壁(23)により区画された複数の圧力室(3)と、
前記複数の圧力室にそれぞれ連通して設けられたノズル(2)及び液体供給路(9)と、
前記圧力室の一部を構成する振動板(5)、及びこの振動板と一体的に形成される電気機械変換素子(6)により構成され、前記圧力室に圧力を発生させる圧力発生部材(13)とから成り、
前記電気機械変換素子(6)に電圧を印加することにより、前記ノズル(2)から液滴を吐出させる液体吐出装置を前提として、
複数の空間を区画する空間用側壁(24)が前記圧力室用側壁(23)に対応して形成されたフレーム部材(7)が、前記圧力発生部材(13)を覆うように設けられ、前記空間用側壁が前記振動板(5)に固定され、かつ前記振動板の両端部の剛性を低下させたことである。
【選択図】図２

Description

本発明は、液体吐出装置に関するものであり、さらに詳しくは、圧力発生部材により圧力室に圧力を発生させ、ノズルから液滴を吐出させる液体吐出装置に関するものである。この液体吐出装置は、インクジェットプリンタ、ＭＦＰ（Multifunction Peripheral：複合機）に使用するデジタル印刷装置、オフィスやパーソナルで使用するプリンタやＭＦＰ、又はインクジェット技術を利用する三次元造型技術などに応用することが可能である。

液体吐出装置を、例えばインクジェットヘッドに応用する場合、近年、インクジェットプリンタとして普及が進み、市場においては一層の高画質が求められている。そこで、ノズルの高集積化が進み、３００ｄｐｉ／列、６００ｄｐｉ／列という高集積ヘッドが要求されてきている。このような高集積化を図るには、圧力室を高密度に配列することが必要になり、隣接する圧力室を区画する側壁の幅は必然的に薄くなり、その結果、剛性が不足することになる。このように圧力室の剛性が不足すると、隣接する圧力室同士でクロストークが発生する。このクロストークは、特にインク滴の飛翔速度にバラツキを与え、付着させるドット位置精度を大きく劣化させる。また、吐出するインク滴の体積にも影響を与えて画像濃度のバラツキに影響を及ぼし、画像品質を劣化させる。

液体吐出装置において、上記のような問題の発生を防止することは、例えば、特許第３４２２３６４号公報（「インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置」、特許文献１）、特開２００８−１３２７３３号公報（「液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び液滴吐出ヘッドの製造方法」、特許文献２）、特開２００１−１７９９７３号公報（「インクジェット式記録ヘッド」、特許文献３）、及び特許第３６８１２８８号公報（「インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置」、特許文献４）などに記載されているように、既に提案されている。

上記特許文献１に記載されているインクジェット式記録ヘッドは、図８に示されるように、ノズル開口３５を穿設したノズルプレート３６と、側壁３２ａにより区画された複数の圧力発生室３２とインク供給路３４と連通部３３を有する流路形成基板３０と、圧電素子４８を備え上記圧力発生室３２の一部を形成する弾性膜３８と、上記側壁３２ａに対応する区画壁４７により区画された複数の圧電素子保持部４４とリザーバ部４１とインク導入路４６を有するリザーバ形成基板４０と、可撓部４２とインク導入口４５を有するコンプライアンス基板５０と、上記圧電素子４８の電極に接続される外部配線５２から構成されている。
このように構成されるインクジェット式記録ヘッドは、インク導入口４５からインクを取り込んで内部をインクで満たした後、図示しない外部の駆動回路から外部配線５２を介して入力される記録信号に従って、各圧力発生室３２に対応するそれぞれの圧電素子４８をたわみ変形させることにより、各圧力発生室３２に圧力を発生させノズル開口３５からインク滴を吐出させる。

このように、特許文献１に記載されたインクジェット式記録ヘッドでは、図８(ｃ)に示されるように、上記リザーバ形成基板４０において、圧力発生室３２の側壁３２ａに対応して区画壁４７を設けて剛性を高くしているが、しかし、高集積ヘッドでは、このような構造にしてもまだ剛性が不足することになり、隣接する圧力発生室への影響を抑えてクロストークを防止することは難しい。
また、このようなクロストークは、圧力発生室３２で発生した圧力がリザーバ(共通液室)４９を介して他の圧力発生室へ伝わることによっても発生する。このようなクロストークを防止するには、圧力発生室３２からリザーバ４９へつながるインク供給路３４の断面積を小さくし、圧力が伝わり難くしていたが、断面積を小さくすることにより、インクの供給速度が遅くなり、インクを粒子化する応答周波数が低くなる、つまり記録速度が低下するなどの問題があった。

また、上記特許文献２（特開２００８−１３２７３３号公報）に記載されている液滴吐出ヘッドは、図９に示されるように、ノズル孔５６を有するノズル基板５５と、ノズル連通孔６１と吐出室６２と供給口６３と共通リザーバ(共通インク室)６４とリザーバ貫通部６５を有する流路基板６０と、振動板６６とリザーバダイヤフラム６７を有する振動板基板６８と、電極用凹部７１と個別電極７２と共通電極７３と圧力緩衝凹部７４とインク供給孔７５を有する電極基板７０から構成されている。
このように構成される液滴吐出ヘッドでは、インクがインク供給孔７５から共通リザーバ６４内に供給され、さらに個々の供給口６３から各吐出室６２とノズル連通孔６１を経て、ノズル孔５６の先端まで満たされて、駆動制御回路により電極取り出し部７６を経て個別電極７２に駆動信号（パルス電圧）が供給されると、この個別電極７２にはパルス電圧が印加され、これに対応する振動板６６はマイナスに帯電する。このとき、個別電極７２と振動板６６の間には静電気力（クーロン力）が発生し、振動板６６がたわみ変形して吐出室６２に圧力が発生する。この圧力により吐出室６２内のインクの一部がノズル連通孔６１を通り、インク滴となってノズル孔５６から吐出される。

このように、特許文献２に記載されている液滴吐出ヘッドでは、流路基板６０をノズル基板５５と振動板基板６８の間に設け、その流路基板６０にリザーバ６４を設けることにより、クロストークの防止に十分なリザーバ体積を確保できるとしている。
しかし、これではノズル孔５６と同一面に十分な体積を有するリザーバ６４を設けることになり、流路基板６０の面積が大きくなってしまう等の不具合が発生し、充分にリザーバ６４を大きくすることができなくなり、クロストークの防止には不十分なものであった。

また、上記特許文献２のものにおける問題点を解決する方法として、特許文献３（特開２００１−１７９９７３号公報）に記載されているインクジェット式記録ヘッドでは、インク供給部を圧力室と同一面には設けず、アクチュエータユニットを介して反対側に配置する構成をとることにより、小型でシンプルな記録ヘッドにすることができるとしているが、クロストークの防止には不十分なものであった。

また、上記特許文献４（特許第３６８１２８８号公報）に記載されているインクジェットヘッドでは、ダイヤフラム層の両端を薄くして、変位効率を向上させる提案がなされている。この提案では、ダイヤフラム層の両端を薄くしすぎると変位量が増大しても発生する圧力が不足し、ヘッド特性が低下する。逆に、薄くしないと変位量が小さくなると同時に、ダイヤフラムの変形力が隣接するダイヤフラムに伝達するので、クロストーク発生の原因になるという不具合がある。

そこで、本発明の課題は、上記従来の液体吐出装置の問題点を解決するために、液体吐出装置において、小型で低コストを維持しながら、クロストークの発生を極力少なくするよう工夫することである。

以下に、上記課題を解決するために講じた手段を作用とともに説明する。
(１) 本発明に係る液体吐出装置（請求項１に対応）は、圧力室用側壁により区画された複数の圧力室と、
前記複数の圧力室にそれぞれ連通して設けられたノズル及び液体供給路と、
前記圧力室の一部を構成する振動板、及びこの振動板と一体的に形成される電気機械変換素子により構成され、前記圧力室に圧力を発生させる圧力発生部材とから成り、
前記電気機械変換素子に電圧を印加することにより、前記ノズルから液滴を吐出させる液体吐出装置を前提として、
複数の空間を区画する空間用側壁が前記圧力室用側壁に対応して形成されたフレーム部材が、前記圧力発生部材を覆うように設けられ、前記空間用側壁が前記振動板に固定され、かつ前記振動板の両端部の剛性を低下させたことである。

共通液室８から液体供給路９を介して圧力室３に充填されている液体(インク)は、電気機械変換素子(薄膜ＰＺＴ)６に電圧を印加し、圧力発生部材１３の振動板５を変位させて圧力室３に圧力を発生させることにより、ノズル２から吐出される。このとき、本発明に係る構成を備えていなければ、圧力室３で発生した圧力が液体供給路９を介して共通液室８に影響を与える。この共通液室８の圧力変動は他の圧力室に影響を与え、液滴(インク滴)の吐出性能を劣化させる。同時に振動板５の変位力が、隣接する振動板に伝達し、同じく吐出性能を劣化させる。
また、高集積ヘッドほど圧力室を高密度に配列することが必要になり、隣接する圧力室を区切る側壁の幅は必然的に薄くなり、剛性が不足することになる。
これを防止するために、上記のように構成することによって、フレーム７の側壁(空間用側壁)２４と基板４の側壁(圧力室用側壁)２３で振動板５を挟む構造として剛性を高めると同時に、振動板５の両端部に切り欠き２５を形成し、剛性を効率よく低くして振動板５の変位力が隣接する振動板や圧力室用側壁２３に伝達しないようにしたので、クロストークの発生を殆ど防止することができる。

(２) また、上記(１)の液体吐出装置において、圧力発生部材が設けられた領域を、共通液室の少なくとも一部と圧力室の少なくとも一部により挟む位置関係とすることができる。（請求項２に対応）
クロストークを低減する方法の１つとして共通液室の体積を増大する方法があるが、従来の構造では共通液室を大きく取ると、圧力室を形成するシリコン基板の面積が増大して、資源が多く必要となりコスト高となる。
上記のように構成することによって、共通液室８と圧力室３で圧力発生部材１３を挟む位置関係にすることになり、液体吐出装置に用いるシリコン基板の必要面積を最小限に減らすことができる。

(３) また、上記(１)又は(２)の液体吐出装置において、空間用側壁で区画される空間は、大気に連通することができる。（請求項３に対応）
ゴミなどの混入を防止するには区画された空間２６を密閉した方が良いが、密閉してしまうと、環境変化などによる空間２６内の空気などの膨張又は収縮が、振動板５の変位特性に影響を及ぼすことになる。
上記のように構成することによって、空間２６を大気と連通することになり、安定した変位特性を保持することができ、液体吐出装置の特性を良好に維持することができる。

(４) また、上記(１)〜(３)のいずれかの液体吐出装置において、圧力室をシリコン基板で形成すると共に、フレーム部材をガラスで形成することができる。（請求項４に対応）
さらにコストダウンを図るには、部品単体から個別に加工するより、ウェハレベルでの一括加工／接合後、切断して次の工程に移すことによって、さらなるコストダウンをすることができる。したがって、各材料は熱膨張係数がほぼ同等であること、異種材料の切断加工の容易性、その材料の加工精度、及び材料コストなどを考慮して組み合わせることが重要である。
上記のように構成することによって、基板４をシリコン基板とし（高集積化が可能で、加工精度を高くできる）、フレーム部材をガラスとする（そこそこの精度で加工でき、材料コストを安くできる）ことになり、最も好ましい組み合わせにすることができる。

(５) また、上記(１)〜(４)のいずれかの液体吐出装置において、複数の圧力室が２列に千鳥配置され、液体供給路に連通する共通液室が、フレーム部材に前記各列の複数の圧力室に対応して設けられ、これらの共通液室の間に電気機械変換素子の電極に接続される電極引き出し部材を設けることができる。（請求項５に対応）
このように構成することによって、複数の圧力室を千鳥配列とすることになり、液体吐出装置において、より一層の小型化、高集積化、及び低コスト化を実現することが可能である。

本発明の効果を請求項にしたがって整理すると次のとおりである。
(１) 請求項１に係る発明
フレームの側壁(空間用側壁)と基板の側壁(圧力室用側壁)で振動板を挟む構造として剛性を高めると同時に、振動板の両端部に切り欠きを形成し、剛性を効率よく低くして振動板の変位力が隣接する振動板や圧力室用側壁に伝達しないようにしたので、クロストークの発生を防止すると共に、小型化や高集積化を図ることができる。

(２) 請求項２に係る発明
共通液室と圧力室で圧力発生部材を挟む位置関係にすることによって、液体吐出装置に用いるシリコン基板の必要面積を最小限に減らすことができるので、低コスト化を図ることができる。
(３) 請求項３に係る発明
空間用側壁で区画される空間を大気と連通することにより、振動板の安定した変位特性を保持することができるので、液体吐出装置の特性を良好に維持することが可能である。

(４) 請求項４に係る発明
基板をシリコン基板とすることによって、高集積化が可能になり加工精度を高くすることができる。また、フレーム部材をガラスとすることによって、そこそこの精度で加工することができ材料コストを安くすることができる。
したがって、基板をシリコン基板とし、フレーム部材をガラスとすることによって、最も好ましい組み合わせにすることができる。
(５) 請求項５に係る発明
液体吐出装置において、複数の圧力室を千鳥配列とすることによって、上記請求項１〜請求項４に係る発明の効果と相俟って、より一層の小型化、高集積化、及び低コスト化を実現することができる。

は、本発明の実施例１による液体吐出装置（インクジェットヘッド）の模式的な断面図であり、図２のＢ−Ｂ断面図、又は図４のＣ−Ｃ断面図を示す。は、同じく実施例１による液体吐出装置の模式的な断面図であり、図１のＡ−Ａ断面図を示す。は、圧力発生部材付近の模式的な平面図であり、基板に形成された流体抵抗部の説明図である。は、本発明の実施例２による液体吐出装置（インクジェットヘッド）の模式的な断面図であり、図５のＤ−Ｄ断面図を示す。は、同じく実施例２による液体吐出装置の模式的な平面図であり、上蓋を取り外した状態を示す。は、圧力発生部材（振動板と圧電素子）の変位状態を説明する模式図である。は、振動板の両端部に切り欠きを設けた場合の圧力発生部材の変位状態を説明する模式図である。は、従来の液体吐出装置（インクジェットヘッド）の模式図であり、(ａ)は平面図、(ｂ)及び(ｃ)は(ａ)におけるＥ−Ｅ断面図及びＦ−Ｆ断面図を示す。は、従来の別の液体吐出装置（インクジェットヘッド）の模式的な断面図である。

本発明は、高集積の液体吐出装置において、クロストークを極力少なくするという目的を、小型化や低コスト化を犠牲にすることなしに実現したものである。

本発明の実施例１による液体吐出装置をインクジェットヘッドに適用した場合について、図１〜図３、図６及び図７を参照しながら説明する。図１及び図２はインクジェットヘッドの断面図であり、図３は基板に形成する流体抵抗部の幅について説明する平面図であり、図６及び図７は圧力発生部材（振動板と圧電素子）の変位状態を説明する模式図である。
本実施例１のインクジェットヘッドは、ノズル２が形成されている樹脂又は金属で構成されるノズル板１と、複数の圧力室３が設けられた基板４が接合されている。この基板４は、ガラスや薄い金属板の積層体、好ましくはシリコン基板で作製されている。ノズル板１に対抗する圧力室３の反対側の面には、非常に薄い振動板５が形成されている。この振動板５はＳＯＩ(Silicon On Insurator)基板のＳｉＯ_２層で形成し、シリコン基板をエッチングして圧力室３を形成するときのエッチングストップ層として使うことができる。また、振動板５は、Ｓｉ０_２、ＳｉＮなどで成膜した振動板にすることにより、ＳＯＩ基板より安価になるので、コストダウンを図ることができる。

上記振動板５の圧力室３と反対側の面には、電気機械変換素子（圧電素子等）、具体的にはスパッタリングやゾルゲル(sol-gel)法などの加工方法によって形成された薄膜ＰＺＴ（Pb(ZrTi)O_３）６が設けられている。上記振動板５と薄膜ＰＺＴ６により、圧力室３に圧力を発生させる圧力発生部材１３を構成する。この薄膜ＰＺＴ６に電圧を印加するための下電極、上電極、及び必要な絶縁層などについては、通常用いられる一般的な技術を用いることができるので、ここでは煩雑さを避けるために説明を省略する。
上記薄膜ＰＺＴ６の上部には、これを囲むように樹脂、シリコン基板、又は金属などで構成されるフレーム(フレーム部材)７が、基板４に接着剤１０により接合されて設けられている。このフレーム７としては、好ましくは比較的安く、加工精度もあり、かつ熱膨張率が基板４と同程度であり、厚さも比較的自由に選択することができるガラス製のものが良い。これにより、共通液室８の深さも十分深くすることができ、クロストークをある程度防止できる体積を確保することができる。

上記基板４とフレーム７を接着する接着剤１０は、例えば、感光性エポキシ樹脂などでできているシート状のものが好ましい。このフレーム７には、共通液室８が圧力発生部材１３の上部に設けられており、フレーム７の貫通口９ａと基板４の貫通口９ｂによって形成される液体供給路９を介して圧力室３に連通している。この液体供給路９は流体抵抗としての機能を持っている。この液体供給路９の流体抵抗の機能は、各貫通口９ａ、９ｂの断面積により発生するようにしても良いが、好ましくは図３に示すように、この流体抵抗部は、基板４における貫通口９ｂの幅（圧力室３の幅１５方向の幅）１４として形成されることが望ましい。その理由は、貫通口９ａ、９ｂの断面積の精度で流体抵抗を設定すると厳しい精度が要求されるが、貫通口９ｂの幅１４として形成されると、幅１４の精度はある程度ばらついても、長さ（幅方向と直交する寸法）が長ければその寸法バラツキを吸収できるからである。

上記薄膜ＰＺＴ６から電極を引き出すためのＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）１１には、薄膜ＰＺＴ６を駆動するドライバーＩＣ（集積回路）１２が装着されている。ＦＰＣ１１はワイヤーボンディング、又はＡＣＦ（異方性導電フィルム）接合などの一般的な接合技術により電気的な接合がなされている。また、圧力室３を区切っている圧力室用側壁２３に対応して、フレーム７に同様の空間用側壁２４を設けている。この空間用側壁２４はフレーム７に溝加工を施し形成しても良いが、好ましくは接着剤の一部を利用して形成した方が加工コストは安くなる。

また、上記振動板５の両端部に切り欠き２５を設けて剛性を低くすることにより、振動板５の変位力が隣接する振動板５や圧力室用側壁２３に伝達しないようにしている。この切り欠き２５は単に剛性を低くすれば良いというものではなく、最も効率よく薄膜ＰＺＴ６の変位を引き出すように形成することが必要である。
上記薄膜ＰＺＴ６の曲がり方向が一様になるように、上記振動板５の一部の剛性を変えるようにすると良い。一般的には図６に示すように、薄膜ＰＺＴ６の変位状態は伸びる部分と縮む部分が混在し、変曲点が存在する。これは効率的に考えると非常に効率が悪いものである。一方、図７に示されるものでは、振動板５が切り欠き２５を備えているため、変曲点がこの切り欠き部に移動し、薄膜ＰＺＴ６は一様な方向へ曲がることができるため、非常に効率が良いものである。

上記薄膜ＰＺＴ６に電圧を印加することにより、圧力発生部材１３は圧力室に圧力を発生させ、インクをノズル２から吐出させる。振動板５は、圧力室用側壁２３と空間用側壁２４で挟み込まれているため、振動板５の変位力による変位が隣接する圧力室に影響を与えるのを防いでいる。このように剛性を高め、変位力の伝達を防ぐことによって、より効果的にクロストークの発生を防止することができる。
これにより、インクジェットヘッドにおいて、クロストークの低減、小型化、低コスト化、及び高集積化を同時に実現することができる。

さらに、圧力発生部材１３を含む領域は、共通液室８の少なくとも一部と圧力室３の少なくとも一部により挟まれる位置関係にある。これによって、基板４の長さ（図２の左右方向の寸法）は必要最小限に収まることになる。極論すれば、基板４の長さが圧力室３の長さだけあれば、共通液室８の体積を十分に確保することができる。
特に、シリコン基板によって基板４を製造する場合、必要な面積を極力小さくし、いわゆる取り数（シリコン基板１枚から取れる基板４の個数）を多くすることが、コストダウンをする上で重要なことである。しかも、基板４の加工は、圧力室３のエッチングと貫通口９ｂのみであり、非常に安い加工コストで済むことになる。

上記フレーム７とその空間用側壁２４で囲まれる空間２６は、大気と連通していることが好ましい。ゴミなどの混入を防止するには密閉した方が良いが、密閉してしまうと、環境変化などにより空間２６内の空気などが膨張又は収縮することにより、振動板５の変位特性に影響を及ぼすことになる。したがって、空間２６を大気と連通することにより、安定した変位特性を保持することができ、ヘッド特性を良好に維持することができる。

本発明の実施例２による液体吐出装置をインクジェットヘッドに適用した場合について、図４及び図５を参照しながら説明する。図４はインクジェットヘッドの断面図であり、図５はインクジェットヘッドの平面図である。
本実施例２のインクジェットヘッドは、ノズル２を千鳥配置に並べた例であり、フレーム(フレーム部材)７の中央にはＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）１７を取り出す開口部１６が設けられており、この開口部１６の両側にはそれぞれ共通液室８が設けられている。フレーム７には共通液室８を密閉するように、樹脂やガラスなどで作製された上蓋２１が接合されている。この上蓋２１には、図示していないインクカートリッジからインクが供給される供給口２０が設けられている。この供給口２０は各共通液室８の両端部に設けられ、インクは循環するように供給されている。また、上記上蓋２１にはフレーム７の開口部１６とほぼ同程度の開口部２２が設けられ、ＦＰＣ１７が取り出せるようになっている。上記供給口２０から入ったインクは共通液室８を満たし、液体供給路９から圧力室３に供給される。

このような構成にすることにより、全体がコンパクトになり、特にＦＰＣが１枚で構成できるため、コストダウンが計れると同時に、十分な体積を持つ共通液室８を確保することができ、また、その大きさも圧力発生部材１３を覆う位置に配置することにより、基板４の大きさを極力小さくすることができる。さらに、フレーム７の空間用側壁２４(図１を参照)により圧力発生部材１３の剛性を高め、かつ振動板５の両端部に切り欠きを設けることにより、小型で低コストを維持しながら、クロストークの発生を殆どなくすことができる。

インクジェットヘッドでは、高集積ヘッドほど圧力室３を高密度に配列することが必要になり、隣接する圧力室３を区切る圧力室用側壁２３の幅は必然的に薄くなり、剛性が不足することになる。この圧力室３の剛性が不足すると、隣接する圧力室同士でクロストークが発生する。このクロストークは、特にインク滴の飛翔速度にバラツキを与え、付着するドット位置精度を大きく劣化させる。また、吐出するインクの体積にも影響を与え、画像濃度のバラツキに影響を及ぼし、画像品質を劣化させる。
したがって、高集積ヘッドほど本発明による効果が高いことが分かる。

１…ノズル板２…ノズル
３…圧力室４…基板
５…振動板６…電気機械変換素子(圧電素子)
７…フレーム(フレーム部材) ８…共通液室
９…液体供給路９ａ…フレーム貫通口
９ｂ…基板貫通口１０…接着剤
１１…ＦＰＣ(フレキシブルプリント基板)
１２…ドライバーＩＣ(ドライバー集積回路)
１３…圧力発生部材１４…流体抵抗部の幅
１５…圧力室の幅１６…フレーム開口部
１７…ＦＰＣ(フレキシブルプリント基板)
１８…ドライバーＩＣ(ドライバー集積回路)
２０…供給口２１…上蓋
２２…上蓋開口部２３…圧力室用側壁
２４…空間用側壁２５…切り欠き
２６…空間

特許第３４２２３６４号公報(特開２０００−２９６６１６) 特開２００８−１３２７３３号公報特開２００１−１７９９７３号公報特許第３６８１２８８号公報(特開２０００−７１４４９)

Claims

圧力室用側壁により区画された複数の圧力室と、
前記複数の圧力室にそれぞれ連通して設けられたノズル及び液体供給路と、
前記圧力室の一部を構成する振動板、及びこの振動板と一体的に形成される電気機械変換素子により構成され、前記圧力室に圧力を発生させる圧力発生部材とから成り、
前記電気機械変換素子に電圧を印加することにより、前記ノズルから液滴を吐出させる液体吐出装置において、
複数の空間を区画する空間用側壁が前記圧力室用側壁に対応して形成されたフレーム部材が、前記圧力発生部材を覆うように設けられ、前記空間用側壁が前記振動板に固定され、かつ前記振動板の両端部の剛性を低下させたことを特徴とする液体吐出装置。
前記圧力発生部材が設けられた領域を、前記共通液室の少なくとも一部と前記圧力室の少なくとも一部により挟む位置関係としたことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
前記空間用側壁で区画される空間は、大気に連通していることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体吐出装置。
前記圧力室をシリコン基板で形成すると共に、前記フレーム部材をガラスで形成することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の液体吐出装置。
前記複数の圧力室が２列に千鳥配置され、前記液体供給路に連通する共通液室が、前記フレーム部材に前記各列の複数の圧力室に対応して設けられ、これらの共通液室の間に前記電気機械変換素子の電極に接続される電極引き出し部材を設けたことを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれかに記載の液体吐出装置。