JPH03103755A - 被検査物の表面の検査法およびその装置 - Google Patents
被検査物の表面の検査法およびその装置Info
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- JPH03103755A JPH03103755A JP24322189A JP24322189A JPH03103755A JP H03103755 A JPH03103755 A JP H03103755A JP 24322189 A JP24322189 A JP 24322189A JP 24322189 A JP24322189 A JP 24322189A JP H03103755 A JPH03103755 A JP H03103755A
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、被検査物の表面の検査法およびその装置に関
し、詳しくは、被検査物（以下、物と称す）の表面を、
ＴＶカメラで走査してその走査信号のレベルが一定値以
上の場合にパルス信号を出力させて異物や傷とか凹凸に
よる欠陥を検出するようにしたカラメによる異物・欠陥
の検査方法およびその装置に関するものである。特に、
上記ＴＶカメラの走査線における隣接する二つのアドレ
スの間および隣接した二つの走査線にまたがるパルス信
号を取り出して、その出力に対応した幅と長さの異物を
検出して物の表面を検査するようにしたものである。
し、詳しくは、被検査物（以下、物と称す）の表面を、
ＴＶカメラで走査してその走査信号のレベルが一定値以
上の場合にパルス信号を出力させて異物や傷とか凹凸に
よる欠陥を検出するようにしたカラメによる異物・欠陥
の検査方法およびその装置に関するものである。特に、
上記ＴＶカメラの走査線における隣接する二つのアドレ
スの間および隣接した二つの走査線にまたがるパルス信
号を取り出して、その出力に対応した幅と長さの異物を
検出して物の表面を検査するようにしたものである。
（従来の技術）
通常、物の表面は、平らな物であっても、拡大すると、
凹凸があったり、傷があったりするが、製品として考え
た場合、そんは、正常品である場合が多く、いかにして
不良品との区別を付けるかが問題である。製品の歩留り
を考えた場合、人による目視検査に頼っている現状であ
る。
凹凸があったり、傷があったりするが、製品として考え
た場合、そんは、正常品である場合が多く、いかにして
不良品との区別を付けるかが問題である。製品の歩留り
を考えた場合、人による目視検査に頼っている現状であ
る。
特に、繊維状異物が付着していたり、傷とか凹凸による
欠陥は、いかに照明をうまく行っても、ＴＶカメラの受
像信号は弱く、その弱い信号を不良として拾うと、表面
の小さい良品の黒点や許容される小さい異物をも不良と
するなどの欠点があった。
欠陥は、いかに照明をうまく行っても、ＴＶカメラの受
像信号は弱く、その弱い信号を不良として拾うと、表面
の小さい良品の黒点や許容される小さい異物をも不良と
するなどの欠点があった。
（発明の目的）
本発明は、上記従来例の欠点を除去し、物の表面検査を
自動的に行なわんとするもので、物の表面に現れる凸凹
や繊維状異物、傷と良品の表面の細かい黒点等を区別し
て自動的に選別する方法、およびその装置を提供せんと
することを目的とするものである． （発明の構戒） 即ち本発明に係る物の表面に現れる一定寸法以上の繊維
状異物・欠陥を検出する方法は、上記物の表面をＴＶカ
メラで走査し、該走査線の信号を一定のレベルで判別し
て異物・欠陥検出のパルス信号を発生させ、隣合う走査
線の間で互いに対応して隣接するアドレスの部分に上記
パルス信号が発生した時の当該一連に連続する走査線の
線数を計算し該計数値が一定の設定値より大なるときに
、異物・欠陥と判定するようにした事を特徴とするもの
である． また本発明に係る物の表面をＴＶカメラで走査して、そ
の走査信号のレベルが一定値以上の場合にパルス信号を
出力させて異物・欠陥を検出するようにした装置は、上
記ＴＶカメラの一走査線毎のパルス信号をアドレス毎に
一時記憶して、次回の走査時に順次アドレス毎に出力す
るシフトレジスターと、該シフトレジスターの一アドレ
ス出力と次のアドレス出力のＯＲをとる素子と、該ＯＲ
素子の出力と次回の走査線に於ける上記一アドレス出力
と対応したアドレスの出力とのＡＮＤをとる素子と、Ｈ
ＡＮＤ素子の出力パルス信号をカウントする素子と、該
カウント素子のカウント数が一定数量上の時に異物、欠
陥検出信号を出力する手段とより威り、上記ＯＲ素子と
ＡＮＤ素子との出力により、隣接する二つのアドレス間
および隣接する二つの走査線にまたがるパルス信号を上
記カウント素子で取り出して、その出力に対応した幅と
長さの異物、欠陥を検出するようにしたことを特徴とす
るものである。
自動的に行なわんとするもので、物の表面に現れる凸凹
や繊維状異物、傷と良品の表面の細かい黒点等を区別し
て自動的に選別する方法、およびその装置を提供せんと
することを目的とするものである． （発明の構戒） 即ち本発明に係る物の表面に現れる一定寸法以上の繊維
状異物・欠陥を検出する方法は、上記物の表面をＴＶカ
メラで走査し、該走査線の信号を一定のレベルで判別し
て異物・欠陥検出のパルス信号を発生させ、隣合う走査
線の間で互いに対応して隣接するアドレスの部分に上記
パルス信号が発生した時の当該一連に連続する走査線の
線数を計算し該計数値が一定の設定値より大なるときに
、異物・欠陥と判定するようにした事を特徴とするもの
である． また本発明に係る物の表面をＴＶカメラで走査して、そ
の走査信号のレベルが一定値以上の場合にパルス信号を
出力させて異物・欠陥を検出するようにした装置は、上
記ＴＶカメラの一走査線毎のパルス信号をアドレス毎に
一時記憶して、次回の走査時に順次アドレス毎に出力す
るシフトレジスターと、該シフトレジスターの一アドレ
ス出力と次のアドレス出力のＯＲをとる素子と、該ＯＲ
素子の出力と次回の走査線に於ける上記一アドレス出力
と対応したアドレスの出力とのＡＮＤをとる素子と、Ｈ
ＡＮＤ素子の出力パルス信号をカウントする素子と、該
カウント素子のカウント数が一定数量上の時に異物、欠
陥検出信号を出力する手段とより威り、上記ＯＲ素子と
ＡＮＤ素子との出力により、隣接する二つのアドレス間
および隣接する二つの走査線にまたがるパルス信号を上
記カウント素子で取り出して、その出力に対応した幅と
長さの異物、欠陥を検出するようにしたことを特徴とす
るものである。
本発明の検査法で表面が検査できる被検査物は、ＦＴＰ
包装等のフィルム包装物や、セラミックＬＳＩ等ＩＣの
他、ＴＶカメラでその表面が走査できるものであれば、
検査の対象とすることができるものであり、特定の物に
限定されるものではない。
包装等のフィルム包装物や、セラミックＬＳＩ等ＩＣの
他、ＴＶカメラでその表面が走査できるものであれば、
検査の対象とすることができるものであり、特定の物に
限定されるものではない。
（実施例）
以下、本発明を図面に示す検査装置の実施例について詳
細に説明する。
細に説明する。
（以下、余白）
第１図は、物の異物・欠陥の形態図および映像の２値化
図を、あらわし、第２図に装置の一例を示す． 搬送装置Ａによって、検査位置に運ばれてきた被検査物
Ｂは、照明装置Ｃによって照明され、ＴＶカメラＤによ
って、映像化される．そして、該ＴＶカメラの走査信号
を、処理する回路Ｅと、不良排除手段Ｆ等の付属装置と
から構成される．上記構戒よりなる検査機は、供給手段
から検査位置へ供給される被検査物Ｂが定位置ｌに到達
すると位置検出千段Ｈと連動する上記カメラＤで捕捉し
て走査し、その走査信号を処理回路１０で判別して、そ
の結果、物Ｂの表面に異状があるとした時には排除手段
Ｆで、排除される． 上記カメラで捕捉される被検査物Ｂの映像信号は、第４
図（イ）に示す如く、多数の走査線ａ．．ｘよりなる走
査信号として取り出され、また、該走査線は第４図（口
）に示す如く、同期信号ａ１と基準レベルａ２と映像信
号ａ３とより、被検査物Ｂの表面に繊維状の異物や歪み
などの凸凹がある場合には、第４図（ハ）に示す如く、
映像信号上にレベルの落ちた不良部分ａ４が発生するこ
とで検出される．第５図は上記ＴＶカメラＤの走査信号
を処理するブロック回路１０を示すもので、検査すべき
物の位置を検出するエンコーダなどよりなる手段からの
位置検出信号回路１１を含み、該位置検出信号回路の出
力で被検査物Ｂを照明するストロボライトＳの点灯回ｇ
ｌ２を作動するとともに、水平と垂直の同期信号回路ｌ
３の出力で被検査物Ｂを捕捉するＴＶカメラＤを作動す
る，ＴＶカメラＤの映像信号は、上記位置検出信号回路
１１の出力に同期して作動する被検査物Ｂの検査領域を
設定する検査マスク回路ｌ４により、第４図（二）に示
す如く、各走査線の検査部分、すなわち、走査線のアド
レス総数が特定されるとともに、検出すべき不良部分の
レベル感度を設定する回路１５からの出力により、上記
各走査線の検査部分において一定レベル２以下の不良部
分がクリッパー回路１６で検出され、第４図（ホ）に示
す如く、走査線に不良部分がある場合には１（第４図（
へ）第１表 第２表 第３表 に示す）、ない場合にはＯの２値化出力のパルス信号が
クリッパ−回路１６から第１表に示す如く各走査線のア
ドレス毎に判定回路２０へ出力される．判定回路２０は
、上記位置検出信号回路１１の出力に同期して作動し、
第３図に示す如く、クリッパ−回路からの２値化入力の
パルス信号を受ける第ｌシフトレジスター２１とＡＮＤ
素子２５と、第１シフトレジスターに直列に接続した第
２シフトレジスター２２と、第１シフトレジスターの第
１乃至第３のアドレス信号のＯＲをとる第１ＯＲ素子２
３と、該第１ＯＲ素子２３の出力と上記第２シフトレジ
スター２２の第１乃至第３のアドレス信号のＯＲをとる
第２ＯＲ素子２４と、該第２ＯＲ素子２４の出力と上記
の如くクリッパー回路１６の出力のＡＮＤをとる上記Ａ
ＮＤ素子２５からの出力パルスを計数するカウント素子
２６と、該カウント素子の設定パルス数を設定する回路
２７とよりなる．カウント素子が設定回路２７のパルス
数より多くのパルスをカウントした時に出力する信号が
、不良信号用シフトレジスターｌ７に入力され、該不良
信号用シフトレジスター１７は上記位置検出信号回路ｌ
１の出力に同期して作動し、その出力で不良の被検査物
Ｂを除去する排除手段Ｆを動作する． 上記判定回路の第１と第２のシフトレジスター２１．２
２は、それぞれ上記走査線のアドレス総数に対応したビ
ット数を持つもので、上記同期信号回路１３からの区ロ
ック信号をシフトレジスター制御回路１８から受け取っ
て動作し、クリッパー回路ｌ６からの一走査線における
各アドレス毎の２値化信号を順次各ビットに入力してビ
ット順にシフトして行き、第１シフトレジスター２１の
２値化出力が順次第２シフトレジスター２２の諾ビット
に順次入力される．このため、例えば、第１表に示す如
き、各走査線のアドレス信号として第２シフトレジスタ
ー２２のｎビットには、第１走査線におけるアドレスｎ
数の２値化信号が入力されると同時に、第１シフトレジ
スター２１のｎビットには第２走査線におけるアドレス
ｎ数の２僅化信号が第２表に示す如く入力されて、次に
クリッパー回路ｌ６から第３走査線における第１アドレ
スの２値化信号が第１シフトレジスター２１のｎ番ビッ
トに入力されると、第１シフトレジスター２１の各ビッ
トの２値化信号は順次１ビットづつシフトされると第１
シフトレジスター２１の１番ビットの２値化信号が第２
シフトレジスター２２のｎ番ビットに入力されて、第２
シフトレジスター２２の各ビットの２値化信号が順次１
ビットづつシフトされ、第２シフトレジスター２２の１
番ビットの２値化信号が消滅するようになる．この時、
第３表に示す如く、第１ＯＲ素子２３は第１シフトレジ
スター２ｌの第１乃至第３ビットにおける２値化信号、
すなわち、第２走査線における第１乃至第３アドレスに
おける２値化信号のＯＲをとって、それらの中に”１″
信号がある場合には”１′″を、第２ＯＲ素子２４へ入
力する一方、該第２ＯＲ素子２４は第１ＯＲ素子２３の
入力と第２シフトレジスター２２の第１乃至第３ビット
における，２値化信号、すなわち、第１走査線における
第１乃至第３アドレスにおける２｛！化信号とのＯＲを
とって、それらの中に”１′信号がある場合には、′ｌ
″をＡＮＤ素子２５へ入力する．したがって、ＡＮＤ素
子２５では第３走査線における第１アドレスの２値化信
号が″１′″で第２ＯＲ素子２４からの入力が″ｌ″の
ときに、１”をカウント素子２６へ入力し、該カウント
素子２６はＡＮＤ素子からの″ｌ″信号が連続する時に
これらを順次計数して、この計数値が設定回路２７の設
定数をこしたときに不良検出信号を不良信号用シフトレ
ジスターｌ７へ出力するようになる．ついで、クリッパ
ー回路１６から第３走査線における第２アドレスの２値
化信号が第１シフトレジスター２１のｎ番ビットとＡＮ
Ｄ素子に入力されると、上記と同様の処理を順次行うよ
うになる．したがって、上記シフトレジスター２１．２
２により、上記ＴＶカメラＣの一走査線毎のパルス信号
をアドレスごとに一時記憶して、次回の走査時に順次ア
ドレス毎に出力させるとともに、上記ＯＲ素子２３．２
４とＡＮＤ素子２５により、隣接する三つのアドレス間
および隣接する三つの走査線にまたがるパルス信号を取
り出し、かつ、その連続した出力を上記カウント素子２
６で取り出して、その連続出力に対応した一定の幅と長
さの異物・欠陥を排除手段Ｆで除去することができるよ
うになる． 上記実施例に詳記した如く、本発明に係わる物の表面異
物・欠陥のカメラ検査方法およびその装置は、物の表面
に現れる一定寸法以上の繊維状異物・欠陥を検出するた
めに、物の表面をＴＶカメラで走査して、その走査信号
のレベルが一定値以上の場合にパルス信号を出力させて
異物・欠陥を検出するようにした装置として、上記ＴＶ
カメラの一走査線毎のパルス信号をアドレス毎に一時記
憶して、次回の走査時に順次アドレス毎に出力するシフ
トレジスターと、該シフトレジスターの一アドレス出力
と次のアドレス出力のＯＲをとる素子と、該ＯＲ素子の
出力と次回の走査線における上記一アドレス出力と対応
したアドレスの出力とのＡＮＤを取る素子と、該Ａ Ｎ
Ｄ素子の出力のパルス信号をカウントする素子と、該
カウント素子のカウント数が一定数量上の時に異物・欠
陥検出信号を出力する手段とよりなり、上記ＯＲ素子と
ＡＮＤ素子との出力により、隣接する二つのアドレス間
および隣接する二つの走査線にまたがるパルス信号を上
記カウント素子で取り出して、その出力に対応した幅と
長さの異物・欠陥を検出するようにした物の表面異物・
欠陥のカメラ検査装置を用いて、物の表面をＴＶカメラ
で走査し、該走査線の信号を一定のレベルで判別して異
物・欠陥検出のパルス信号を発生させ、隣合う走査線の
間で互いに対応して隣接するアドレスの部分に上記パル
ス信号が発生した時の当該一連に連続する走査線の線数
を計数し、該計数値が一定の設定値より大なる時に異物
・欠陥と判定するようにした検査を行うものであり、し
たがって、簡単な構戊で、所期の目的、即ち物の表面検
査の自動化を違戒出来るものである． なお、異物・欠陥の長さ、すなわち走査線の本数は、Ｔ
Ｖカメラに写す映像倍率によって変わるので計数比較器
の設定数を、検出したい長さに見合って任意設定可能に
しておけば判定は自由に出来る。
図を、あらわし、第２図に装置の一例を示す． 搬送装置Ａによって、検査位置に運ばれてきた被検査物
Ｂは、照明装置Ｃによって照明され、ＴＶカメラＤによ
って、映像化される．そして、該ＴＶカメラの走査信号
を、処理する回路Ｅと、不良排除手段Ｆ等の付属装置と
から構成される．上記構戒よりなる検査機は、供給手段
から検査位置へ供給される被検査物Ｂが定位置ｌに到達
すると位置検出千段Ｈと連動する上記カメラＤで捕捉し
て走査し、その走査信号を処理回路１０で判別して、そ
の結果、物Ｂの表面に異状があるとした時には排除手段
Ｆで、排除される． 上記カメラで捕捉される被検査物Ｂの映像信号は、第４
図（イ）に示す如く、多数の走査線ａ．．ｘよりなる走
査信号として取り出され、また、該走査線は第４図（口
）に示す如く、同期信号ａ１と基準レベルａ２と映像信
号ａ３とより、被検査物Ｂの表面に繊維状の異物や歪み
などの凸凹がある場合には、第４図（ハ）に示す如く、
映像信号上にレベルの落ちた不良部分ａ４が発生するこ
とで検出される．第５図は上記ＴＶカメラＤの走査信号
を処理するブロック回路１０を示すもので、検査すべき
物の位置を検出するエンコーダなどよりなる手段からの
位置検出信号回路１１を含み、該位置検出信号回路の出
力で被検査物Ｂを照明するストロボライトＳの点灯回ｇ
ｌ２を作動するとともに、水平と垂直の同期信号回路ｌ
３の出力で被検査物Ｂを捕捉するＴＶカメラＤを作動す
る，ＴＶカメラＤの映像信号は、上記位置検出信号回路
１１の出力に同期して作動する被検査物Ｂの検査領域を
設定する検査マスク回路ｌ４により、第４図（二）に示
す如く、各走査線の検査部分、すなわち、走査線のアド
レス総数が特定されるとともに、検出すべき不良部分の
レベル感度を設定する回路１５からの出力により、上記
各走査線の検査部分において一定レベル２以下の不良部
分がクリッパー回路１６で検出され、第４図（ホ）に示
す如く、走査線に不良部分がある場合には１（第４図（
へ）第１表 第２表 第３表 に示す）、ない場合にはＯの２値化出力のパルス信号が
クリッパ−回路１６から第１表に示す如く各走査線のア
ドレス毎に判定回路２０へ出力される．判定回路２０は
、上記位置検出信号回路１１の出力に同期して作動し、
第３図に示す如く、クリッパ−回路からの２値化入力の
パルス信号を受ける第ｌシフトレジスター２１とＡＮＤ
素子２５と、第１シフトレジスターに直列に接続した第
２シフトレジスター２２と、第１シフトレジスターの第
１乃至第３のアドレス信号のＯＲをとる第１ＯＲ素子２
３と、該第１ＯＲ素子２３の出力と上記第２シフトレジ
スター２２の第１乃至第３のアドレス信号のＯＲをとる
第２ＯＲ素子２４と、該第２ＯＲ素子２４の出力と上記
の如くクリッパー回路１６の出力のＡＮＤをとる上記Ａ
ＮＤ素子２５からの出力パルスを計数するカウント素子
２６と、該カウント素子の設定パルス数を設定する回路
２７とよりなる．カウント素子が設定回路２７のパルス
数より多くのパルスをカウントした時に出力する信号が
、不良信号用シフトレジスターｌ７に入力され、該不良
信号用シフトレジスター１７は上記位置検出信号回路ｌ
１の出力に同期して作動し、その出力で不良の被検査物
Ｂを除去する排除手段Ｆを動作する． 上記判定回路の第１と第２のシフトレジスター２１．２
２は、それぞれ上記走査線のアドレス総数に対応したビ
ット数を持つもので、上記同期信号回路１３からの区ロ
ック信号をシフトレジスター制御回路１８から受け取っ
て動作し、クリッパー回路ｌ６からの一走査線における
各アドレス毎の２値化信号を順次各ビットに入力してビ
ット順にシフトして行き、第１シフトレジスター２１の
２値化出力が順次第２シフトレジスター２２の諾ビット
に順次入力される．このため、例えば、第１表に示す如
き、各走査線のアドレス信号として第２シフトレジスタ
ー２２のｎビットには、第１走査線におけるアドレスｎ
数の２値化信号が入力されると同時に、第１シフトレジ
スター２１のｎビットには第２走査線におけるアドレス
ｎ数の２僅化信号が第２表に示す如く入力されて、次に
クリッパー回路ｌ６から第３走査線における第１アドレ
スの２値化信号が第１シフトレジスター２１のｎ番ビッ
トに入力されると、第１シフトレジスター２１の各ビッ
トの２値化信号は順次１ビットづつシフトされると第１
シフトレジスター２１の１番ビットの２値化信号が第２
シフトレジスター２２のｎ番ビットに入力されて、第２
シフトレジスター２２の各ビットの２値化信号が順次１
ビットづつシフトされ、第２シフトレジスター２２の１
番ビットの２値化信号が消滅するようになる．この時、
第３表に示す如く、第１ＯＲ素子２３は第１シフトレジ
スター２ｌの第１乃至第３ビットにおける２値化信号、
すなわち、第２走査線における第１乃至第３アドレスに
おける２値化信号のＯＲをとって、それらの中に”１″
信号がある場合には”１′″を、第２ＯＲ素子２４へ入
力する一方、該第２ＯＲ素子２４は第１ＯＲ素子２３の
入力と第２シフトレジスター２２の第１乃至第３ビット
における，２値化信号、すなわち、第１走査線における
第１乃至第３アドレスにおける２｛！化信号とのＯＲを
とって、それらの中に”１′信号がある場合には、′ｌ
″をＡＮＤ素子２５へ入力する．したがって、ＡＮＤ素
子２５では第３走査線における第１アドレスの２値化信
号が″１′″で第２ＯＲ素子２４からの入力が″ｌ″の
ときに、１”をカウント素子２６へ入力し、該カウント
素子２６はＡＮＤ素子からの″ｌ″信号が連続する時に
これらを順次計数して、この計数値が設定回路２７の設
定数をこしたときに不良検出信号を不良信号用シフトレ
ジスターｌ７へ出力するようになる．ついで、クリッパ
ー回路１６から第３走査線における第２アドレスの２値
化信号が第１シフトレジスター２１のｎ番ビットとＡＮ
Ｄ素子に入力されると、上記と同様の処理を順次行うよ
うになる．したがって、上記シフトレジスター２１．２
２により、上記ＴＶカメラＣの一走査線毎のパルス信号
をアドレスごとに一時記憶して、次回の走査時に順次ア
ドレス毎に出力させるとともに、上記ＯＲ素子２３．２
４とＡＮＤ素子２５により、隣接する三つのアドレス間
および隣接する三つの走査線にまたがるパルス信号を取
り出し、かつ、その連続した出力を上記カウント素子２
６で取り出して、その連続出力に対応した一定の幅と長
さの異物・欠陥を排除手段Ｆで除去することができるよ
うになる． 上記実施例に詳記した如く、本発明に係わる物の表面異
物・欠陥のカメラ検査方法およびその装置は、物の表面
に現れる一定寸法以上の繊維状異物・欠陥を検出するた
めに、物の表面をＴＶカメラで走査して、その走査信号
のレベルが一定値以上の場合にパルス信号を出力させて
異物・欠陥を検出するようにした装置として、上記ＴＶ
カメラの一走査線毎のパルス信号をアドレス毎に一時記
憶して、次回の走査時に順次アドレス毎に出力するシフ
トレジスターと、該シフトレジスターの一アドレス出力
と次のアドレス出力のＯＲをとる素子と、該ＯＲ素子の
出力と次回の走査線における上記一アドレス出力と対応
したアドレスの出力とのＡＮＤを取る素子と、該Ａ Ｎ
Ｄ素子の出力のパルス信号をカウントする素子と、該
カウント素子のカウント数が一定数量上の時に異物・欠
陥検出信号を出力する手段とよりなり、上記ＯＲ素子と
ＡＮＤ素子との出力により、隣接する二つのアドレス間
および隣接する二つの走査線にまたがるパルス信号を上
記カウント素子で取り出して、その出力に対応した幅と
長さの異物・欠陥を検出するようにした物の表面異物・
欠陥のカメラ検査装置を用いて、物の表面をＴＶカメラ
で走査し、該走査線の信号を一定のレベルで判別して異
物・欠陥検出のパルス信号を発生させ、隣合う走査線の
間で互いに対応して隣接するアドレスの部分に上記パル
ス信号が発生した時の当該一連に連続する走査線の線数
を計数し、該計数値が一定の設定値より大なる時に異物
・欠陥と判定するようにした検査を行うものであり、し
たがって、簡単な構戊で、所期の目的、即ち物の表面検
査の自動化を違戒出来るものである． なお、異物・欠陥の長さ、すなわち走査線の本数は、Ｔ
Ｖカメラに写す映像倍率によって変わるので計数比較器
の設定数を、検出したい長さに見合って任意設定可能に
しておけば判定は自由に出来る。
よって、各種被検査物への広範囲な対応（例えば、ＦＴ
Ｐ包装などフィルム包装物等のフィルム表面の異物検出
、セラミックＬＳＩなどのＩＣなどの表面の異物・欠陥
の検出）が出来ると共に検査精度を大幅に向上し、かつ
生産歩留りの向上を図ることが出来るものである。
Ｐ包装などフィルム包装物等のフィルム表面の異物検出
、セラミックＬＳＩなどのＩＣなどの表面の異物・欠陥
の検出）が出来ると共に検査精度を大幅に向上し、かつ
生産歩留りの向上を図ることが出来るものである。
第１図（イ）乃至（ハ）は被検査物の表面欠陥を示し、
（イ）は斜視図、（ロ）は平面図、（ハ）は２｛ａ化図
、第２図は本発明に係わる被検査物の表面の検査装置の
一実施例を概略的に示す斜視図、第３図は第５図の回路
図の判定回路を詳細に示す回路図、第４図（イ）乃至（
へ）は第５図の回路の各部における波形線図、第５図は
上記実施例に係わる走査信号処理用のブロック図である
。 Ａ・・搬送装置、Ｂ・・被検査物、 Ｃ・・照明装置、Ｄ・・ＴＶカメラ、 １０・・処理回路、１６・・クリッパー回路、２ｌ・・
第１シフトレジスター ２２・・第２シフトレジスター ２３・・第１ＯＲ素子、２４・・第２ＯＲ素子、２５・
・ＡＮＤ素子、２６・・カウント素子。
（イ）は斜視図、（ロ）は平面図、（ハ）は２｛ａ化図
、第２図は本発明に係わる被検査物の表面の検査装置の
一実施例を概略的に示す斜視図、第３図は第５図の回路
図の判定回路を詳細に示す回路図、第４図（イ）乃至（
へ）は第５図の回路の各部における波形線図、第５図は
上記実施例に係わる走査信号処理用のブロック図である
。 Ａ・・搬送装置、Ｂ・・被検査物、 Ｃ・・照明装置、Ｄ・・ＴＶカメラ、 １０・・処理回路、１６・・クリッパー回路、２ｌ・・
第１シフトレジスター ２２・・第２シフトレジスター ２３・・第１ＯＲ素子、２４・・第２ＯＲ素子、２５・
・ＡＮＤ素子、２６・・カウント素子。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、被検査物の表面に現れる一定寸法以上の繊維状異物
・欠陥を検出する方法にして、上記固形物の表面をＴＶ
カメラで走査し、該走査線の信号を、一定のレベルで判
別して異物・欠陥検出のパルス信号を発生させ、となり
合う走査線の間で互いに対応して隣接するアドレスの部
分に上記パルス信号が発生した時の当該一連に連続する
走査線の線数を計算し、該計数値が一定の設定値より大
なる時に異物・欠陥と判定するようにしたことを特徴と
する被検査物の表面の検査法。 ２、被検査物の表面をＴＶカメラで走査して、その走査
信号のレベルが一定値以上の場合にパルス信号を出力さ
せて異物・欠陥を検出するようにした装置にして、上記
ＴＶカメラの一走査線毎のパルス信号をアドレス毎に一
時記憶して、次回の走査時に順次アドレス毎に出力する
シフトレジスターと該シフトレジスターの一アドレス出
力と次のアドレス出力のＯＲをとる素子と、該ＯＲ素子
の出力と次回の走査線における上記一アドレス出力と対
応したアドレスの出力とのＡＮＤをとる素子と、該ＡＮ
Ｄ素子の出力のパルス信号をカウントする素子と、該カ
ウント素子のカウント数が一定数量上の時に異物・欠陥
検出信号を出力する手段とよりなり、上記ＯＲ素子とＡ
ＮＤ素子との出力により、隣接する二つのアドレス間お
よび隣接する二つの走査線にまたがるパルス信号を上記
カウント素子で取り出して、その出力に対応した幅と長
さの異物・欠陥を検出するようにしたことを特徴とする
被検査物の表面の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24322189A JPH03103755A (ja) | 1989-09-18 | 1989-09-18 | 被検査物の表面の検査法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24322189A JPH03103755A (ja) | 1989-09-18 | 1989-09-18 | 被検査物の表面の検査法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03103755A true JPH03103755A (ja) | 1991-04-30 |
Family
ID=17100633
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24322189A Pending JPH03103755A (ja) | 1989-09-18 | 1989-09-18 | 被検査物の表面の検査法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03103755A (ja) |
-
1989
- 1989-09-18 JP JP24322189A patent/JPH03103755A/ja active Pending
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