JPH0279306A - 光照射器 - Google Patents
光照射器Info
- Publication number
- JPH0279306A JPH0279306A JP63228835A JP22883588A JPH0279306A JP H0279306 A JPH0279306 A JP H0279306A JP 63228835 A JP63228835 A JP 63228835A JP 22883588 A JP22883588 A JP 22883588A JP H0279306 A JPH0279306 A JP H0279306A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wind
- lamp
- light
- cooling
- mirrors
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 19
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 2
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Arrangement Of Elements, Cooling, Sealing, Or The Like Of Lighting Devices (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、例えばフォトレジスト、光硬化型のペイン
ト、インク、バインダ等の被処理物を主として紫外線を
中心とした光によって処理するために用いられる光照射
器に関するものである。
ト、インク、バインダ等の被処理物を主として紫外線を
中心とした光によって処理するために用いられる光照射
器に関するものである。
［従来の技術］
高圧水銀灯等のランプから発生する紫外線を中心とした
光を利用して、光硬化型のペイント、インク、フォトレ
ジスト、バインダ等の被処理物を光処理する装置におい
て、光処理に必要な波長の光（主として紫外線）を被処
理物に照射することが最近、ますます重要になってきて
いる。
光を利用して、光硬化型のペイント、インク、フォトレ
ジスト、バインダ等の被処理物を光処理する装置におい
て、光処理に必要な波長の光（主として紫外線）を被処
理物に照射することが最近、ますます重要になってきて
いる。
これら光処理を行う装置の中て、光照射のためのスペー
スは限られたものであるので、光照射器の構造をコンパ
クトにする試みが従来からなされている。
スは限られたものであるので、光照射器の構造をコンパ
クトにする試みが従来からなされている。
第２図（イ）、（ロ）、（ハ）、（ニ）は従来の光照射
器の主要部の概略構成を示す図で、いずれもシャッタ機
構を工夫して光照射器をコンパクトにしだものである。
器の主要部の概略構成を示す図で、いずれもシャッタ機
構を工夫して光照射器をコンパクトにしだものである。
第２図において、ｌは棒状のランプ、２′ａはブライン
ド式のシャッタ、２’ｂは扉式のシャッタ、２’ｃは集
光鏡兼用のシャッタ、２’ｄは反射鏡回転式のシャッタ
、３′は集光鏡、４は排気ダクト、５は光照射処理され
る被照射物のパスラインである。
ド式のシャッタ、２’ｂは扉式のシャッタ、２’ｃは集
光鏡兼用のシャッタ、２’ｄは反射鏡回転式のシャッタ
、３′は集光鏡、４は排気ダクト、５は光照射処理され
る被照射物のパスラインである。
第２図（イ）、（ロ）、（ハ）、（ニ）において、パス
ライン５上の被照射物に対して、ランプｌからの光を照
射したり、遮断したりするために、同図（イ）てはブラ
インド式のシャッタ２’ａを開閉することにより行い、
同図（ロ）では扉式のシャッタ２’ｂを開閉することに
より行い、同図（ハ）ては集光鏡兼用のシャッタ２’ｃ
を１８０゜に回転させることにより行い、同図（ニ）て
は平面鏡よりなる回転式のシャッタ２’ｄを矢印の方向
に９０°回転させることにより行うものである。
ライン５上の被照射物に対して、ランプｌからの光を照
射したり、遮断したりするために、同図（イ）てはブラ
インド式のシャッタ２’ａを開閉することにより行い、
同図（ロ）では扉式のシャッタ２’ｂを開閉することに
より行い、同図（ハ）ては集光鏡兼用のシャッタ２’ｃ
を１８０゜に回転させることにより行い、同図（ニ）て
は平面鏡よりなる回転式のシャッタ２’ｄを矢印の方向
に９０°回転させることにより行うものである。
［発明か解決しようとする課題］
上記の従来の光照射器はいずれも装置の小型化という点
て、次の各理由から必ずしも満足すべきものてはない。
て、次の各理由から必ずしも満足すべきものてはない。
例えば第２図（イ）、（ロ）の光照射器は、ブラインド
式のシャッタまたは扉式のシャッタの部分に余分なスペ
ースをとられるので空間の節約にはならず、光照射器と
被照射物との距離が長くなってしまう。その上、ブライ
ンド式のシャッタの場合、シャッタか開いた時点ても光
を一部遮断または反射することになるのて光損失がある
。また、第２図（ハ）の光照射器は光照射器と被照射物
との距離が長く、さらに集光鏡兼用シャッタが閉じたと
きのシャッタの冷却機構が複雑になり、冷却不足になる
恐れがある。さらに第２図（ニ）の光照射器は反射鏡回
転式のシャッタ部分に余分なスペースをとられるのて、
光照射器と被照射物との距離か長くなってしまうという
問題かあった。
式のシャッタまたは扉式のシャッタの部分に余分なスペ
ースをとられるので空間の節約にはならず、光照射器と
被照射物との距離が長くなってしまう。その上、ブライ
ンド式のシャッタの場合、シャッタか開いた時点ても光
を一部遮断または反射することになるのて光損失がある
。また、第２図（ハ）の光照射器は光照射器と被照射物
との距離が長く、さらに集光鏡兼用シャッタが閉じたと
きのシャッタの冷却機構が複雑になり、冷却不足になる
恐れがある。さらに第２図（ニ）の光照射器は反射鏡回
転式のシャッタ部分に余分なスペースをとられるのて、
光照射器と被照射物との距離か長くなってしまうという
問題かあった。
この発明はかかる課題を解決するためになされたもので
、余分なスペースを必要としないコンパクトて、かつ適
切な冷却手段を備えた光照射器を提供することを目的と
する。
、余分なスペースを必要としないコンパクトて、かつ適
切な冷却手段を備えた光照射器を提供することを目的と
する。
［課題を解決するための手段］
上記の目的を達成するために、この発明においては、樋
状のミラーは、頂部にスリットを介して配置される２枚
の長板状ミラーから構成され、かつ□これら２枚の長板
状ミラーを、ランプの長手方向を回転軸として回転運動
させることにより光を遮断する構成を備えた長板状ミラ
ーの回転駆動機構を具備し、２枚の長板状ミラーはその
裏面に各長板状ミラーと一体に回転する制風板及び／ま
たは遮光板が付設されている構成を有する光照射器とし
たものである。
状のミラーは、頂部にスリットを介して配置される２枚
の長板状ミラーから構成され、かつ□これら２枚の長板
状ミラーを、ランプの長手方向を回転軸として回転運動
させることにより光を遮断する構成を備えた長板状ミラ
ーの回転駆動機構を具備し、２枚の長板状ミラーはその
裏面に各長板状ミラーと一体に回転する制風板及び／ま
たは遮光板が付設されている構成を有する光照射器とし
たものである。
［作用］
上記の構成を有することにより、装置はコンパクトにな
り、必要な冷却を適切に行うことができる。
り、必要な冷却を適切に行うことができる。
［実施例］
第１図（イ）、（ロ）、（ハ）、（ニ）はこの発明にお
ける光照射器の一実施例を示す図で、同図（イ）はシャ
ッタか開いたときの光照射器の正面断面図、同図（ロ）
はシャッタが閉じたときの光照射器の正面断面図、同図
（ハ）は同図（イ）の側面図、同図（ニ）はシャッタの
駆動機構の動作説明図である。
ける光照射器の一実施例を示す図で、同図（イ）はシャ
ッタか開いたときの光照射器の正面断面図、同図（ロ）
はシャッタが閉じたときの光照射器の正面断面図、同図
（ハ）は同図（イ）の側面図、同図（ニ）はシャッタの
駆動機構の動作説明図である。
第１図において、１はランプ、２４ａ、２４ｂは回転軸
６ａ、６ｂを中心に回転してシャッタの働きをすると共
に楕円集光鏡として機能する一対の長板状ミラー、２ａ
、２ｂはこの長板状ミラーを保持するための型材、３ａ
、３ｂ、４ａ、４ｂは遮光板、５ａ、５ｂは制風兼遮光
板で、遮光板と共に型材２ａ、２ｂに付設されて同時に
回転する。７は光照射器の内箱、１１は内箱７内に形成
される風洞、８はこの内箱７に風洞を形成するために設
けられる仕切り板、９ａ、９ｂは内箱７の側壁内面に設
けられた側壁遮光片、ｌＯは内箱７の側壁に設けられ外
部から冷却用の風を入れるための風孔、１２は外箱、１
３は光照射するための下部の開口部、１４は外箱１２の
側壁に設けられ外部からの冷却用の風を入るための風孔
である。
６ａ、６ｂを中心に回転してシャッタの働きをすると共
に楕円集光鏡として機能する一対の長板状ミラー、２ａ
、２ｂはこの長板状ミラーを保持するための型材、３ａ
、３ｂ、４ａ、４ｂは遮光板、５ａ、５ｂは制風兼遮光
板で、遮光板と共に型材２ａ、２ｂに付設されて同時に
回転する。７は光照射器の内箱、１１は内箱７内に形成
される風洞、８はこの内箱７に風洞を形成するために設
けられる仕切り板、９ａ、９ｂは内箱７の側壁内面に設
けられた側壁遮光片、ｌＯは内箱７の側壁に設けられ外
部から冷却用の風を入れるための風孔、１２は外箱、１
３は光照射するための下部の開口部、１４は外箱１２の
側壁に設けられ外部からの冷却用の風を入るための風孔
である。
１５は外箱１２のランプ長手方向側面に取り付けられる
排気用のダクト、１６はダクトフランジ、１７．１８，
１９．２０はそれぞれプーリ、２１はこれらプーリ１７
〜２０を駆動させるチェーン、２２はロータリ・アクチ
ュエータ、２３はプーリ１７とロータリ・アクチュエー
タ２２を連結するためのカップリンクである。
排気用のダクト、１６はダクトフランジ、１７．１８，
１９．２０はそれぞれプーリ、２１はこれらプーリ１７
〜２０を駆動させるチェーン、２２はロータリ・アクチ
ュエータ、２３はプーリ１７とロータリ・アクチュエー
タ２２を連結するためのカップリンクである。
また、長板状ミラー２４ａ、２４ｂは、アルミ製の型材
２ａ、２ｂに挿入嵌合されて付設されている。尚、図中
矢印は、冷却風の向きを、−点鎖線Ｈ，，Ｈ２は代表光
線をそれぞれ示す。
２ａ、２ｂに挿入嵌合されて付設されている。尚、図中
矢印は、冷却風の向きを、−点鎖線Ｈ，，Ｈ２は代表光
線をそれぞれ示す。
第１図（イ）の長板状ミラーか開いた状態の光照射器に
おいて、ロータリ・アクチュエータ２２の駆動により、
プーリ１７か回転し、それと同時にプーリ１７に巻かれ
たチェーン２１の働きによって、プーリ１９，１８．２
０か回転し、２つのプーリ１９，２０とそれぞれ同軸の
回転軸６ａ。
おいて、ロータリ・アクチュエータ２２の駆動により、
プーリ１７か回転し、それと同時にプーリ１７に巻かれ
たチェーン２１の働きによって、プーリ１９，１８．２
０か回転し、２つのプーリ１９，２０とそれぞれ同軸の
回転軸６ａ。
６ｂが回転してアルミ製の型材２ａ、２ｂは所定の角度
て回転し、遮光板３ａ、３ｂか冷却風が通るための隙間
を残して重なり、ランプｌからの光は遮断される。この
状態を示すのが第１図（ロ）である。また、長板状ミラ
ー２４ａ、２４ｂや仕切り板８に反射して上方へ向かう
光線Ｈ，，Ｈ２は遮光板４ａ、４ｂ、温風兼遮光板５ａ
、５ｂ及び内箱７の側壁内面に設けられた側壁遮光片９
ａ。
て回転し、遮光板３ａ、３ｂか冷却風が通るための隙間
を残して重なり、ランプｌからの光は遮断される。この
状態を示すのが第１図（ロ）である。また、長板状ミラ
ー２４ａ、２４ｂや仕切り板８に反射して上方へ向かう
光線Ｈ，，Ｈ２は遮光板４ａ、４ｂ、温風兼遮光板５ａ
、５ｂ及び内箱７の側壁内面に設けられた側壁遮光片９
ａ。
９ｂに遮断される。
冷却機構について述べると、外箱１２の風孔１４及び内
箱７の風孔ｌＯを通して流入した風は、第１図（イ）の
シャッタ（長板状ミラー２４ａ、２４ｂ）開の状態では
アルミ製の型材２ａ。
箱７の風孔ｌＯを通して流入した風は、第１図（イ）の
シャッタ（長板状ミラー２４ａ、２４ｂ）開の状態では
アルミ製の型材２ａ。
２ｂの裏面を冷却しながら、主にこの型材２ａ。
２ｂと温風兼遮光板５ａ、５ｂとの間を通って、ランプ
１側にまわり込み、長板状ミラー２４ａ。
１側にまわり込み、長板状ミラー２４ａ。
２４ｂの反射面やランプｌを冷却した後、スリットとし
ての吸込み口８ａから風洞１１に吸引され、不図示のブ
ロワによってダクト１５から排気される。また開口部１
３から流入した風は長板状ミラー２４ａ、２４ｂの反射
面及びランプｌを冷却しながら吸い込み口８ａから風孔
１４，１０を通って流入した風と共に、風洞１１を経て
ダクト１５から排気される。次に第１図の（ロ）のシャ
ッタ（長板状ミラー２４ａ、２４ｂ）閉の状態ては開口
部１３から流入した風の一部は遮光板３ａ、３ｂの隙間
から流入して長板状ミラー２４ａ、２４ｂの反射面及び
ランプ１を冷却するが、残りの大部分は型材２ａ、２ｂ
の裏面を冷却しながら、この型材２ａ、２ｂと温風兼遮
光板５ａ。
ての吸込み口８ａから風洞１１に吸引され、不図示のブ
ロワによってダクト１５から排気される。また開口部１
３から流入した風は長板状ミラー２４ａ、２４ｂの反射
面及びランプｌを冷却しながら吸い込み口８ａから風孔
１４，１０を通って流入した風と共に、風洞１１を経て
ダクト１５から排気される。次に第１図の（ロ）のシャ
ッタ（長板状ミラー２４ａ、２４ｂ）閉の状態ては開口
部１３から流入した風の一部は遮光板３ａ、３ｂの隙間
から流入して長板状ミラー２４ａ、２４ｂの反射面及び
ランプ１を冷却するが、残りの大部分は型材２ａ、２ｂ
の裏面を冷却しながら、この型材２ａ、２ｂと温風兼遮
光板５ａ。
５ｂの間を通って、外箱１２の風孔１４及び内箱７の風
孔１０から流入した風と合流して長板状ミラー２４ａ、
２４ｂの反射面及びランプｌを冷却した後、吸込み口８
ａから風洞１１を経てブロワによってダクト１５から排
気される。
孔１０から流入した風と合流して長板状ミラー２４ａ、
２４ｂの反射面及びランプｌを冷却した後、吸込み口８
ａから風洞１１を経てブロワによってダクト１５から排
気される。
また、この実施例においては、長板状ミラー２４ａ、２
４ｂを型材２ａ、２ｂに挿入嵌め合わせ付設しているの
で、長時間の使用による汚染等に対しては取りはずして
他の長板状ミラー２４ａ、２４ｂと交換することができ
、メンテナンスは極めて簡単である。
４ｂを型材２ａ、２ｂに挿入嵌め合わせ付設しているの
で、長時間の使用による汚染等に対しては取りはずして
他の長板状ミラー２４ａ、２４ｂと交換することができ
、メンテナンスは極めて簡単である。
さらに、この実施例の光照射器は外箱１２．内箱７の二
重構造にして２つの箱の間に間隔を設けて風を流してい
るので、外箱は内箱に比して低温に保たれており、直接
子で触れても問題はなく、また、２つの箱に設けられた
風孔ｌＯと１４の位置をずらしであるので、風孔１４か
らのランプｌの光の漏れは防止される。
重構造にして２つの箱の間に間隔を設けて風を流してい
るので、外箱は内箱に比して低温に保たれており、直接
子で触れても問題はなく、また、２つの箱に設けられた
風孔ｌＯと１４の位置をずらしであるので、風孔１４か
らのランプｌの光の漏れは防止される。
［発明の効果］
以上説明したとおり、この発明の光照射器は非常にコン
パクトに構成されている上に、きめ細かな冷却を行うこ
とができる。
パクトに構成されている上に、きめ細かな冷却を行うこ
とができる。
第１図（イ）、（ロ）、（ハ）、（ニ）はこの発明にお
ける光照射器の一実施例を示す図で、同図（イ）はシャ
ッタが開いたときの光照射器の正面断面図、同図（ロ）
はシャッタが閉じたときの光照射器の正面断面図、同図
（ハ）は同図（イ）の側面図、同図（ニ）はシャッタ駆
動機構の動作説明図、第２図（イ）、（ロ）、（ハ）、
（ニ）は従来の光照射器の主要部の概略構成を示す図で
ある。 図中。 ｌ二うンプ ２ａ、２ｂニアルミ製の型材 ３ａ、３ｂ、４ａ、４ｂ：遮光板 ５ａ、５ｂ：温風兼遮光板 ６ａ、６ｂ：回転軸 ７：内箱 ８ａ：吸込み口 ９ａ、９ｂ：側壁遮光片 １０．１４：風孔 １２：外箱 １３：開口部 １７．１Ｂ、１９，２０：プーリ ２１：チェーン ２２：ロータリ・アクチュエータ ２４ａ、２４ｂ：長板状ミラー 代理人 弁理士 １）北 嵩 晴
ける光照射器の一実施例を示す図で、同図（イ）はシャ
ッタが開いたときの光照射器の正面断面図、同図（ロ）
はシャッタが閉じたときの光照射器の正面断面図、同図
（ハ）は同図（イ）の側面図、同図（ニ）はシャッタ駆
動機構の動作説明図、第２図（イ）、（ロ）、（ハ）、
（ニ）は従来の光照射器の主要部の概略構成を示す図で
ある。 図中。 ｌ二うンプ ２ａ、２ｂニアルミ製の型材 ３ａ、３ｂ、４ａ、４ｂ：遮光板 ５ａ、５ｂ：温風兼遮光板 ６ａ、６ｂ：回転軸 ７：内箱 ８ａ：吸込み口 ９ａ、９ｂ：側壁遮光片 １０．１４：風孔 １２：外箱 １３：開口部 １７．１Ｂ、１９，２０：プーリ ２１：チェーン ２２：ロータリ・アクチュエータ ２４ａ、２４ｂ：長板状ミラー 代理人 弁理士 １）北 嵩 晴
Claims (1)
- 棒状のランプと、このランプをおおう樋状のミラーと、
これらランプ、ミラーを収めた灯体とよりなる光照射器
において、前記樋状のミラーは、頂部にスリットを介し
て配置される２枚の長板状ミラーから構成され、かつこ
れら２枚の長板状ミラーを、ランプの長手方向を回転軸
として回転運動させることにより光を遮断する構成を備
えた長板状ミラーの回転駆動機構を具備し、２枚の長板
状ミラーはその裏面に各長板状ミラーと一体に回転する
制風板及び／または遮光板が付設されていることを特徴
とする光照射器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63228835A JP2732450B2 (ja) | 1988-09-14 | 1988-09-14 | 光照射器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63228835A JP2732450B2 (ja) | 1988-09-14 | 1988-09-14 | 光照射器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0279306A true JPH0279306A (ja) | 1990-03-19 |
| JP2732450B2 JP2732450B2 (ja) | 1998-03-30 |
Family
ID=16882605
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63228835A Expired - Lifetime JP2732450B2 (ja) | 1988-09-14 | 1988-09-14 | 光照射器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2732450B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001266637A (ja) * | 2000-03-22 | 2001-09-28 | Nikon Corp | 光源装置 |
| KR100982490B1 (ko) * | 2010-02-19 | 2010-09-15 | 부경엔지니어링주식회사 | 조사방향제어와 방열장치가 구비된 조명등기구 |
| JP2013215647A (ja) * | 2012-04-05 | 2013-10-24 | Gs Yuasa Corp | 紫外線照射装置 |
| JP2015054295A (ja) * | 2013-09-12 | 2015-03-23 | 岩崎電気株式会社 | 紫外線照射装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8584612B2 (en) * | 2009-12-17 | 2013-11-19 | Lam Research Corporation | UV lamp assembly of degas chamber having rotary shutters |
-
1988
- 1988-09-14 JP JP63228835A patent/JP2732450B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001266637A (ja) * | 2000-03-22 | 2001-09-28 | Nikon Corp | 光源装置 |
| KR100982490B1 (ko) * | 2010-02-19 | 2010-09-15 | 부경엔지니어링주식회사 | 조사방향제어와 방열장치가 구비된 조명등기구 |
| JP2013215647A (ja) * | 2012-04-05 | 2013-10-24 | Gs Yuasa Corp | 紫外線照射装置 |
| JP2015054295A (ja) * | 2013-09-12 | 2015-03-23 | 岩崎電気株式会社 | 紫外線照射装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2732450B2 (ja) | 1998-03-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3831289A (en) | Ink drying reflector system | |
| JP2904925B2 (ja) | 紫外線硬化装置 | |
| US5053934A (en) | Optical arrangement for high-powered diaprojectors | |
| JPH09257999A (ja) | 紫外線照射装置 | |
| KR20190037917A (ko) | 에너지 효율이 개선된 uv경화장치 | |
| JPH0279306A (ja) | 光照射器 | |
| JP2668833B2 (ja) | 光照射器 | |
| JP2668832B2 (ja) | 光照射器 | |
| JP3832230B2 (ja) | 光照射装置 | |
| JP3575281B2 (ja) | 光照射装置のシャッター機構 | |
| JP2002292825A (ja) | 紫外線照射装置 | |
| JPH0618585Y2 (ja) | 光照射器 | |
| JP4346320B2 (ja) | 露光方法及び露光装置 | |
| JPH0612826Y2 (ja) | 光照射器 | |
| JPH07256190A (ja) | 紫外線照射装置 | |
| KR20190037939A (ko) | 에너지 효율이 개선된 반사갓 승강형 uv경화장치 | |
| US2461140A (en) | Double shutter heat protection for motion-picture projectors | |
| JPS637830B2 (ja) | ||
| KR20010009401A (ko) | 공기조화기의 셔터 개폐장치 | |
| JP3411674B2 (ja) | 内視鏡用光源装置の絞り装置 | |
| JPH0742728Y2 (ja) | 紫外線照射器具 | |
| US999949A (en) | Photographic camera. | |
| JP3131825B2 (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPH0246045Y2 (ja) | ||
| JP3158231B2 (ja) | カメラの光量制御装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071226 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081226 Year of fee payment: 11 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081226 Year of fee payment: 11 |