JP2732450B2 - 光照射器 - Google Patents
光照射器Info
- Publication number
- JP2732450B2 JP2732450B2 JP63228835A JP22883588A JP2732450B2 JP 2732450 B2 JP2732450 B2 JP 2732450B2 JP 63228835 A JP63228835 A JP 63228835A JP 22883588 A JP22883588 A JP 22883588A JP 2732450 B2 JP2732450 B2 JP 2732450B2
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- Japan
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- lamp
- long plate
- shaped
- shutter
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- Arrangement Of Elements, Cooling, Sealing, Or The Like Of Lighting Devices (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、例えばフォトレジスト，光硬化型のペイ
ント，インク，バインダ等の被処理物を主として紫外線
を中心とした光によって処理するために用いられる光照
射器に関するものである。
ント，インク，バインダ等の被処理物を主として紫外線
を中心とした光によって処理するために用いられる光照
射器に関するものである。
［従来の技術］ 高圧水銀灯等のランプから発生する紫外線を中心とし
た光を利用して、光硬化型のペイント，インク，フォト
レジスト，バインダ等の被処理物を光処理する装置にお
いて、光処理に必要な波長の光（主として紫外線）を被
処理物に照射することが最近、ますます重要になってき
ている。
た光を利用して、光硬化型のペイント，インク，フォト
レジスト，バインダ等の被処理物を光処理する装置にお
いて、光処理に必要な波長の光（主として紫外線）を被
処理物に照射することが最近、ますます重要になってき
ている。
これら光処理を行う装置の中で、光照射のためのスペ
ースは限られたものであるので、光照射器の構造をコン
パクトにする試みが従来からなされている。
ースは限られたものであるので、光照射器の構造をコン
パクトにする試みが従来からなされている。
第２図（イ），（ロ），（ハ），（ニ）は従来の光照
射器の主要部の概略構成を示す図で、いずれもシャッタ
機構を工夫して光照射器をコンパクトにしたものであ
る。
射器の主要部の概略構成を示す図で、いずれもシャッタ
機構を工夫して光照射器をコンパクトにしたものであ
る。
第２図において、１は棒状のランプ、２′ａはブライ
ンド式のシャッタ、２′ｂは扉状のシャッタ、２′ｃは
集光鏡兼用のシャッタ、２′ｄは反射鏡回転式のシャッ
タ、３′は集光鏡、４は排気ダクト、５は光照射処理さ
れる被照射物のパスラインである。
ンド式のシャッタ、２′ｂは扉状のシャッタ、２′ｃは
集光鏡兼用のシャッタ、２′ｄは反射鏡回転式のシャッ
タ、３′は集光鏡、４は排気ダクト、５は光照射処理さ
れる被照射物のパスラインである。
第２図（イ），（ロ），（ハ），（ニ）において、パ
スライン５上の被照射物に対して、ランプ１からの光を
照射したり、遮断したりするために、同図（イ）ではブ
ラインド式のシャッタ２′ａを開閉することにより行
い、同図（ロ）では扉式のシャッタ２′ｂを開閉するこ
とにより行い、同図（ハ）では集光鏡兼用のシャッタ
２′ｃを180゜に回転させることにより行い、同図
（ニ）では平面鏡よりなる回転式のシャッタ２′ｄを矢
印の方向に90゜回転させることにより行うものである。
スライン５上の被照射物に対して、ランプ１からの光を
照射したり、遮断したりするために、同図（イ）ではブ
ラインド式のシャッタ２′ａを開閉することにより行
い、同図（ロ）では扉式のシャッタ２′ｂを開閉するこ
とにより行い、同図（ハ）では集光鏡兼用のシャッタ
２′ｃを180゜に回転させることにより行い、同図
（ニ）では平面鏡よりなる回転式のシャッタ２′ｄを矢
印の方向に90゜回転させることにより行うものである。
［発明が解決しようとする課題］ 上記の従来の光照射器はいずれも装置の小型化という
点で、次の各理由から必ずしも満足すべきものではな
い。例えば第２図（イ），（ロ）の光照射器は、ブライ
ンド式のシャッタまたは扉式のシャッタの部分に余分な
スペースをとられるので空間の節約にはならず、光照射
器と被照射物との処理が長くなってしまう。その上、ブ
ラインド式のシャッタの場合、シャッタが開いた時点で
も光を一部遮断または反射することになるので光損失が
ある。また、第２図（ハ）の光照射器は光照射器と被照
射物との距離が長く、さらに集光鏡兼用シャッタが閉じ
たときのシャッタの冷却機構が複雑になり、冷却不足に
なる恐れがある。さらに第２図（ニ）の光照射器は反射
鏡回転式のシャッタ部分に余分なスペースをとられるの
で、光照射器と被照射物との距離が長くなってしまうと
いう問題があった。
点で、次の各理由から必ずしも満足すべきものではな
い。例えば第２図（イ），（ロ）の光照射器は、ブライ
ンド式のシャッタまたは扉式のシャッタの部分に余分な
スペースをとられるので空間の節約にはならず、光照射
器と被照射物との処理が長くなってしまう。その上、ブ
ラインド式のシャッタの場合、シャッタが開いた時点で
も光を一部遮断または反射することになるので光損失が
ある。また、第２図（ハ）の光照射器は光照射器と被照
射物との距離が長く、さらに集光鏡兼用シャッタが閉じ
たときのシャッタの冷却機構が複雑になり、冷却不足に
なる恐れがある。さらに第２図（ニ）の光照射器は反射
鏡回転式のシャッタ部分に余分なスペースをとられるの
で、光照射器と被照射物との距離が長くなってしまうと
いう問題があった。
この発明はかかる課題を解決するためになされたもの
で、余分なスペースを必要としないコンパクトで、かつ
適切な冷却手段を備えた光照射器を提供することを目的
とする。
で、余分なスペースを必要としないコンパクトで、かつ
適切な冷却手段を備えた光照射器を提供することを目的
とする。
［課題を解決するための手段］ 上記の目的を達成するために、この発明においては、
樋状のミラーは、頂部にスリットを介して配置される２
枚の長板状ミラーから構成され、かつこれら２枚の長板
状ミラーを、ランプの長手方向を回転軸として回転運動
させることにより光を遮断する構成を備えた長板状ミラ
ーの回転駆動機構を具備し、２枚の長板状ミラーはその
裏面に各長板状ミラーと一体に回転する制風板及び／ま
たは遮光板が付設されている構成を有する光照射器とし
たものである。
樋状のミラーは、頂部にスリットを介して配置される２
枚の長板状ミラーから構成され、かつこれら２枚の長板
状ミラーを、ランプの長手方向を回転軸として回転運動
させることにより光を遮断する構成を備えた長板状ミラ
ーの回転駆動機構を具備し、２枚の長板状ミラーはその
裏面に各長板状ミラーと一体に回転する制風板及び／ま
たは遮光板が付設されている構成を有する光照射器とし
たものである。
［作用］ 上記の構成を有することにより、装置はコンパクトに
なり、必要な冷却を適切に行うことができる。
なり、必要な冷却を適切に行うことができる。
［実施例］ 第１図（イ），（ロ），（ハ），（ニ）はこの発明に
おける光照射器の一実施例を示す図で、同図（イ）はシ
ャッタが開いたときの光照射器の正面断面図、同図
（ロ）はシャッタが閉じたときの光照射器の正面断面
図、同図（ハ）は同図（イ）の側面図、同図（ニ）はシ
ャッタの駆動機構の動作説明図である。
おける光照射器の一実施例を示す図で、同図（イ）はシ
ャッタが開いたときの光照射器の正面断面図、同図
（ロ）はシャッタが閉じたときの光照射器の正面断面
図、同図（ハ）は同図（イ）の側面図、同図（ニ）はシ
ャッタの駆動機構の動作説明図である。
第１図において、１はランプ、24a,24bは回転軸6a,6b
を中心に回転してシャッタの働きをすると共に楕円集光
鏡として機能する一対の長板状ミラー、2a,2bはこの長
板状ミラーを保持するための型材、3a,3b,4a,4bは遮光
板、5a,5bは制風兼遮光板で、遮光板と共に型材2a,2bに
付設されて同時に回転する。７は光照射器の内箱、11は
内箱７内に形成される風洞、８はこの内箱７に風洞を形
成するために設けられる仕切り板、9a,9bは内箱７の側
壁内面に設けられた側壁遮光片、10は内箱７の側壁に設
けられ外部から冷却用の風を入れるための風孔、12は外
箱、13は光照射するための下部の開口部、14は外箱12の
側壁に設けられ外部からの冷却用の風を入るための風孔
である。15は外箱12のランプ長手方向側面に取り付けら
れる排気用のダクト、16はダクトフランジ、17,18,19,2
0はそれぞれプーリ、21はこれらプーリ17〜20を駆動さ
せるチェーン、22はロータリ・アクチュエータ、23はプ
ーリ17とロータリ・アクチュエータ22を連結するための
カップリングである。
を中心に回転してシャッタの働きをすると共に楕円集光
鏡として機能する一対の長板状ミラー、2a,2bはこの長
板状ミラーを保持するための型材、3a,3b,4a,4bは遮光
板、5a,5bは制風兼遮光板で、遮光板と共に型材2a,2bに
付設されて同時に回転する。７は光照射器の内箱、11は
内箱７内に形成される風洞、８はこの内箱７に風洞を形
成するために設けられる仕切り板、9a,9bは内箱７の側
壁内面に設けられた側壁遮光片、10は内箱７の側壁に設
けられ外部から冷却用の風を入れるための風孔、12は外
箱、13は光照射するための下部の開口部、14は外箱12の
側壁に設けられ外部からの冷却用の風を入るための風孔
である。15は外箱12のランプ長手方向側面に取り付けら
れる排気用のダクト、16はダクトフランジ、17,18,19,2
0はそれぞれプーリ、21はこれらプーリ17〜20を駆動さ
せるチェーン、22はロータリ・アクチュエータ、23はプ
ーリ17とロータリ・アクチュエータ22を連結するための
カップリングである。
また、長板状ミラー24a,24bは、アルミ製の型材2a,2b
に挿入嵌合されて付設されている。尚、図中矢印は、冷
却風の向きを、一点鎖線H1,H2は代表光線をそれぞれ示
す。
に挿入嵌合されて付設されている。尚、図中矢印は、冷
却風の向きを、一点鎖線H1,H2は代表光線をそれぞれ示
す。
第１図（イ）の長板状ミラーが開いた状態の光照射器
において、ロータリ・アクチュエータ22の駆動により、
プーリ17が回転し、それと同時にプーリ17に巻かれたチ
ェーン21の働きによって、プーリ19,18,20が回転し、２
つのプーリ19,20とそれぞれ同軸の回転軸6a,6bが回転し
てアルミ製の型材2a,2bは所定の角度で回転し、遮光板3
a,3bが冷却風が通るための隙間を残して重なり、ランプ
１からの光は遮断される。この状態を示すのが第１図
（ロ）である。また、長板状ミラー24a,24bや仕切り板
８に反射して上方へ向かう光線H1,H2は遮光板4a,4b,制
風兼遮光板5a,5b及び内箱７の側壁内面に設けられた側
壁遮光片9a,9bに遮断される。
において、ロータリ・アクチュエータ22の駆動により、
プーリ17が回転し、それと同時にプーリ17に巻かれたチ
ェーン21の働きによって、プーリ19,18,20が回転し、２
つのプーリ19,20とそれぞれ同軸の回転軸6a,6bが回転し
てアルミ製の型材2a,2bは所定の角度で回転し、遮光板3
a,3bが冷却風が通るための隙間を残して重なり、ランプ
１からの光は遮断される。この状態を示すのが第１図
（ロ）である。また、長板状ミラー24a,24bや仕切り板
８に反射して上方へ向かう光線H1,H2は遮光板4a,4b,制
風兼遮光板5a,5b及び内箱７の側壁内面に設けられた側
壁遮光片9a,9bに遮断される。
冷却機構について述べると、外箱12の風孔14及び内箱
７の風孔10を通して流入した風は、第１図（イ）のシャ
ッタ（長板状ミラー24a,24b）開の状態ではアルミ製の
型材2a,2bの裏面を冷却しながら、主にこの型材2a,2bと
制風兼遮光板5a,5bとの間を通って、ランプ１側にまわ
り込み、長板状ミラー24a,24bの反射面やランプ１を冷
却した後、スリットとしての吸込み口8aから風洞11に吸
引され、不図示のブロワによってダクト15から排気され
る。また開口部13から流入した風は長板状ミラー24a,24
bの反射面及びランプ１を冷却しながら吸い込み口8aか
ら風孔14,10を通って流入した風と共に，風洞11を経て
ダクト15から排気される。次に第１図の（ロ）のシャッ
タ（長板状ミラー24a,24b）閉の状態では開口部13から
流入した風の一部は遮光板3a,3bの隙間から流入して長
板状ミラー24a,24bの反射面及びランプ１を冷却する
が、残りの大部分は型材2a,2bの裏面を冷却しながら、
この型材2a,2bと制風兼遮光板5a,5bの間を通って、外箱
12の風孔14及び内箱７の風孔10から流入した風と合流し
て長板状ミラー24a,24bの反射面及びランプ１を冷却し
た後、吸込み口8aから風洞11を経てブロワによってダク
ト15から排気される。
７の風孔10を通して流入した風は、第１図（イ）のシャ
ッタ（長板状ミラー24a,24b）開の状態ではアルミ製の
型材2a,2bの裏面を冷却しながら、主にこの型材2a,2bと
制風兼遮光板5a,5bとの間を通って、ランプ１側にまわ
り込み、長板状ミラー24a,24bの反射面やランプ１を冷
却した後、スリットとしての吸込み口8aから風洞11に吸
引され、不図示のブロワによってダクト15から排気され
る。また開口部13から流入した風は長板状ミラー24a,24
bの反射面及びランプ１を冷却しながら吸い込み口8aか
ら風孔14,10を通って流入した風と共に，風洞11を経て
ダクト15から排気される。次に第１図の（ロ）のシャッ
タ（長板状ミラー24a,24b）閉の状態では開口部13から
流入した風の一部は遮光板3a,3bの隙間から流入して長
板状ミラー24a,24bの反射面及びランプ１を冷却する
が、残りの大部分は型材2a,2bの裏面を冷却しながら、
この型材2a,2bと制風兼遮光板5a,5bの間を通って、外箱
12の風孔14及び内箱７の風孔10から流入した風と合流し
て長板状ミラー24a,24bの反射面及びランプ１を冷却し
た後、吸込み口8aから風洞11を経てブロワによってダク
ト15から排気される。
また、この実施例においては、長板状ミラー24a,24b
を型材2a,2bに挿入嵌め合わせ付設しているので、長時
間の使用による汚染等に対しては取りはずして他の長板
状ミラー24a,24bと交換することができ、メンテナンス
は極めて簡単である。
を型材2a,2bに挿入嵌め合わせ付設しているので、長時
間の使用による汚染等に対しては取りはずして他の長板
状ミラー24a,24bと交換することができ、メンテナンス
は極めて簡単である。
さらに、この実施例の光照射器は外箱12,内箱７の二
重構造にして２つの箱の間に間隔を設けて風を流してい
るので、外箱は内箱に比して低温に保たれており、直接
手で触れても問題はなく、また、２つの箱に設けられた
風孔10と14の位置をずらしてあるので、風孔14からのラ
ンプ１の光の漏れは防止される。
重構造にして２つの箱の間に間隔を設けて風を流してい
るので、外箱は内箱に比して低温に保たれており、直接
手で触れても問題はなく、また、２つの箱に設けられた
風孔10と14の位置をずらしてあるので、風孔14からのラ
ンプ１の光の漏れは防止される。
［発明の効果］ 以上説明したとおり、この発明の光照射器は非常にコ
ンパクトに構成されている上に、きめ細かな冷却を行う
ことができる。
ンパクトに構成されている上に、きめ細かな冷却を行う
ことができる。
第１図（イ），（ロ），（ハ），（ニ）はこの発明にお
ける光照射器の一実施例を示す図で、同図（イ）はシャ
ッタが開いたときの光照射器の正面断面図、同図（ロ）
はシャッタが閉じたときの光照射器の正面断面図、同図
（ハ）は同図（イ）の側面図、同図（ニ）はシャッタ駆
動機構の動作説明図、第２図（イ），（ロ），（ハ），
（ニ）は従来の光照射器の主要部の概略構成を示す図で
ある。 図中． 1:ランプ 2a,2b:アルミ製の型材 3a,3b,4a,4b:遮光板 5a,5b:制風兼遮光板 6a,6b:回転軸 7:内箱 8a:吸込み口 9a,9b:側壁遮光片 10,14:風孔 12:外箱 13:開口部 17,18,19,20:プーリ 21:チェーン 22:ロータリ・アクチュエータ 24a,24b:長板状ミラー
ける光照射器の一実施例を示す図で、同図（イ）はシャ
ッタが開いたときの光照射器の正面断面図、同図（ロ）
はシャッタが閉じたときの光照射器の正面断面図、同図
（ハ）は同図（イ）の側面図、同図（ニ）はシャッタ駆
動機構の動作説明図、第２図（イ），（ロ），（ハ），
（ニ）は従来の光照射器の主要部の概略構成を示す図で
ある。 図中． 1:ランプ 2a,2b:アルミ製の型材 3a,3b,4a,4b:遮光板 5a,5b:制風兼遮光板 6a,6b:回転軸 7:内箱 8a:吸込み口 9a,9b:側壁遮光片 10,14:風孔 12:外箱 13:開口部 17,18,19,20:プーリ 21:チェーン 22:ロータリ・アクチュエータ 24a,24b:長板状ミラー
Claims (1)
- 【請求項１】棒状のランプと、このランプをおおう樋状
のミラーと、これらランプ，ミラーを収めた灯体とより
なる光照射器において、前記樋状のミラーは、頂部にス
リットを介して配置される２枚の長板状ミラーから構成
され、かつこれら２枚の長板状ミラーを、ランプの長手
方向を回転軸として回転運動させることにより光を遮断
する構成を備えた長板状ミラーの回転駆動機構を具備
し、２枚の長板状ミラーはその裏面に各長板状ミラーと
一体に回転する制風板及び／または遮光板が付設されて
いることを特徴とする光照射器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63228835A JP2732450B2 (ja) | 1988-09-14 | 1988-09-14 | 光照射器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63228835A JP2732450B2 (ja) | 1988-09-14 | 1988-09-14 | 光照射器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0279306A JPH0279306A (ja) | 1990-03-19 |
| JP2732450B2 true JP2732450B2 (ja) | 1998-03-30 |
Family
ID=16882605
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63228835A Expired - Lifetime JP2732450B2 (ja) | 1988-09-14 | 1988-09-14 | 光照射器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2732450B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20120102085A (ko) * | 2009-12-17 | 2012-09-17 | 램 리써치 코포레이션 | 로터리 셔터들을 갖는 탈가스 챔버의 ｕｖ 램프 어셈블리 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001266637A (ja) * | 2000-03-22 | 2001-09-28 | Nikon Corp | 光源装置 |
| KR100982490B1 (ko) * | 2010-02-19 | 2010-09-15 | 부경엔지니어링주식회사 | 조사방향제어와 방열장치가 구비된 조명등기구 |
| JP2013215647A (ja) * | 2012-04-05 | 2013-10-24 | Gs Yuasa Corp | 紫外線照射装置 |
| JP6179296B2 (ja) * | 2013-09-12 | 2017-08-16 | 岩崎電気株式会社 | 紫外線照射装置 |
-
1988
- 1988-09-14 JP JP63228835A patent/JP2732450B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20120102085A (ko) * | 2009-12-17 | 2012-09-17 | 램 리써치 코포레이션 | 로터리 셔터들을 갖는 탈가스 챔버의 ｕｖ 램프 어셈블리 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0279306A (ja) | 1990-03-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071226 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
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