JPH026592Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、電子顕微鏡等における電子線の偏向
状態を表示する装置に関する。

電子顕微鏡において、軸合せ作業を行なう際に
は、まず、電子線が偏向コイルにより全く偏向さ
れていない状態にした後、偏向作業を開始するの
が常である。この状態に初期設定するため、従来
の電子顕微鏡には第１図に示すような偏向表示装
置が備えられている。

第１図において、１はＸ方向偏向用の偏向電源
２より発生する偏向電源を調節するためのポテン
シヨメータであり、このポテンシヨメータは第２
図に示すような操作パネル上に取り付けられた多
回転摘子TXによつて調節できるようになつてい
る。３は偏向電源２よりの偏向電流が供給される
Ｘ方向偏向コイルである。偏向コイル３に供給さ
れる偏向電流に比例した信号が比較回路４に供給
されている。この比較回路４には参照信号とし
て、Ｏレベルの信号が供給されている。この比較
回路４には表示素子５Xa，５Xbが接続されてお
り、これら表示素子５Xa，５Xbは第２図に示す
ように前記回転摘子TXの近傍に取り付けられて
いる。図示しないが、Ｘ方向と対称的にＹ方向用
の偏向電源及び偏向コイルに対しても、同様な回
路が備えられており、前記操作パネルには第２図
に示すように、Ｙ方向用の回転摘子TY及び表示
素子５Ya，５Ybが備えられている。

このような構成において、偏向電源２より発生
する偏向電流がＯでなく、電子線が偏向されてい
る状態においては、比較回路４に供給される信号
は正又は負であるため、比較回路４よりの出力信
号に基づいて表示素子５Xa又は５Xbが点灯し
て、電子線の偏向の向きを表示している。そこ
で、回転摘子TXを回転させて偏向電源２より発
生する偏向電流を調節して行くと、もし偏向電源
２より発生する偏向電流がＯになると、比較回路
４に供給される信号もＯとなるため、比較回路４
より両表示素子５Xa及び５Xbに出力が供給さ
れ、両表示素子５Xa，５Xbは同時に点灯する。
従つて、この表示を監視していて、両素子が点灯
したところで、摘子TXの回転を停止させれば、
電子線がＸ方向には全く偏向されていない状態に
することができる。Ｙ方向についても全く同様で
ある。次に、回転摘子TXを操作して軸合わせを
行なうわけであるが、従来の装置においては、暗
視野像観察等を行なう際には、軸合わせした状態
を崩して、偏向コイルに供給する偏向電流を変化
させた後、元の観察モードに戻つて軸合せを行な
おうとする場合があるが、このような場合、従来
においては、最初から面倒な軸合せ作業を行なわ
なければならず、極めて不便であつた。

本考案は、このような従来の欠点を解決すべく
なされたもので、一旦得られた任意の偏向状態に
簡単に複帰することのできる電子顕微鏡等におけ
る偏向表示装置を提供することを目的としてい
る。

本考案は調節手段によりその出力電流を任意に
調節できるようにされた偏向電源と、該偏向電源
より偏向コイルへ供給される電流を検出する手段
と、該検出信号をＯレベルの基準信号と比較し、
該検出信号がＯ又は正又は負に応じて異なつた表
示を行なうための手段とを具備した装置におい
て、該検出信号が供給され該検出信号と参照信号
との一致不一致に応じて異なつた出力を発生する
比較回路と、該比較回路に供給される参照信号の
値を任意に調節するための手段と、該比較回路の
出力信号に基づいて表示を行なうための表示手段
とを具備することを特徴としている。

以下、図面に基づき本考案の実施例を詳述す
る。

本考案の一実施例を示す第３図において、第１
図と同一の構成要素に対しては同一番号が付され
ている。従来と異なり、比較回路４に供給されて
いる偏向電源２の出力電流に比例した信号は第２
の比較回路７にも供給されている。この第２の比
較回路７には参照信号として第２のポテンシヨメ
ーター６の出力信号が供給されている。第２の比
較回路７の出力端子は第３の表示素子８Ｘに供給
されている。この表示素子８Ｘは第４図に示すよ
うに、操作パネル上の表示素子５Xa及び５Xbの
間に配置されている。Ｙ方向についても同様に表
示素子８Ｙが備えられている。

このような構成において、摘子TX及びTYを
回転させて軸合せを完了した状態においては、比
較回路４には、電源２より偏向コイル３に供給さ
れる信号に比例した例えば正の値ｓを有する信号
が供給されているとする。そこで、操作者は表示
素子８Ｘを監視しつつ第２のポテンシヨメーター
６を操作して参照信号値を変化させて行く。この
ような作業に伴つて、ポテンシヨメーター６より
発生する参照信号が値ｓに一致すると、比較回路
７はこの一致を検出して、表示素子８Ｘに出力を
供給してこの素子を点灯させる。操作者はこの点
灯により、第２のポテンシヨメーター６の調節を
停止する。そこで、例えば暗視野像を観察する際
等において、試料に入射する電子線の入射角を変
化させるため、摘子TXを回転させ、偏向電源２
より発生する偏向電流を変化させたとする。この
操作に伴つて第２の比較回路７に供給される信号
値はｓでなくなるため、表示素子８Ｘは消灯する
が、暗視野像の観察を終了した後、元の観察モー
ドに戻つて再度軸合せを行なおうとする際には、
表示素子８Ｘを監視しつつ摘子TXを回転させ
る。この回転に伴つて、偏向電源２より発生する
偏向電流が変化して行くが、電源２より発生する
偏向電流が軸合せに必要な電流に一致すると、比
較回路７に供給される信号は再度値ｓを有するも
のになる。このとき比較回路７には第２のポテン
シヨメーター６より値ｓの参照信号が供給されて
いるため、比較回路７はこの瞬間を検出して表示
素子８Ｘを消灯状態から点灯状態に変化させる。
従つて、表示素子８Ｘを監視していて、表示素子
８Ｘが点灯したところで、摘子TXの回転を停止
させれば、簡単に元の軸合せされた状態に復帰す
ることができる。

尚、上述した説明においては、Ｘ方向の調節に
ついてのみ説明したが、Ｙ方向についても全く同
様である。

又、上述した実施例では、軸合せされた状態に
復帰する場合について説明したが、電子線を特定
の角度αで偏向した状態にした後、一旦、電子線
の偏向角度を変化させた後、再度最初の偏向角α
の状態に復帰しようとする場合等にも適用でき
る。

上述した説明から明らかなように、本考案によ
り、一旦得られた任意の偏向状態に簡単に復帰す
ることのできる電子顕微鏡等における偏向表示装
置が提供され、簡単にに軸合せ状態等に復帰する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来装置を例示するための図、第２図
は従来装置における表示素子を説明するための
図、第３図は本考案の一実施例を示すための図、
第４図は本考案における表示素子の一実施例を示
すための図である。 １，６：ポテンシヨメータ−、２：偏向電源、
３：偏向コイル、４，７：比較回路、５Xa，５
Xb，５Ya，５Yb，８Ｘ：表示素子、TX，
TY：回転摘子。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 調節手段によりその出力電流を任意に調節でき
   るようにされた偏向電源と、該偏向電源より偏向
   コイルへ供給される電流を検出する手段と、該検
   出信号をＯレベルの基準信号と比較し、該検出信
   号をＯレベルの基準信号と比較し、該検出信号が
   Ｏ又は正又は負に応じて異なつた表示を行なうた
   めの手段とを具備した装置において、該検出信号
   が供給され該検出信号と参照信号との一致不一致
   に応じて異なつた出力を発生する比較回路と、該
   比較回路に供給される参照信号の値を任意に調節
   するための手段と、該比較回路の出力信号に基づ
   いて表示を行なうための表示手段とを具備するこ
   とを特徴とする電子顕微鏡等における偏向表示装
   置。