JPH026592Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、電子顕微鏡等における電子線の偏向
状態を表示する装置に関する。[Detailed Description of the Invention] The present invention relates to an apparatus for displaying the deflection state of an electron beam in an electron microscope or the like.

電子顕微鏡において、軸合せ作業を行なう際に
は、まず、電子線が偏向コイルにより全く偏向さ
れていない状態にした後、偏向作業を開始するの
が常である。この状態に初期設定するため、従来
の電子顕微鏡には第１図に示すような偏向表示装
置が備えられている。 When performing alignment work in an electron microscope, it is customary to first set the electron beam in a state where it is not deflected at all by a deflection coil, and then start the deflection work. In order to initialize this state, a conventional electron microscope is equipped with a deflection display device as shown in FIG.

第１図において、１はＸ方向偏向用の偏向電源
２より発生する偏向電源を調節するためのポテン
シヨメータであり、このポテンシヨメータは第２
図に示すような操作パネル上に取り付けられた多
回転摘子TXによつて調節できるようになつてい
る。３は偏向電源２よりの偏向電流が供給される
Ｘ方向偏向コイルである。偏向コイル３に供給さ
れる偏向電流に比例した信号が比較回路４に供給
されている。この比較回路４には参照信号とし
て、Ｏレベルの信号が供給されている。この比較
回路４には表示素子５Xa，５Xbが接続されてお
り、これら表示素子５Xa，５Xbは第２図に示す
ように前記回転摘子TXの近傍に取り付けられて
いる。図示しないが、Ｘ方向と対称的にＹ方向用
の偏向電源及び偏向コイルに対しても、同様な回
路が備えられており、前記操作パネルには第２図
に示すように、Ｙ方向用の回転摘子TY及び表示
素子５Ya，５Ybが備えられている。 In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a potentiometer for adjusting the deflection power generated by the deflection power supply 2 for deflection in the X direction, and this potentiometer is connected to the second
It can be adjusted using a multi-rotation knob TX mounted on the operation panel as shown in the figure. 3 is an X-direction deflection coil to which a deflection current from the deflection power source 2 is supplied. A signal proportional to the deflection current supplied to the deflection coil 3 is supplied to the comparator circuit 4 . This comparison circuit 4 is supplied with an O level signal as a reference signal. Display elements 5Xa and 5Xb are connected to this comparison circuit 4, and these display elements 5Xa and 5Xb are attached near the rotary knob TX as shown in FIG. Although not shown, similar circuits are provided for the Y-direction deflection power supply and deflection coil symmetrically with the X-direction, and the operation panel is equipped with the Y-direction deflection power source and deflection coil as shown in FIG. A rotary knob TY and display elements 5Ya and 5Yb are provided.

このような構成において、偏向電源２より発生
する偏向電流がＯでなく、電子線が偏向されてい
る状態においては、比較回路４に供給される信号
は正又は負であるため、比較回路４よりの出力信
号に基づいて表示素子５Xa又は５Xbが点灯し
て、電子線の偏向の向きを表示している。そこ
で、回転摘子TXを回転させて偏向電源２より発
生する偏向電流を調節して行くと、もし偏向電源
２より発生する偏向電流がＯになると、比較回路
４に供給される信号もＯとなるため、比較回路４
より両表示素子５Xa及び５Xbに出力が供給さ
れ、両表示素子５Xa，５Xbは同時に点灯する。
従つて、この表示を監視していて、両素子が点灯
したところで、摘子TXの回転を停止させれば、
電子線がＸ方向には全く偏向されていない状態に
することができる。Ｙ方向についても全く同様で
ある。次に、回転摘子TXを操作して軸合わせを
行なうわけであるが、従来の装置においては、暗
視野像観察等を行なう際には、軸合わせした状態
を崩して、偏向コイルに供給する偏向電流を変化
させた後、元の観察モードに戻つて軸合せを行な
おうとする場合があるが、このような場合、従来
においては、最初から面倒な軸合せ作業を行なわ
なければならず、極めて不便であつた。 In such a configuration, when the deflection current generated by the deflection power source 2 is not O and the electron beam is deflected, the signal supplied to the comparator circuit 4 is positive or negative; The display element 5Xa or 5Xb lights up based on the output signal to display the direction of deflection of the electron beam. Therefore, by rotating the rotary knob TX to adjust the deflection current generated from the deflection power supply 2, if the deflection current generated from the deflection power supply 2 becomes O, the signal supplied to the comparator circuit 4 also becomes O. Therefore, comparison circuit 4
The output is supplied to both display elements 5Xa and 5Xb, and both display elements 5Xa and 5Xb are lit at the same time.
Therefore, if you monitor this display and stop the rotation of the knob TX when both elements light up,
It is possible to create a state in which the electron beam is not deflected at all in the X direction. The same applies to the Y direction. Next, the rotary knob TX is operated to align the axis, but with conventional equipment, when performing dark-field image observation etc., the alignment is broken and the beam is supplied to the deflection coil. After changing the deflection current, there are cases where it is attempted to return to the original observation mode and perform alignment, but in such cases, in the past, it was necessary to perform the troublesome alignment work from the beginning. It was extremely inconvenient.

本考案は、このような従来の欠点を解決すべく
なされたもので、一旦得られた任意の偏向状態に
簡単に複帰することのできる電子顕微鏡等におけ
る偏向表示装置を提供することを目的としてい
る。 The present invention was made to solve these conventional drawbacks, and the purpose is to provide a deflection display device for an electron microscope, etc., which can easily return to an arbitrary deflection state once obtained. There is.

本考案は調節手段によりその出力電流を任意に
調節できるようにされた偏向電源と、該偏向電源
より偏向コイルへ供給される電流を検出する手段
と、該検出信号をＯレベルの基準信号と比較し、
該検出信号がＯ又は正又は負に応じて異なつた表
示を行なうための手段とを具備した装置におい
て、該検出信号が供給され該検出信号と参照信号
との一致不一致に応じて異なつた出力を発生する
比較回路と、該比較回路に供給される参照信号の
値を任意に調節するための手段と、該比較回路の
出力信号に基づいて表示を行なうための表示手段
とを具備することを特徴としている。 The present invention includes a deflection power supply whose output current can be arbitrarily adjusted by an adjustment means, a means for detecting the current supplied from the deflection power supply to the deflection coil, and a comparison of the detection signal with an O level reference signal. death,
The device is equipped with a means for displaying differently depending on whether the detection signal is O or positive or negative, wherein the detection signal is supplied and the device outputs different outputs depending on whether the detection signal and the reference signal match or do not match. The present invention is characterized by comprising a comparison circuit for generating a signal, a means for arbitrarily adjusting the value of a reference signal supplied to the comparison circuit, and a display means for displaying based on the output signal of the comparison circuit. It is said that

以下、図面に基づき本考案の実施例を詳述す
る。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail based on the drawings.

本考案の一実施例を示す第３図において、第１
図と同一の構成要素に対しては同一番号が付され
ている。従来と異なり、比較回路４に供給されて
いる偏向電源２の出力電流に比例した信号は第２
の比較回路７にも供給されている。この第２の比
較回路７には参照信号として第２のポテンシヨメ
ーター６の出力信号が供給されている。第２の比
較回路７の出力端子は第３の表示素子８Ｘに供給
されている。この表示素子８Ｘは第４図に示すよ
うに、操作パネル上の表示素子５Xa及び５Xbの
間に配置されている。Ｙ方向についても同様に表
示素子８Ｙが備えられている。 In FIG. 3 showing an embodiment of the present invention, the first
Components that are the same as those in the figures are given the same numbers. Unlike in the past, the signal proportional to the output current of the deflection power supply 2 supplied to the comparator circuit 4 is
It is also supplied to the comparison circuit 7. The second comparison circuit 7 is supplied with the output signal of the second potentiometer 6 as a reference signal. The output terminal of the second comparison circuit 7 is supplied to the third display element 8X. As shown in FIG. 4, this display element 8X is arranged between display elements 5Xa and 5Xb on the operation panel. Similarly, a display element 8Y is provided in the Y direction as well.

このような構成において、摘子TX及びTYを
回転させて軸合せを完了した状態においては、比
較回路４には、電源２より偏向コイル３に供給さ
れる信号に比例した例えば正の値ｓを有する信号
が供給されているとする。そこで、操作者は表示
素子８Ｘを監視しつつ第２のポテンシヨメーター
６を操作して参照信号値を変化させて行く。この
ような作業に伴つて、ポテンシヨメーター６より
発生する参照信号が値ｓに一致すると、比較回路
７はこの一致を検出して、表示素子８Ｘに出力を
供給してこの素子を点灯させる。操作者はこの点
灯により、第２のポテンシヨメーター６の調節を
停止する。そこで、例えば暗視野像を観察する際
等において、試料に入射する電子線の入射角を変
化させるため、摘子TXを回転させ、偏向電源２
より発生する偏向電流を変化させたとする。この
操作に伴つて第２の比較回路７に供給される信号
値はｓでなくなるため、表示素子８Ｘは消灯する
が、暗視野像の観察を終了した後、元の観察モー
ドに戻つて再度軸合せを行なおうとする際には、
表示素子８Ｘを監視しつつ摘子TXを回転させ
る。この回転に伴つて、偏向電源２より発生する
偏向電流が変化して行くが、電源２より発生する
偏向電流が軸合せに必要な電流に一致すると、比
較回路７に供給される信号は再度値ｓを有するも
のになる。このとき比較回路７には第２のポテン
シヨメーター６より値ｓの参照信号が供給されて
いるため、比較回路７はこの瞬間を検出して表示
素子８Ｘを消灯状態から点灯状態に変化させる。
従つて、表示素子８Ｘを監視していて、表示素子
８Ｘが点灯したところで、摘子TXの回転を停止
させれば、簡単に元の軸合せされた状態に復帰す
ることができる。 In such a configuration, when the knobs TX and TY are rotated to complete alignment, the comparator circuit 4 receives, for example, a positive value s proportional to the signal supplied from the power source 2 to the deflection coil 3. Suppose that a signal with . Therefore, the operator changes the reference signal value by operating the second potentiometer 6 while monitoring the display element 8X. When the reference signal generated by the potentiometer 6 coincides with the value s during such operations, the comparator circuit 7 detects this coincidence and supplies an output to the display element 8X, causing this element to light up. The operator stops adjusting the second potentiometer 6 by turning on the light. Therefore, when observing a dark-field image, for example, in order to change the incident angle of the electron beam incident on the sample, the knob TX is rotated and the deflection power source 2 is rotated.
Assume that the deflection current generated is changed. With this operation, the signal value supplied to the second comparison circuit 7 is no longer s, so the display element 8X turns off, but after completing the observation of the dark field image, it returns to the original observation mode and turns the axis again. When trying to match,
Rotate the knob TX while monitoring the display element 8X. Along with this rotation, the deflection current generated from the deflection power supply 2 changes, but when the deflection current generated from the power supply 2 matches the current required for alignment, the signal supplied to the comparator circuit 7 changes its value again. s. At this time, since the comparison circuit 7 is supplied with the reference signal of value s from the second potentiometer 6, the comparison circuit 7 detects this moment and changes the display element 8X from the off state to the on state.
Therefore, by monitoring the display element 8X and stopping the rotation of the knob TX when the display element 8X lights up, it is possible to easily return to the original aligned state.

尚、上述した説明においては、Ｘ方向の調節に
ついてのみ説明したが、Ｙ方向についても全く同
様である。 In the above description, only the adjustment in the X direction has been described, but the same applies to the Y direction as well.

又、上述した実施例では、軸合せされた状態に
復帰する場合について説明したが、電子線を特定
の角度αで偏向した状態にした後、一旦、電子線
の偏向角度を変化させた後、再度最初の偏向角α
の状態に復帰しようとする場合等にも適用でき
る。 Further, in the above-described embodiment, the case where the axis is returned to the aligned state has been explained, but after the electron beam is deflected at a specific angle α, once the deflection angle of the electron beam is changed, Again the initial deflection angle α
It can also be applied when attempting to return to the previous state.

上述した説明から明らかなように、本考案によ
り、一旦得られた任意の偏向状態に簡単に復帰す
ることのできる電子顕微鏡等における偏向表示装
置が提供され、簡単にに軸合せ状態等に復帰する
ことができる。 As is clear from the above description, the present invention provides a deflection display device for an electron microscope, etc., which can easily return to an arbitrary deflection state once obtained, and easily return to an aligned state, etc. be able to.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は従来装置を例示するための図、第２図
は従来装置における表示素子を説明するための
図、第３図は本考案の一実施例を示すための図、
第４図は本考案における表示素子の一実施例を示
すための図である。 １，６：ポテンシヨメータ−、２：偏向電源、
３：偏向コイル、４，７：比較回路、５Xa，５
Xb，５Ya，５Yb，８Ｘ：表示素子、TX，
TY：回転摘子。 FIG. 1 is a diagram illustrating a conventional device, FIG. 2 is a diagram illustrating a display element in the conventional device, and FIG. 3 is a diagram illustrating an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a diagram showing one embodiment of the display element according to the present invention. 1, 6: Potentiometer, 2: Deflection power supply,
3: Deflection coil, 4, 7: Comparison circuit, 5Xa, 5
Xb, 5Ya, 5Yb, 8X: Display element, TX,
TY: Rotating knob.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 調節手段によりその出力電流を任意に調節でき
るようにされた偏向電源と、該偏向電源より偏向
コイルへ供給される電流を検出する手段と、該検
出信号をＯレベルの基準信号と比較し、該検出信
号をＯレベルの基準信号と比較し、該検出信号が
Ｏ又は正又は負に応じて異なつた表示を行なうた
めの手段とを具備した装置において、該検出信号
が供給され該検出信号と参照信号との一致不一致
に応じて異なつた出力を発生する比較回路と、該
比較回路に供給される参照信号の値を任意に調節
するための手段と、該比較回路の出力信号に基づ
いて表示を行なうための表示手段とを具備するこ
とを特徴とする電子顕微鏡等における偏向表示装
置。 a deflection power supply whose output current can be arbitrarily adjusted by an adjustment means; a means for detecting the current supplied from the deflection power supply to the deflection coil; A device is provided with means for comparing a detection signal with a reference signal of an O level, and for displaying different indications depending on whether the detection signal is O, positive or negative, the detection signal is supplied and the detection signal is referenced with the detection signal. A comparator circuit that generates different outputs depending on whether the signal matches or does not match the signal, a means for arbitrarily adjusting the value of a reference signal supplied to the comparator circuit, and a display based on the output signal of the comparator circuit. 1. A deflection display device for an electron microscope, etc., characterized by comprising display means for displaying the image.