JPH0252829U - - Google Patents

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JPH0252829U
JPH0252829U JP13172688U JP13172688U JPH0252829U JP H0252829 U JPH0252829 U JP H0252829U JP 13172688 U JP13172688 U JP 13172688U JP 13172688 U JP13172688 U JP 13172688U JP H0252829 U JPH0252829 U JP H0252829U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案に係る真空処理炉の搬送装置
の実施例１を示す斜視説明図、第２図は第１図中
方向から見た矢視図、第３図は第２図中部詳
細図、第４図はこの考案に係る真空処理炉の搬送
装置の実施例２を示す第２図に相当する説明図、
第５図は従来における真空処理炉の搬送装置の一
例を示す説明図である。 符号の説明、１……真空処理炉、６……ガラス
基板（被処理材）、２０……搬送キヤリア、２１
……垂直ベース、３０……駆動搬送手段、５０…
…吸引型マグネツトカツプリング（非接触型案内
保持手段）、７１……固定子、７２……可動子。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 被処理材６が略垂直状態で保持される垂直ベ
    ース２１を有する搬送キヤリア２０と、 この搬送キヤリア２０の下部側に設けられて真
    空処理炉１内にて搬送キヤリア２０を駆動搬送す
    る駆動搬送手段３０と、 上記搬送キヤリア２０の垂直ベース２１の上部
    を非接触状態で案内保持する非接触型案内保持手
    段５０とを備えてなる真空処理炉の搬送装置。 ２ 請求項１記載のものにおいて、非接触型案内
    保持手段５０が垂直ベース２１の上部を両側から
    均等吸引する吸引型マグネツトカツプリングで構
    成されていることを特徴とする真空処理炉の搬送
    装置。 ３ 請求項１記載のものにおいて、駆動搬送手段
    ３０は固定子７１に対して非接触移動する可動子
    ７２を有する磁気浮上型のリニアモータ搬送系か
    らなり、上記可動子７２に搬送キヤリア２０の下
    部を固定するようにしたことを特徴とする真空処
    理炉の搬送装置。
JP1988131726U 1988-10-11 1988-10-11 真空処理炉の搬送装置 Expired - Lifetime JPH07435Y2 (ja)

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JPH07435Y2 JPH07435Y2 (ja) 1995-01-11

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