JPS619104A - 磁気浮上搬送装置 - Google Patents
磁気浮上搬送装置Info
- Publication number
- JPS619104A JPS619104A JP59126950A JP12695084A JPS619104A JP S619104 A JPS619104 A JP S619104A JP 59126950 A JP59126950 A JP 59126950A JP 12695084 A JP12695084 A JP 12695084A JP S619104 A JPS619104 A JP S619104A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pallet
- clean room
- electromagnet
- attracted
- partition wall
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G54/00—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for
- B65G54/02—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for electrostatic, electric, or magnetic
- B65G54/025—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for electrostatic, electric, or magnetic the load being magnetically coupled with a piston-like driver moved within a tube
Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の利用分野］
本発明は、高い清浄雰囲気に保たれた空間内で物体を搬
送するための搬送装置に関するもので、精密機械や電子
部品等の製造ないし試験設備に応用されるものである。
送するための搬送装置に関するもので、精密機械や電子
部品等の製造ないし試験設備に応用されるものである。
［従来技術とその問題点］
従来、この種の搬送装置は搬送パレットに直接取りつけ
られた車輪や摺動ガイドによって高清浄雰囲気に保たれ
た空間内を案内移動するように構成されているが、これ
らの車輪や摺動部から摩擦により生ずる塵埃が空間を汚
染するため、半導体産業やバイオ産業などでは、車輪等
の材質や摺動メカニズムの改良に数多くの工夫が凝らさ
れてきた。しかしながら、これらの改善策では本質的に
摩擦を零にすることはできないので、抜本的な改善が望
まれていた。
られた車輪や摺動ガイドによって高清浄雰囲気に保たれ
た空間内を案内移動するように構成されているが、これ
らの車輪や摺動部から摩擦により生ずる塵埃が空間を汚
染するため、半導体産業やバイオ産業などでは、車輪等
の材質や摺動メカニズムの改良に数多くの工夫が凝らさ
れてきた。しかしながら、これらの改善策では本質的に
摩擦を零にすることはできないので、抜本的な改善が望
まれていた。
［発明の目的］
そこで本発明は案内移動により発生する塵埃を清浄室と
無関係にすることのできる搬送装置を提供することを目
的とするものである。
無関係にすることのできる搬送装置を提供することを目
的とするものである。
［目的の達成手段］
本発明によれば、高清浄雰囲気に保たれた清浄室の内部
に配置された搬送体を、清浄室の上部室外に移動可能に
配置された吸引磁石により吸引させた状態で、当該搬送
体を移動させるように搬送装置を構成することによって
、上記目的を達成する。
に配置された搬送体を、清浄室の上部室外に移動可能に
配置された吸引磁石により吸引させた状態で、当該搬送
体を移動させるように搬送装置を構成することによって
、上記目的を達成する。
より詳細に述べるならば、高清浄雰囲気に保たれ天井部
が非磁性体からなる隔壁として形成された清浄室と、被
搬送物を載置する搬送パレットおよび、このパレットに
固定され前記天井部に対面する位置に磁極面を有する被
吸引磁極から形成された搬送体と、清浄室の上部室外に
移動可能に配置され隔壁を介して搬送体の被吸引磁極を
吸引する吸引磁石付台車とから搬送装置を構成すること
によって、前記目的を達成しようとするものである。
が非磁性体からなる隔壁として形成された清浄室と、被
搬送物を載置する搬送パレットおよび、このパレットに
固定され前記天井部に対面する位置に磁極面を有する被
吸引磁極から形成された搬送体と、清浄室の上部室外に
移動可能に配置され隔壁を介して搬送体の被吸引磁極を
吸引する吸引磁石付台車とから搬送装置を構成すること
によって、前記目的を達成しようとするものである。
［作 用］
上記の構成によって、被搬送物を清浄室内で搬送する場
合には、清浄室の底部に置かれている搬送パレット上に
被搬送物を載置し、しかるのちに電磁石として構成され
る吸引磁石を励磁して、搬送パレットを清浄室内で浮上
した状態に保持し、その後清浄室上部の台車を移動させ
て、搬送パレットを浮上させたまま、したがって搬送パ
レットと清浄室内壁との間に摩擦接触を惹起することな
しに、搬送体を移動させる。被搬送物を載置した搬送パ
レットの浮上ギャップは、適当なセンサと制御装置によ
り、被吸引磁極が隔壁に接触しないように制御される。
合には、清浄室の底部に置かれている搬送パレット上に
被搬送物を載置し、しかるのちに電磁石として構成され
る吸引磁石を励磁して、搬送パレットを清浄室内で浮上
した状態に保持し、その後清浄室上部の台車を移動させ
て、搬送パレットを浮上させたまま、したがって搬送パ
レットと清浄室内壁との間に摩擦接触を惹起することな
しに、搬送体を移動させる。被搬送物を載置した搬送パ
レットの浮上ギャップは、適当なセンサと制御装置によ
り、被吸引磁極が隔壁に接触しないように制御される。
［発明の実施例］
第１図は本発明の実施例を示すもので、清浄室１と駆動
室２とから成り、画室の間、従って清浄室１の天井部−
は、プラスチックなどの非磁性体から成る隔壁３として
構成されている。この隔壁３は駆動室２から清浄室１に
塵埃が移動しないようにするためのものである。清浄室
１はクリーンチューブなどと称され、図示しないクリー
ンユニットにより高度の清浄雰囲気に保たれている。
室２とから成り、画室の間、従って清浄室１の天井部−
は、プラスチックなどの非磁性体から成る隔壁３として
構成されている。この隔壁３は駆動室２から清浄室１に
塵埃が移動しないようにするためのものである。清浄室
１はクリーンチューブなどと称され、図示しないクリー
ンユニットにより高度の清浄雰囲気に保たれている。
清浄室１内には、被搬送物４を載置する搬送パレット５
が配置されており、この搬送パレット５には隔壁３に対
面する位置に磁極面を有する被吸引磁極６が固定されて
いる。
が配置されており、この搬送パレット５には隔壁３に対
面する位置に磁極面を有する被吸引磁極６が固定されて
いる。
一方、清浄室ｌの上部室外に相当する駆動室２には、吸
引電磁石７を担持した自走台車８が配置され、走行車輪
９と走行案内軌条１０とにより移動可能にされている。
引電磁石７を担持した自走台車８が配置され、走行車輪
９と走行案内軌条１０とにより移動可能にされている。
１３は近接センサ、１４は電磁石制御装置である。
プかかる構成
において、搬送パレ・ノド５の上に被搬送物４を載置し
、電磁石制御装置１４により電磁石７を励磁すると、電
磁石７は隔壁３を介して被吸引磁極６、従ってこれが固
定された搬送パレ・ノド５を吸引し、清浄室ｌ内で磁気
浮上させる。近接センサ１３は、搬送パレット５の端部
の近接度、すなわち、搬送パレット５の浮上ギャップを
検出するもので、この検出信号を受けた電磁石制御装置
１４は浮上ギャップが設定ギャップに一致するように電
磁石７の吸引力を制御する。搬送パレット５の磁気浮上
が完了すると、自走台車８が駆動され、搬送パレット５
は磁気浮上したままこれに随伴して移動する。自走台車
８への給電は集電器１５により行われる。
プかかる構成
において、搬送パレ・ノド５の上に被搬送物４を載置し
、電磁石制御装置１４により電磁石７を励磁すると、電
磁石７は隔壁３を介して被吸引磁極６、従ってこれが固
定された搬送パレ・ノド５を吸引し、清浄室ｌ内で磁気
浮上させる。近接センサ１３は、搬送パレット５の端部
の近接度、すなわち、搬送パレット５の浮上ギャップを
検出するもので、この検出信号を受けた電磁石制御装置
１４は浮上ギャップが設定ギャップに一致するように電
磁石７の吸引力を制御する。搬送パレット５の磁気浮上
が完了すると、自走台車８が駆動され、搬送パレット５
は磁気浮上したままこれに随伴して移動する。自走台車
８への給電は集電器１５により行われる。
自走台車８の駆動メカニズムは、隔壁３の存在により摩
擦、発塵を伴うものであっても構わず、図示のように天
井走行型のものの他に、重量物の、支持構造に対する配
慮を加えさえすれば、地上走行型のものとしても良い。
擦、発塵を伴うものであっても構わず、図示のように天
井走行型のものの他に、重量物の、支持構造に対する配
慮を加えさえすれば、地上走行型のものとしても良い。
隔壁３はプラスチック製とするのが良いが、非磁性のも
のであれば、金属その他の材料で作っても良い。
のであれば、金属その他の材料で作っても良い。
また、搬送体は図示のものに何ら限られることなく、た
とえば、被吸引磁極が搬送パレット５の上部と一体（あ
るいは兼用）構造になっていても良い。。
とえば、被吸引磁極が搬送パレット５の上部と一体（あ
るいは兼用）構造になっていても良い。。
［発明の効果］
このように、本発明によれば、摩擦、発塵を伴う駆動機
構は隔壁を介して清浄室の外部に置き、搬送体は磁気浮
上したまま移動できるようにしたので、゛清浄室内に塵
埃の発生する確率はきわめて小さくなり、従来方式では
清浄度１０００〜５００クラスが限界であったものを、
クラスＩＯ以下の場合でも対応することができるように
なった。
構は隔壁を介して清浄室の外部に置き、搬送体は磁気浮
上したまま移動できるようにしたので、゛清浄室内に塵
埃の発生する確率はきわめて小さくなり、従来方式では
清浄度１０００〜５００クラスが限界であったものを、
クラスＩＯ以下の場合でも対応することができるように
なった。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の実施例の機器配置図で（イ）は断面を
、（ロ）は側面をそれぞれ一部切り欠いて示しである。
、（ロ）は側面をそれぞれ一部切り欠いて示しである。
Claims (1)
- 高清浄雰囲気に保たれ天井部が非磁性体からなる隔壁と
して形成された清浄室と、被搬送物を載置する搬送パレ
ットおよびこのパレットに固定され前記天井部に対面す
る位置に磁極面を有する被吸引磁極から形成された搬送
体と、前記清浄室の上部室外に移動可能に配置され前記
隔壁を介して前記搬送体の被吸引磁極を吸引する吸引磁
石付の台車とからなることを特徴とする磁気浮上搬送装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59126950A JPS619104A (ja) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | 磁気浮上搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59126950A JPS619104A (ja) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | 磁気浮上搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS619104A true JPS619104A (ja) | 1986-01-16 |
Family
ID=14947904
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59126950A Pending JPS619104A (ja) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | 磁気浮上搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS619104A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01254361A (ja) * | 1988-04-05 | 1989-10-11 | Kobe Steel Ltd | 溶鋼レベルの制御方法 |
| US4882999A (en) * | 1986-12-19 | 1989-11-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Transportation system of a floated-carrier type |
| US5918662A (en) * | 1995-02-28 | 1999-07-06 | Nkk Corporation | Method of controlling the operation of continuous casting and apparatus therefor |
| US10214368B2 (en) | 2015-10-23 | 2019-02-26 | NJM Packaging Inc. | System using magnetic coupling to move a carriage |
| US10421626B2 (en) | 2015-09-24 | 2019-09-24 | Abb Schweiz Ag | Conveying apparatus and transmitting system |
-
1984
- 1984-06-20 JP JP59126950A patent/JPS619104A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4882999A (en) * | 1986-12-19 | 1989-11-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Transportation system of a floated-carrier type |
| US4934279A (en) * | 1986-12-19 | 1990-06-19 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Transportation system of a floated-carrier type |
| JPH01254361A (ja) * | 1988-04-05 | 1989-10-11 | Kobe Steel Ltd | 溶鋼レベルの制御方法 |
| US5918662A (en) * | 1995-02-28 | 1999-07-06 | Nkk Corporation | Method of controlling the operation of continuous casting and apparatus therefor |
| US10421626B2 (en) | 2015-09-24 | 2019-09-24 | Abb Schweiz Ag | Conveying apparatus and transmitting system |
| US10214368B2 (en) | 2015-10-23 | 2019-02-26 | NJM Packaging Inc. | System using magnetic coupling to move a carriage |
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