JPH0245845B2 - - Google Patents
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- JPH0245845B2 JPH0245845B2 JP57177433A JP17743382A JPH0245845B2 JP H0245845 B2 JPH0245845 B2 JP H0245845B2 JP 57177433 A JP57177433 A JP 57177433A JP 17743382 A JP17743382 A JP 17743382A JP H0245845 B2 JPH0245845 B2 JP H0245845B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- extraction
- oscillation frequency
- piezoelectric element
- electrode
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 23
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 20
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 21
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/13—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials
- H03H9/132—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials characterized by a particular shape
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、水晶振動子などの圧電振動子に関す
るものである。
るものである。
［従来の技術とその問題点］
従来、厚みすべり振動を行う水晶振動子は両主
面の中央部に駆動電極が設けてある。この水晶振
動子の発振周波数の調整は、駆動電極上に真空蒸
着により銀などを付加したり、レーザ光線により
駆動電極中央部の電極膜を除去（トリミング）し
たりする方法が採用されていた。
面の中央部に駆動電極が設けてある。この水晶振
動子の発振周波数の調整は、駆動電極上に真空蒸
着により銀などを付加したり、レーザ光線により
駆動電極中央部の電極膜を除去（トリミング）し
たりする方法が採用されていた。
しかしながら付加質量効果による調整は、調整
時の雰囲気を真空としなければならないから作業
性が極めて悪い問題を有している。
時の雰囲気を真空としなければならないから作業
性が極めて悪い問題を有している。
またレーザ光線によるトリミング調整による
と、発振に最も敏感な水晶片の中央部に熱衝撃が
加わるために、熱衝撃による経時変化が避けられ
ない問題を有している。
と、発振に最も敏感な水晶片の中央部に熱衝撃が
加わるために、熱衝撃による経時変化が避けられ
ない問題を有している。
また、従来において、駆動電極を二つに分割し
たものも知られてはいる（例えば、特公昭51−
49386号公報、特開昭57−13806号公報、特開昭54
−157463号公報等）が、これら公知のものは、い
ずれも分割電極からの引出し電極は別々に保持部
材に接続してあり、引出し電極の途中を切断する
ことによつて発振周波数を調整するものではな
い。
たものも知られてはいる（例えば、特公昭51−
49386号公報、特開昭57−13806号公報、特開昭54
−157463号公報等）が、これら公知のものは、い
ずれも分割電極からの引出し電極は別々に保持部
材に接続してあり、引出し電極の途中を切断する
ことによつて発振周波数を調整するものではな
い。
［発明の目的］
本発明は、発振周波数の調整を簡便に行なえて
しかも圧電素子の中央部に熱衝撃を与えず長期間
安定した発振精度を維持できる圧電振動子を提供
することを目的とするものである。
しかも圧電素子の中央部に熱衝撃を与えず長期間
安定した発振精度を維持できる圧電振動子を提供
することを目的とするものである。
［目的を達成するための手段］
上記目的を達成するために、本発明による圧電
振動子は、圧電素子の両主面の中央部に互いに対
向する関係で形成してある１対の駆動電極の少な
くとも一方が、複数の少電極に分割してあり、小
電極のそれぞれからは、圧電素子の外周部に延伸
する引出し電極が互いに分離した状態で１箇所に
集められて形成してある。引出し電極のそれぞれ
は、機械的かつ電気的に圧電素子の外周部で同一
保持部材に接続してあり、引出し電極のいずれか
を途中で切断することによつて、発振周波数が調
整可能である。
振動子は、圧電素子の両主面の中央部に互いに対
向する関係で形成してある１対の駆動電極の少な
くとも一方が、複数の少電極に分割してあり、小
電極のそれぞれからは、圧電素子の外周部に延伸
する引出し電極が互いに分離した状態で１箇所に
集められて形成してある。引出し電極のそれぞれ
は、機械的かつ電気的に圧電素子の外周部で同一
保持部材に接続してあり、引出し電極のいずれか
を途中で切断することによつて、発振周波数が調
整可能である。
［実施例］
以下、本発明の詳細を、添付図面に示す好適な
実施例にそつて説明する。
実施例にそつて説明する。
第１〜２図において、１は圧電振動子である厚
みすべり振動を行う水晶振動子であり、圧電素子
である水晶片２の両主面２ａ，２ｂには、それぞ
れ駆動電極３，４が真空蒸着などの手法により形
成してある。
みすべり振動を行う水晶振動子であり、圧電素子
である水晶片２の両主面２ａ，２ｂには、それぞ
れ駆動電極３，４が真空蒸着などの手法により形
成してある。
一方、主面２ａに形成された駆動電極３は、横
方向のスリツトにより複数の少電極３Ａ，３Ｂ…
３Ｉに分割されている。これらの少電極３Ａ，３
Ｂ…３Ｉには、それぞれ電気的に接続できるよう
に水晶片２の外周端まで導かれた引出し電極３
ａ，３ｂ…３ｉが形成してある。
方向のスリツトにより複数の少電極３Ａ，３Ｂ…
３Ｉに分割されている。これらの少電極３Ａ，３
Ｂ…３Ｉには、それぞれ電気的に接続できるよう
に水晶片２の外周端まで導かれた引出し電極３
ａ，３ｂ…３ｉが形成してある。
水晶片２の他方の主面２ｂに形成された駆動電
極４は、単一の円形電極であり、この駆動電極４
からは引出し電極４ａが外周端まで延出して形成
してある。
極４は、単一の円形電極であり、この駆動電極４
からは引出し電極４ａが外周端まで延出して形成
してある。
引出し電極３ａ，３ｂ…３ｉおよび引出し電極
４ａは、それぞれ反対方向に引き出されており、
水晶片２はこれらの引出し電極の部分で保持部材
（保持バネ）５，６に図示しない導電性接着剤を
介して機械的かつ電気的に接続保持されている。
４ａは、それぞれ反対方向に引き出されており、
水晶片２はこれらの引出し電極の部分で保持部材
（保持バネ）５，６に図示しない導電性接着剤を
介して機械的かつ電気的に接続保持されている。
厚みすべり振動を行う水晶振動子１の発振周波
数は、一般に、 で与えられる。上式において、ｔは水晶片の厚
さ、C66は弾性定数、ρは密度である。
数は、一般に、 で与えられる。上式において、ｔは水晶片の厚
さ、C66は弾性定数、ρは密度である。
いま水晶片の厚さｔを0.42mm＝0.42×10-3ｍと
すると、水晶片の密度ρ＝2.34×103Kg／m3であ
り、引出し電極３ａ，３ｂ…３ｉが全部接続され
た電界一定の場合の弾性定数は、CE 66＝29.326×
109N／m2に近い値をとり、これらを上式に代入
すると、fs1＝3.943MHzとなる。
すると、水晶片の密度ρ＝2.34×103Kg／m3であ
り、引出し電極３ａ，３ｂ…３ｉが全部接続され
た電界一定の場合の弾性定数は、CE 66＝29.326×
109N／m2に近い値をとり、これらを上式に代入
すると、fs1＝3.943MHzとなる。
また、引出し電極３ａ，３ｂ…３ｉが全部切断
された電気変位一定の場合の弾性定数は、CD 66＝
28.967×109N／m2に近い値をとり、これを上式
に代入すると、fs2＝3.968MHzとなる。
された電気変位一定の場合の弾性定数は、CD 66＝
28.967×109N／m2に近い値をとり、これを上式
に代入すると、fs2＝3.968MHzとなる。
すなわち、水晶振動子１は、3.968MHzから
3.943MHzまでの間で第３図示のように発振周波
数の調整が可能である。
3.943MHzまでの間で第３図示のように発振周波
数の調整が可能である。
第４図は、水晶振動子１の発振周波数を調整す
るため引出し電極３ａ，３ｉを切断した状態で示
す。
るため引出し電極３ａ，３ｉを切断した状態で示
す。
この場合は、第１図示の引出し電極が全部接続
された場合より発振周波数は高くなる。引出し電
極を１本切断した場合の発振周波数の変化率は、
予め実験的に測定しておく。そして、引出し電極
を適当に切断することにより、目標の発振周波数
に近づけることができる。
された場合より発振周波数は高くなる。引出し電
極を１本切断した場合の発振周波数の変化率は、
予め実験的に測定しておく。そして、引出し電極
を適当に切断することにより、目標の発振周波数
に近づけることができる。
引出し電極をレーザ光線により切断する場合、
切断は空気中で行うことができる。またレーザ光
線による熱衝撃は、水晶片２の外周部に受けるた
め振動変位の大きい中心部に影響はなく、長期間
に亘つて安定して発振精度を維持することができ
る。
切断は空気中で行うことができる。またレーザ光
線による熱衝撃は、水晶片２の外周部に受けるた
め振動変位の大きい中心部に影響はなく、長期間
に亘つて安定して発振精度を維持することができ
る。
第５図は、本発明の他の実施例を示すものであ
る。
る。
水晶振動子１１は、厚みすべり振動を行う水晶
片１２と、この水晶片の両主面に形成した駆動電
極１３，１４とから構成され、一方の駆動電極１
３は水晶片１２の中央部に同心的に分割して設け
た小電極１３Ａ，１３Ｂ…１３Ｅにより構成され
ている。これらの小電極１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｅ
からは、外周までそれぞれ引出し電極１３ａ，１
３ｂ…１３ｅが延出して形成されている。他方の
駆動電極１４は単一の円形電極であり、他方の外
周まで引出し電極１４ａが延出形成してある。
片１２と、この水晶片の両主面に形成した駆動電
極１３，１４とから構成され、一方の駆動電極１
３は水晶片１２の中央部に同心的に分割して設け
た小電極１３Ａ，１３Ｂ…１３Ｅにより構成され
ている。これらの小電極１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｅ
からは、外周までそれぞれ引出し電極１３ａ，１
３ｂ…１３ｅが延出して形成されている。他方の
駆動電極１４は単一の円形電極であり、他方の外
周まで引出し電極１４ａが延出形成してある。
この水晶振動子１１も、引出し電極１３Ａ，１
３Ｂ…１３Ｅを中途で切断することにより発振周
波数の調整を行うが、切断は引出し電極１３ｅ，
１３ｄ，１３ｃ，１３ｂの順序で行う。このよう
に切断すると、残つた小電極群が円形状となるた
め他面の円形状の駆動電極とのマツチングがよ
く、効率よい励振を行うことができる。
３Ｂ…１３Ｅを中途で切断することにより発振周
波数の調整を行うが、切断は引出し電極１３ｅ，
１３ｄ，１３ｃ，１３ｂの順序で行う。このよう
に切断すると、残つた小電極群が円形状となるた
め他面の円形状の駆動電極とのマツチングがよ
く、効率よい励振を行うことができる。
なお圧電振動子として厚みすべり水晶振動子の
例を示したが、他の振動モード、他の圧電素子を
用いることも可能である。また両方の駆動電極を
ともに複数の小電極に分割することも可能であ
る。
例を示したが、他の振動モード、他の圧電素子を
用いることも可能である。また両方の駆動電極を
ともに複数の小電極に分割することも可能であ
る。
［発明の効果］
本発明の圧電振動子によれば、発振周波数の調
整が圧電素子の外周部に位置する引出し電極の途
中をレーザ光線などにて切断することにより達成
でき、その結果、圧電素子の中央部に熱衝撃を与
えないので発振精度の安定した圧電振動子を提供
することができる。
整が圧電素子の外周部に位置する引出し電極の途
中をレーザ光線などにて切断することにより達成
でき、その結果、圧電素子の中央部に熱衝撃を与
えないので発振精度の安定した圧電振動子を提供
することができる。
第１図は本発明による圧電振動子の一実施例の
正面図、第２図はその背面図、第３図は発振周波
数の変化を示す特性図、第４図は発振周波数を調
整した後の状態の正面図、第５図は他の実施例の
正面図である。 ２，１２……圧電素子（水晶片）、３，４，１
３，１４……駆動電極、３Ａ〜３Ｅ，１３Ａ〜１
３Ｅ……小電極、３ａ〜３ｅ，１３ａ〜１３ｅ…
…小電極の引出し電極、４ａ，４ｂ……円形電極
の引出し電極、５，６……保持部材。
正面図、第２図はその背面図、第３図は発振周波
数の変化を示す特性図、第４図は発振周波数を調
整した後の状態の正面図、第５図は他の実施例の
正面図である。 ２，１２……圧電素子（水晶片）、３，４，１
３，１４……駆動電極、３Ａ〜３Ｅ，１３Ａ〜１
３Ｅ……小電極、３ａ〜３ｅ，１３ａ〜１３ｅ…
…小電極の引出し電極、４ａ，４ｂ……円形電極
の引出し電極、５，６……保持部材。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 圧電素子の両主面の中央部に互いに対向する
関係で形成してある１対の駆動電極の少なくとも
一方が、複数の少電極に分割してあり、 上記小電極のそれぞれからは、上記圧電素子の
外周部に延伸する引出し電極が互いに分離した状
態で１箇所に集められて形成してあり、 上記引出し電極のそれぞれは、機械的かつ電気
的に上記圧電素子の外周部で同一保持部材に接続
してあり、 上記引出し電極のいずれかを途中で切断するこ
とによつて、発振周波数が調整可能である ことを特徴とする圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17743382A JPS5967709A (ja) | 1982-10-08 | 1982-10-08 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17743382A JPS5967709A (ja) | 1982-10-08 | 1982-10-08 | 圧電振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5967709A JPS5967709A (ja) | 1984-04-17 |
| JPH0245845B2 true JPH0245845B2 (ja) | 1990-10-12 |
Family
ID=16030852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17743382A Granted JPS5967709A (ja) | 1982-10-08 | 1982-10-08 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5967709A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6118628U (ja) * | 1984-07-04 | 1986-02-03 | 株式会社村田製作所 | 圧電振動部品 |
| JP2549491Y2 (ja) * | 1991-02-25 | 1997-09-30 | トヨタ自動車株式会社 | 内燃機関のピストン冷却装置 |
| JP4513150B2 (ja) * | 2000-01-07 | 2010-07-28 | エプソントヨコム株式会社 | 高周波圧電振動子 |
| JP6036828B2 (ja) * | 2012-08-10 | 2016-11-30 | 富士通株式会社 | Ｑｃｍセンサとその製造方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5149386A (ja) * | 1974-10-28 | 1976-04-28 | Hitachi Ltd | Shuchukanshiseigyohoho |
| JPS53147494A (en) * | 1977-05-27 | 1978-12-22 | Kinsekisha Lab Ltd | Piezooelectric resonator and method of regulating frequency of same |
| JPS54157493A (en) * | 1978-06-01 | 1979-12-12 | Seikosha Kk | Piezooelectric vibrator |
| JPS5713806A (en) * | 1980-06-27 | 1982-01-23 | Hitachi Ltd | Piezoelectric oscillator |
-
1982
- 1982-10-08 JP JP17743382A patent/JPS5967709A/ja active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5149386A (ja) * | 1974-10-28 | 1976-04-28 | Hitachi Ltd | Shuchukanshiseigyohoho |
| JPS53147494A (en) * | 1977-05-27 | 1978-12-22 | Kinsekisha Lab Ltd | Piezooelectric resonator and method of regulating frequency of same |
| JPS54157493A (en) * | 1978-06-01 | 1979-12-12 | Seikosha Kk | Piezooelectric vibrator |
| JPS5713806A (en) * | 1980-06-27 | 1982-01-23 | Hitachi Ltd | Piezoelectric oscillator |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5967709A (ja) | 1984-04-17 |
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