JPS5923223A - 振動センサ - Google Patents
振動センサInfo
- Publication number
- JPS5923223A JPS5923223A JP57132732A JP13273282A JPS5923223A JP S5923223 A JPS5923223 A JP S5923223A JP 57132732 A JP57132732 A JP 57132732A JP 13273282 A JP13273282 A JP 13273282A JP S5923223 A JPS5923223 A JP S5923223A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrator
- vibration
- vibration sensor
- adhesive
- stuck
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims abstract description 12
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 11
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 claims description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 2
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 abstract description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 3
- 239000011888 foil Substances 0.000 abstract description 2
- 238000003763 carbonization Methods 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 abstract 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H11/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties
- G01H11/06—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by electric means
- G01H11/08—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by electric means using piezoelectric devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H13/00—Measuring resonant frequency
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/30—Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
- H10N30/302—Sensors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は振動物体における弾性振動全検出するのに適し
た共振型振動センサ、特に所定の周波数について検出感
度の優れた共振型振動センサに関するものである。
た共振型振動センサ、特に所定の周波数について検出感
度の優れた共振型振動センサに関するものである。
従来、振動物体における弾性振動全検出するセンサとし
て、振動物体の固有振動数に共振周波数を含わぜた屈曲
振動モードの片持ちはり構造の矩形状バイモルフ圧電振
動子がよく知られている。
て、振動物体の固有振動数に共振周波数を含わぜた屈曲
振動モードの片持ちはり構造の矩形状バイモルフ圧電振
動子がよく知られている。
しかしながら、機械的に、あるいは温度変化なとによっ
て発生する応力により、支持部にずれが生じ、安定な共
振周波数が得られないという欠点を有していた。ところ
が、貼９合わせ圧電振動子中にレーザ加工機等の溶融切
断手段で所定の周波数に共振を有する屈曲振動子を作製
し、この屈曲振動子の周辺を支持固定することによって
安定な共振周波数金有する共振型振動センサが得られる
。
て発生する応力により、支持部にずれが生じ、安定な共
振周波数が得られないという欠点を有していた。ところ
が、貼９合わせ圧電振動子中にレーザ加工機等の溶融切
断手段で所定の周波数に共振を有する屈曲振動子を作製
し、この屈曲振動子の周辺を支持固定することによって
安定な共振周波数金有する共振型振動センサが得られる
。
しかし、貼り合わせ圧電振動子の接着には、これまで有
機系接着剤特にエポキシ系接着剤が用いらｔＦ用い７ れていたが、レーザ加工機←す今特溶融させて切削する
と有機系接着剤は炭化し、屈曲振動子の出力取り出し用
電極間を短絡させてしまうという問題がある。
機系接着剤特にエポキシ系接着剤が用いらｔＦ用い７ れていたが、レーザ加工機←す今特溶融させて切削する
と有機系接着剤は炭化し、屈曲振動子の出力取り出し用
電極間を短絡させてしまうという問題がある。
本発明はこのような共振型振動センサの問題点を解決せ
んとするものであシ、複数枚の板状圧電素子全無機接着
剤で接着した貼９合わせ圧電振動子中に屈曲振動モード
の振動子を溶融切断して、安定に弾性振動を検出できる
振動センサ全提供することを目的としている。
んとするものであシ、複数枚の板状圧電素子全無機接着
剤で接着した貼９合わせ圧電振動子中に屈曲振動モード
の振動子を溶融切断して、安定に弾性振動を検出できる
振動センサ全提供することを目的としている。
す、下、本発明の一実施例ｋｌＥ而を用いて詳細に説明
する。図は、本発明にかかる振動を検知する屈曲振動モ
ードの振動子を、厚さ方向に分極軸を有する円板状圧電
素子二枚を貼り合わせた圧電振動子中に局在さゼた構造
・２示している。なお、第１図は上面図、第２図は縦断
面図、第３図は底面図である。
する。図は、本発明にかかる振動を検知する屈曲振動モ
ードの振動子を、厚さ方向に分極軸を有する円板状圧電
素子二枚を貼り合わせた圧電振動子中に局在さゼた構造
・２示している。なお、第１図は上面図、第２図は縦断
面図、第３図は底面図である。
円板状圧電素子１．２を、それぞれの電極１ａ。
２ａで電気的に導通するように、十分に薄い無機接着剤
層３で接着されており、さらにこの貼り合わせ圧電振動
子をレーザ加工機によりコ字状に切断されて、スリット
４が設けられている。そして、電極１ｂ、２ｂにはそれ
ぞれリード線５．６が接続されている。この貼り合わせ
原電振動子の、スリット４の周辺から外周捷での部分を
被支持部とすれば、スリット４で囲まれた部分が屈曲振
動モードのいわゆるハ持ちはり型振動子として機能する
。振動によって発生する出力電圧は、前記貼り合わゼ圧
電振動子の」ユニ面電極１ｂ、２ｂ間に得られ、リード
線５．６間から取り出される。共振周波数Ｆｒ は振動
部の板厚ｉＴ、スリット４で囲まれた部分の長平方向の
長き”ｋｌとすれば、ＦｒはＴ／β２比例するので、こ
れら寸法Ｔ、βにより所定の値に設定できる。
層３で接着されており、さらにこの貼り合わせ圧電振動
子をレーザ加工機によりコ字状に切断されて、スリット
４が設けられている。そして、電極１ｂ、２ｂにはそれ
ぞれリード線５．６が接続されている。この貼り合わせ
原電振動子の、スリット４の周辺から外周捷での部分を
被支持部とすれば、スリット４で囲まれた部分が屈曲振
動モードのいわゆるハ持ちはり型振動子として機能する
。振動によって発生する出力電圧は、前記貼り合わゼ圧
電振動子の」ユニ面電極１ｂ、２ｂ間に得られ、リード
線５．６間から取り出される。共振周波数Ｆｒ は振動
部の板厚ｉＴ、スリット４で囲まれた部分の長平方向の
長き”ｋｌとすれば、ＦｒはＴ／β２比例するので、こ
れら寸法Ｔ、βにより所定の値に設定できる。
このように貼り合わせ圧電振動子中に屈曲振動モードの
振動子を局在させることにより、貼り合わせ圧電振動子
の支持固定する部分の変化に対して、屈曲振動子の共振
周波数変化は少なく、安定である。しかし、円板状圧電
素子を有機性接着剤で接着した場合、有機性接着剤はレ
ーザ光の照射によって炭化し、スリットの内壁面に付着
して、貼り合わせ面側の電極と外側の電極とを短絡ζぜ
てしまうおそれがきわめて太きい。
振動子を局在させることにより、貼り合わせ圧電振動子
の支持固定する部分の変化に対して、屈曲振動子の共振
周波数変化は少なく、安定である。しかし、円板状圧電
素子を有機性接着剤で接着した場合、有機性接着剤はレ
ーザ光の照射によって炭化し、スリットの内壁面に付着
して、貼り合わせ面側の電極と外側の電極とを短絡ζぜ
てしまうおそれがきわめて太きい。
板状圧電素子の貼り合わせに使用する無機性接着剤とし
てはたとえばガラス性の接着剤がある。
てはたとえばガラス性の接着剤がある。
これは溶融状態になっても有機物接着剤のように炭化す
ることがなく、円板状圧電素子電極間の短絡が起こらな
い。ｉ ｆｔ、ガラスに代えてハンダの薄い箔を使用し
て電極開音／・ンダ伺けしたり、あるいは接着物の一方
をＡｕ蒸着電極、他方をＡｕ表面にＳｉ ｆ）蒸着した
電極としておけば数百度の温度でＡｕとＳｌの共晶接着
をしたりしても、同じ効果を得ることができる。
ることがなく、円板状圧電素子電極間の短絡が起こらな
い。ｉ ｆｔ、ガラスに代えてハンダの薄い箔を使用し
て電極開音／・ンダ伺けしたり、あるいは接着物の一方
をＡｕ蒸着電極、他方をＡｕ表面にＳｉ ｆ）蒸着した
電極としておけば数百度の温度でＡｕとＳｌの共晶接着
をしたりしても、同じ効果を得ることができる。
以上の説明からも明らかなように、本発明によれば貼り
合わせ圧電振動子中に屈曲振動モードの振動子を溶融切
断加工することが可能となり、屈曲振動子の共振周波数
を安定させることができる。
合わせ圧電振動子中に屈曲振動モードの振動子を溶融切
断加工することが可能となり、屈曲振動子の共振周波数
を安定させることができる。
第１図は本発明の一実施例の振動センサの上面図、第２
図はその断面図、第３図はその底面図である。 １ 、２−−−−板状圧電素子、１ａ、１ｂ、２ａ。 ２ｂ・・・・・・電極、３・・・・・・接着剤層、４・
・・・・・スリット。 代ｆ１１！人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１
名第１図 第３図
図はその断面図、第３図はその底面図である。 １ 、２−−−−板状圧電素子、１ａ、１ｂ、２ａ。 ２ｂ・・・・・・電極、３・・・・・・接着剤層、４・
・・・・・スリット。 代ｆ１１！人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１
名第１図 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 狡 （１）厚さ方向に分極軸を有する複数榛の板状圧電素子
を無機接着材で貼シ合わせた構造の圧電振動子中に、溶
融切断して所定周波数に共振を有する屈曲振動モードの
屈曲振動子を局在させたことを特徴とする振動センサ。 （２）板状圧電素子の貼シ合わゼにハンダ、またはＡｕ
とＳｌの共晶接着を用いたことを特徴とする特３′Ｆ請
求の範囲第１項記載の振動センサ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57132732A JPS5923223A (ja) | 1982-07-28 | 1982-07-28 | 振動センサ |
| EP83107244A EP0100501B1 (en) | 1982-07-28 | 1983-07-23 | Vibration sensor |
| DE8383107244T DE3379175D1 (en) | 1982-07-28 | 1983-07-23 | Vibration sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57132732A JPS5923223A (ja) | 1982-07-28 | 1982-07-28 | 振動センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5923223A true JPS5923223A (ja) | 1984-02-06 |
| JPH0131578B2 JPH0131578B2 (ja) | 1989-06-27 |
Family
ID=15088293
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57132732A Granted JPS5923223A (ja) | 1982-07-28 | 1982-07-28 | 振動センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5923223A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3930314A1 (de) * | 1988-09-09 | 1990-03-22 | Nissan Motor | Piezoelektrischer sensor zur ueberwachung einer kinetischen bewegungsgroesse |
| US5053671A (en) * | 1987-11-16 | 1991-10-01 | Nissan Motor Company, Limited | Piezoelectric sensor for monitoring kinetic momentum |
| CN111678664A (zh) * | 2020-04-22 | 2020-09-18 | 中建深圳装饰有限公司 | 一种基于振动分析的幕墙板块脱落风险判别方法 |
-
1982
- 1982-07-28 JP JP57132732A patent/JPS5923223A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5053671A (en) * | 1987-11-16 | 1991-10-01 | Nissan Motor Company, Limited | Piezoelectric sensor for monitoring kinetic momentum |
| DE3930314A1 (de) * | 1988-09-09 | 1990-03-22 | Nissan Motor | Piezoelektrischer sensor zur ueberwachung einer kinetischen bewegungsgroesse |
| CN111678664A (zh) * | 2020-04-22 | 2020-09-18 | 中建深圳装饰有限公司 | 一种基于振动分析的幕墙板块脱落风险判别方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0131578B2 (ja) | 1989-06-27 |
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