JPH02307019A - フローセンサ - Google Patents
フローセンサInfo
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- JPH02307019A JPH02307019A JP1128487A JP12848789A JPH02307019A JP H02307019 A JPH02307019 A JP H02307019A JP 1128487 A JP1128487 A JP 1128487A JP 12848789 A JP12848789 A JP 12848789A JP H02307019 A JPH02307019 A JP H02307019A
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Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野〕
本発明は、熱式質量流量計や風速計などに用いられるフ
ローセンサに関する。
ローセンサに関する。
上記フローセンサとしては、例えば11開昭63−13
5866号公報に示されるように、ガラス基板上に白金
よりなる2個の測温抵抗体を互いに熱絶縁した状態で設
けるとともに、一方の測温抵抗体の近傍に当該測温抵抗
体を加熱するためのヒータを設、し・°−ものがある。
5866号公報に示されるように、ガラス基板上に白金
よりなる2個の測温抵抗体を互いに熱絶縁した状態で設
けるとともに、一方の測温抵抗体の近傍に当該測温抵抗
体を加熱するためのヒータを設、し・°−ものがある。
〔発明が解決しようとする課題]
しかしながら、上記公報に記載のフローセンサにおいて
は次のような欠点がある。
は次のような欠点がある。
先ず、白金は通常、ガラス基板Eに直[妾固着し難いと
ころから、ガラス基板の表面をアルミナコーティングし
た後、その上面に白金膜を形成し、これをパターニング
するのである。この場合、10μm程度の微細加工を行
う必要があるが、加工精度の観点からリフトオフ法は採
用できず、エツチング法によってパターニングを行う必
要がある。
ころから、ガラス基板の表面をアルミナコーティングし
た後、その上面に白金膜を形成し、これをパターニング
するのである。この場合、10μm程度の微細加工を行
う必要があるが、加工精度の観点からリフトオフ法は採
用できず、エツチング法によってパターニングを行う必
要がある。
そして、白金をエンチングするには、HN OyとHC
lとの混合溶液によっていわゆるウェットエツチングす
るか、あるいは、CF、と0□との混合ガスによってい
わゆるドライエツチングを行うかの何れかであるが、い
ずれの場合も強力であるため、ガラス基板上に他の金属
によるパターンが形成しであるような場合、このパター
ンもエツチングされてしまい、白金のみを選択的にエツ
チングすることが困難であるため、真空蒸着やスパッタ
リングしなければならないが、白金を真空蒸着するには
高価な電子銃が必要であり、また、白金をスパッタリン
グした場合、膜厚の分布が大きいといった問題点がある
。
lとの混合溶液によっていわゆるウェットエツチングす
るか、あるいは、CF、と0□との混合ガスによってい
わゆるドライエツチングを行うかの何れかであるが、い
ずれの場合も強力であるため、ガラス基板上に他の金属
によるパターンが形成しであるような場合、このパター
ンもエツチングされてしまい、白金のみを選択的にエツ
チングすることが困難であるため、真空蒸着やスパッタ
リングしなければならないが、白金を真空蒸着するには
高価な電子銃が必要であり、また、白金をスパッタリン
グした場合、膜厚の分布が大きいといった問題点がある
。
そして、上記白金はいわゆる水素雰囲気脆性があるため
、測温抵抗体を白金で形成したフローセンサを水素が存
在する雰囲気において使用することができず、従って、
上記公報に記載されたフローセンサは、その用途が限定
されていた。
、測温抵抗体を白金で形成したフローセンサを水素が存
在する雰囲気において使用することができず、従って、
上記公報に記載されたフローセンサは、その用途が限定
されていた。
また、上記従来のフローセンサにおいては、ガラス基板
上に設けられている測温抵抗体、ヒータ、金i薄膜より
なる配線部、信号取り出し用のワイヤーなど電気的エレ
メントが外部に露出した状態で設けてあり、従って、ミ
スト雰囲気や多湿雰囲気において使用した場合、ショー
トするおそれがあり、特に、使用する雰囲気が酷いとき
には金属薄膜が剥がれることがあるなど、耐候性が良く
なかった。
上に設けられている測温抵抗体、ヒータ、金i薄膜より
なる配線部、信号取り出し用のワイヤーなど電気的エレ
メントが外部に露出した状態で設けてあり、従って、ミ
スト雰囲気や多湿雰囲気において使用した場合、ショー
トするおそれがあり、特に、使用する雰囲気が酷いとき
には金属薄膜が剥がれることがあるなど、耐候性が良く
なかった。
さらに、上記フローセンサは、信号を処理する本体装置
側とは電気的およびi械的に一体的に構成されているた
め、センサ部分が破tMした場合、本体装置毎取り替え
る必要があったり、また、必要箇所だけ取り替えること
ができたとしても、フローセンサを本体装置とともに校
正しなおす必要があり、その修復においてコストが嵩ん
だり、校正に多大の時間が必要であった。
側とは電気的およびi械的に一体的に構成されているた
め、センサ部分が破tMした場合、本体装置毎取り替え
る必要があったり、また、必要箇所だけ取り替えること
ができたとしても、フローセンサを本体装置とともに校
正しなおす必要があり、その修復においてコストが嵩ん
だり、校正に多大の時間が必要であった。
本発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その
目的とするところは、安価でしかも容易に製作すること
ができ、しかも、優れた耐候性を備えるとともに、故障
などが生しても取替えを簡単に行うことができるフロー
センサを提供することにある。
目的とするところは、安価でしかも容易に製作すること
ができ、しかも、優れた耐候性を備えるとともに、故障
などが生しても取替えを簡単に行うことができるフロー
センサを提供することにある。
上述の目的を達成するため、本発明に係るフローセンサ
は、以下のように構成しである。
は、以下のように構成しである。
第1の発明は、基板上に設けられるfjl11温抵抗体
をアルミニウムで形成したことを特徴とする。
をアルミニウムで形成したことを特徴とする。
第2の発明は、前記測温抵抗体を含む電気的エレメント
を保護膜で被覆したことを特徴とする。
を保護膜で被覆したことを特徴とする。
第3の発明は、基板上に2つの測温抵抗体を互に熱絶縁
した状態で設けるとともに、信号を処理する本体装置側
と電気的および機械的に接続・分離自在に構成したこと
を特徴とする。
した状態で設けるとともに、信号を処理する本体装置側
と電気的および機械的に接続・分離自在に構成したこと
を特徴とする。
(作用)
上記第1の発明によれば、アルミニウムはガラス基板に
対しても膜付けすることが容易であるから、フローセン
サの製作が容易であり、しかも、安価に製作することが
できる。また アルミニウムは水素雰囲気脆性がないの
で、フローセンサの用途が限定されるといったこともな
いゆ上記第2の発明によれば、測温抵抗体を含む電気的
エレメントが保護膜で被覆されているので、耐候性が向
上し、寿命が長い丈夫なフローセンサが得られる。
対しても膜付けすることが容易であるから、フローセン
サの製作が容易であり、しかも、安価に製作することが
できる。また アルミニウムは水素雰囲気脆性がないの
で、フローセンサの用途が限定されるといったこともな
いゆ上記第2の発明によれば、測温抵抗体を含む電気的
エレメントが保護膜で被覆されているので、耐候性が向
上し、寿命が長い丈夫なフローセンサが得られる。
上記第3の発明によれば、測温抵抗体などの電気的エレ
メントが故障した場合、センサ部のみを取り替えるだけ
で良く、また、センサ部のみ校正をすれば良いので、取
替え時の校正を簡単に行うことができる。
メントが故障した場合、センサ部のみを取り替えるだけ
で良く、また、センサ部のみ校正をすれば良いので、取
替え時の校正を簡単に行うことができる。
以下、本発明の実施例を図面を参照しながら説明する。
第1図は本発明に係るフローセンサを用いた熱式質量流
量計の構成を概略的に示すもので、この図において、l
はセンサ部、2は本体装置で、両者1.2は例えばプラ
グインコネクタなどの接続装置3により電気的および機
械的に接続・分離自在に構成しである。
量計の構成を概略的に示すもので、この図において、l
はセンサ部、2は本体装置で、両者1.2は例えばプラ
グインコネクタなどの接続装置3により電気的および機
械的に接続・分離自在に構成しである。
前記センサ部1は、第2図および第3図の構成図および
第4図の電気回路図に示すように、センサチップ部4と
プリント基板部5とからなり、両者・1,5は機械的に
一体的に構成されている。
第4図の電気回路図に示すように、センサチップ部4と
プリント基板部5とからなり、両者・1,5は機械的に
一体的に構成されている。
そして、センサチップ部4は次のように構成されている
。すなわち、第2図および第3図において、6は例えば
パイレックス(商標名)ガラスなどのように耐熱性を有
する絶縁基板としてのガラス基板で、その上面には適宜
の距離をおいて互いに熱絶縁された状態に2つの測温抵
抗体7,8と、一方の(図示例では、プリント基板部5
からより遠く離れたところに位置する)測温抵抗体7の
近傍に測温抵抗体7を加熱するためのヒータ9と、引出
し部分としての複数のボンディングバット部IO・・・
と、前記電気的エレメント6〜lO・・・間を電気的に
適宜接続する配線部11・・・とが設けである。
。すなわち、第2図および第3図において、6は例えば
パイレックス(商標名)ガラスなどのように耐熱性を有
する絶縁基板としてのガラス基板で、その上面には適宜
の距離をおいて互いに熱絶縁された状態に2つの測温抵
抗体7,8と、一方の(図示例では、プリント基板部5
からより遠く離れたところに位置する)測温抵抗体7の
近傍に測温抵抗体7を加熱するためのヒータ9と、引出
し部分としての複数のボンディングバット部IO・・・
と、前記電気的エレメント6〜lO・・・間を電気的に
適宜接続する配線部11・・・とが設けである。
上記センサチップ部4は、例えば以下のような工程を経
て形成される。
て形成される。
■ 先ず、予め洗浄されたガラス基板6を、例えばエポ
キシ樹脂系接着剤によって、プリント基板部50!Jの
プリント基板12の一端に固着し、ガラス基板6の上面
の所定位置にニクロム線を固着してヒータ9を形成する
。
キシ樹脂系接着剤によって、プリント基板部50!Jの
プリント基板12の一端に固着し、ガラス基板6の上面
の所定位置にニクロム線を固着してヒータ9を形成する
。
■ 次に、前記ガラス基板6のヒータ9を形成した面全
体を、ボンディングバット部lO・・・となる部分を除
いて、アルミニウムを用いて抵抗加熱の真空蒸着するこ
とにより、アルミニウムよりなる膜を形成する。なお、
前記ボンディングバット部IO・・・となる部分および
プリント基板12は適宜マスキングされる。また、この
工程により、ヒータ9は前記膜によって一時的に被覆さ
れる。
体を、ボンディングバット部lO・・・となる部分を除
いて、アルミニウムを用いて抵抗加熱の真空蒸着するこ
とにより、アルミニウムよりなる膜を形成する。なお、
前記ボンディングバット部IO・・・となる部分および
プリント基板12は適宜マスキングされる。また、この
工程により、ヒータ9は前記膜によって一時的に被覆さ
れる。
■ そして、測温抵抗体7,8および配線部11・・・
など残しておきたい部分をマスキングした状態で、H,
PO,とHNO,とCH,C0OHとの混合液によって
前記膜を選択的にエツチングする。この選択的なエンチ
ングによって、ガラス基板6上には、アルミニウムより
なる測温抵抗体7,8、ニクロム線よりなるヒータ9お
よびアルミニウムよりなる配線部11・・・が形成され
る。なお、配線部II・・・は、通電容量の関係上、測
温抵抗体7,8よりもやや太めになるように形成するの
がよい。
など残しておきたい部分をマスキングした状態で、H,
PO,とHNO,とCH,C0OHとの混合液によって
前記膜を選択的にエツチングする。この選択的なエンチ
ングによって、ガラス基板6上には、アルミニウムより
なる測温抵抗体7,8、ニクロム線よりなるヒータ9お
よびアルミニウムよりなる配線部11・・・が形成され
る。なお、配線部II・・・は、通電容量の関係上、測
温抵抗体7,8よりもやや太めになるように形成するの
がよい。
■ 次に、ガラス基板6の上面全部を、ポリイミド樹脂
などによってパフシベーシランを行い、例えば2μm程
度の厚みの保51111913を形成する。
などによってパフシベーシランを行い、例えば2μm程
度の厚みの保51111913を形成する。
■ さらに、前記ボンディングバット部IO・・・とな
る部分を覆っている保護膜13を、フォトリソグラフィ
によって除去し、この部分に、金(Au)を用いてスパ
ッタリングまたは真空蒸着によって複数のボンディング
バット部10・・・を形成する。
る部分を覆っている保護膜13を、フォトリソグラフィ
によって除去し、この部分に、金(Au)を用いてスパ
ッタリングまたは真空蒸着によって複数のボンディング
バット部10・・・を形成する。
■ そして、上記ボンディングパント部IO・・・とプ
リント基板部12に印刷などの手法によって形成された
リード部分14・・・とを、金またはアルミニウムより
なるワイヤー15・・・によって適宜接続し、これらの
接続部分(第4図において仮想線16で囲まれた部分)
をシリコン樹脂またはエポキシ樹脂などによってモール
ドして、例えば2−程度の厚みの保護膜17を形成する
。
リント基板部12に印刷などの手法によって形成された
リード部分14・・・とを、金またはアルミニウムより
なるワイヤー15・・・によって適宜接続し、これらの
接続部分(第4図において仮想線16で囲まれた部分)
をシリコン樹脂またはエポキシ樹脂などによってモール
ドして、例えば2−程度の厚みの保護膜17を形成する
。
以上■〜■までの工程によって、測温抵抗体7゜8測温
抵抗体を含む電気的エレメントの全てを保護11113
.17で被覆することができる。
抵抗体を含む電気的エレメントの全てを保護11113
.17で被覆することができる。
ここで、再び第1図に戻り、この図において、18はゼ
ロ点調整部、19はスパン調整部である。また、20は
110.21はCPU、22は流量表示部、23は流量
外部出力部、24は電源である。
ロ点調整部、19はスパン調整部である。また、20は
110.21はCPU、22は流量表示部、23は流量
外部出力部、24は電源である。
而して、接続装置3を介してセンサ部1を本体装置2と
接続することにより、センサ部1に対しては電源24か
ら所定の電圧・電流が供給される一方、センサ部lから
の信号がl1020を介してCPU21に入力される。
接続することにより、センサ部1に対しては電源24か
ら所定の電圧・電流が供給される一方、センサ部lから
の信号がl1020を介してCPU21に入力される。
従って、CPIJ21において前記信号を処理すること
により演算結果として流量が求められ、この演算結果は
流量表示部22または流量外部出力部23に出力される
。
により演算結果として流量が求められ、この演算結果は
流量表示部22または流量外部出力部23に出力される
。
また、第4図において、25.26.27は前記測温抵
抗体7.8とともにブリッジ回路を構成するブリッジ抵
抗で、特に、抵抗27はゼロ点調整用ポリウムである。
抗体7.8とともにブリッジ回路を構成するブリッジ抵
抗で、特に、抵抗27はゼロ点調整用ポリウムである。
また、28は基準電圧入力端子、29はスパン調整用ボ
リウムである。
リウムである。
上記構成のフローセンサにおいては、アルミニウムはガ
ラス基板6に対しても膜付けすることが容易であり、ま
た、高価な装置を用いる必要がなく、しかも、選択的に
エツチングすることができるから、フローセンサの製作
が容易であり、しかも、安価に製作することができる。
ラス基板6に対しても膜付けすることが容易であり、ま
た、高価な装置を用いる必要がなく、しかも、選択的に
エツチングすることができるから、フローセンサの製作
が容易であり、しかも、安価に製作することができる。
また、アルミニウムは水素雰囲気脆性がないので、フロ
ーセンサの用途が限定されるといったこともない。
ーセンサの用途が限定されるといったこともない。
そして、F記構成のフローセンサにおいては、側温抵抗
体7,8を含む電気的エレメント9.10・・・、 1
1・・・、 15が保護膜13.17で被覆されている
ので、フローセンサの耐候性が向上し、その寿命が長く
なる。
体7,8を含む電気的エレメント9.10・・・、 1
1・・・、 15が保護膜13.17で被覆されている
ので、フローセンサの耐候性が向上し、その寿命が長く
なる。
また、上記構成のフローセンサにおいては、測温抵抗体
7,8などを設けたセンサ部1が本体袋′It2に対し
て、電気的および機械的に接続・分離自在であるから、
センサ部1の電気的エレメント7〜9.lO・・・、
11・・・、 15などが破損した場合には、センサ部
1のみを取り替えるだけで良く、また、センサ部lのみ
校正をすれば良いので、取替え時の校正を簡単に行うこ
とができる。
7,8などを設けたセンサ部1が本体袋′It2に対し
て、電気的および機械的に接続・分離自在であるから、
センサ部1の電気的エレメント7〜9.lO・・・、
11・・・、 15などが破損した場合には、センサ部
1のみを取り替えるだけで良く、また、センサ部lのみ
校正をすれば良いので、取替え時の校正を簡単に行うこ
とができる。
本発明は上記実施例に限られるものではなく、例えばガ
ラス基板6に代えて他の耐熱性絶縁基板を用いても良い
、保護膜13の材料として、上記ポリイミド樹脂の他、
例えばSiO□やSiNを用いてもよい。また、保護膜
13.17の値は任意に設定することができる。
ラス基板6に代えて他の耐熱性絶縁基板を用いても良い
、保護膜13の材料として、上記ポリイミド樹脂の他、
例えばSiO□やSiNを用いてもよい。また、保護膜
13.17の値は任意に設定することができる。
なお、上記実施例では、センサ部lにおける構成として
、側温抵抗体7,8をアルミニラムチ形成するとともに
、これら測温抵抗体7.8を含む電気的エレメント9.
10・・・、 11・・・、 15を保護11213゜
17で被覆しているが、このようにする必要はなく、測
温抵抗体7,8をアルミニウムで形成するだけで、水素
雰囲気脆性がない用途が限定されない優れたフローセン
サを容易かつ安価に製作することができる。また、測温
抵抗体7.8をアルミニウムで形成せずに測温抵抗体7
,8を含む電気的エレメント9.lO・・・、 11・
・・、 15を保護膜13□17で被覆するだけでフロ
ーセンサの耐候性が向上される。
、側温抵抗体7,8をアルミニラムチ形成するとともに
、これら測温抵抗体7.8を含む電気的エレメント9.
10・・・、 11・・・、 15を保護11213゜
17で被覆しているが、このようにする必要はなく、測
温抵抗体7,8をアルミニウムで形成するだけで、水素
雰囲気脆性がない用途が限定されない優れたフローセン
サを容易かつ安価に製作することができる。また、測温
抵抗体7.8をアルミニウムで形成せずに測温抵抗体7
,8を含む電気的エレメント9.lO・・・、 11・
・・、 15を保護膜13□17で被覆するだけでフロ
ーセンサの耐候性が向上される。
そして、測温抵抗体7.8をアルミニウムで形成すると
ともに、これら測温抵抗体7.8を含む電気的エレメン
ト9.10・・・、 11・・・、15を保jl!11
113゜17で被覆すれば、相乗的な効果が発揮される
ことは云うまでもない。
ともに、これら測温抵抗体7.8を含む電気的エレメン
ト9.10・・・、 11・・・、15を保jl!11
113゜17で被覆すれば、相乗的な効果が発揮される
ことは云うまでもない。
以上説明したように、本発明によれば次のような効果を
奏する。
奏する。
請求項(1)に記載した発明によれば、フローセンサの
製作が容易であり、しかも、安価に製作することができ
る。また、フローセンサの用途が限定されるといったこ
ともない。
製作が容易であり、しかも、安価に製作することができ
る。また、フローセンサの用途が限定されるといったこ
ともない。
請求項(2)に記載した発明によれば、耐候性が向上し
、寿命が長い丈夫なフローセンサが得られる。
、寿命が長い丈夫なフローセンサが得られる。
請求項(3)に記載した発明によれば、測温抵抗体など
電気的エレメントが故障したような場合、センサ部のみ
を取り替えるだけで良く、また、センサ部のみ校正をす
れば良いので、取替え時の校正を節単に行うことができ
る。
電気的エレメントが故障したような場合、センサ部のみ
を取り替えるだけで良く、また、センサ部のみ校正をす
れば良いので、取替え時の校正を節単に行うことができ
る。
第1図〜第4図は本発明の一実施例を示し、第1図は本
発明に係るフローセンサを用いた熱式質量流量計の構成
を概略的に示す図、第2図は保護膜を除いて示したセン
サ部の要部平面図、第3図はセンサ部の要部を示す縦断
面図、第4図はセンサ部の回路構成を示す図である。 2・・・本体装置、6・・・基板、7.8・・・測温抵
抗体、9・・・ヒータ、lO・・・ボンディングバット
部、11・・・配線部、13・・・保護膜、15・・・
ワイヤー、17・・・保護膜。 第1図 2・・・本体袋1
発明に係るフローセンサを用いた熱式質量流量計の構成
を概略的に示す図、第2図は保護膜を除いて示したセン
サ部の要部平面図、第3図はセンサ部の要部を示す縦断
面図、第4図はセンサ部の回路構成を示す図である。 2・・・本体装置、6・・・基板、7.8・・・測温抵
抗体、9・・・ヒータ、lO・・・ボンディングバット
部、11・・・配線部、13・・・保護膜、15・・・
ワイヤー、17・・・保護膜。 第1図 2・・・本体袋1
Claims (3)
- (1)基板上に2つの測温抵抗体を互いに熱絶縁した状
態で設けたフローセンサにおいて、前記測温抵抗体をア
ルミニウムで形成したことを特徴とするフローセンサ。 - (2)基板上に2つの測温抵抗体を互いに熱絶縁した状
態で設けたフローセンサにおいて、前記測温抵抗体を含
む電気的エレメントを保護膜で被覆したことを特徴とす
るフローセンサ。 - (3)基板上に2つの測温抵抗体を互いに熱絶縁した状
態で設けるとともに、信号を処理する本体装置側と電気
的および機械的に接続・分離自在に構成したことを特徴
とするフローセンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1128487A JP2802774B2 (ja) | 1989-05-22 | 1989-05-22 | フローセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1128487A JP2802774B2 (ja) | 1989-05-22 | 1989-05-22 | フローセンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02307019A true JPH02307019A (ja) | 1990-12-20 |
JP2802774B2 JP2802774B2 (ja) | 1998-09-24 |
Family
ID=14985967
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1128487A Expired - Fee Related JP2802774B2 (ja) | 1989-05-22 | 1989-05-22 | フローセンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2802774B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08114474A (ja) * | 1994-10-17 | 1996-05-07 | Kanagawa Pref Gov | 流量計センサ |
US6209402B1 (en) | 1997-01-16 | 2001-04-03 | Hitachi, Ltd. | Measuring element, mass air flow meter therewith and compensating method for accurately measuring air flow |
WO2022080227A1 (ja) * | 2020-10-15 | 2022-04-21 | ダイキン工業株式会社 | 熱式流速・流量センサ、及び空気調和機 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62203019A (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-07 | Sharp Corp | フロ−センサ |
JPS6335921U (ja) * | 1986-08-27 | 1988-03-08 |
-
1989
- 1989-05-22 JP JP1128487A patent/JP2802774B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62203019A (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-07 | Sharp Corp | フロ−センサ |
JPS6335921U (ja) * | 1986-08-27 | 1988-03-08 |
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JPH08114474A (ja) * | 1994-10-17 | 1996-05-07 | Kanagawa Pref Gov | 流量計センサ |
US6209402B1 (en) | 1997-01-16 | 2001-04-03 | Hitachi, Ltd. | Measuring element, mass air flow meter therewith and compensating method for accurately measuring air flow |
WO2022080227A1 (ja) * | 2020-10-15 | 2022-04-21 | ダイキン工業株式会社 | 熱式流速・流量センサ、及び空気調和機 |
JP2022065531A (ja) * | 2020-10-15 | 2022-04-27 | ダイキン工業株式会社 | 熱式流速・流量センサ、及び空気調和機 |
AU2021361359B2 (en) * | 2020-10-15 | 2023-06-29 | Daikin Industries, Ltd. | Thermal flow rate/flow quantity sensor, and air conditioner |
US11841256B2 (en) | 2020-10-15 | 2023-12-12 | Daikin Industries, Ltd. | Thermal flow velocity and flow rate sensor, and air conditioner |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2802774B2 (ja) | 1998-09-24 |
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