JPH02301423A

JPH02301423A - 転写装置

Info

Publication number: JPH02301423A
Application number: JP12368089A
Authority: JP
Inventors: Hidetoshi Watanabe; 英俊渡辺
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1989-05-17
Filing date: 1989-05-17
Publication date: 1990-12-13
Anticipated expiration: 2013-05-18
Also published as: JP2751395B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明転写装置を以下の項目に従フて詳細に説明する。

Ａ、産業上の利用分野Ｂ０発明の概要Ｃ２従来技術［第１０図］Ｄ１発明が解決しようとする！！！ｌ！［第１１図コＥ
１課題を解決するための手段Ｆ、実施例［第１図乃至第９図］ａ、スライドテーブルｂ、電磁石板Ｃ１上部プレートｄ、ディスクスタンパｅ、上部プレートのスライドテーブルへの固定ｆ、ディスク基板ｇ、ディスク基板供給機構り、ディスク基板の供給Ｇ０発明の効果（Ａ、産業上の利用分野）本発明は新規な転写装置に関する。詳しくは、スタンパ
に基板を液状の合成樹脂を介して対接させた状態で加圧
ローラにより基板をスタンパに圧接させ、上記合成樹脂
を硬化させた後基板を合成樹脂と共にスタンバから剥離
する転写装置において、加圧ローラによる圧接時に基板
のスタンバに対する位置ずれを防止することができるよ
うにした新規な転写装置を提供しようとするものである
。

（Ｂ、発明の概要）本発明転写装置は、スタンパ上に基板を供給する基板供
給機構により、基板をスタンパ上に載置した後に基板を
スタンバの方へ僅かに押圧するようにし、この押圧によ
って基板とスタンバとの間に介在された液状の合成樹脂
が基板とスタンバとにより緊密に粘着され、これが基板
とスタンバとの間の接着剤的な役割を果すため、加圧ロ
ーラによる圧接時に基板のスタンバに対する位置ずれが
起り難くくなるという効果を奏する。

（Ｃ，従来技術）［第１０図］コンパクトオーディオディスク（ＣＤ）やレーザーディ
スク（ＬＤ、ＬＶＤ）等の光学ディスクの製造方法には
種々のものが提案されているが、その中に２Ｐ法（光重
合法）と称されるものがある。

この２Ｐ法というのは、紫外線硬化樹脂を用いて光学デ
ィスクを複製するもので、第１０図に示すように、スク
リーン印刷の手法を用いてディスク基板ａの片方の面に
液状の紫外線硬化樹脂すを供給しく第１０図（Ｂ）参照
）、紫外線硬化樹脂すがディスクスタンバＣと密着する
ようにディスク基板ａをディスクスタンパＣ上に載置し
く第１０図（Ｃ）参照）、加圧ローラｄでディスク基板
ａをディスクスタンパＣに対して押圧する（第１０図（
Ｄ）参照）、その結果、ディスク基板ａとディスクスタ
ンバＣとの間に紫外線硬化樹脂ｂ　ｈ＜隙間なく充填さ
れる。

そこで、紫外線ランプｅによりディスク基板ａを通して
紫外線硬化樹脂すに紫外光を照射する（第１０図（Ｅ）
参照）と、液状だった紫外線硬化樹脂すが硬化するので
、ディスク基板ａをディスクスタンバＣから剥離する（
第１０図（Ｆ）参照）、これにより、ディスクスタンバ
Ｃの表面に形成された微細な凹凸がディスク基板ａ上に
転写される。

そこで、ディスク基板ａの転写された凹凸面に金属膜を
蒸着した後、保護膜を被覆することにより、ディスクス
タンバＣの凹凸に応じたビットが形成された光学ディス
クｆを得ることができる（第１０図（Ｇ）参照）。

上記したような２２法によるとディスクスタンバＣのパ
ターンが微細であフても紫外線硬化樹脂が液状であるた
めにこの紫外線硬化樹脂がパターンに十分に充填される
ので、信号の転写性が格段に優れている、という利点を
有する。

（Ｄ、発明が解決しようとする課題）［第１１図］ところで、上記・光学ディスクの製造工程において、加
圧ローラｄによる圧接を行なう際に、ディスク基板ａが
ディスクスタンバＣに対して位置すれを起すという問題
がある。

即ち、第１１図に示すように、加圧ローラｄによる圧接
は該加圧ローラｄを転勤させながら（実際はディスクス
タンバＣを保持したスタンパ保持台ｆを加圧ローラｄに
対して移動させる。）矢印で示すようにディスク基板ａ
の一端から他端の方向へ向けて行なわれる。従って、加
圧ローラｄがディスク基板ａの一端ａ、上に載ったとき
に、ディスク基板ａとディスクスタンバＣとの間に液状
の紫外線硬化樹脂すが介在されているために、ディスク
基板ａの他端ａ２がディスクスタンバＣから浮き上がり
、そして、この状態のまま加圧ローラｄが他端ａ２に向
って転勤して行くと、加圧ローラｄとディスク基板ａと
の間の摩擦によりディスク基板ａがディスクスタンバＣ
に対して位置ずれを起す、また、位置決め用のセンター
ビンｇの上にディスク基板ａが乗り上げてしまう場合も
あり、このような状態のまま、加圧ローラｄによる圧着
が為されると、ディスク基板ａが破壊されることがあり
、ディスクスタンバＣまで使いものにならなくなってし
まう。また、破壊に至らないまでも、ディスク基板ａに
歪が残る場合もある。

そして、これらディスク基板ａやディスクスタンパＣの
破壊やディスク基板ａの歪の残留に至らないまでも、デ
ィスク基板ａとディスクスタンパＣとの間の微妙な位置
ずれにより、ディスク基板ａとディスクスタンパＣとが
完全に密着せず、その結果、液状紫外線硬化樹脂がディ
スクスタンバＣの凹凸に完全に充填されず部分的に泡が
残ったりして、転写不良となることがある。

そのため、従来は、フォトセンサー等のずれ検出機構を
設けて上記したディスク基板ａの位置ずれを検出するよ
うにしたものもあるが、コスト高となるにも拘らず単な
る位置ずれの検出に止まり、位置ずれの防止には役立た
ないものである。

（Ｅ、課題を解決するための手段）本発明転写装置は、上記した課題を解決するために、ス
タンパ上に基板を供給する基板供給機構により、基板を
スタンバ上に載置した後に基板をスタンパの方へ僅かに
押圧するようにしたものである。

従って、本発明転写装置によれば、基板がスタンバ上に
載置され後にスタンパの方へ僅かに押圧されることによ
り、基板とスタンパとの間に介在された液状の合成樹脂
が基板とスタンパとにより緊密に粘着され、これが基板
とスタンパとの間の接着剤的な役割を果すため、加圧ロ
ーラによる圧接時に基板のスタンパに対する位置ずれが
起り難くくなり、基板とスタンパとの位置ずれに起因し
ていた数々の問題点、即ち、転写不良、基板やスタンパ
の破壊等が有効に防止されることになる。

（Ｆ、実施例）［第１図乃至第９図］以下に、本発明転写装置の詳細を図示した実施例に従っ
て説明する。

（ａ、スライドテーブル）１はスライドテーブルであり、レール２．２によって案
内されて所定の糸路を８動されるようになっている。

３はスライドテーブル１の基台であり、その下面に脚片
４．４が固定されていて、該脚片４．４が上記レール２
．２に各別に摺動自在に係合している。

５は取付台であり、上記基台３の４隅部に立設された支
柱３ａ、３ａ、　　・・・を介して基台３に固定されて
いる。

６は基台３上面の中央部に固定されたエアシリンダであ
り、その上下動するピストンロッド６ａの上端にはタッ
プアダプター７が固定されている。タップアダプター７
は既知のものであり、上端に開口した孔７ａに棒状の物
が挿入されると、これを挿入方向には８動させ得るが抜
き出す方向へのり動を阻止するようになっており、図示
しない解除部を押圧することによって上記孔７ａに挿入
したものを抜き出すことができるようになっている。上
記取付台５の中央部には孔５ａが形成されており、鎖孔
５ａを通してタップアダプター７の孔７ａが上方に臨ま
されている。

（ｂ、電磁石板）８は平板状をした電磁石板であり、支持台９を介してス
ライドテーブル１の取付台５上に固定されている。

電磁石板８は互いに同じ方向に延びる強磁性体１０．１
０、・・・と透磁率の低い材料から成るセパレータ１１
．１１、・・・とが交互に配列一体化された構造を有し
ており、これに付設された図示しない磁力線発生部に通
電されることによって強力な電磁吸引力を発生するよう
になってい・る。

該電磁石板８の中心部には取付孔８ａが形成されており
、該取付孔８ａに合成樹脂製の案内スリーブ１２が圧入
固定されており、該季内、スリーブ１２の下端は上記タ
ップアダプター７の孔７ａに上方から対向している。

（ｃ、上部プレート）１３は平板状をした上部プレートであり、この上部プレ
ート１３も同じ方向に延びる強磁性体１４．１４、・・
・と透磁率の低い材料から成るセパレータ１５．１５、
・・・とが交互に配列一体化された構造を有している。

そして、電磁石板８の強磁性体１０，１０．　　・・・
と上部プレート１３の強磁性体１４１．１４、・・・と
は、また、電磁石板８のセパレータ１１．１１、・・・
と上部プレート１３のセパレータ１５．１５、・・・と
は、同じ幅を有しており、従って、電磁石板８と上部プ
レート１３とは、それぞれの強磁性体１０．１０、・・
・と１４．１４、・・・とが、また、セパレータ１１．
１１、・・・と１５．１５、・・・とが、ぴったりと重
なり合うように、重ね合わすことができる。

上記上部プレート１３の中心部には位置決孔１６が形成
されており、また、上部プレート１３の下面のうち位置
決孔１６を囲む位置に凹部１７が形成されている。従っ
て、位置決孔１６の下端は該凹部１７内に開口している
。

（ｄ、ディスクスタンバ）１８はニッケル類のディスクスタンバであり、その上面
１８ａには信号ビットの形をした図示しない微細な凹凸
が形成されている。そして、下面１８ｂは平面に形成さ
れている。

また、ディスクスタンバ１８の中心にはセンタ一孔１９
が形成され、該センタ一孔１９は上記上部プレート１３
の位置決孔１６と同じ径に形成されている。

２０は固定リングであり、外径が上部プレート１３の位
置決孔１６やディスクスタンバ１８のセンタ一孔１９と
略同径の管状をした管状部２１と該管状部２１の上端か
ら僅かに外方に張り出したフランジ部２２とが一体に形
成されて成り、管状部２１の下端部外面にはねじ溝が形
成されてねじ部２３とされている。

２４は固定リング２０のねじ部２３に螺合されるナツト
である。

しかして、ディスクスタンバ１８の上部プレート１３へ
の装着は次に示すようにして為される。

まず、ディスクスタンバ１８をその下面１８ｂが上部プ
レート１３の上面に接するように重ね合わせ、ディスク
スタンバ１８のセンタ一孔１９と上部プレート１３の位
置決孔１６とを一致させる。

それから、固定リング２０の管状部２１を上方からディ
スクスタンバ１８のセンタ一孔１９、上部プレート１３
の位置決孔１６の順に挿通し、上部プレート１．３の凹
部１７内に突出した固定リング２０のねじ部２３にナツ
ト２４を螺着する。これによって、ディスクスタンバ１
８のセンタ一孔１９の開口縁部が固定リング２０のフラ
ンジ部２２と上部プレート１３の上面とで挾持されるこ
とになる。

（ｅ、上部プレートのスライドテーブルへの固定）２５はセンタービンであり、管状をした主部２６と該主
部２６の上端に固定された円板状の頭部２７とから成り
、頭部２７の周縁部２８は外方へフランジ状に張り出し
ている。また、該周縁部２８の下面には内端が主部２６
の外周面で限定された環状の凹部２８ａが形成されてい
る。そして、該凹部２８ａはその中に上記固定リング２
０のフランジ部２２が僅かに余裕を有して嵌り込む大き
さになっている。

頭部２フの外周面は中間に位置し主部２６の軸と平行な
環状面を為す位置決め面２７ａと該位置決め面２７ａの
下端に連続し下方へ行くに従って外方へ変位する傾斜面
とされた係合面２７ｂと位置決め面２７ａの上端に連続
し上方に行くに従って内側へ変位する傾斜面とされた導
入面２７ｃとから成る。

そこで、先ず、以上のようにディスクスタンバ１８を保
持した上部プレート１３を電磁石板８の上面に載置する
。

そして、上記センタービン２５の主部２６を上方から、
固定リング２０、案内スリーブ１２の順に挿通して行き
、その下端部をタップアダプター７の孔７ａ内に挿入す
る。

そこで、エアシリンダ６を駆動してそのピストンロッド
６ａを下降させると、これに引張られてセンタービン２
５が下降され、その頭部２７で固定リング２０の上端部
及びフランジ部２２を覆った状態となる。

そして、電磁石板８に通電すると、上部プレート１３が
電磁石板８に磁気吸着されると共に、ディスクスタンパ
１８も上部プレート１３に磁気吸着され、その平面１８
ｂが上部プレート１３の上面の平面に倣い、高い平面性
が実現されることとなる。

そして、上部プレート１３をスライドテーブル１から外
す場合は、電磁石板８への通電をオフし、タップアダプ
ター７によるセンターピン２５の下端部の喰い付きを解
除し、センターピン２５を案内スリーブ１２及び固定リ
ング２０から引き抜いて、上部プレート１３を電磁石板
８上から移動すれば良い。

（ｆ、ディスク基板）２９はディスク基板であり、該ディスク基板２９は、透
明なガラス板、透明な合成樹脂等により円板状に形成さ
れ、その中心にセンタ一孔３０が形成されている。

ディスク基板２９の上記センタ一孔３０はその開口内周
面の上下が面取りされてテーパー面３０ａ、３０ｂが形
成され、これら２つのテーパー面３０ａと３０ｂとの間
の部分がディスク基板２９の回転軸と平行な位置決め面
３０ｃとされている。

（ｇ、ディスク基板供給機構）３１はディスク基板２９を上記ディスクスタンバ１８上
に供給するためのディスク基板供給機構である。

３２は上記レール２．２等が固定されている機台の上面
板であり、該上面板３２には長孔３３が形成されている
。

３４はその長手方向が上記上面板３２の下面のうち長孔
３３の−の側縁に沿うように配置されたエアシリンダタ
イプの送り機構であり、エアの制御によって長手方向に
沿って移動する移動片３５が長孔３３に対した側に設け
られている。

３６は上記上面板３２の上面のうち長孔３３と稍離間し
、かつ、長孔３３に対して平行に延びるように設けられ
たレールである。

３７は略板状をした移動ベースであり、その下面の一側
縁寄りに固定された脚片３８が上記レール３６に摺動自
在に係合されており、他側縁部が上記長孔３３に挿通さ
れた連結片３９により送り機構３４の移動片３５と連結
されている。従って、エア制御により移動片３５が長孔
３３に沿って移、動友れると、これと共、に移動ベース
３７も長孔３３に沿いレール３６に案内されて移動され
る。

４０は上記移動ベース３７の上面に固定されたエアシリ
ンダであり、その上下動するピストンロッド４０ａが上
端から突出されている。

４１は板状をしたステーであり、その下端部４１ａが上
記エアシリンダ４ｏのピストンロッド４０ａの上端に固
定されている。

４２は上記ステー４１の上端部に固定されたロータリエ
アシリンダであり、水平方向に突出した出力軸４２ａが
エア制御により回転するようになっている。

４３は上記ロータリエアシリンダ４２の外直に固定され
た支持板であり、該支持板４３のうちロータリエアシリ
ンダ４２の出力軸４２ａを挟んで反対側に位置し、かつ
、該出力軸４２ａに対して等距離離間した両端部にはエ
アコネクタ４４．４５が固定されている。

各エアコネクタ４４．４５はその上端部にカップリング
４４ａ、４５ａを有し、下端部に位置したアウトレット
４４ｂ、４５ｂが図示しない接続パイプを介して図示し
ないエア吸引機構に接続されている。

４６は受渡アームであり、その基端部４６ａが上記ロー
タリエアシリンダ４２の出力軸４２ａに固定されている
。従って、ロータリエアシリンダ４２がエア制御により
駆動されると該受渡アーム４６が回動することになる。

４７は上記受渡アーム４６の回動端部に設けられた吸着
ヘッドであり、その反受渡アーム４６側の面４７ａ（吸
着面）には−の円周上に配列された複数の吸着孔４７ｂ
、４７ｂ、・・・が形成されている。

４８は受渡アーム４６の基端寄りの位置を上下方向に貫
設された接続孔である。また、４９は受渡アーム４６に
形成されたエア通路であり、該エア通路の一端は上記吸
着ヘッド４７の吸着孔４７ｂ、４７ｂ、・・・連結され
、他端は上記接続孔４８の上下方向における中央の側面
に開口している。そして、接続孔４８内に上記エアコネ
クタ４４．４５のカップリング４４ａ、４５ａが嵌合さ
れると、この接続孔４８が外部に対してシールされると
共に、上記エア通路４９の他端がエアコネクタ４４．４
５を介して図示しないエア吸引機構と接続され、従って
、該エア吸引機構の駆動により上記吸着ヘッド４７の吸
着孔４７ｂ５４７ｂ、・・・に負圧が生じるようになっ
ている。

そして、受渡アーム４６がその接続孔４８が一方のエア
コネクタ４４のカップリング４４ａと嵌合する位置（以
下、「第１の位置」と云う。）に回動して来たときに吸
着ヘッド４７の吸着面４７ａが上向きとなり、受渡アー
ム４６がその接続孔４８が他方のエアコネクタ４５のカ
ップリング４５ａと嵌合する位置（以下、「第２の位置
」と云う、）に回動して来たときに吸着ヘッド４７の吸
着面４７ａが下向きとなる。

（ｈ、ディスク基板の供給）先ず、図示しない樹脂供給部によって、上記したディス
ク基板２９の一方の面２９ａに、例えば、スリーン印刷
の手法により所望のパターンに液状の紫外線硬化樹脂５
０が供給される。

そして、受渡アーム４６が第１の位置にある状態で移動
ベース３７が図示しない樹脂供給部の方へと移動して、
紫外線硬化樹脂５０が供給された面２９ａが上を向いて
いるディスク基板２９の下側になっている面２９ｂの中
心部に吸着ヘッド４７の吸着面４７ａが接触し、そこで
、吸着孔４７ｂ、４７ｂ、　　・・・に負圧が発生され
て、ディスク基板２９の他方の面２９ｂのセンタ一孔３
０の開口縁部が吸着ヘッド４７に吸着される。

そこで、移動ベース３７がスライドテーブル１の方へと
移動され、この間にロータリエアシリンダ４２が駆動さ
れて受渡アーム４６が第２の位置へと回動されてディス
ク基板２９は紫外線硬化樹脂５０が供給されている面２
９ａが下向きとされる。

そして、エアシリンダ６が駆動されそのピストンロッド
６ａが僅かに上昇され、これに従って、センターピン２
５が僅かに上昇し、その頭部２７がディスクスタンパ１
８から僅かに上方に離間したところに位置される。

そして、上記したようにして、ディスク基板２９がディ
スクスタンバ１８の真上の位置に達すると、エアシリン
ダ４０が駆動されそのピストンロッド４０ａが下降され
、これによって、受渡アーム４６が下降せしめられて、
ディスク基板２９のセンタ一孔３０がセンターピン２５
の頭部に外嵌される。

そして、このとき、ディスク基板２９はその下側になっ
ているテニパー面３０ｂがセンターピン２５の導入面２
７ｃによって案内されることによって、その位置決め面
３０ｃがセンターピン２５の位置決め面２７ａに外嵌さ
れ、また、ディスク基板２９の下側のテーパー面３０ｂ
はセンターピン２５の係合面２７ｂに上方から係合した
状態となる。尚、このとき、吸着へラド４７によるディ
スク基板２９の吸着が解除される。

それから、エアシリンダ６が駆動されてセンタービン２
５が下降され、その頭部２７がディスクスタンバ１８に
接し、ディスク基板２９はその一方の面２９ａが紫外線
硬化樹脂５０を介してディスクスタンパ１８の上面１８
ａと対向するようにしてディスクスタンパ１８上に重ね
合わされる。

そこで、エアシリンダ４０が駆動されて、受渡アーム４
６が更に下降されて、その吸着ヘッド４７がディスク基
板２９の他方の面２９ｂのうちセンタ一孔３０の開口縁
部を下方へ押圧し、これによって、ディスク基板２９が
ディスクスタンバ１８に圧着され、ディスク基板２９の
センタ一孔３０の位置決め面３０ｃがセンターピン２５
の頭部２７の位置決め面２７ａに確実に外嵌され、これ
によって、ディスク基板２９がディスクスタンバ１８に
対して精確に位置決めされると共に、ディスクスタンバ
１８とディスク基板２９との間に介在された液状の紫外
線硬化樹脂５０が稍押しつぶされた状態となり、ディス
クスタンバ１８とディスク基板２９によりｙｌ密に粘着
した状態となって、ディスクスタンバ１８とディスク基
板２９との間の接着剤的な役割を果し、両者間を仮固定
する効果を奏する。尚、このような効果を奏するために
は、液状の紫外線硬化樹脂５０が使用温度下で数百セン
チポアズ以上の粘度を有することが望ましく、また、受
渡アーム４６による上記押圧力は数十ｇｆ乃至数百３ｆ
の範囲内のもので充分である。

そして、受渡アーム４６は上記したようにディスク基板
２９を押圧した後上方へ引き上げられ、再び、樹脂供給
部の方へと移動される。

そこで、図示しない加圧ローラによって、ディスク基板
２９がディスクスタンバ１８の方へ向けて押圧され、デ
ィスク基板２９とディスクスタンバ１８との間に介在さ
れた液状の紫外線硬化樹脂５０が両者１８．２９の間に
均等に行き亘ってディスクスタンバ１８の上面に形成さ
れた微細な凹凸（図示していない、）に完全に充填され
る。

そして、上記したように、ディスク基板２９が一旦ディ
スクスタンパ！８の上に載置された後ディスクスタンパ
１８の方へ向けて押圧され、液状の紫外線硬化樹脂５０
によるディスク基板２９とディスクスタンバ１８との間
の仮固定がしっかりと為されているので、上記加圧ロー
ラによる押圧の際に、ディスク基板２９がディスクスタ
ンバ１８に対して位置ずれを起すようなことが無い。

上記した加圧ローラによる押圧が為された後、図示しな
い紫外線ランプによりディスク基板２９の他方の面２９
ｂ側からディスク基板２９を通して上記紫外線硬化樹脂
５０に紫外光が照射され、これによって、紫外線硬化樹
脂５０が硬化せしめられる。

紫外線硬化樹脂５０が硬化せしめられると、上記エアシ
リンダ６が駆動されてそのピストンロッド６ａが上昇さ
れ、これによってセンターピン２５が上昇せしめられる
。

センターピン２５が上昇されると、その係合面２７ｂに
よってディスク基板２９の下側になフているテーパー面
３０ｂがセンターピン２５の係合面２７ｃによって上方
へ向けて持ち上げられるため、ディスク基板２９は硬化
した紫外線硬化樹脂層と共にその中心よりディスクスタ
ンバ１８から剥離されることになる。

そして、ディスクスタンバ１８から剥離されたディスク
基板２９は図示しない搬出手段によって搬出され、そし
て、次の新たなディスク基板２９がディスクスタンバ１
８上に重ね合わされる。

（Ｇ、発明の効果）以上に記載したところから明らかなように、本発明転写
装置は、スタンパに基板を液状の合成樹脂を介して対接
させた状態で加圧ローラにより基板をスタンパに圧接さ
せ、上記合成樹脂を硬化させた後基板を合成樹脂と共に
スタンパから剥離する転写装置であって、スタンパ保持
台上に保持されたスタンパ上に基板を載置すると共に該
基板をスタンパの方へ僅かに押圧する基板供給機構を設
けたことを特徴とする。

従って、本発明転写装置によれば、基板がスタンバ上に
載置され後にスタンバの方へ僅かに押圧されることによ
り、基板とスタンバとの間に介在された液状の合成樹脂
が基板とスタンバとにより緊密に粘着され、これが基板
とスタンバとの間の接着剤的な役割を果すため、加圧ロ
ーラによる圧接時に基板のスタンバに対する位置ずれが
起り難くくなり、基板とスタンバとの位置ずれに起因し
ていた数々の問題点、即ち、転写不良、基板やスタンバ
の破壊等が有効に防止されることになる。

尚、上記実施例には、本発明を光ディスクの信号面転写
装置に通用したものを示したが、本発明の適用範囲がこ
のようなものに限定されることを意味するものではない
。

また、上記実施例では、スタンバの保持を電磁チャック
方式により行ない、かつ、その電磁チャックを２１構造
にしたものを示したが、これも電磁チャック方式や２重
構造のものに限定されるものではない。

その他、上記実施例において示した構造は、何れも、本
発明の具体化に当ってのほんの一例を示したものにすぎ
ず、これらによって、本発明の技術的範囲が限定的に解
釈されるものではなく、本発明の趣旨に適合する範囲に
おいて、種々の変更を加えて実施することが可能である
。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第１１図は本発明転写装置の実施の一例を示
し、そのうち第１図乃至第６図はスタンバ保持部を示す
もので、第１図は分解斜視図、第２図は平面図、第３図
は第２図のＩＩＩ　−ＩＩＩ線に沿う断面図、第４図は
要部の分解断面図、第５図は要部の拡大断面図、第６図
は作用を（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に分けて示す要部の拡
大断面図、第７図乃至第９図は基板供給機構を示すもの
で、第７図は一部を切欠いて示す正面図、第８図は一部
を切欠いて示す平面図、第９図は側面図、第１０図は転
写方法の一例を（Ａ）から（Ｇ）へ順を追って示す概略
斜視図、第１１図は従来の転写装置における問題点を示
す概略側面図である。符号の説明１３・・・スタンバ保持台、１８・・・スタンバ、　　２９・・・基板、３１・・・
基板供給機構、５０・・・液状の合成樹脂出　願　人　ソニー株式会社代理人弁理士　　小　　松　　祐　　治＼、・第　２　図断面図（ｍ−ｍ礫）第３図？部分解１Ｉｌｉ面凹第４図３１・　・１＆板供給機溝側面図第９図

Claims

【特許請求の範囲】　スタンパに基板を液状の合成樹脂を介して対接させた
状態で加圧ローラにより基板をスタンパに圧接させ、上
記合成樹脂を硬化させた後基板を合成樹脂と共にスタン
パから剥離する転写装置であって、スタンパ保持台上に保持されたスタンパ上に基板を載置
すると共に該基板をスタンパの方へ僅かに押圧する基板
供給機構を設けたことを特徴とする転写装置