JPH02275089A - スクリュ式真空ポンプ - Google Patents
スクリュ式真空ポンプInfo
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- JPH02275089A JPH02275089A JP1095686A JP9568689A JPH02275089A JP H02275089 A JPH02275089 A JP H02275089A JP 1095686 A JP1095686 A JP 1095686A JP 9568689 A JP9568689 A JP 9568689A JP H02275089 A JPH02275089 A JP H02275089A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oil
- pump body
- passage
- rotor chamber
- flow path
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims description 23
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 22
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/0007—Injection of a fluid in the working chamber for sealing, cooling and lubricating
- F04C29/0014—Injection of a fluid in the working chamber for sealing, cooling and lubricating with control systems for the injection of the fluid
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S418/00—Rotary expansible chamber devices
- Y10S418/01—Non-working fluid separation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、油分離回収器を備えたスクリュ式真空ポンプ
に関するものである。
に関するものである。
(従来の技術)
従来、第3図に示す油入りスクリュ式圧縮機が公知であ
り、互いに噛み合う雌雄一対のスクリュロータを回転可
能に収納した圧縮機本体21と、この吐出口2に続く吐
出流路3にフィルタ4内蔵の油分離回収器5とを備えて
いる。さらに、吐出口2から油分離回収器5に至り、こ
こで吐出流路3から分かれて、油ポンプ13を経由し、
圧縮機本体21内の軸受、軸封部、ロータ室等の給油部
分から再度吐出口2に戻る油循環流路22が設けである
。
り、互いに噛み合う雌雄一対のスクリュロータを回転可
能に収納した圧縮機本体21と、この吐出口2に続く吐
出流路3にフィルタ4内蔵の油分離回収器5とを備えて
いる。さらに、吐出口2から油分離回収器5に至り、こ
こで吐出流路3から分かれて、油ポンプ13を経由し、
圧縮機本体21内の軸受、軸封部、ロータ室等の給油部
分から再度吐出口2に戻る油循環流路22が設けである
。
そして、圧縮機本体21内の上記給油部分に潤滑、ガス
冷却、シール等の目的で注入された油を圧縮ガスととも
に、吐出流路3に吐出して油分離回収器5のフィルタ4
により気液分離して、圧縮ガスを油分離回収器5の上部
より送り出している。
冷却、シール等の目的で注入された油を圧縮ガスととも
に、吐出流路3に吐出して油分離回収器5のフィルタ4
により気液分離して、圧縮ガスを油分離回収器5の上部
より送り出している。
一方、ガスから分離された油は、油分離回収器5の底部
に滴下させ、−旦溜めて、ここから油ボンブ13により
圧縮機本体21内の給油部分に注入した後、吐出口2に
導いて、以後上記同様に流動させ、循環使用するように
なっている。
に滴下させ、−旦溜めて、ここから油ボンブ13により
圧縮機本体21内の給油部分に注入した後、吐出口2に
導いて、以後上記同様に流動させ、循環使用するように
なっている。
ここで、圧縮機本体21は、例えば内部圧縮比πi=7
とすると、例えば吸込圧が大気圧の場合には吐出圧は7
kg/am”Gとなり、一定であり、油分離回収器5の
フィルタ4てのガス流速は一定となる。そして、油分離
回収器5の大きさはこの一定流速に対応して設計されて
いる。
とすると、例えば吸込圧が大気圧の場合には吐出圧は7
kg/am”Gとなり、一定であり、油分離回収器5の
フィルタ4てのガス流速は一定となる。そして、油分離
回収器5の大きさはこの一定流速に対応して設計されて
いる。
一方、上記圧縮機本体21を利用したものとして、圧縮
機本体21内のロータ室には油を注入しないオイルフリ
ースクリュ式真空ポンプが公知である。この形式の真空
ポンプは真空引きする側に一切の不純物の逆流が許され
ない分野(半導体1食品産業等)で使用されるもので、
スクリュロータ間、およびこれとロータ室の壁部との間
の隙間を油でシールしないので、この隙間からのガス漏
れ量を少なくするために、スクリュロータを非常に高速
で回転させる必要がある。
機本体21内のロータ室には油を注入しないオイルフリ
ースクリュ式真空ポンプが公知である。この形式の真空
ポンプは真空引きする側に一切の不純物の逆流が許され
ない分野(半導体1食品産業等)で使用されるもので、
スクリュロータ間、およびこれとロータ室の壁部との間
の隙間を油でシールしないので、この隙間からのガス漏
れ量を少なくするために、スクリュロータを非常に高速
で回転させる必要がある。
これに対して、真空引きする側への多少の不純物の逆流
は問題とならない分野では、第3図に示す装置と同様に
油入りスクリュ式真空ポンプの利用が考えられる。そし
て、この場合にはロータ室内に注入した油によりスクリ
ュロータ間、およびこれとロータ室壁部との間の隙間を
シールすることになるので、スクリュロータの回転を上
記オイルフリー形のもののように高速にする必要はなく
なる。
は問題とならない分野では、第3図に示す装置と同様に
油入りスクリュ式真空ポンプの利用が考えられる。そし
て、この場合にはロータ室内に注入した油によりスクリ
ュロータ間、およびこれとロータ室壁部との間の隙間を
シールすることになるので、スクリュロータの回転を上
記オイルフリー形のもののように高速にする必要はなく
なる。
そこで、第3図に示す装置をそのまま真空ポンプとして
使用した場合を考えると第4図に示すようになり、真空
タンク11から真空ポンプ本体21aにより吸込んだ空
気を圧縮後、油分離回収器5を経て大気へ放出するよう
になる。
使用した場合を考えると第4図に示すようになり、真空
タンク11から真空ポンプ本体21aにより吸込んだ空
気を圧縮後、油分離回収器5を経て大気へ放出するよう
になる。
(発明が解決しようとする課題)
第4図に示す装置の場合、第5図に示すように、吸込圧
力は必ず760 Torr(大気圧力)から始まり、真
空タンク11の用途に応じて定まる所定の真空域の圧力
まで変化してゆくか、場合によってはこの真空域の圧力
自体も変化する。
力は必ず760 Torr(大気圧力)から始まり、真
空タンク11の用途に応じて定まる所定の真空域の圧力
まで変化してゆくか、場合によってはこの真空域の圧力
自体も変化する。
ここで、スクリュ式真空ポンプの吸込口に吸込まれる空
気の容積流量をV、(m’/hr)、吐出口2に吐出さ
れる空気の容積流量をV t(m”/ hr)、吸込圧
力をp 、 (T orr)、吐出圧力をP t(T
orr)とすると、■8はスクリュ式真空ポンプにより
一義的に決まり、 V、−V、・(P 、/P t) なる関係が成立する。
気の容積流量をV、(m’/hr)、吐出口2に吐出さ
れる空気の容積流量をV t(m”/ hr)、吸込圧
力をp 、 (T orr)、吐出圧力をP t(T
orr)とすると、■8はスクリュ式真空ポンプにより
一義的に決まり、 V、−V、・(P 、/P t) なる関係が成立する。
そして、P、は760から始まり、またP、=760と
一定であるので、装置の始動時では、第5図中a点で示
すように、 V、=V、・(760/760) となり、上記所定の圧力が第5図中す点、0点で示すよ
うに、例えばそれぞれ100Torr、 10T。
一定であるので、装置の始動時では、第5図中a点で示
すように、 V、=V、・(760/760) となり、上記所定の圧力が第5図中す点、0点で示すよ
うに、例えばそれぞれ100Torr、 10T。
rrとした場合には、吐出側ではそれぞれVt=V、・
(l OO/760) V、=V、・(l O/760) となる。
(l OO/760) V、=V、・(l O/760) となる。
このように、真空ポンプの場合には、吸込側の圧力に対
応して吐出側の吐出空気の容積流量が大きく変化する。
応して吐出側の吐出空気の容積流量が大きく変化する。
上述のように、油分離回収器5の大きさは一般に吐出側
でのガス流速により決まる。このため、上記所定の圧力
を第5図中の0点として油分離回収器5を形成すると、
第5図中のa点、b点では0点における場合に比べて空
気の流速が76倍、7.6倍となり、大気側への油の飛
散が大きくなる。これに対して、上記所定の圧力を第5
図中のa点として油分離回収器5を形成すると非常に大
きなものとなる。
でのガス流速により決まる。このため、上記所定の圧力
を第5図中の0点として油分離回収器5を形成すると、
第5図中のa点、b点では0点における場合に比べて空
気の流速が76倍、7.6倍となり、大気側への油の飛
散が大きくなる。これに対して、上記所定の圧力を第5
図中のa点として油分離回収器5を形成すると非常に大
きなものとなる。
即ち、圧縮機の場合は吐出側のガス流速が略−定である
ため、適切な油分離回収器の選定は容易であるが、真空
ポンプの場合は、吐出側のガス流速が最大で50倍、1
00倍と変化する。そして、このように流速が大きく変
化すると、流速の小さい方、大きい方のいずれの側で設
計しても上述のような不具合が生じ、適切な油分離回収
器の選定かできないという問題がある。
ため、適切な油分離回収器の選定は容易であるが、真空
ポンプの場合は、吐出側のガス流速が最大で50倍、1
00倍と変化する。そして、このように流速が大きく変
化すると、流速の小さい方、大きい方のいずれの側で設
計しても上述のような不具合が生じ、適切な油分離回収
器の選定かできないという問題がある。
本発明は、上記従来の問題点を課題としてなされたもの
で、排気効率が良好で、かつ、油分離回収器の最適選定
を可能としたスクリュ式真空ボンブを提供しようとする
ものである。
で、排気効率が良好で、かつ、油分離回収器の最適選定
を可能としたスクリュ式真空ボンブを提供しようとする
ものである。
(課題を解決するための手段)
上記課題を解決するために、本発明は、互いに接触する
ことなく、微小な隙間を介して噛み合う雌雄一対のスク
リュロータの一方のロータを駆動し、それぞれのロータ
軸に取付けて互いに噛み合わさせた同期歯車により両ロ
ータを同期回転させるようにしたポンプ本体と、このポ
ンプ本体の吐出口から油分離回収器に至り、吐出ガス流
路と分かれて、上記本体内の軸受部等の潤滑部に至る流
路、および開閉弁を介して上記本体内のロータ室に至る
流路に分岐して、この軸受部、ロータ室から上記吐出口
に戻る油循環流路と、上記本体の吸込圧力を検出し、こ
の検出圧力が予め設定した値以下になると上記開閉弁を
開かせる圧力スイッチとから形成した。
ことなく、微小な隙間を介して噛み合う雌雄一対のスク
リュロータの一方のロータを駆動し、それぞれのロータ
軸に取付けて互いに噛み合わさせた同期歯車により両ロ
ータを同期回転させるようにしたポンプ本体と、このポ
ンプ本体の吐出口から油分離回収器に至り、吐出ガス流
路と分かれて、上記本体内の軸受部等の潤滑部に至る流
路、および開閉弁を介して上記本体内のロータ室に至る
流路に分岐して、この軸受部、ロータ室から上記吐出口
に戻る油循環流路と、上記本体の吸込圧力を検出し、こ
の検出圧力が予め設定した値以下になると上記開閉弁を
開かせる圧力スイッチとから形成した。
(作用)
上記のように構成することにより雌雄スクリュロータ間
の動力伝達を両ロータを直接接触させることなく、同期
歯車を介して行うこととなり、両ロータの回転のために
ロータ室内に油を注入する必要はなくなり、両ロータ間
、およびこれとロータ室壁部との間の隙間からのガス漏
れが問題となる吸込圧力が低いときにだけロータ室内に
給油するようになり、吐出側のガス流速の変動幅は小さ
くなる。
の動力伝達を両ロータを直接接触させることなく、同期
歯車を介して行うこととなり、両ロータの回転のために
ロータ室内に油を注入する必要はなくなり、両ロータ間
、およびこれとロータ室壁部との間の隙間からのガス漏
れが問題となる吸込圧力が低いときにだけロータ室内に
給油するようになり、吐出側のガス流速の変動幅は小さ
くなる。
(実施例)
次に、本発明の一実施例を図面にしたがって説明する。
第1図、第2図は、本発明に係るスクリュ式真空ポンプ
を示し、ポンプ本体lの吐出口2に続く吐出流路3にフ
ィルタ4内蔵の油分離回収器5が設けである。そして、
ポンプ本体1には、互いに接触することなく、微小な隙
間を介して噛み合う雌雄一対のスクリュロータ6.7が
収納してあり、このうちの雄ロータ7を駆動して、それ
ぞれのロータ軸に取付け、互いに噛み合わさせた同期歯
車8.9により両ロータ6.7を同期回転させるように
形成しである。
を示し、ポンプ本体lの吐出口2に続く吐出流路3にフ
ィルタ4内蔵の油分離回収器5が設けである。そして、
ポンプ本体1には、互いに接触することなく、微小な隙
間を介して噛み合う雌雄一対のスクリュロータ6.7が
収納してあり、このうちの雄ロータ7を駆動して、それ
ぞれのロータ軸に取付け、互いに噛み合わさせた同期歯
車8.9により両ロータ6.7を同期回転させるように
形成しである。
また、ポンプ本体1の吸込側の吸込流路10を真空タン
ク11に接続するとともに、この吸込流路10に圧力検
出可能に圧力スイッチ12が設けである。
ク11に接続するとともに、この吸込流路10に圧力検
出可能に圧力スイッチ12が設けである。
さらに、油分離回収器5の底部からは油ポンプ13を経
た後、ポンプ本体1内の軸受、軸封部、同期歯車部等の
潤滑部に通じる流路14と、電磁弁15を介してポンプ
本体l内のロータ室に通じる流路16に分岐して、この
潤滑部、ロータ室からポンプ本体1の吐出口2を経て油
分離回収器5に戻る油循環流路17が形成しである。
た後、ポンプ本体1内の軸受、軸封部、同期歯車部等の
潤滑部に通じる流路14と、電磁弁15を介してポンプ
本体l内のロータ室に通じる流路16に分岐して、この
潤滑部、ロータ室からポンプ本体1の吐出口2を経て油
分離回収器5に戻る油循環流路17が形成しである。
そして、圧力スイッチ12により、吸込流路IOの圧力
を検出し、この検出圧力が予め設定した値以下になると
電磁弁15を開かせ、ロータ室内に給油し、雌雄ロータ
6.7問およびこれとロータ室壁部との間の隙間をシー
ルするように形成しである。
を検出し、この検出圧力が予め設定した値以下になると
電磁弁15を開かせ、ロータ室内に給油し、雌雄ロータ
6.7問およびこれとロータ室壁部との間の隙間をシー
ルするように形成しである。
即ち、吸込圧力が低い場合には、ロータ室内への給油を
行い、第4図に示す装置の場合と同様にポンプ本体lに
より真空タンク11より空気を吸込み、給油された油と
ともに圧縮後、吐出口2に吐出し、油分離回収器5にて
気液分離して、油を循環使用するようになっている。
行い、第4図に示す装置の場合と同様にポンプ本体lに
より真空タンク11より空気を吸込み、給油された油と
ともに圧縮後、吐出口2に吐出し、油分離回収器5にて
気液分離して、油を循環使用するようになっている。
一方、吸込圧力が設定値を超えると電磁弁15が閉じ、
ロータ室内に給油を行うことなく上記オイルフリー形の
装置と同様にポンプ本体1により真空タンク11より空
気の吸込、圧縮、吐出が行なわれ、空気だけが油分離回
収器5を通過する。
ロータ室内に給油を行うことなく上記オイルフリー形の
装置と同様にポンプ本体1により真空タンク11より空
気の吸込、圧縮、吐出が行なわれ、空気だけが油分離回
収器5を通過する。
したがって、この油分離回収器5は、吸込圧力が低い場
合の狭い圧力領域、即ち狭いガス流速領域で気液分離で
きるようにしておけばよい。
合の狭い圧力領域、即ち狭いガス流速領域で気液分離で
きるようにしておけばよい。
なお、ロータ室内での給油箇所については、雌雄ロータ
の噛み合い部、雌雄ロータのいずれか一方のみ、あるい
は両ロータ別個の箇所のいずれであってもよい。
の噛み合い部、雌雄ロータのいずれか一方のみ、あるい
は両ロータ別個の箇所のいずれであってもよい。
なお、上記実施例では油ポンプを備えたものを示したが
、本発明は油ポンプを必ずしも必要とするものではない
。
、本発明は油ポンプを必ずしも必要とするものではない
。
(発明の効果)
以上の説明より明らかように、本発明によれば、互いに
接触することなく、微小な隙間を介して噛み合う雌雄一
対のスクリュロータの一方のロータを駆動し、それぞれ
のロータ軸に取付けて互いに噛み合わさせた同期歯車に
より両ロータを同期回転させるようにしたポンプ本体と
、このポンプ本体の吐出口から油分離回収器に至り、吐
出ガス流路と分かれて、上記本体内の軸受部等の潤滑部
に至る流路、および開閉弁を介して上記本体内のロータ
室に至る流路に分岐して、この軸受部、ロータ室から上
記吐出口に戻る油循環流路と、上記本体の吸込圧力を検
出し、この検出圧力が予め設定した値以下になると上記
開閉弁を開かせる圧力スイッチとから形成しである。
接触することなく、微小な隙間を介して噛み合う雌雄一
対のスクリュロータの一方のロータを駆動し、それぞれ
のロータ軸に取付けて互いに噛み合わさせた同期歯車に
より両ロータを同期回転させるようにしたポンプ本体と
、このポンプ本体の吐出口から油分離回収器に至り、吐
出ガス流路と分かれて、上記本体内の軸受部等の潤滑部
に至る流路、および開閉弁を介して上記本体内のロータ
室に至る流路に分岐して、この軸受部、ロータ室から上
記吐出口に戻る油循環流路と、上記本体の吸込圧力を検
出し、この検出圧力が予め設定した値以下になると上記
開閉弁を開かせる圧力スイッチとから形成しである。
このため、吸込圧力が予め定めた設定圧力より低い場合
にだけロータ室内に油を注入するため、両ロータ間、お
よびこれとロータ室壁部との間の隙間からのガス漏れが
少なくなり、ポンプの排気効率を向上させることができ
る。
にだけロータ室内に油を注入するため、両ロータ間、お
よびこれとロータ室壁部との間の隙間からのガス漏れが
少なくなり、ポンプの排気効率を向上させることができ
る。
また、油分離回収器も狭いガス流速の範囲を使用条件と
して選択すればよいので、最適な寸法のものを決めるこ
とができ、寸法が小さ過ぎる場合の大気への油煙の放出
や寸法が大き過ぎるという弊害をなくすことができると
いう効果を奏する。
して選択すればよいので、最適な寸法のものを決めるこ
とができ、寸法が小さ過ぎる場合の大気への油煙の放出
や寸法が大き過ぎるという弊害をなくすことができると
いう効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係るスクリュ式真空ポンプの適用例を
示す全体構成図、第2図は第1図中のスクリュロータ部
の概略を示す部分平面図、第3図は従来の油入りスクリ
ュ式圧縮機の全体構成図、第4図は第3図に示す装置を
そのまま真空ポンプとして使用した例を示す全体構成図
、第5図は吸込圧力の経時変化の例を示す図である。 l・・・ポンプ本体、2・・・吐出口、6.7・・・ス
クリュロータ、8.9・・・同期歯車、12・・・圧力
スイッチ、13・・・油ポンプ、I4・・・流路、15
・・・電磁弁、16・・・流路、17・・・油循環流路
。 特 許 出 願 人 株式会社神戸製鋼所代 理 人
弁理士 前出 葆 ほか1名第3図 第4図 第2図 −時藺
示す全体構成図、第2図は第1図中のスクリュロータ部
の概略を示す部分平面図、第3図は従来の油入りスクリ
ュ式圧縮機の全体構成図、第4図は第3図に示す装置を
そのまま真空ポンプとして使用した例を示す全体構成図
、第5図は吸込圧力の経時変化の例を示す図である。 l・・・ポンプ本体、2・・・吐出口、6.7・・・ス
クリュロータ、8.9・・・同期歯車、12・・・圧力
スイッチ、13・・・油ポンプ、I4・・・流路、15
・・・電磁弁、16・・・流路、17・・・油循環流路
。 特 許 出 願 人 株式会社神戸製鋼所代 理 人
弁理士 前出 葆 ほか1名第3図 第4図 第2図 −時藺
Claims (1)
- (1)互いに接触することなく、微小な隙間を介して噛
み合う雌雄一対のスクリュロータの一方のロータを駆動
し、それぞれのロータ軸に取付けて互いに噛み合わさせ
た同期歯車により両ロータを同期回転させるようにした
ポンプ本体と、このポンプ本体の吐出口から油分離回収
器に至り、吐出ガス流路と分かれて、上記本体内の軸受
部等の潤滑部に至る流路、および開閉弁を介して上記本
体内のロータ室に至る流路に分岐して、この軸受部、ロ
ータ室から上記吐出口に戻る油循環流路と、上記本体の
吸込圧力を検出し、この検出圧力が予め設定した値以下
になると上記開閉弁を開かせる圧力スイッチとから形成
したことを特徴とするスクリュ式真空ポンプ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1095686A JPH02275089A (ja) | 1989-04-13 | 1989-04-13 | スクリュ式真空ポンプ |
US07/438,012 US4995797A (en) | 1989-04-13 | 1989-11-20 | Rotary screw vacuum pump with pressure controlled valve for lubrication/sealing fluid |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1095686A JPH02275089A (ja) | 1989-04-13 | 1989-04-13 | スクリュ式真空ポンプ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02275089A true JPH02275089A (ja) | 1990-11-09 |
Family
ID=14144374
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1095686A Pending JPH02275089A (ja) | 1989-04-13 | 1989-04-13 | スクリュ式真空ポンプ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4995797A (ja) |
JP (1) | JPH02275089A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5174741A (en) * | 1991-04-12 | 1992-12-29 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho | Liquid injecting type oil-free screw compressor |
WO1999049219A1 (fr) * | 1998-03-24 | 1999-09-30 | Taiko Kikai Industries Co., Ltd. | Pompe d'aspiration de liquides du type rotor a vis |
US6368091B1 (en) | 1998-03-25 | 2002-04-09 | Taiko Kikai Industries Co., Ltd. | Screw rotor for vacuum pumps |
CN108869296A (zh) * | 2018-08-31 | 2018-11-23 | 重庆开山压缩机有限公司 | 喷油螺杆式真空泵 |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4316735C2 (de) * | 1993-05-19 | 1996-01-18 | Bornemann J H Gmbh & Co | Pumpverfahren zum Betreiben einer Multiphasen-Schraubenspindelpumpe und Pumpe |
JPH08100779A (ja) * | 1994-10-04 | 1996-04-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 真空ポンプ |
JP4473819B2 (ja) * | 2003-12-22 | 2010-06-02 | 三菱電機株式会社 | スクリュー圧縮機 |
US7553142B2 (en) * | 2004-02-25 | 2009-06-30 | Carrier Corporation | Lubrication system for compressor |
WO2007076213A1 (en) * | 2005-12-23 | 2007-07-05 | Gardner Denver, Inc. | Screw compressor with oil feed system |
US20090129956A1 (en) * | 2007-11-21 | 2009-05-21 | Jean-Louis Picouet | Compressor System and Method of Lubricating the Compressor System |
EP2530325B1 (en) * | 2010-01-29 | 2018-10-17 | Ulvac Kiko, Inc. | Pump |
US8454334B2 (en) | 2011-02-10 | 2013-06-04 | Trane International Inc. | Lubricant control valve for a screw compressor |
DE102011011404B4 (de) | 2011-02-16 | 2012-08-30 | Joh. Heinr. Bornemann Gmbh | Zweiflutige Schraubspindelmaschine |
MX2018007060A (es) * | 2015-12-11 | 2018-08-15 | Atlas Copco Airpower Nv | Metodo para controlar la inyeccion de liquido en un aparato compresor o en un aparato expansor, un aparato compresor o un aparato expansor inyectado con liquido, y un elemento compresor o de expansion inyectado con liquido. |
CN108825503B (zh) * | 2018-08-31 | 2024-01-23 | 重庆开山流体机械有限公司 | 喷油螺杆式真空泵的补气装置 |
WO2021119877A1 (zh) * | 2019-12-15 | 2021-06-24 | 江苏亚太工业泵科技发展有限公司 | 一种垂直下排气螺杆真空泵*** |
BE1028138B1 (nl) * | 2020-03-10 | 2021-10-11 | Atlas Copco Airpower Nv | Smeermiddelrecuperatiesysteem en vacuümsysteem omvattende dergelijke smeermiddelrecuperatiesysteem |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DD129677A5 (de) * | 1977-03-15 | 1978-02-01 | Hoerbiger Ventilwerke Ag | Steueranordnung fuer die oeleinspritzung in einen schraubenverdichter |
FR2401338B1 (ja) * | 1977-06-17 | 1980-03-14 | Cit Alcatel | |
DE3150000A1 (de) * | 1981-12-17 | 1983-07-14 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Oelgedichtete vakuumpumpe |
US4526523A (en) * | 1984-05-16 | 1985-07-02 | Ingersoll-Rand Company | Oil pressure control system |
US4808905A (en) * | 1986-08-05 | 1989-02-28 | Advanced Micro Devices, Inc. | Current-limiting circuit |
-
1989
- 1989-04-13 JP JP1095686A patent/JPH02275089A/ja active Pending
- 1989-11-20 US US07/438,012 patent/US4995797A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5174741A (en) * | 1991-04-12 | 1992-12-29 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho | Liquid injecting type oil-free screw compressor |
WO1999049219A1 (fr) * | 1998-03-24 | 1999-09-30 | Taiko Kikai Industries Co., Ltd. | Pompe d'aspiration de liquides du type rotor a vis |
US6375443B1 (en) | 1998-03-24 | 2002-04-23 | Taiko Kikai Industries Co., Ltd. | Screw rotor type wet vacuum pump |
KR100382825B1 (ko) * | 1998-03-24 | 2003-05-09 | 다이코 기카이 고교 가부시키가이샤 | 스크루로터형 웨트진공펌프 |
DE19882900B4 (de) * | 1998-03-24 | 2004-04-15 | Taiko Kikai Industries Co., Ltd. | Schraubenrotor-Nassvakuumpumpe |
US6368091B1 (en) | 1998-03-25 | 2002-04-09 | Taiko Kikai Industries Co., Ltd. | Screw rotor for vacuum pumps |
CN108869296A (zh) * | 2018-08-31 | 2018-11-23 | 重庆开山压缩机有限公司 | 喷油螺杆式真空泵 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4995797A (en) | 1991-02-26 |
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