JPH0225764A - Inspecting device - Google Patents
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- JPH0225764A JPH0225764A JP63176584A JP17658488A JPH0225764A JP H0225764 A JPH0225764 A JP H0225764A JP 63176584 A JP63176584 A JP 63176584A JP 17658488 A JP17658488 A JP 17658488A JP H0225764 A JPH0225764 A JP H0225764A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は検査装置に関する。[Detailed description of the invention] [Purpose of the invention] (Industrial application field) The present invention relates to an inspection device.
（従来の技術）
液晶テレビ画面等に用いられている液晶表示体（以下、
ＬＣＤと略記する）の電気的特性を検査する装置とし
て、検査装置が知られている。(Prior art) Liquid crystal displays (hereinafter referred to as
Inspection devices are known as devices for inspecting the electrical characteristics of LCDs (abbreviated as LCD).
上記検査装置は、被検査体、例えばＬＣＤの電極列に対
応したプローブ電極端子列を、接触してテスタと電気的
に接続したプローブ電極端子列から、電圧が印加されて
、検査するものである。The above-mentioned inspection apparatus inspects a probe electrode terminal array corresponding to an electrode array of an object to be inspected, for example, an LCD, by applying a voltage from a probe electrode terminal array that is in contact with and electrically connected to a tester. .
（ユ
上記検査装置は、第桝図で示すように、先ず口取り出し
１位置決め板０でアライメント（位置合わせ）して、検
査部■に受は渡す位置、例えばホームポジション位置■
のサブチャック（８）に載置する。そして、検査部■側
に設けられたＸ軸移動板（９）に吸着して、このＸ軸移
動板■を検査部０の載置体（１０）まで駆動制御して、
載置体（１０）表面に受は渡す。(U) As shown in the box diagram, the above-mentioned inspection device first performs alignment (positioning) with the opening 1 positioning plate 0, and then passes the receiver to the inspection section (■) at a position such as the home position (■).
Place it on the sub-chuck (8). Then, it is attracted to the X-axis moving plate (9) provided on the side of the inspection section (■), and the X-axis moving plate (2) is driven and controlled to the mounting body (10) of the inspection section 0.
The receiver is placed on the surface of the mounting body (10).
同様にして、検査終了したＬＣＤ■は上述した各機構を
用いて、逆方向に搬送ｒｇ動して、所定セット（３−に
戻るように駆動制御されている。上述した一連の搬送移
動で、ＬＣＤ■をカセット■から載置体（１０）まで搬
送する搬送状態を操作パネル（１１）の前面に設けた表
示画面（１２）に可視表示して、監視、即ちモニタニン
グしている。Similarly, the LCD ■ that has been inspected is controlled to be transported in the opposite direction rg using the above-mentioned mechanisms and returned to a predetermined set (3-). With the above-mentioned series of transport movements, The conveyance status of the LCD ■ from the cassette ■ to the mounting body (10) is visually displayed on a display screen (12) provided in front of the operation panel (11) for monitoring.
上記表示画面（１２）は、ＬＣＤ■が上述したカセット
■を載置する夫々の機構、例えばステージ（１３） 。The display screen (12) is a mechanism, for example, a stage (13), on which the LCD (1) and the above-mentioned cassette (2) are placed.
ピンセット（至）、サブチャフ２０２位置決め板（ト）
。Tweezers (to), subchaff 202 positioning plate (to)
.
ローダ部（１）から、検査部■にＬＣＤ■を搬送させる
Ｘ軸移動板（９）、及び載置体（１０）における所在を
表示するように表示灯が表示画面（１２）の各位置に設
けられている。An X-axis moving plate (9) transports the LCD ■ from the loader section (1) to the inspection section ■, and indicator lights are placed at each position on the display screen (12) to indicate its location on the mounting body (10). It is provided.
従って、ＬＣＤ■の搬送される所在は、各個所に設けら
れているセンサ（１４）によって、感知しその情報に基
づいて表示するようになっているので、上記表示画面の
各表示灯の点灯または消灯により、ＬＣＤ■の所在が監
視可能であり、この監視によって、搬送状態の移動を瞬
時間隔でモニタニングするが一般的に用いられている。Therefore, the location where the LCD ■ is being transported is detected by the sensor (14) installed at each location, and the information is displayed based on the information. By turning off the light, the location of the LCD (2) can be monitored, and this monitoring is generally used to monitor the movement of the conveyance state at instantaneous intervals.
（発明が解決しようとするｇ１９ｇ）
従来の検査装置では、搬送系においてＬＣＤの所在位置
が可視表示でき、この所在位置を監視して順次検査して
いたが、最近になって、上記ＬＣＤの基板の搬送系に異
常発生の状況が可視可能に表示される検査装置が切望さ
れている。(g19g to be solved by the invention) In conventional inspection equipment, the location of the LCD in the transport system can be visually displayed, and this location is monitored and inspected sequentially. There is a strong need for an inspection device that can visibly display the status of abnormality occurrence in the transport system.
本発明の目的とするところは、上記問題に鑑みなされた
もので、搬送系における被検査体の所在位置および被検
査体の搬送状況情報を可視色表示する検査装置を提供す
ることにある。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an inspection apparatus that displays the location of an object to be inspected in a transport system and information on the transportation status of the object in visible colors.
（課題を解決するための手段）
本発明は、搬送系での被検査体の所在位置を可視表示す
る表示手段を備えた装置において。(Means for Solving the Problems) The present invention provides an apparatus including a display means for visually displaying the location of an object to be inspected in a transport system.
上記被検査体の所在位置及び搬送状況を色で表示するこ
とを特徴としている。It is characterized by displaying the location and transportation status of the object to be inspected in color.
（作用効果）
この発明は、被検査体の所在位置及び被検査体の搬送状
況を色表示することができる。従って被検査体の所在位
置と搬送時の異常を瞬時に監視できる。さらに修理対応
を迅速に行うことができる。(Effects) The present invention can display the location of the object to be inspected and the transportation status of the object to be inspected in color. Therefore, the location of the object to be inspected and abnormalities during transportation can be instantly monitored. Furthermore, repairs can be carried out quickly.
（実施例）
以下、本発明装置を液晶表示体プローバに適用した一実
施例について図面を参照して説明する。(Example) Hereinafter, an example in which the device of the present invention is applied to a liquid crystal display prober will be described with reference to the drawings.
上記説明において、従来部品と同一部品は同符号を用い
て説明する。In the above description, parts that are the same as conventional parts will be described using the same reference numerals.
上記液晶表示体プローバは、液晶表示体（以下、ＬＣＤ
と称する）に形成さ九た信号ライン・操作ラインの断線
、短絡及びパルスヂエネレータからのテストパターンに
よる表示等の検査を行うものである。The liquid crystal display prober is a liquid crystal display (hereinafter referred to as LCD).
This test checks for disconnections and short circuits in the signal lines and operation lines formed in the pulse generator, as well as displays using test patterns from the pulse generator.
ｌノ
上記液晶表示体プローバは、第愕図で示すように、筐体
（１５）の右側に配置されたローダ部■と。1) The liquid crystal display prober has a loader section 2 disposed on the right side of the casing (15), as shown in Figure 1.
このローダ部■の左側に配置された検査部■と、この検
査部■及びローダ部■の前面に配置された操作パネル（
１１）と、この操作パネル（１１）の上側に配置され、
ＬＣＤの移動位置を可視表示する表示画面（１２）
とから構成されている。There is an inspection section ■ placed on the left side of this loader section ■, and an operation panel (
11) and is placed above this operation panel (11),
Display screen (12) that visually displays the moving position of the LCD
It is composed of.
尚、上記検査部０の上方には、 ＬＣＤの電極部にプ
ローブ電極端子の接触状態を確認できるスコープ（１６
）がｘ＠Ｙ軸移動可能に設けられている。Additionally, above the inspection section 0, there is a scope (16
) is provided so as to be movable on the x@Y axis.
上記ローダ部■は、第４図と第鷺図で示すように、ＬＣ
Ｄ■を板厚方向に所定の間隔を設けて複数枚１例えば２
５枚を積載収納したカセット■を保持するステージ（１
３）と、このステージ（１３）と平行に移動して、上記
カセット（３）内に進入して、 ＬＣＤ■を取り出し
、ホームポジション位置■まで搬送する取り出し機構、
例えばピンセットに）と、上記ホームポジション位置■
に到達したピンセット（イ）上のＬＣＤ■を上方に持ち
上げるように上昇する上昇機構、例えばサブチャック■
と、このサブチャック■で上昇したＬＣＤ■を位置合わ
せさせる位置決め板■とから構成されている。The above loader section (■) is connected to the LC
A plurality of sheets 1, for example 2 of D
A stage (1
3) and a take-out mechanism that moves parallel to this stage (13), enters the cassette (3), takes out the LCD ■, and transports it to the home position ■;
For example, with tweezers) and the above home position ■
A lifting mechanism that lifts the LCD ■ on the tweezers (A) upward when it reaches the position, such as a sub-chuck ■
and a positioning plate (2) for positioning the LCD (2) raised by the sub-chuck (2).
ここで上記位置決め板■は、ステージ（１３）方向と平
行に移動可能に設けられ、上記サブチャック■上面まで
駆動されるようになっている。Here, the positioning plate (2) is provided so as to be movable in parallel to the direction of the stage (13), and is driven to the upper surface of the sub-chuck (2).
従って、上記構成のローダ部■では、カセット（３）内
に収納したＬＣＤ■を一枚ずつ取り出して検査部（０に
供給し、また検査終了のＬＣＤ■は空力セット（図示せ
ず）に収納するものである。Therefore, in the loader section ■ having the above configuration, the LCD ■ stored in the cassette (3) is taken out one by one and supplied to the inspection section (0), and the LCD ■ after inspection is stored in an aerodynamic set (not shown). It is something to do.
上記検査部■は、第７図及び第８図に示すように、液晶
表示プローバの基台（１７）上を平面移動可能な載置体
（１０）と、上述したローダ部（１）のサブチャック■
を設けたホームポジション位置■に位置決めされたＬＣ
Ｄ■を上記載置体（１０）に搬送するＸ軸移動板（９）
と、から構成されている。As shown in FIGS. 7 and 8, the inspection section (1) includes a mounting body (10) that is movable in plane on the base (17) of the liquid crystal display prober, and a sub-assembly of the loader section (1) described above. Chuck■
LC positioned at the home position ■ with
X-axis moving plate (9) that conveys D■ to the above-mentioned mounting body (10)
It is composed of and.
上記載置体（１０）の表面にＬＣＤ■を仮固定例えば、
真空吸着固定し、この表面と対向面に設けられたヘッド
プレート（１８）に配置されているプローブ電極端子（
１９）と接触するように上昇する構成になっている。Temporarily fixing the LCD ■ on the surface of the above mounting body (10), for example,
The probe electrode terminal (
19).
上記プローブ電極端子（１９）はテスタ（２０）と電気
的に接続して、 ＬＣＤ■の断線、ショート等を検査
できるように駆動制御している。The probe electrode terminal (19) is electrically connected to a tester (20) and is controlled to be able to inspect the LCD (2) for disconnections, short circuits, etc.
上記表示画面（１２）は、上述したローダ部■及び検査
部０にＬＣＤ■が移動するに際し、所在位置を可視でき
る画面に表示するものである。The display screen (12) is used to display the location of the LCD (2) on a visible screen when the LCD (2) moves to the loader section (2) and the inspection section 0 described above.
この表示画面（１２）は、カセット■をａ置するステー
ジ（１３）、 ＬＣＤ■をカセット■から出し入れす
る。This display screen (12) includes a stage (13) where the cassette ■ is placed a and an LCD ■ placed in and taken out from the cassette ■.
取り出し機構、例えばピンセットに）と、検査部０とロ
ーダ部■のＬＣＤ■受は渡し位置、例えばサブチャック
（ハ）と、ピンセットに）でサブチャック（８）まで搬
送されたＬＣＤ■の位置決めをする位置決め板■と、ホ
ームポジション位置■から載置体（１０）まで搬送する
Ｘ軸移動板（９）の各々にセンサ（２１）が設けられて
いる。ここで、このセンサ（２１）からの情報は操作パ
ネル（１１）の上部にある表示画面に可視表示可能に点
灯するように設けられている。The retrieval mechanism (e.g. tweezers) and the LCD receiver of the inspection unit 0 and loader part A sensor (21) is provided on each of the positioning plate (2) and the X-axis moving plate (9) that transports the object from the home position (2) to the mounting body (10). Here, information from this sensor (21) is provided so as to be visibly displayed on a display screen at the top of the operation panel (11).
そして、ＬＣＤ■の所在位置を可視表示することにより
ＬＣＤ■を監視して、ＬＣＤ■の電気的特性を検査し、
上記ＬＣＤ■の状況１例えば異常搬送状態。Then, the LCD ■ is monitored by visually displaying the location of the LCD ■, and the electrical characteristics of the LCD ■ are inspected.
Status 1 of the LCD ■ above, for example, an abnormal conveyance state.
未検査ＬＣＤ 、検査部ＬＣＤの状況等を可視表示して
、ＬＣＤの流が瞬時に監視できる液晶表示体プローバに
構成されている。The liquid crystal display prober is configured to visually display the status of the uninspected LCD and the inspection section LCD, and can instantly monitor the flow of the LCD.
本実施例の特徴的構成は、第１図に示すように上記しＣ
Ｄ■の所在位置を表示する所在信号発生（２２）と、こ
のＬＣＤ■の状況を表示する状況信号発生（２３）例え
ば異常状態、未検査しＣＤ■との区別を色表示変換して
、表示灯（２４）に可視表示することにある。The characteristic configuration of this embodiment is as shown in FIG.
A location signal is generated (22) to display the location of the CD■, and a status signal is generated (23) to display the status of this LCD■. The purpose is to display it visually on the light (24).
即ち、カセット■が載置される各ステージ（１３ａ。That is, each stage (13a) on which the cassette (2) is placed.
１３ｂ、 １３ｃ、 １３ｄ）、ピンセットに）の頂面
、サブチャック■の頂面、位置決め板■の頂面、サブチ
ャック■上のホームポジション位置■のＸ軸移動板０）
、載置体（１０）上のＸ軸移動板■、載置体（１０）の
頂面に夫々にセンサー（１４ａ、 １４ｂ、 １４ｃ、
１４ｄ、 １４ｅ。13b, 13c, 13d), the top surface of the tweezers), the top surface of the sub chuck ■, the top surface of the positioning plate ■, the X-axis moving plate 0) at the home position ■ on the sub chuck ■
, an X-axis moving plate (1) on the mounting body (10), and sensors (14a, 14b, 14c,
14d, 14e.
１４ｆ、 １４ｇ、 １４ｈ）が設けられている。ここ
で、上記ピンセット（イ）、サブチャック■及び位置決
め板■にはＬＣＤ■の吸着時の圧力が一定圧力であるか
否かを検出する圧力センサのみを付加して、この圧力セ
ンサによってＬＣＤの載置を検出している。14f, 14g, 14h) are provided. Here, only a pressure sensor is added to the tweezers (A), sub-chuck ■, and positioning plate ■ to detect whether or not the pressure when the LCD ■ is attracted is a constant pressure. Detecting placement.
上記センサ（１４）は、第２図（ａ）に示すように従来
と異ったセンサ（２１）、例えばフォトインターラプタ
（２１ａ）においては２ 発光を遮断するように設けら
れている。As shown in FIG. 2(a), the sensor (14) is a sensor (21) different from the conventional one, for example, a photointerrupter (21a), which is provided so as to block the light emission.
また、 上記フォトインターラプタ（２１ａ）における
発光と受光との間が遮断されると、表示画面（１２）に
配置されている可視表示、例えば電気的に接続されてい
る発光ダイオードに信号が送られる。Further, when the light emission and light reception in the photointerrupter (21a) are interrupted, a signal is sent to a visible display disposed on the display screen (12), for example, to an electrically connected light emitting diode. .
上記表示灯（２４）には、第２図（ｂ）で示すように信
号を送信すると、緑色に点灯する緑色用発光ダイオード
（２５） （以下、緑色ＬＥＤと略記する）と、赤色に
点灯する赤色用発光ダイオード（２６） （以下赤色Ｌ
ＥＤと略記する）とが設けられている。上記ＬＥＤには
、信号線（２５ａ、 ２６ａ）が設けられている。The indicator light (24) has a green light emitting diode (25) (hereinafter abbreviated as green LED) that lights up in green when a signal is transmitted as shown in Figure 2 (b), and a green light emitting diode (25) that lights up in red. Red light emitting diode (26) (hereinafter referred to as red L)
(abbreviated as ED) is provided. The LEDs are provided with signal lines (25a, 26a).
また、上記緑色ＬＥＤ（２５）及び赤色ＬＥＤ （２６
）の双方が点灯すると橙色が表示灯に可視されるように
なっている。In addition, the above green LED (25) and red LED (26)
) are lit, the orange color will be visible on the indicator light.
上記表示灯（２４）の赤色ＬＥＤの点灯は、既に説明し
た各々の搬送の異常状態を検出して、その信号を入力し
て、異常状態を可視表示可能にしたことにある。The reason why the red LED of the indicator light (24) is turned on is that each of the above-described abnormal states of conveyance is detected and the signals thereof are inputted so that the abnormal states can be visually displayed.
即ち、先ず、カセット■が載置される各々のステージ例
えば、第９図及び第１０図で示すように、第１ステージ
（１３ａ）、第２ステージ（１３ｂ）、第３ステージ（
１３ｃ）、第４ステージ（１３ｄ）を上下動させる駆動
モータ（８ａ）と連動したエンコーダ（図示しない）の
読みが所定値からずれると、ハングアップしたものとし
て、異常状態であることを検出して、信号を赤色ＬＥＤ
（２６）に送出すると同時に、【、ＣＤ■が各々の機構
載置面に載置され点灯している緑色ＬＥＤ（２５）を予
め記憶されたプログラムに従って、消灯して赤色ＬＥＤ
（２６）のみを点灯するようになっている。That is, first, each stage on which the cassette (2) is placed, for example, as shown in FIGS. 9 and 10, the first stage (13a), the second stage (13b), and the third stage (
13c), if the reading of an encoder (not shown) linked to the drive motor (8a) that moves the fourth stage (13d) up and down deviates from a predetermined value, it is assumed that the fourth stage (13d) has hung up and an abnormal state is detected. , red LED signal
At the same time, the CD ■ is placed on each mechanism mounting surface and the green LED (25) is turned off and the red LED is turned off according to a pre-stored program.
Only (26) is lit.
同様に、ピンセット（イ）の異常状態についても説明す
る。Similarly, the abnormal state of the tweezers (a) will also be explained.
上記ピンセットに）にＬＣＤ■が載置されると、このピ
ンセット（イ）の表面に設けられた孔でＬＣＤ（２）を
真空吸着するが、この時に真空圧力が一定圧力で吸引さ
れない場合に圧力センサ（図示せず）が異常と判断して
、または、ビンセット駆動モータのハングアップ等の異
常の場合も赤色ＬＥＤ（２６）の信号線（２６ａ）に信
号が送出される。When the LCD ■ is placed on the above tweezers (A), the LCD (2) is vacuum-adsorbed using the hole provided on the surface of the tweezers (A). A signal is also sent to the signal line (26a) of the red LED (26) when a sensor (not shown) determines that there is an abnormality, or when there is an abnormality such as hang-up of the bin set drive motor.
そして、上記ピンセットに）の異常状態であることが表
示画面（１２）のピンセット表示灯（２４ａ）が緑から
赤色に色変換することになる。The color of the tweezers indicator light (24a) on the display screen (12) changes from green to red to indicate that the tweezers are in an abnormal state.
同様にして、ＬＣＤ（１０）をピンセットに）から授受
したサブチャック（ａは、上下動駆動モータ（８ａ）の
ハングアップまたは、真空圧力の底下のいずれか一方が
異常状態になっても、緑色から赤色になるよう信号を送
出し、表示画面（１２）のサブチャックの表示灯（２４
ｆ）を色変換することになる。Similarly, the sub-chuck (a) transferred from the LCD (10) to the tweezers will turn green even if either the vertical drive motor (8a) hangs up or the bottom of the vacuum pressure becomes abnormal. The sub-chuck indicator light (24) on the display screen (12)
f) will be color-converted.
同様にして、サブチャック（８）から授受したＬＣＤ■
をプリアライメントする位置決め板■の真空圧力が一定
圧力で吸引されない場合にも圧力センサ（図示せず）で
異常信号が表示灯に送出されることになる。In the same way, the LCD ■ sent and received from the sub-chuck (8)
Even if the vacuum pressure of the positioning plate (3) that pre-aligns the positioning plate (2) is not sucked at a constant pressure, a pressure sensor (not shown) will send an abnormal signal to the indicator light.
そして、上記位置決め板■の収差不完全の異常状態が表
示同面（１２）の位置決め板表示灯（２４ｇ）に表示さ
れる。即ち、緑から赤色に色変換して、可視表示される
ことになる。The abnormal state of incomplete aberration of the positioning plate (2) is displayed on the positioning plate indicator light (24g) on the same surface as the display (12). That is, the color is converted from green to red and displayed visually.
また、上記位置決め板（２４ｇ）から上記サブチャック
（８）に授受したＬＣＤ■を真空圧で真空吸着固定して
、検査部０の載置体（１０）まで搬送するように設けら
れたＸ軸移動板（９）がある。In addition, an X-axis is provided so that the LCD ■ transferred from the positioning plate (24g) to the sub-chuck (8) is fixed by vacuum suction using vacuum pressure, and transported to the mounting body (10) of the inspection section 0. There is a moving plate (9).
このＸ軸移動板（９）は、上記サブチャック（ハ）と上
記載置体（１０）との間を結ぶように設けられている。This X-axis moving plate (9) is provided so as to connect the sub-chuck (c) and the mounting body (10).
上記Ｘ軸移動板（９）は上記サブチャック（８）上のホ
ームポジション位置■からＬＣＤ■を吸着したのちに移
動して、載置体（１０）上面まで搬送して、上記載置体
（１０）がＺ軸方向に上昇して、上記Ｘ軸移動板０）か
らＬＣＤ■を受は取り、降下して、載置体（１０）に受
は渡すように設けられている。The X-axis moving plate (9) adsorbs the LCD ■ from the home position ■ on the sub-chuck (8), moves it, transports it to the upper surface of the mounting body (10), and transports it to the upper surface of the mounting body (10). 10) rises in the Z-axis direction, picks up the LCD (2) from the X-axis moving plate (0), descends, and hands the receiver to the mounting body (10).
この時に上記Ｘ軸移動板（９）にＬＣＤ■が一定圧力で
吸引されない場合、搬送中にＬＣＤ■を落下させてしま
うので、この時の異常状態を緑色から赤色に色表示変換
して１表示画面（１２）のホームボジシ１ン側のＸ軸径
動板表示灯（２４ｈ）に可視表示する。At this time, if the LCD ■ is not attracted to the X-axis moving plate (9) with a constant pressure, the LCD ■ will fall during transportation, so the abnormal state at this time will be displayed in color by converting it from green to red. It is visually displayed on the X-axis radial moving plate indicator light (24h) on the home position 1 side of the screen (12).
またＸ軸移動板０の駆動により、載置体（１０）側に到
達したＸ軸棒動板毎に異常があれば、緑色から赤色に色
表示変換して表示画面（１２）のＸ軸径動板表示灯に可
視表示されることになる。In addition, if there is an abnormality in each X-axis rod moving plate that reaches the mounting body (10) side by driving the X-axis moving plate 0, the color display is changed from green to red and the X-axis diameter is displayed on the display screen (12). It will be visibly displayed on the moving plate indicator light.
このようにして、液晶表示体プローバでは、未検査のし
ＣＤ■をカセット■から載置体（ｌＯ）まで搬送する時
にローダ側から検査部に向う方向を示すように、緑色に
表示し、この逆の搬送、即ち検査部からカセットに向う
方向を示すアンローダ側には、橙色で表示するようにな
っている。In this way, the liquid crystal display prober displays the uninspected CD in green to indicate the direction from the loader side to the inspection section when it is transported from the cassette to the mounting body (lO). The unloader side indicating the reverse transport, that is, the direction from the inspection section to the cassette, is displayed in orange.
ここで、緑色表示から橙色表示に切り替える信号はテス
タ（２０）側から液晶表示体プローパ側にテストエンド
のコマンドが出ると、この信号を戻りの信号としている
。Here, the signal for switching from green display to orange display is used as a return signal when a test end command is issued from the tester (20) side to the liquid crystal display properr side.
この時の橙色は、第２図（ｂ）で示すように、双方の信
号線（２５ａ、 ２６ａ）に信号が入切されると緑色Ｌ
ＥＤ（２５）及び赤色ＬＥＤ（２６）の両方が点灯して
橙色に点灯したように見える。At this time, the orange color changes to green L when the signals are turned on and off to both signal lines (25a, 26a), as shown in Figure 2(b).
Both the ED (25) and the red LED (26) appear to be lit in orange.
次に、上記液晶表示体プローバの表示灯（２４）の点灯
動作について第４図乃至第６図フローチャートを用いて
説明する。Next, the lighting operation of the indicator light (24) of the liquid crystal display prober will be explained using the flowcharts of FIGS. 4 to 6.
上記液晶表示体プローバのローダ部■ではカセット■内
のしＣＤの収納状況をメモリする。そして、カセット■
がステージ（１３）に載置しているかを読みとる（３２
）。The loader section (2) of the liquid crystal display prober stores the storage status of the CD in the cassette (2). And the cassette
is placed on the stage (13) (32
).
上記カセット（３）内に未検査用ＬＣＤ■があれば。If there is an untested LCD ■ in the cassette (3).
表示画面（１２）のステージ表示灯（２４ａ、 ２４ｂ
、 ２４ｃ。Stage indicator lights (24a, 24b) on display screen (12)
, 24c.
２４ｄ）を緑色に点灯する（３３）日。24d) is lit in green on the (33) day.
未検査ＬＣＤ■が無ければ、上記ステージ表示灯（２４
ａ、 ２４ｂ、 ２４ｃ、 ２４ｄ）を橙色に点灯させ
る（３４）。If there is no uninspected LCD■, the above stage indicator light (24
a, 24b, 24c, 24d) are turned on in orange (34).
即ち緑色ＬＥＤ及び赤色ＬＥＤを点灯させる。That is, the green LED and the red LED are turned on.
また、上記ステージ（１３ａ、 １３ｂ、 １３ｃ、
１３ｄ）上にカセット■が無ければ点灯しない（３５）
。In addition, the above stages (13a, 13b, 13c,
13d) If there is no cassette ■ on top, it will not light up (35)
.
次に第５図に示すように。Next, as shown in FIG.
ピンセット（イ）にＬＣＤ■が載置されたか、を読む（
３６）。Read whether the LCD ■ is placed on the tweezers (a) (
36).
真空吸着力が一定であるかを読む（３７）。Read whether the vacuum adsorption force is constant (37).
一定であり、ＬＥＤを緑色に点灯（３８）。It is constant and the LED lights up in green (38).
低下していればＬＥＤを赤に点灯する（３９）。If the level has decreased, the LED lights up in red (39).
上記ピンセット（イ）にＬＣＤ■が無ければＬＥＤを点
灯しない（４０）。If the tweezers (A) do not have LCD ■, the LED will not be lit (40).
次に第６図に示すように、
サブチャック（８）にＬＣＤ■がｔＨ？Ｚされているか
を読む（４１）。Next, as shown in Figure 6, the LCD ■ on the sub-chuck (8) indicates tH? Read whether it is Zed (41).
真空吸着力が一定であるかを読む（４２）。Read whether the vacuum adsorption force is constant (42).
一定であれば、つぎに駆動モータのエンコーダの読みは
所定値かを読む（４２）。If it is constant, then the encoder of the drive motor is read to see if it is a predetermined value (42).
そして一定かつ所定値であればＬＥＤを緑色に点灯（４
３）、低下、または所定値でなければＬＥＤを赤色に点
灯する（４４）。If the value is constant and a predetermined value, the LED lights up in green (4
3) If the value has decreased or is not a predetermined value, the LED is turned on in red (44).
上記サブチャック（８）上にＬＣＤ■が無ければ、ＬＥ
Ｄは点灯しない（４５）。If there is no LCD ■ on the sub-chuck (8) above, LE
D does not light up (45).
上記動作は、位置決め板■、Ｘ軸移動板■）及び載置体
（１０）も同様なフローチャート動作と同じなので動作
説明を省略する。The above operation is the same as that of the positioning plate (2), the X-axis moving plate (2), and the mounting body (10) in the same flowchart, so the explanation of the operation will be omitted.
上記実施例では表示灯（２４）にＬＥＤを用いたが、こ
れに限定されることはなく、光が発するものであれば良
い、例えば豆電球、または液晶を用いてもよい。Although an LED is used as the indicator light (24) in the above embodiment, the indicator light (24) is not limited to this, and any light emitting device may be used, for example, a miniature light bulb or a liquid crystal may be used.
上記実施例では、液晶表示体を検査する検査装置で説明
したが、半導体ウェハを検査するウエハプローバに適用
しても良い、また被検査体を搬送する搬送装置に用いて
も良い。Although the above embodiments have been described using an inspection apparatus that inspects a liquid crystal display, the present invention may also be applied to a wafer prober that inspects a semiconductor wafer, or a conveyance apparatus that conveys an object to be inspected.
上記実施例の効果は、 ＬＣＤの所在ばかりでなくＬ
ＣＤの状況も可視表示されているので、故障原因及び故
障状態が一目瞭然に監視できるのでメンテナンス及び効
率の良い検査が可能になる。The effect of the above embodiment is that not only the location of the LCD but also the L
Since the status of the CD is also visually displayed, the cause and condition of the failure can be clearly monitored, making maintenance and efficient inspection possible.
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明装置を説明するための表示灯説明図、第
２図は第１図の表示灯及びセンサ部を説明するための回
路説明図、第３図は第１図の表示画面を説明するための
配置説明図、第４図乃至第６図は第１図の装置の表示灯
の動作を説明するためのフローチャート説明図、第７図
及び第８図は第１図の装置を用いた液晶表示体ブローμ
の一実施例を説明するための検査部上面説明図及び検査
部断面説明図、第９図及び第１０図は第１図の装置を用
いた液晶表示体ブローμの一実施例を説明するためのロ
ーダ部上面説明図及びローダ部断面説明図、第１１図は
第１図の装置を用いた液晶表示体ブローμの外観を説明
するための説明図、第１２図は従来の液晶表示体ブロー
μを説明するための説明図である。
２１・・・センサ
２１ａ・・・ホトインタラプタ
２２・・・所在信号発生
２３・・・状況信号発
２４・・・表示灯
２５・・・緑色用発光ダイオード（緑色ＬＥＤ）２５ａ
・・・信号線
２６・・・赤色用発光ダイオード（赤色ＬＥＤ）２６ａ
・・・信号線
２７・・ステージ（カセットステージ）表示灯２８・・
・ピンセット表示灯
２９・・・サブチャック表示灯
３０・・・位置決め板表示灯
３１・・・ホームポジション位置表示灯３２・・・Ｘ軸
移動板（サブチャック側）表示灯第１図
特許出願人 東京エレクトロン株式会社第
図
（ｂ）
第
図
第
図
第
図
第
図
第
図
第
図
第
図[BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS] Fig. 1 is an explanatory diagram of an indicator lamp for explaining the device of the present invention, Fig. 2 is an explanatory diagram of a circuit for explaining the indicator lamp and sensor section of Fig. 1, and Fig. 3 is an explanatory diagram of an indicator lamp for explaining the device of the invention. Fig. 1 is an explanatory layout diagram for explaining the display screen, Figs. 4 to 6 are flowchart explanatory diagrams for explaining the operation of the indicator lights of the device in Fig. 1, and Figs. 7 and 8 are explanatory diagrams of the arrangement. Liquid crystal display blow μ using the device shown in Figure 1
An explanatory top view of the inspection part, a cross-sectional explanatory diagram of the inspection part, and FIGS. 9 and 10 are used to explain an embodiment of the liquid crystal display blow μ using the apparatus shown in FIG. 1. FIG. 11 is an explanatory diagram for explaining the external appearance of the liquid crystal display blow μ using the device of FIG. 1, and FIG. 12 is a conventional liquid crystal display blow It is an explanatory diagram for explaining μ. 21...Sensor 21a...Photointerrupter 22...Location signal generation 23...Situation signal generation 24...Indicator light 25...Green light emitting diode (green LED) 25a
... Signal line 26 ... Red light emitting diode (red LED) 26a
...Signal line 27...Stage (cassette stage) indicator light 28...
- Tweezers indicator light 29...Sub chuck indicator light 30...Positioning plate indicator light 31...Home position indicator light 32...X-axis moving plate (sub chuck side) indicator light Figure 1 Patent applicant Tokyo Electron Ltd. (b)
Claims (1)
を備えた装置において、 上記被検査体の所在位置及び搬送状況を色で表示するこ
とを特徴とする検査装置。[Scope of Claims] An inspection device comprising display means for visually displaying the location of the object to be inspected in a transport system, characterized in that the location and transportation status of the object to be inspected are displayed in color. .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63176584A JP2694345B2 (en) | 1988-07-14 | 1988-07-14 | Inspection device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63176584A JP2694345B2 (en) | 1988-07-14 | 1988-07-14 | Inspection device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0225764A true JPH0225764A (en) | 1990-01-29 |
| JP2694345B2 JP2694345B2 (en) | 1997-12-24 |
Family
ID=16016120
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63176584A Expired - Lifetime JP2694345B2 (en) | 1988-07-14 | 1988-07-14 | Inspection device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2694345B2 (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1988
- 1988-07-14 JP JP63176584A patent/JP2694345B2/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2694345B2 (en) | 1997-12-24 |
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