JP2694345B2 - Inspection device - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は検査装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial application field) The present invention relates to an inspection apparatus.

（従来の技術） 液晶テレビ画面等に用いられている液晶表示体（以
下、LCDと略記する）の電気的特性を検査する装置とし
て、検査装置が知られている。(Prior Art) An inspection device is known as a device for inspecting the electrical characteristics of a liquid crystal display (hereinafter abbreviated as LCD) used in a liquid crystal television screen or the like.

上記検査装置は、プローブ電極端子列をこれに対応し
た被検査体例えばLCDの電極列に接触させ、テスタから
プローブ電極端子列を介してLCDに電圧を印加し、LCDの
電気的検査を行なうものである。The above-mentioned inspection device performs electrical inspection of the LCD by bringing the probe electrode terminal row into contact with a corresponding object to be inspected, for example, the electrode row of the LCD, and applying a voltage from the tester to the LCD via the probe electrode terminal row. Is.

上記検査装置では、第12図で示すように、まずローダ
部（１）はLCD（２）をカセット（３）から取り出す機
構、例えばピンセット（４）によりLCD（２）を取り出
し、このLCD（２）を位置決め板（５）によりアライメ
ント（位置合せ）した後、再びピンセット（４）により
位置決め板（５）から検査部（６）へ受け渡すための位
置、例えばホームポジション位置（７）へ搬送し、その
位置（７）のサブチャック（８）上へLCD（２）を載置
する。そして、検査部（６）側に設けられたＸ軸移動板
（９）が駆動してサブチェック（８）上のLCD（２）を
吸着し、検査部（６）の載置体（10）まで移動して載置
体（10）へLCD（２）を引き渡す。In the above inspection apparatus, as shown in FIG. 12, the loader unit (1) first takes out the LCD (2) by a mechanism for taking out the LCD (2) from the cassette (3), such as tweezers (4). ) Is aligned (positioned) by the positioning plate (5), and then conveyed again by the tweezers (4) from the positioning plate (5) to the inspection position (6), for example, the home position (7). Place the LCD (2) on the sub chuck (8) at the position (7). Then, the X-axis moving plate (9) provided on the inspection section (6) side is driven to adsorb the LCD (2) on the sub-check (8), and the mounting body (10) of the inspection section (6). Move up to and transfer the LCD (2) to the mount (10).

同様にして、検査終了したLCD（２）は上述した各機
構を用いて、逆方向に搬送駆動して、所定のカセット
（３）に戻るように駆動制御されている。上述した一連
の搬送移動で、LCD（２）をカセット（３）から載置体
（10）まで搬送する搬送状態を操作パネル（11）の前面
に設けた表示画面（12）に可視表示して、監視、即ちモ
ニタリングしている。Similarly, the LCD (2) that has completed the inspection is drive-controlled in the reverse direction by using the above-mentioned mechanisms to return to the predetermined cassette (3). In the series of transport movements described above, the transport state in which the LCD (2) is transported from the cassette (3) to the mounting body (10) is visually displayed on the display screen (12) provided on the front surface of the operation panel (11). , Monitoring, that is, monitoring.

上記表示画面（12）は、LCD（２）が上述したカセッ
ト（３）を載置する夫々の機構、例えばステージ（1
3），ピンセット（４），サブチャック（８），位置決
め板（５），ローダ部（１）から検査部（６）にLCD
（２）を搬送させるＸ軸移動板（９）、及び載置体（1
0）における所在を表示するように表示灯が表示画面（1
2）の各位置に設けられている。The display screen (12) has a structure in which the LCD (2) mounts the cassette (3) described above, for example, the stage (1).
3), tweezers (4), sub-chuck (8), positioning plate (5), LCD from the loader unit (1) to the inspection unit (6)
An X-axis moving plate (9) for carrying (2) and a mounting body (1
(0) to indicate the whereabouts in the display screen (1
It is provided at each position in 2).

従って、搬送されるLCD（２）の所在は、各個所に設
けられているセンサ（14）によって、感知しその情報に
基づいて表示するようになっているので、上記表示画面
の各表示灯の点灯または消灯により、LCD（２）の所在
が監視可能であり、この監視によって、搬送状態の移動
を瞬時間隔でモニタリングするが一般的に用いられてい
る。Therefore, the location of the LCD (2) to be conveyed is detected by the sensor (14) provided at each location and is displayed based on the information. It is possible to monitor the location of the LCD (2) by turning on or off, and it is generally used to monitor the movement of the carrying state at an instant interval by this monitoring.

（発明が解決しようとする課題） 従来の検査装置では、搬送系においてLCDの所在位置
が可視表示でき、この所在位置を監視して順次検査して
いたが、最近になって、上記搬送系におけるLCDの所在
位置のみならず、搬送系での故障などによる異常発生が
状況が可視可能に表示される検査装置が切望されてい
る。(Problems to be Solved by the Invention) In the conventional inspection apparatus, the location of the LCD can be visually displayed in the transport system, and the location is monitored and sequentially inspected. There is a strong demand for an inspection device that can visually display not only the location of the LCD but also the occurrence of anomalies due to breakdowns in the transport system.

本発明は、上記課題を解決するためになされたもの
で、搬送系における被検査体の所在位置を視覚的に把握
することができ効率の良い検査を行なうことができると
共に、被検査体の搬送状況の情報（搬送系の故障及び故
障体など）を視覚的に把握することができメンテナンス
性に優れた検査装置を提供することを目的としている。The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is possible to visually grasp the location of the object to be inspected in the transfer system and perform an efficient inspection. It is an object of the present invention to provide an inspection apparatus which is capable of visually grasping information on the situation (a failure of a transport system, a failed body, etc.) and is excellent in maintainability.

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 本発明の請求項１に記載の検査装置は、被検査体を装
置体に載置して被検査体の電気的特性を検査する検査装
置において、上記被検査体を収納するローダ部と、上記
被検査体を検査する検査部と、上記被検査体を上記ロー
ダ部から上記検査部へ搬送する搬送系と、上記搬送系で
の上記被検査体の所在位置及び搬送状況を複数の色で表
示する表示手段とを設けたものである。[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) An inspection apparatus according to claim 1 of the present invention is an inspection apparatus for mounting an inspection object on an apparatus body and inspecting the electrical characteristics of the inspection object. In the above, a loader section for accommodating the object to be inspected, an inspection section for inspecting the object to be inspected, a transfer system for transferring the object to be inspected from the loader section to the inspection section, and the object to be transferred in the transfer system. Display means for displaying the location of the inspection object and the transportation status in a plurality of colors are provided.

本発明の請求項２に記載の検査装置は、請求項１に記
載の発明において、上記表示手段は、上記被検査体が上
記ローダ部及び上記検査部に移動する際に、上記被検査
体の所在位置及び搬送状況を表示する表示画面を備えた
ものである。The inspection device according to claim 2 of the present invention is the inspection device according to claim 1, wherein the display means displays the object to be inspected when the object to be inspected moves to the loader portion and the inspection part. It is provided with a display screen that displays the location and the transportation status.

（作用） 本発明の請求項１に記載の発明によれば、搬送系によ
り被検査体をローダ部から検査部へ搬送する際に、搬送
過程における被検査体の所在位置及び搬送状況を表示手
段に複数の色で表示し、複数の色を目視することにより
被検査体の所在位置及び搬送状況を把握することができ
る。(Operation) According to the first aspect of the present invention, when the object to be inspected is transferred from the loader section to the inspection section by the transfer system, the location of the object to be inspected and the transfer status are displayed in the transfer process. It is possible to grasp the location of the object to be inspected and the transportation status by displaying the color in plural colors and visually observing the plural colors.

本発明の請求項２に記載の発明によれば、請求項１に
記載の発明において、上記表示手段は上記被検査体が上
記ローダ部及び上記検査部に移動する際に、その所在位
置及び搬送状況を表示する表示画面を備えているため、
表示画面を目視することにより被検査体の所在位置及び
搬送状況を把握することができる。According to the invention described in claim 2 of the present invention, in the invention described in claim 1, when the object to be inspected is moved to the loader section and the inspection section, the present position and the conveyance are provided. Since it has a display screen that displays the status,
By visually observing the display screen, it is possible to grasp the location and transportation status of the object to be inspected.

（実施例） 以下、本発明の検査装置を液晶表示体プローバに適用
した一実施例について従来と同一部品には同一符号を付
して説明する。(Embodiment) An embodiment in which the inspection device of the present invention is applied to a liquid crystal display prober will be described below by assigning the same reference numerals to the same parts as those of the conventional one.

上記液晶表示体プローバは、液晶表示体（以下、LCD
と称する）に形成された信号ライン・操作ラインの断
線，短絡及びパルスヂェネレータからのテストパターン
による表示等の検査を行うものである。The liquid crystal display prober is a liquid crystal display body (hereinafter, LCD
This is for inspecting signal lines and operation lines formed in (referred to as) and short-circuits, display of test patterns from the pulse generator, and the like.

上記液晶表示体プローバは、第11図で示すように、筐
体（15）の右側に配置されたローダ部（１）と、このロ
ーダ部（１）の左側に配置された検査部（６）と、この
検査部（６）及びローダ部（１）の前面に配置された操
作パネル（11）と、この操作パネル（11）の上側に配置
され、LCDの移動位置を可視表示する表示画面（12）と
から構成されている。As shown in FIG. 11, the liquid crystal display prober includes a loader section (1) arranged on the right side of a housing (15) and an inspection section (6) arranged on the left side of the loader section (1). And an operation panel (11) arranged in front of the inspection section (6) and the loader section (1), and a display screen arranged on the upper side of the operation panel (11) for visually displaying the movement position of the LCD ( 12) and is composed of.

尚、上記検査部（６）には、LCDの電極部にプローブ
電極端子の接触状態を確認できるスコープ（16）がＸ軸
方向及びＹ軸方向へ移動可能に設けられている。The inspection section (6) is provided with a scope (16) capable of confirming the contact state of the probe electrode terminal with the electrode section of the LCD so as to be movable in the X-axis direction and the Y-axis direction.

上記ローダ部（１）は、第９図と第10図で示すよう
に、LCD（２）を板厚方向に所定の間隔を設けて複数
枚、例えば25枚を積載収納したカセット（３）を１個ず
つ保持する４台のステージ（13）（以下の説明では、個
々のステージ（13）を識別する時にはその数字にアルフ
ァベットを付して示してある。）と、このステージ（1
3）と平行に移動して、上記カセット（３）内に進入し
て、LCD（２）を取り出し、ホームポジション位置
（７）まで搬送する取り出し機構、例えばピンセット
（４）と、上記ホームポジション位置（７）に到達した
ピンセット（４）上のLCD（２）を上方に持ち上げるよ
うに上昇する上昇機構、例えばサブチャック（８）と、
このサブチャック（８）で上昇したLCD（２）を位置合
わせさせる位置決め板（５）とから構成されている。As shown in FIGS. 9 and 10, the loader unit (1) includes a cassette (3) in which a plurality of LCDs (2), for example 25 sheets, are stacked and stored at a predetermined interval in the plate thickness direction. Four stages (13) that hold one each (in the following description, when identifying each stage (13), the numbers are shown with alphabets attached), and this stage (1
3) Moves in parallel to the cassette (3) to take out the LCD (2) and convey it to the home position position (7), for example, tweezers (4) and the home position position. A lifting mechanism for lifting the LCD (2) on the tweezers (4) that has reached (7), such as a sub chuck (8),
It comprises a positioning plate (5) for aligning the LCD (2) raised by the sub-chuck (8).

ここで上記位置決め板（５）は、ステージ（３）の配
列方向と平行に移動可能に設けられ、上記サブチャック
（８）上面まで駆動されるようになっている。Here, the positioning plate (5) is provided so as to be movable in parallel with the arrangement direction of the stage (3), and is driven to the upper surface of the sub chuck (8).

従って、上記構成のローダ部（１）は、カセット
（３）内に収納したLCD（２）を一枚ずつ取り出して検
査部（６）に供給し、また検査終了のLCD（２）は空カ
セット（図示せず）に収納するものである。Therefore, the loader unit (1) having the above configuration takes out the LCDs (2) housed in the cassette (3) one by one and supplies them to the inspection unit (6), and the LCD (2) after the inspection is an empty cassette. (Not shown).

上記検査部（６）は、第７図及び第８図に示すよう
に、液晶表示プローバの基台（17）上を平面移動可能な
載置体（10）と、上述したローダ部（１）のサブチャッ
ク（８）を設けたホームポジション位置（７）に位置決
めされたLCD（２）を上記載置体（10）に搬送するＸ軸
移動板（９）と、から構成されている。As shown in FIGS. 7 and 8, the inspection unit (6) includes a mounting body (10) capable of moving in a plane on a base (17) of a liquid crystal display prober, and the loader unit (1) described above. And an X-axis moving plate (9) for transporting the LCD (2) positioned at the home position position (7) provided with the sub chuck (8) to the mounting body (10).

上記載置体（10）の表面に、LCD（２）を仮固定例え
ば、真空吸着固定し、このLCD（２）の表面と対向して
設けられたヘッドプレート（18）に配置されているプロ
ーブ電極端子（19）と接触するように上昇する構成にな
っている。An LCD (2) is temporarily fixed to the surface of the above-mentioned mount (10), for example, vacuum suction fixed, and a probe is arranged on a head plate (18) provided so as to face the surface of the LCD (2). It is configured to rise so as to come into contact with the electrode terminal (19).

上記プローブ電極端子（19）はテスタ（20）と電気的
に接続して、LCD（２）の断線，ショート等を検査でき
るように駆動制御されている。The probe electrode terminal (19) is electrically connected to the tester (20) and is drive-controlled so that the LCD (2) can be inspected for disconnection, short circuit, and the like.

上記表示画面（12）は、上述したローダ部（１）及び
検査部（６）にLCD（２）が移動するに際し、所在位置
を可視できる画面に表示するものである。The display screen (12) is displayed on a screen where the location of the LCD (2) can be seen when the LCD (2) moves to the loader unit (1) and the inspection unit (6).

即ち、カセット（３）を載置するステージ（13）と、
LCD（２）をカセット（３）から出し入れする取り出し
機構、例えばピンセット（４）と、検査部（６）とロー
ダ部（１）のLCD（２）受け渡し位置、例えばサブチャ
ック（８）と、ピンセット（４）でサブチャック（８）
まで搬送されたLCD（２）の位置決めをする位置決め板
（５）と、ホームポジション位置（７）から載置体（1
0）まで搬送するＸ軸移動板（９）の各々にセンサ（2
1）が設けられている。そして、上述したそれぞれの場
所に設けられた各センサ（21）からの情報は操作パネル
（11）の上部にある表示画面（12）において可視表示可
能に点灯するようになっている。That is, the stage (13) on which the cassette (3) is placed,
A take-out mechanism for taking the LCD (2) in and out of the cassette (3), for example, tweezers (4), an LCD (2) transfer position of the inspection section (6) and the loader section (1), for example, a sub chuck (8), and tweezers. Sub-chuck with (4) (8)
The positioning plate (5) for positioning the LCD (2) that has been transported to and the mounting body (1) from the home position (7).
Sensor (2) on each X-axis moving plate (9)
1) is provided. The information from each sensor (21) provided at each of the above-mentioned locations is lit so that it can be displayed visually on the display screen (12) above the operation panel (11).

そして、LCD（２）の所在位置を表示画面（12）にす
ることによりLCD（２）を監視して、LCD（２）の電気的
特性を検査し、上記LCD（２）の状況、例えば異常搬送
状態，未検査LCD,検査済LCDの状況等を可視表示して、L
CDの流が瞬時に監視できるようになっている。Then, the LCD (2) is monitored by setting the location of the LCD (2) on the display screen (12), and the electrical characteristics of the LCD (2) are inspected. Visually displays the transport status, uninspected LCD status, inspected LCD status, etc.
The flow of CDs can be monitored instantly.

本実施例の液晶表示体プローバは、図１に示すよう
に、上記LCD（２）の所在位置を表示する所在信号を発
生する所在信号発生部（22）と、例えば異常状態、LCD
（２）の未検査、検査済など上記LCD（２）の搬送状況
を表示する状況信号を発生する状況信号発生部（23）
と、これらから発生する信号に基づいて色を変換して可
視表示する表示灯（24）とを備えている。表示灯は複数
あるため、以下の説明では各表示灯（24）を識別する時
にはその数字にアルファベットを付して示してある。As shown in FIG. 1, the liquid crystal display prober of this embodiment includes a location signal generator (22) for generating a location signal indicating the location of the LCD (2) and an abnormal state, LCD, for example.
A status signal generation section (23) for generating a status signal indicating the transportation status of the LCD (2) such as uninspected or inspected (2)
And a display lamp (24) for visualizing the color by converting the color based on the signals generated from these. Since there are a plurality of indicator lights, in the following description, when identifying each indicator light (24), its number is shown with an alphabet attached.

即ち、カセット（３）が載置される各ステージ（13a,
13b,13c,13d）、ピンセット（４）の頂面、サブチャッ
ク（８）の頂面、位置決め板（５）の頂面、サブチャッ
ク（８）上のホームポジション位置（７）のＸ軸移動板
（９）、載置体（10）上のＸ軸移動板（９）、載置体
（10）の頂面夫々に図12に示すようにセンサ（14a,14b,
14c,14d,14e,14f,14g,14h）（以下の説明では各センサ
を識別しない時には単にセンサ（14）として示してあ
る。）が設けられている。ここで、上記ピンセット
（４）、サブチャック（８）及び位置決め板（５）には
LCD（２）の吸着時の圧力が一定圧力であるか否かを検
出する圧力センサのみを付加して、この圧力センサによ
ってLCD（２）が載置されているか否かを検出してい
る。That is, each stage (13a, 13a,
13b, 13c, 13d), the top surface of the tweezers (4), the top surface of the sub chuck (8), the top surface of the positioning plate (5), and the home position position (7) on the sub chuck (8) on the X axis. The sensors (14a, 14b, 14b, 14b, 14b,
14c, 14d, 14e, 14f, 14g, 14h) (in the following description, when the respective sensors are not identified, they are simply shown as the sensor (14)). Here, the tweezers (4), the sub-chuck (8) and the positioning plate (5) are
Only a pressure sensor that detects whether or not the pressure of the LCD (2) at the time of adsorption is constant is added, and this pressure sensor detects whether or not the LCD (2) is mounted.

上記センサ（14）は従来のものとは異なったセンサに
（21）によって構成され、このセンサに（21）は、第２
図（ａ）に示すように、例えばフォトインターラプタに
よって発光を遮断できるようになっている。The sensor (14) is composed of a sensor (21) different from the conventional one, and the sensor (21) has a second sensor.
As shown in FIG. 3A, light emission can be blocked by, for example, a photo interrupter.

また、上記フォトインターラプタにおける発光と受光
との間が遮断されると、表示画面（12）に配置されてい
る可視表示、例えば電気的に接続されている発光ダイオ
ードに信号が送られる。Further, when the light emission and the light reception are cut off in the photo interrupter, a signal is sent to a visible display arranged on the display screen (12), for example, an electrically connected light emitting diode.

上記表示灯（24）には、第２図（ｂ）で示すように信
号を送信すると、緑色に点灯する緑色用発光ダイオード
（25）（以下、緑色LEDと略記する）と、赤色に点灯す
る赤色用発光ダイオード（26）（以下赤色LEDと略記す
る）とが設けられている。上記各LED（25,26）には信号
線（25a,26a）が接続されている。When a signal is transmitted to the indicator lamp (24) as shown in FIG. 2 (b), a green light emitting diode (25) (hereinafter abbreviated as a green LED) that lights up in green and a light emitting diode that lights in red. A red light emitting diode (26) (hereinafter abbreviated as red LED) is provided. Signal lines (25a, 26a) are connected to the LEDs (25, 26).

また、上記緑色LED（25）及び赤色LED（26）の双方が
点灯すると橙色が表示灯に可視されるようになってい
る。Further, when both the green LED (25) and the red LED (26) are lit, orange is visible on the indicator lamp.

上記表示灯（24）の赤色LED（26）は、既に説明した
各々のLCD（２）の搬送状態に異常があれば、その異常
をセンサで検出し、その検出信号の入力により異常状態
を複数の色で可視表示すべく点灯するものである。If the red LED (26) of the indicator lamp (24) has an abnormality in the transport state of each LCD (2) described above, the abnormality is detected by a sensor, and a plurality of abnormal states are input by inputting the detection signal. It lights up in order to be displayed in the color of.

即ち、先ず、カセット（３）が載置される各々のステ
ージ例えば、第９図及び第10図で示すように、第１ステ
ージ（13a）、第２ステージ（13b）、第３ステージ（13
c）、第４ステージ（13d）を上下動させる駆動モータ
（8a）と連動したエンコーダ（図示しない）の読みが所
定値からずれると、ハングアップしたものとして、異常
状態であることを検出して、信号を赤色LED（26）に送
出すると同時に、LCD（２）が各々の機構載置面に載置
され点灯している緑色LED（25）も予め記憶されたプロ
グラムに従って、消灯して赤色LED（26）のみを点灯す
るようになっている。That is, first, as shown in FIGS. 9 and 10, each stage on which the cassette (3) is placed, for example, a first stage (13a), a second stage (13b), and a third stage (13).
c) If the reading of an encoder (not shown) that works in conjunction with the drive motor (8a) that moves the fourth stage (13d) up and down deviates from a predetermined value, it is detected as an abnormal state as a hang-up. At the same time that the signal is sent to the red LED (26), the green LED (25), which is lit and the LCD (2) is placed on each mechanism mounting surface, is turned off according to a pre-stored program and the red LED is lit. Only (26) lights up.

同様に、ピンセット（４）の異常状態についても説明
する。Similarly, the abnormal state of the tweezers (4) will be described.

上記ピンセット（４）にLCD（２）が載置されると、
このピンセット（４）の表面に設けられた孔でLCD
（２）を真空吸着するが、この時に真空圧力が一定圧力
で吸引されない場合に圧力センサ（図示せず）が異常と
判断して、または、ピンセット駆動モータのハングアッ
プ灯の異常の場合もその異常を判断してセンサから赤色
LED（26）の信号線（26a）に信号が送出される。When the LCD (2) is placed on the tweezers (4),
The holes in the surface of this tweezers (4) make the LCD
(2) is vacuum-sucked, but if the vacuum pressure is not sucked at a constant pressure at this time, the pressure sensor (not shown) determines that it is abnormal, or if the hang-up lamp of the tweezers drive motor is abnormal. Red is detected from the sensor by judging an abnormality
A signal is sent to the signal line (26a) of the LED (26).

そして、上記ピンセット（４）に異常状態が発生する
と、表示画面（12）のピンセット表示灯（24e）が緑色
から赤色に色変換することになる。When an abnormal state occurs in the tweezers (4), the tweezers indicator lamp (24e) on the display screen (12) changes from green to red.

同様にして、LCD（２）を授受するサブチャック
（８）では、上下動駆動モータ（8a）のハングアップま
たは真空圧力の低下のいずれの異常状態になっても、セ
ンサから緑色から赤色になるよう信号を送出し、表示画
面（12）のサブチャックの表示灯（24f）を色変換する
ことになる。Similarly, in the sub-chuck (8) that sends and receives the LCD (2), the sensor changes from green to red when the vertical drive motor (8a) hangs up or the vacuum pressure drops. Signal is sent, and the color of the indicator light (24f) of the sub chuck of the display screen (12) is converted.

同様にして、サブチャック（８）から授受したLCD
（２）をプリアライメントする位置決め板（５）の真空
圧力が一定圧力で吸引されない場合にも圧力センサ（図
示せず）で異常信号が表示灯に送出されることになる。Similarly, the LCD received and sent from the sub chuck (8)
Even when the vacuum pressure of the positioning plate (5) for pre-aligning (2) is not sucked at a constant pressure, an abnormal signal is sent to the indicator lamp by the pressure sensor (not shown).

そして、決位置決め板（５）の収差不完全の異常状態
が表示画面（12）の位置決め板表示灯（24g）に表示さ
れる。即ち、位置決め板表示灯（24g）は緑から赤色に
色変換して表示画面（12）で可視表示されることにな
る。Then, the abnormal state of incomplete aberration of the final positioning plate (5) is displayed on the positioning plate indicator lamp (24g) of the display screen (12). That is, the positioning plate indicator light (24g) is converted from green to red and is visually displayed on the display screen (12).

また、上記位置決め板（５）から上記サブチャック
（８）に授受したLCD（２）を真空圧で真空吸着固定し
て、検査部（６）の載置体（10）まで搬送する場合には
Ｘ軸移動板（９）が用いられる。When the LCD (2) transferred from the positioning plate (5) to the sub-chuck (8) is vacuum-adsorbed and fixed by vacuum pressure and conveyed to the mounting body (10) of the inspection unit (6), An X-axis moving plate (9) is used.

このＸ軸移動板（９）は、上記サブチャック（８）と
上記載置体（10）との間を結ぶように設けられている。The X-axis moving plate (9) is provided so as to connect the sub chuck (8) and the mounting body (10).

上記Ｘ軸移動板（９）は上記サブチャック（８）上の
ホームポジション位置（７）からLCD（２）を吸着した
のち載置体（10）の上方まで搬送するようになってい
る。また、載置体（10）はＺ軸方向に上昇して上記Ｘ軸
移動板（９）からLCD（２）を受け取ったのち下降する
ようになっている。The X-axis moving plate (9) sucks the LCD (2) from the home position position (7) on the sub-chuck (8) and then conveys it to above the mounting body (10). Further, the mounting body (10) moves up in the Z-axis direction, receives the LCD (2) from the X-axis moving plate (9), and then moves down.

この時に上記Ｘ軸移動板（９）にLCD（２）が一定圧
力で吸引されない場合、搬送中にLCD（２）を落下させ
てしまうので、この時のＸ軸移動板表示灯（24h）は異
常状態を緑色から赤色に色表示変換して、表示画面（1
2）のホームポジション側のＸ軸移動板表示灯（24h）に
可視表示する。At this time, if the LCD (2) is not sucked to the X-axis moving plate (9) at a constant pressure, the LCD (2) will be dropped during transportation, so the X-axis moving plate indicator lamp (24h) at this time is Converts the abnormal state from green to red and displays it on the display screen (1
It is visually displayed on the X-axis moving plate indicator lamp (24h) on the home position side of 2).

またＸ軸移動板（９）の駆動により、載置体（10）側
に到達したＸ軸移動板毎に異常があれば、緑色から赤色
に色表示変換して表示画面（12）のＸ軸移動板表示灯
（24h）に可視表示されることになる。Also, if there is an abnormality in each X-axis moving plate that has reached the mounting body (10) side by driving the X-axis moving plate (9), the color display is converted from green to red and the X-axis of the display screen (12) is changed. It will be visually displayed on the moving plate indicator light (24h).

このようにして、液晶表示体プローバでは、未検査の
LCD（２）をカセット（３）から載置体（10）まで搬送
する時にローダ側から検査部に向う方向を示すように、
緑色に表示し、この逆の搬送、即ち検査部からカセット
に向う方向を示すアンローダ側には、橙色で表示するよ
うになっている。In this way, in the liquid crystal display prober,
When the LCD (2) is conveyed from the cassette (3) to the mounting body (10), the direction from the loader side to the inspection unit is shown,
It is displayed in green, and in the reverse direction, that is, in orange on the unloader side indicating the direction from the inspection unit to the cassette.

ここで、緑色表示から橙色表示により切り替える信号
はテスタ（20）側から液晶表示体プローバ側にテストエ
ンドのコマンドが出ると、この信号を戻りの信号として
いる。Here, the signal switched from green display to orange display is used as a return signal when a test end command is issued from the tester (20) side to the liquid crystal display prober side.

この時の橙色は、第２図（ｂ）で示すように、双方の
信号線（25a,26a）に信号が入力されると緑色LED（25）
及び赤色LED（26）の両方が点灯して橙色に点灯したよ
うに見える。The orange color at this time is the green LED (25) when a signal is input to both signal lines (25a, 26a), as shown in Fig. 2 (b).
Both the red LED (26) and the red LED (26) light up, and it looks like it lights up orange.

次に、上記液晶表示体プローバの表示灯（24）の点灯
動作について第４図乃至第６図フローチャートを用いて
説明する。Next, the lighting operation of the indicator lamp (24) of the liquid crystal display prober will be described with reference to the flowcharts of FIGS. 4 to 6.

上記液晶表示体プローバのローダ部（１）ではカセッ
ト（３）内のLCDの収納状況をメモリする。そして、カ
セット（３）がステージ（13）に載置されているか否か
をセンサの信号に基づいて判断する（32）。The loader section (1) of the liquid crystal display prober stores the storage status of the LCD in the cassette (3). Then, it is determined whether the cassette (3) is placed on the stage (13) based on the signal from the sensor (32).

上記カセット（３）内に未検査用LCD（２）があれ
ば、表示画面（12）のステージ表示灯（24a,24b,24c,24
d）を緑色に点灯する（33）。If the untested LCD (2) is in the cassette (3), the stage display lamps (24a, 24b, 24c, 24) of the display screen (12) will be displayed.
Turn d) green (33).

未検査LCD（２）が無ければ、上記ステージ表示灯（2
4a,24b,24c,24d）を橙色に点灯させる（34）。即ち緑色
LED及び赤色LEDを点灯させる。If there is no uninspected LCD (2), the above stage indicators (2
4a, 24b, 24c, 24d) are lit in orange (34). Ie green
Turn on the LED and red LED.

また、上記ステージ（13a,13b,13c,13d）上にカセッ
ト（３）が無ければ点灯しない（35）。Further, if there is no cassette (3) on the stage (13a, 13b, 13c, 13d), it does not light (35).

次に第５図に示すように、 ピンセット（４）にLCD（２）が載置されたか否かを
センサの信号に基づいて判断する（36）。ピンセット
（４）にLCD（２）が載置されている場合には真空吸着
力が一定であるか否かをセンサの信号に基づいて判断し
（37）、真空吸着力が一定であれば表示灯（24e）が緑
色に点灯し（38）、真空吸着力が低下していれば表示灯
（24e）が赤色に点灯する（39）。また、ピンセット
（４）にLCD（２）が載置されていない場合には表示灯
（24e）は点灯しない（40）。Next, as shown in FIG. 5, it is judged whether the LCD (2) is placed on the tweezers (4) based on the signal of the sensor (36). When the LCD (2) is placed on the tweezers (4), it is judged whether or not the vacuum suction force is constant based on the signal of the sensor (37). If the vacuum suction force is constant, it is displayed. The lamp (24e) lights up in green (38), and the indicator lamp (24e) lights up in red (39) when the vacuum suction force is low. Further, when the LCD (2) is not placed on the tweezers (4), the indicator lamp (24e) does not light (40).

次に第６図に示すように、 サブチャック（８）にLCD（２）が載置されたか否か
をセンサの信号に基づいて判断する（41）。次いで、サ
ブチャック（８）にLCD（２）が載置されている場合に
は真空吸着力が一定であるか否かをセンサの信号に基づ
いて判断し（42）、真空吸着力が一定であれば、引き続
き駆動モータのエンコーダの検出値が所定値であるか否
かを判断し一定で且つ所定値であれば表示灯（24f）を
緑色に点灯し（43）、真空吸着力が低下あるいは所定値
でなければ表示灯（24f）を赤色に点灯する（44）。ま
た、サブチャック（８）にLCD（２）が載置されていな
い場合には表示灯（24f）は点灯しない（45）。Next, as shown in FIG. 6, whether or not the LCD (2) is placed on the sub chuck (8) is judged based on the signal from the sensor (41). Next, when the LCD (2) is mounted on the sub-chuck (8), it is judged whether or not the vacuum suction force is constant based on the signal of the sensor (42), and the vacuum suction force is constant. If so, it is continuously judged whether or not the detection value of the encoder of the drive motor is a predetermined value, and if the detection value is constant and the predetermined value, the indicator lamp (24f) is turned on in green (43), and the vacuum suction force is reduced or If it is not the predetermined value, the indicator lamp (24f) is lit in red (44). Further, when the LCD (2) is not mounted on the sub chuck (8), the indicator lamp (24f) does not light (45).

上記動作は、位置決め至（５）,X軸移動板（９）及び
載置体（10）も同様なフローチャート動作と同じなので
動作説明を省略する。The above operation is the same as the operation of the flowchart for the positioning to (5), the X-axis moving plate (9), and the mounting body (10), and therefore the operation description is omitted.

上記実施例では表示灯（24）にLEDを用いたが、これ
に限定されることはなく、光が発するものであれば良
い、例えば豆電球、または液晶を用いてもよい。Although an LED is used as the indicator light (24) in the above-mentioned embodiment, the present invention is not limited to this, and any light-emitting device such as a miniature bulb or liquid crystal may be used.

上記実施例では、液晶表示体を検査する検査装置で説
明したが、半導体ウエハを検査するウエハプローバに適
用しても良い、また被検査体を搬送する搬送装置に用い
ても良い。In the above embodiments, the inspection device for inspecting the liquid crystal display has been described, but it may be applied to a wafer prober for inspecting a semiconductor wafer, or may be used for a transfer device for transferring an object to be inspected.

上記実施例の効果は、LCD（２）の所在ばかりでなくL
CDの状況も可視表示されているので、故障原因及び故障
状態が一目瞭然に監視できるのでメンテナンス及び効率
の良い検査が可能になる。The effect of the above embodiment is not only the location of the LCD (2) but also L
Since the status of the CD is also displayed visually, the cause and status of the failure can be monitored at a glance, enabling maintenance and efficient inspection.

［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、搬送系における
被検査体の所在位置を視覚的に把握することができ効率
の良い検査を行なうことができると共に、被検査体の搬
送状況の情報（搬送系の故障及び故障状態など）を視覚
的に把握することができメンテナンス性に優れた検査装
置を提供することができる。[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, it is possible to visually grasp the location of the inspected object in the transfer system, perform an efficient inspection, and transfer the inspected object. It is possible to provide the inspection device having excellent maintainability by visually grasping the status information (the failure and the failure state of the transport system).

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第１図は本発明装置を説明するための表示灯説明図、第
２図は第１図の表示灯及びセンサ部を説明するための回
路説明図、第３図は第１図の表示画面を説明するための
配置説明図、第４図乃至第６図は第１図の装置の表示灯
の動作を説明するためのフローチャート説明図、第７図
及び第８図は第１図の装置を用いた液晶表示体プローバ
の一実施例を説明するための検査部上面説明図及び検査
部断面説明図、第９図及び第10図は第１図の装置を用い
た液晶表示体プローバの一実施例を説明するためのロー
ダ部上面説明図及びローダ部断面説明図、第11図は第１
図の装置を用いた液晶表示体プローバの外観を説明する
ための説明図、第12図は従来の液晶表示体プローバを説
明するための説明図である。 21……センサ 21a……ホトインタラプタ 22……所在信号発生 23……状況信号発 24……表示灯 25……緑色用発光ダイオード（緑色LED） 25a……信号線 26……赤色用発光ダイオード（赤色LED） 26a……信号線 27……ステージ（カセットステージ）表示灯 28……ピンセット表示灯 29……サブチャック表示灯 30……位置決め板表示灯 31……ホームポジション位置表示灯 32……Ｘ軸移動板（サブチャック側）表示灯1 is an explanatory view of an indicator light for explaining the device of the present invention, FIG. 2 is an explanatory view of a circuit for explaining the indicator light and the sensor portion of FIG. 1, and FIG. 3 is a display screen of FIG. FIG. 4 to FIG. 6 are flow charts for explaining the operation of the indicator light of the apparatus of FIG. 1, and FIGS. 7 and 8 use the apparatus of FIG. FIG. 9 is a plan view of the inspection part and FIG. 10 is a cross-sectional view of the inspection part for explaining one embodiment of the liquid crystal display prober. FIG. 9 and FIG. 10 are one embodiment of the liquid crystal display prober using the apparatus of FIG. And FIG. 11 shows the loader section top view and the loader section cross-sectional view for explaining
FIG. 12 is an explanatory diagram for explaining the outer appearance of a liquid crystal display body prober using the device shown in FIG. 12, and FIG. 12 is an explanatory diagram for explaining a conventional liquid crystal display body prober. 21 …… Sensor 21a …… Photo interrupter 22 …… Location signal generation 23 …… Status signal generation 24 …… Indicator 25 …… Green light emitting diode (green LED) 25a …… Signal line 26 …… Red light emitting diode ( Red LED) 26a …… Signal line 27 …… Stage (cassette stage) indicator 28 …… Tweezers indicator 29 …… Sub-chuck indicator 30 …… Positioning plate indicator 31 …… Home position indicator 32… X Axis moving plate (sub chuck side) indicator light

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】被検査体を装置体に載置して被検査体の電
気的特性を検査する検査装置において、上記被検査体を
収納するローダ部と、上記被検査体を検査する検査部
と、上記被検査体を上記ローダ部から上記検査部へ搬送
する搬送系と、上記搬送系での上記被検査体の所在位置
及び搬送状況を複数の色で表示する表示手段とを設けた
ことを特徴とする検査装置。1. A tester for mounting an object to be inspected on an apparatus to inspect the electrical characteristics of the object to be inspected, and a loader section for accommodating the object to be inspected and an inspection section for inspecting the object to be inspected. And a transport system for transporting the inspected body from the loader section to the inspecting section, and display means for displaying the location and the transport status of the inspected body in the transport system in a plurality of colors. Inspection device characterized by. 【請求項２】上記表示手段は、上記被検査体が上記ロー
ダ部及び上記検査部に移動する際に、その所在位置及び
搬送状況を表示する表示画面を備えていることを特徴と
する請求項１に記載の検査装置。2. The display means is provided with a display screen for displaying a location of the object to be inspected and a transportation state when the object to be inspected moves to the loader section and the inspection section. The inspection device according to 1.