JPH02236805A - Magnetic head - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To prevent the diffusion of the elements constituting cores and to obtain the head having good magnetic characteristics by forming diffusion preventive films on the surfaces between the magnetic cores and magnetic metallic bodies of the magnetic head formed with a magnetic gap between main cores. CONSTITUTION:The main cores 2a, 2b are formed on the opposite surfaces of a pair of the sub-cores 1a, 1b formed of, for example, ferrite, by using a vacuum thin-film technique using the magnetic metallic material, such as, for example, 'SENDUST(R)' alloy. The diffusion preventive films 3a, 3b for preventing the diffusion of the elements constituting the cores are formed of TiN films, etc., respectively on the boundary where the sub-core 1a and the main core 2a come into contact with each other and the boundary where the sub-core 1b and the main core 2b come into contact with each other. Further, the sub-cores 1a, 1b and the main cores 2a, 2b are so disposed as to face each other with the magnetic gap part 4 as a center on the surfaces in which the main cores 2a, 2b are placed opposite to each other, and are joined by glass 5.

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は磁気記録媒体に対してデータの記録および再
生を行う磁気ヘッドに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to a magnetic head for recording and reproducing data on a magnetic recording medium.

（従来の技術） 近年、メタルテーブに対応させるよう、高飽和磁束密度
の金属磁性体を用いてメインコアを形成した磁気ヘッド
（いわゆるメタルヘッド、メタルインギャップヘッド）
が開発されつつある。(Prior art) In recent years, magnetic heads (so-called metal heads, metal-in-gap heads) whose main cores are formed using metallic magnetic materials with high saturation magnetic flux density have been developed to be compatible with metal tables.
is being developed.

上述の磁気ヘッドにおける磁気コアは、フエライトなど
で形成された一対のサブコアと、このサブコアの対向す
る箇所に金属磁性体を用いて形成されたメインコアと、
これらのメインコアの間に形成された磁気的ギャップ部
とから構成されている。The magnetic core in the above-described magnetic head includes a pair of sub-cores made of ferrite or the like, a main core made of a metal magnetic material at opposing positions of the sub-cores, and
A magnetic gap portion is formed between these main cores.

この磁気的ギャップ部は、対向するメインコアの間に絶
縁層を設けることにより形成されており、この絶縁層で
あるギャップ材としては、一般に、真空薄膜形成法（た
とえば真空蒸着、スバッタ）により形成した酸化物膜が
用いられる。This magnetic gap part is formed by providing an insulating layer between the opposing main cores, and the gap material that is this insulating layer is generally formed by a vacuum thin film forming method (e.g., vacuum evaporation, sputtering). oxide film is used.

ところで、上述の磁気ヘッドを作製する場合、上述した
一対の磁気コア（サブコアにメインコアおよびギャップ
部が形成された状態のもの）をガラス材料を用いて比較
的高温で接着するプロセスがある。By the way, when manufacturing the above-described magnetic head, there is a process of bonding the above-described pair of magnetic cores (in which the main core and the gap portion are formed in the sub-core) using a glass material at a relatively high temperature.

しかしながら、上述した従来の磁気ヘッドでは、一対の
磁気コアを接着するプロセスにおいて、メインコアを構
成する金属磁性体とサブコアを構成するフエライトなど
の磁性体との界面で、各コアを構成する元素（たとえば
酸素、金属元素）の拡散が発生し、この拡散によって、
メインコアである金属磁性体とサブコアであるフエライ
トとの間で、元素の移動による界面近傍のコアの磁気特
性の劣化が起こるおそれがある。However, in the conventional magnetic head described above, in the process of bonding a pair of magnetic cores together, the elements constituting each core ( For example, diffusion of oxygen, metal elements) occurs, and this diffusion causes
There is a risk that the magnetic properties of the core near the interface may deteriorate due to the movement of elements between the metal magnetic material that is the main core and the ferrite that is the sub-core.

このような磁気特性の劣化は、疑似ギャップ、（すなわ
ち本来の磁気ギャップ部とは別に作用する磁気ギャップ
）となるため、実際に磁気ヘッドとして使用する場合、
ヘッドの磁気特性が低下し、再生出力にうねりが生じる
という課題があった。Such deterioration of magnetic properties results in a pseudo gap (that is, a magnetic gap that acts separately from the original magnetic gap), so when actually used as a magnetic head,
There was a problem in that the magnetic properties of the head deteriorated, causing undulations in the reproduction output.

（発明が解決しようとする課題） 上述したように従来の磁気ヘッドでは、ヘッドの製造プ
ロセスにおいて、ガラス接着時の高温処理によって、メ
インコアとサブコアとの間でコアを構成する元素の拡散
が生じ、疑似ギャップを形成してしまうという問題があ
った。(Problems to be Solved by the Invention) As described above, in the conventional magnetic head, the elements constituting the core are diffused between the main core and the sub-core due to the high temperature treatment during glass bonding during the manufacturing process of the head. , there was a problem that a pseudo gap was formed.

このような元素の拡散現象を防止するためにはガラス接
着時の処理温度を低くすることが考えられる。しかしな
がら、低融点ガラスで接着した磁気ヘッドは耐摩耗性や
耐候性が低く、高品質の優れた磁気ヘッドを得るために
は、高融点ガラスを使用する必要がある。In order to prevent such elemental diffusion phenomenon, it is conceivable to lower the processing temperature during glass bonding. However, magnetic heads bonded with low-melting point glass have low wear resistance and weather resistance, and in order to obtain a high-quality, excellent magnetic head, it is necessary to use high-melting point glass.

また、メインコアを形成する金属磁性体は、一般的に高
い温度で熱処理することにより、保磁力、透磁率などの
磁気特性が向上するという事実が知られている。Furthermore, it is known that magnetic properties such as coercive force and magnetic permeability are generally improved by heat-treating the magnetic metal material forming the main core at a high temperature.

したがって、磁気ヘッドの製造においては高い温度で処
理することが好ましく、高温処理を行ってもコア元素の
拡散が生じない磁気ヘッドが望まれていた。Therefore, in manufacturing a magnetic head, it is preferable to process at a high temperature, and there has been a desire for a magnetic head that does not cause diffusion of the core element even when subjected to high temperature processing.

この発明は上述した課題を解決するためのもので、疑似
ギャップの生成を防ぎ、磁気特性の良好な磁気ヘッドを
提供することを目的とする。This invention is intended to solve the above-mentioned problems, and aims to prevent the generation of pseudo gaps and provide a magnetic head with good magnetic properties.

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） この発明は、一対の磁気コアの対向する面にそれぞれ金
属磁性体のメインコアが形成され、これらのメインコア
の間に磁気的ギャップが形成された磁気ヘッドにおいて
、前記磁気コアと前記金属磁性体との間の面に、拡散防
止膜を形成したことを特徴とする磁気ヘッドである。[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) The present invention is characterized in that main cores of metal magnetic material are formed on opposing surfaces of a pair of magnetic cores, and a magnetic gap is formed between these main cores. The magnetic head according to the present invention is characterized in that a diffusion prevention film is formed on a surface between the magnetic core and the metal magnetic material.

この発明の拡散防止膜は、ＩＶａ族元素または少なくと
もＩＶａ族元素の一種を含有する化合物からなる膜であ
ることが好ましく、特に、ＩＶａ族元素の一種を含有す
る窒化化合物を用いることが好ましい。The diffusion prevention film of the present invention is preferably a film made of a group IVa element or a compound containing at least one type of group IVa element, and it is particularly preferable to use a nitride compound containing one type of group IVa element.

（作　用） この発明では、メインコアとサブコアとの間の面に、拡
散防止膜を形成したので、高温条件下でのコアを構成す
る元素の拡散を防ぐことができる。(Function) In this invention, since the diffusion prevention film is formed on the surface between the main core and the sub-core, it is possible to prevent the elements constituting the core from diffusing under high temperature conditions.

これによって、疑似ギャップの発生がなくなるため、再
生出力のうねりが抑制され、磁気特性の良好な磁気ヘッ
ドを得ることができる。This eliminates the occurrence of pseudo gaps, suppresses waviness in the reproduction output, and provides a magnetic head with good magnetic properties.

（実施例） 次に、この発明の実施例を図面を用いて説明する。(Example) Next, embodiments of the present invention will be described using the drawings.

第１図はこの発明の一実施例の磁気ヘッドを示す斜視図
である。FIG. 1 is a perspective view showing a magnetic head according to an embodiment of the present invention.

同図において、１ａ１ｌｂはたとえばフエライトにより
形成された一対のサブコアを示している。In the figure, 1a1lb indicates a pair of subcores made of ferrite, for example.

これらのサブコアｌａ，ｌｂの対向する面には、たとえ
ばセンダスト合金などの金属磁性体により真空薄膜技術
を用いてメインコア２ａ，２ｂが形成されている。Main cores 2a and 2b are formed on opposing surfaces of these sub-cores la and lb using a vacuum thin film technique of a metal magnetic material such as Sendust alloy.

また、サブコア１ａとメインコア２ａが接触する界面、
およびサブコア１ｂとメインコア２ｂが接触する界面に
は、コアを構成する元素の拡散を防止するための拡散防
止膜３８％　３ｂが、たとえば、ＴＩＮ膜などによって
それぞれ形成されている。In addition, an interface where the sub core 1a and the main core 2a contact,
At the interface where the sub-core 1b and the main core 2b come into contact, a diffusion prevention film 38% 3b for preventing the diffusion of the elements constituting the core is formed, for example, by a TIN film or the like.

さらに、メインコア２ａ％　２ｂの対向する面には、磁
気ギャップ部４が８１０２膜などの酸化物膜により形成
されている。Furthermore, a magnetic gap portion 4 is formed of an oxide film such as an 8102 film on opposing surfaces of the main cores 2a and 2b.

そして、この磁気ギャップ部４を中心にして、サブコア
１　ａ　ｓ　１　ｂ同士、メインコア２ａｓ２ｂ同士が
対向するように配置され、ガラス５により接合されてい
る。The sub-cores 1 a s 1 b and the main cores 2 as 2 b are arranged to face each other with this magnetic gap portion 4 at the center, and are joined by a glass 5 .

なお、６はコイル巻装用の貫通孔であり、７は貫通孔６
に巻回されたコイルである。In addition, 6 is a through hole for coil winding, and 7 is a through hole 6.
It is a coil wound around.

次に、上述した磁気ヘッドの製造プロセスについて説明
する。Next, the manufacturing process of the above-mentioned magnetic head will be explained.

まず、第２図（ａ）に示すように、所定の凹溝１１８が
形成されたサブコアとなるフエライト基板１１を作製す
る。First, as shown in FIG. 2(a), a ferrite substrate 11, which will become a sub-core, in which a predetermined groove 118 is formed is produced.

次に、第２図（ｂ）に示すように、ＴＩＮを用いた拡散
防止膜１２、メインコアとなる金属磁性膜１３、磁気ギ
ャップ部となる酸化物膜１４を、真空薄膜形成法により
フエライト基板１１側がら順に形成する。Next, as shown in FIG. 2(b), a diffusion prevention film 12 made of TIN, a metal magnetic film 13 serving as a main core, and an oxide film 14 serving as a magnetic gap are formed on a ferrite substrate by a vacuum thin film forming method. Form in order from the 11th side.

これらの膜の厚さは、たとえば拡散防止膜１２が１００
人、金属磁性膜１３が４〜５μＩ１酸化物膜１４が１０
００人とする。The thickness of these films is, for example, 100 mm for the diffusion prevention film 12.
metal magnetic film 13 is 4 to 5μI1 oxide film 14 is 10μI
00 people.

この後、第２図（ｃ）に示すように、第２図（ｂ）の状
態のフエライト基板１１を２枚用意して、それぞれ酸化
物膜１４の面同士が接合されるように突き合せ、フエラ
イト基板１１、１１に形成された凹満１１ａ，ｌｌａに
より形成される貫通孔に、接着用のガラス１５を配置し
、約５５０”Ｃ、３０分間の熱処理を行うことにより各
フエライト基板１１、１１を接若する。After this, as shown in FIG. 2(c), two ferrite substrates 11 in the state shown in FIG. 2(b) are prepared and butted so that the surfaces of the oxide films 14 of each are joined, Glass 15 for adhesion is placed in the through hole formed by the recesses 11a, lla formed in the ferrite substrates 11, 11, and heat treatment is performed at approximately 550''C for 30 minutes to bond each ferrite substrate 11, 11. to touch oneself.

この後、所定の貫通孔に充填されたガラス１５部分にコ
イル巻装用の貫通孔６を形成し、第２図（ｃ）に示した
破線部分で切断し、所定の形状に成形する。Thereafter, a through hole 6 for coil winding is formed in the portion of the glass 15 filled in the predetermined through hole, and the glass is cut into a predetermined shape by cutting along the broken line shown in FIG. 2(c).

これにより、第１図に示した磁気ヘッドが得られる。As a result, the magnetic head shown in FIG. 1 is obtained.

さらに、この実施例で得た磁気ヘッドの出力を測定して
周波数変化に伴って生じる出力のうねりを調べたところ
、１ｄＢ以下であった。Further, when the output of the magnetic head obtained in this example was measured and the fluctuation of the output caused by frequency change was investigated, it was found to be less than 1 dB.

比較例 実施例と同一のフエライト基板を用いて、実施例と同一
条件で金属磁性膜と酸化物膜とを、真空薄膜形成法によ
りフエライト基板側から順に形成した。Comparative Example Using the same ferrite substrate as in Example, a metal magnetic film and an oxide film were sequentially formed from the ferrite substrate side by a vacuum thin film forming method under the same conditions as in Example.

次いで、２枚のフエライト基板を、実施例と同一条件（
５５０℃、３０分間）で接合し、拡散防止膜を有してい
ない磁気ヘッドを作製した。Next, the two ferrite substrates were subjected to the same conditions as in the example (
550° C. for 30 minutes) to produce a magnetic head without a diffusion prevention film.

この磁気ヘッドの出力を実施例と同一条件で測定し、周
波数変化に伴って生じる出力のうねりを調べたところ、
５ｄＢ程度であった。The output of this magnetic head was measured under the same conditions as in the example, and the fluctuations in the output caused by frequency changes were investigated.
It was about 5 dB.

これらの結果から、この実施例による磁気ヘッドは、サ
ブコアとメインコアとの間に拡散防止膜が形成されてい
るため、高温で処理を行ってもコア元素の拡散が起こら
ず、磁気特性が向上することが明らかである。From these results, the magnetic head according to this example has an anti-diffusion film formed between the sub-core and the main core, so the core elements do not diffuse even when processed at high temperatures, improving magnetic properties. It is clear that

なお、この実施例では、拡散防止膜としてＴＩＮ膜を用
いた例について説明したが、このような■ａ族元索のほ
かに、たとえばＣ『などのＶｌａ族元素を含有する化合
物を使用しても同様の効果が得られる。In this example, an example was explained in which a TIN film was used as a diffusion prevention film. A similar effect can be obtained.

［発明の効果］ 以上説明したように、この発明の磁気ヘッドは、サブコ
アとメインコアとの間の面に拡散防止膜を形成したので
、コアを構成する元素の拡散を防ぐことができ、磁気特
性の良好な磁気ヘッドを得ることができる。[Effects of the Invention] As explained above, in the magnetic head of the present invention, since the diffusion prevention film is formed on the surface between the sub-core and the main core, it is possible to prevent the elements constituting the core from diffusing, and the magnetic head A magnetic head with good characteristics can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第１図はこの発明の一実施例の磁気ヘッドを示す斜視図
、第２図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ第１図の磁
気ヘッドの製造工程を説明するための図である。 ｌａｓｌｂ・・・サブコア、２　ａ　ｓ　２　ｂ・・・
メインコア、３ａ，３ｂ・・・拡散防止膜、４・・・酸
化物膜、５・・・ガラス。 出願人　　　　　　株式会社　東芝 同　　　　　東芝オーディオ・ビデオ エンジニアリング株式会社FIG. 1 is a perspective view showing a magnetic head according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 2(a), (b), and (c) are views for explaining the manufacturing process of the magnetic head shown in FIG. 1, respectively. be. laslb...subcore, 2 a s 2 b...
Main core, 3a, 3b... diffusion prevention film, 4... oxide film, 5... glass. Applicant: Toshiba Corporation Toshiba Audio/Video Engineering Corporation

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] （１）一対の磁気コアの対向する面にそれぞれ金属磁性
体のメインコアが形成され、これらのメインコアの間に
磁気的ギャップが形成された磁気ヘッドにおいて、 前記磁気コアと前記金属磁性体との間の面に、拡散防止
膜を形成したことを特徴とする磁気ヘッド。(1) In a magnetic head in which main cores of metal magnetic material are formed on opposing surfaces of a pair of magnetic cores, and a magnetic gap is formed between these main cores, the magnetic core and the metal magnetic material A magnetic head characterized in that a diffusion prevention film is formed on the surface between the spaces. （２）前記拡散防止膜は、IVａ族元素または少なくとも
IVａ族元素の一種を含有する化合物からなる膜である請
求項１記載の磁気ヘッド。(2) The diffusion prevention film contains a group IVa element or at least
2. The magnetic head according to claim 1, wherein the film is made of a compound containing one of group IVa elements.