JPH0366008A - Magnetic head - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えば、高密度磁気記録再生を可能としたＭ
Ｉ Ｇ （Ｍｅｔａｌ ｉｎ Ｇａｐ）型の磁気ヘッ
ドに関するものである。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention provides, for example, an M
The present invention relates to an IG (Metal in Gap) type magnetic head.
従来より、高透磁率を有し耐摩耗性等に優れたフェライ
ト材等の酸化物磁性材料の利点と、高透磁率および高飽
和磁束密度を有する合金磁性材料の利点とを併せ持った
ＭＩＧ型の磁気ヘッドが知られている。この種の磁気ヘ
ッドは、コア本体に酸化物磁性材料が使用されており、
さらにギャップの近傍が合金磁性材料により形成された
ものである。Conventionally, the MIG type has been developed which combines the advantages of oxide magnetic materials such as ferrite materials, which have high magnetic permeability and excellent wear resistance, and the advantages of alloy magnetic materials, which have high magnetic permeability and high saturation magnetic flux density. Magnetic heads are known. This type of magnetic head uses oxide magnetic material for the core body.
Furthermore, the vicinity of the gap is formed of an alloy magnetic material.
このような磁気ヘッドの製造方法においては、第３図（
ａ）に示すように、コアとなる酸化物磁性材料の一方の
ブロック２１に外部巻線用溝２３とガラス充填用溝２４
と内部巻線用溝２５とを形成するとともに、同図（ｂ）
に示すように、同じくコアとなる酸化物磁性材料の他方
のブロック２２に外部巻線用溝２３とガラス充填用溝２
４とを形成する０次に、ブロック２１・２２における各
々のギャップ対向面２６とテープ摺動面２７とを鏡面状
に研磨した後、同図（ｃ）および（ｄ）に示すように、
所定のギャップトラック幅を得るためのトラック溝２８
・・・を形成する。続いて、ギャツブ対向面２６の表層
付近の加工変質層をエツチングにより除去した後、同図
（ｅ）ないしくｇ）に示すように、ブロック２１・２２
におけるそれぞれのギャップ対向面２６の面上、ならび
にガラス充填用溝２４、内部巻線用溝２５およびトラッ
ク溝２８・・・の内面上に、高透磁率および高飽和磁束
密度を有する合金磁性材料薄膜２９をスパッタリング法
等により形成する。さらに、合金磁性材料薄膜２９上に
おけるギヤツブ形成部位にギャップ材としてＳｉｎｇ等
の非磁性材料を約０．３μｍの厚みで形成した後、同図
（ｈ）に示すように、上記のブロック２１・２２同士を
各々のギャップ対向面２６・２６で突き合わせた状態で
貼り合わせ、ガラス充填用溝２４および内部巻線用溝２
５により、それぞれ形成される空洞部位に溶融ガラス３
０を配置し加熱溶着する。そして、このようにして得ら
れたヘッドブロックのテープ摺動面２７に、同図（ｉ）
に示すように、所定の曲率で曲面を形成した後、仮想線
ｂ・・・に沿って切断することにより、同図（ｊ）に示
すヘッドチップ３１を得る。In the manufacturing method of such a magnetic head, as shown in FIG.
As shown in a), an external winding groove 23 and a glass filling groove 24 are formed in one block 21 of the oxide magnetic material serving as the core.
and an internal winding groove 25, as well as forming the inner winding groove 25, as shown in FIG.
As shown in the figure, the other block 22 of the oxide magnetic material that also serves as the core has an external winding groove 23 and a glass filling groove 2.
Next, after polishing the gap facing surfaces 26 and tape sliding surfaces 27 of each of the blocks 21 and 22 to a mirror finish, as shown in FIGS. 4(c) and 4(d),
Track groove 28 for obtaining a predetermined gap track width
... to form. Subsequently, after removing the process-affected layer near the surface of the Gatsb facing surface 26 by etching, the blocks 21 and 22 are removed as shown in FIGS.
A thin film of an alloy magnetic material having high magnetic permeability and high saturation magnetic flux density is formed on the surfaces of the gap facing surfaces 26 and on the inner surfaces of the glass filling groove 24, the internal winding groove 25, the track groove 28, and so on. 29 is formed by a sputtering method or the like. Furthermore, after forming a non-magnetic material such as Sing as a gap material to a thickness of about 0.3 μm on the gear forming portion on the alloy magnetic material thin film 29, as shown in FIG. The glass filling groove 24 and the internal winding groove 2 are pasted together with their respective gap facing surfaces 26 and 26 facing each other.
5, the molten glass 3 is placed in the cavity portion formed respectively.
0 and heat weld. Then, on the tape sliding surface 27 of the head block obtained in this way, as shown in FIG.
After forming a curved surface with a predetermined curvature as shown in FIG. 3, the head chip 31 shown in FIG.
〔発明が解決しようとする課題〕
ところが、上記従来の磁気ヘッドでは、酸化物磁性材料
であるブロック２１・２２の各々のギャップ対向面２６
と合金磁性材料薄膜２９との境界面がギャップに対し平
行であるため、第４図に示すように、再生出力−周波数
特性に生じるうねりが約３ｄＢにも達する。これは、酸
化物磁性材料と合金磁性材料との磁気特性の相違や、境
界面において形成された酸素等の拡散による反応層や前
記の加工変質層の不完全除去部分等が疑似ギャップとし
て作用する、いわゆる形状効果のためと考えられる。な
お、上記の第４図において、磁気記録媒体と磁気ヘッド
との相対速度は５．８ｍ／ｓｅｅ。[Problem to be Solved by the Invention] However, in the conventional magnetic head described above, the gap facing surface 26 of each of the blocks 21 and 22 made of oxide magnetic material
Since the interface between the magnetic alloy material thin film 29 and the magnetic alloy material thin film 29 is parallel to the gap, as shown in FIG. 4, the waviness generated in the reproduced output-frequency characteristic reaches about 3 dB. This is due to the difference in magnetic properties between the oxide magnetic material and the alloy magnetic material, the reaction layer formed at the interface due to diffusion of oxygen, etc., and the incompletely removed portion of the process-affected layer, etc., which act as a pseudo gap. This is thought to be due to the so-called shape effect. Note that in FIG. 4 above, the relative speed between the magnetic recording medium and the magnetic head is 5.8 m/see.
、磁気記録媒体としては保磁力９００エルステツドのも
のを用いている。The magnetic recording medium used has a coercive force of 900 oersteds.
本発明に係る磁気ヘッドは、上記の課題を解決するため
に、高透磁率および高飽和磁束密度を有する合金磁性材
料薄膜が、高透磁率を有する酸化物磁性材料からなるコ
アのギャップ対向面側でギャップに対し平行に形成され
ている磁気ヘッドにおいて、上記コアのギャップ対向面
上と合金磁性材料薄膜との間に非晶質の窒化クロム膜が
形成されていることを特徴としている。In order to solve the above-mentioned problems, the magnetic head according to the present invention has an alloy magnetic material thin film having high magnetic permeability and high saturation magnetic flux density on the gap-opposed surface of a core made of an oxide magnetic material having high magnetic permeability. A magnetic head formed parallel to the gap is characterized in that an amorphous chromium nitride film is formed between the surface of the core facing the gap and the alloy magnetic material thin film.
上記の構成によれば、窒化クロムは、熱的に安定してい
るため、製造工程における加熱によっても変質しないう
え、結晶粒を持たない非晶質に形成されるので、耐拡散
材として機能し、コアと合金磁性材料との間で発生する
粒界拡散を防止することができる。また、非晶質の窒化
クロムは活性であるため、表面に不動態を形成しやすく
、これにより拡散防止効果が顕著に現れる。According to the above structure, chromium nitride is thermally stable and does not change in quality even when heated during the manufacturing process, and is formed in an amorphous state without crystal grains, so it functions as a diffusion-resistant material. , grain boundary diffusion occurring between the core and the alloy magnetic material can be prevented. Furthermore, since amorphous chromium nitride is active, it tends to form a passive state on its surface, which provides a significant diffusion prevention effect.
それゆえ、このような非晶質の窒化クロムをコアのギャ
ップ対向面上と合金磁性材料薄膜との間に非晶質の窒化
クロム層が形成されることにより、コアと合金磁性材料
薄膜との界面付近で生じる酸素等の相互拡散を抑制して
、軟磁気特性の劣化を防止することができる。従って、
軟磁気特性が劣化した部分が再生時にギャップとして作
用することがなくなるため、形状効果を抑制して再生出
力−周波数特性におけるうねりを低減することができる
。Therefore, by forming an amorphous chromium nitride layer between the gap-opposed surface of the core and the alloy magnetic material thin film, the relationship between the core and the alloy magnetic material thin film is reduced. By suppressing mutual diffusion of oxygen and the like occurring near the interface, deterioration of soft magnetic properties can be prevented. Therefore,
Since the portion where the soft magnetic properties have deteriorated no longer acts as a gap during reproduction, shape effects can be suppressed and waviness in the reproduction output-frequency characteristics can be reduced.
本発明の一実施例を第１図ないし第２図に基づいて説明
すれば、以下の通りである。An embodiment of the present invention will be described below based on FIGS. 1 and 2.
本発明に係る磁気ヘッドにおいて、第１図（ｊ）に示す
ように、高透磁率を有する酸化物磁性材料からなるコア
ト２におけるギャップ対向面３・３の各々には、所定幅
を有し、かつギャップに対し平行な面を有する突出部３
ａ・３ａが形成されている。この突出部３ａ・３ａを含
むギャップ対向面３・３上には、１０〜２００人の厚み
で非晶質の窒化クロム膜４が形成されており、この窒化
クロム膜４を介してギャップ対向面３上には、２〜６μ
ｍの厚みで高透磁率および高飽和磁束密度を有する合金
磁性材料薄膜５が形成されている。そして、これら窒化
クロム膜４および合金磁性材料薄膜５が形成されたコア
ト２同士は、その突出部３ａ・３ａの間にギャップ材と
して厚みが約０．３μｍの５ｉＯｚ等の非磁性材料を介
装した状態でギャップ対向面３・３を互いに突き合わせ
て溶融ガラス６にて固着されている。In the magnetic head according to the present invention, as shown in FIG. 1(j), each of the gap facing surfaces 3, 3 in the core 2 made of an oxide magnetic material having high magnetic permeability has a predetermined width, and a protrusion 3 having a surface parallel to the gap.
a.3a is formed. An amorphous chromium nitride film 4 with a thickness of 10 to 200 layers is formed on the gap opposing surfaces 3 and 3 including the protrusions 3a and 3a. 3 above, 2~6μ
An alloy magnetic material thin film 5 having a thickness of m and having high magnetic permeability and high saturation magnetic flux density is formed. Then, between the cores 2 on which the chromium nitride film 4 and the alloy magnetic material thin film 5 are formed, a non-magnetic material such as 5iOz having a thickness of about 0.3 μm is interposed as a gap material between the protrusions 3a. In this state, the gap facing surfaces 3 are butted against each other and fixed with molten glass 6.
上記のように構成された磁気ヘッドを製造するには、ま
ず、同図（ａ）に示すように、上記コア１となる酸化物
磁性材料の一方のブロック１′に外部巻線用溝７とガラ
ス充填用溝８と内部巻線用溝９とを形成するとともに、
同図（ｂ）に示すように、上記コア２となる酸化物磁性
材料の一方のブロック２′に外部巻線用溝７とガラス充
填用溝８とを形成する。次に、ブロック１′ ・２′に
おけるそれぞれのギャップ対向面３とテープ摺動面１０
を鏡面状に研磨した後、同図（ｃ）および（ｄ）に示す
ように、所定のギャップトラック幅を確保するためのト
ラック溝１１・・・を形成する。続いて、ギャップ対向
面３の表層付近の加工変質層をエツチングにより除去し
た後同図（ｅ）ないしくｇ）に示すように、ブロック１
′ ・２′におけるそれぞれのギャップ対向面３の面上
、ならびにガラス充填用溝８、内部巻線用溝９およびト
ラック溝１１・・・の内面上にギャップ対向面３上に、
窒化クロム膜４を窒素ガスとアルゴンガスとの混合ガス
を用いる反応性スパッタリング法等により１０〜２００
人の厚みで形成する。In order to manufacture the magnetic head configured as described above, first, as shown in FIG. While forming the glass filling groove 8 and the internal winding groove 9,
As shown in FIG. 2B, an external winding groove 7 and a glass filling groove 8 are formed in one block 2' of the oxide magnetic material that will become the core 2. Next, the respective gap facing surfaces 3 and tape sliding surfaces 10 in blocks 1' and 2' are connected.
After polishing to a mirror-like surface, track grooves 11 for ensuring a predetermined gap track width are formed as shown in FIGS. 3(c) and 3(d). Subsequently, after removing the process-affected layer near the surface layer of the gap facing surface 3 by etching, the block 1 is removed as shown in FIGS.
On the surfaces of the respective gap facing surfaces 3 in ' and 2', and on the inner surfaces of the glass filling groove 8, the internal winding groove 9, the track groove 11..., on the gap facing surface 3,
The chromium nitride film 4 is formed by a reactive sputtering method using a mixed gas of nitrogen gas and argon gas.
Formed with human thickness.
ここで、窒化クロム膜４の膜厚が１０人よりも薄いと、
窒化クロム膜４が不連続となって島状に形成されるため
、形状効果抑制の機能が発揮されない、一方、窒化クロ
ム膜４の膜厚が２００人よりも厚いと、窒化クロム膜４
がギャップ層として作用する。従って、窒化クロム膜４
の膜厚は、前述のとうり１０〜２００人程度が好適であ
る。なお、窒化クロム膜４は、１０〜２００人の厚みの
範囲内であれば、膜厚が薄いほど形状効果抑制の機能が
顕著となる。また、窒化クロム膜４形戒時においては、
基板（被成膜面）温度を３００℃以上にすると、窒化ク
ロム膜４が結晶質となり拡散防止効果の機能が低減する
ため、窒化クロム膜４を非晶質とするには、基板温度を
３００°Ｃ以下に制御する必要がある。Here, if the thickness of the chromium nitride film 4 is thinner than 10,
Since the chromium nitride film 4 is discontinuous and formed in an island shape, the function of suppressing the shape effect cannot be exhibited.
acts as a gap layer. Therefore, the chromium nitride film 4
As mentioned above, the film thickness is preferably about 10 to 200 people. Note that, as long as the thickness of the chromium nitride film 4 is within the range of 10 to 200 layers, the thinner the film thickness is, the more remarkable the shape effect suppression function becomes. In addition, in the case of chromium nitride film type 4,
If the substrate (film-forming surface) temperature is 300°C or higher, the chromium nitride film 4 becomes crystalline and the diffusion prevention effect is reduced. It is necessary to control the temperature below °C.
窒化クロム膜４の形成後、合金磁性材料薄膜５を窒化ク
ロム膜４上にスパッタリング法等により２〜６μｍの厚
みで形成する。次に、合金磁性材料薄膜５状におけるギ
ャップ形成部位にギャップ材として５ｉＯｚ等の非磁性
材料を約０．３μｍの厚みで形成する。続いて、同図（
ｈ）に示すように、上記のブロック１′ ・２′同士を
各々のギャップ対向面３・３を突き合わせて貼り合わせ
、ガラス充填用溝８および内部巻線用溝９によりそれぞ
れ形成される空洞部位に溶融ガラス６を配置し加熱溶着
する。そして、このようにして得られたヘッドブロック
におけるテープ摺動面１０に、同図（ｉ）に示すように
、所定の曲率で曲面を形成した後、仮想線ａ・・・に沿
って切断することにより、同図（ｊ）に示すヘッドチッ
プが得られる。After forming the chromium nitride film 4, an alloy magnetic material thin film 5 is formed on the chromium nitride film 4 to a thickness of 2 to 6 μm by sputtering or the like. Next, a non-magnetic material such as 5iOz is formed as a gap material to a thickness of about 0.3 .mu.m at the gap forming portion of the alloy magnetic material thin film 5. Next, the same figure (
As shown in h), the above-mentioned blocks 1' and 2' are pasted together with their respective gap facing surfaces 3 and 3 facing each other to create a cavity formed by the glass filling groove 8 and the internal winding groove 9, respectively. The molten glass 6 is placed and heated and welded. Then, after forming a curved surface with a predetermined curvature on the tape sliding surface 10 of the head block thus obtained, as shown in FIG. As a result, the head chip shown in FIG. 2(j) is obtained.
このように、上記の製造工程は、従来とギャップ対向面
３上に非晶質の窒化クロム膜４を形成する点が異なるだ
けで、他は同様であるので、磁気ヘッドの量産性や均一
性は従来とほぼ同様に維持され、磁気ヘッドの低価格化
も可能である。また、上記の磁気ヘッドによれば、合金
磁性材料薄膜５とコアト２間の酸素等の相互拡散を抑制
することができ、コアト２と合金磁性材料薄膜５との境
界面付近でのコアト２および合金磁性材料薄膜５の軟磁
気特性の劣化を防止することができる。それゆえ、形状
効果を抑制して再生出力−周波数特性におけるうねりを
低減させることができる。In this way, the above manufacturing process is the same as the conventional method except that an amorphous chromium nitride film 4 is formed on the gap facing surface 3, so that it is possible to improve the mass productivity and uniformity of the magnetic head. is maintained almost the same as before, and it is also possible to reduce the price of the magnetic head. Further, according to the above magnetic head, it is possible to suppress mutual diffusion of oxygen, etc. between the alloy magnetic material thin film 5 and the COAT 2, and the COAT 2 and COAT 2 near the interface between the COAT 2 and the alloy magnetic material thin film 5. Deterioration of the soft magnetic properties of the alloy magnetic material thin film 5 can be prevented. Therefore, shape effects can be suppressed and waviness in the reproduced output-frequency characteristics can be reduced.
ここで、第２図に示す磁気ヘッドにおける再生出力−周
波数特性からも明らかなように、うねりが０．３ ｄ
Ｂの範囲内に低減され、再生信号の品質を著しく向上さ
せることができた。なお、この特性試験においては、磁
気ヘッドとして、窒素ガス２０％、アルゴンガス８０％
の混合ガス中で反応スパッタリング法により厚み５０人
の窒化クロム膜４を形成した後に、合金磁性材料薄膜５
としてセンダスト合金薄膜を４μｍの厚みで形成して得
られたものを用いるとともに、および記録媒体として、
保磁力９００エルステツドのものを用いており、磁気ヘ
ッドとの相対速度が５．８ｍ／ｓｅｃ、に設定されてい
る。Here, as is clear from the reproduction output-frequency characteristics of the magnetic head shown in Fig. 2, the waviness is 0.3 d.
B, and the quality of the reproduced signal could be significantly improved. In this characteristic test, the magnetic head was made using 20% nitrogen gas and 80% argon gas.
After forming a chromium nitride film 4 with a thickness of 50 mm by reactive sputtering in a mixed gas of
As a recording medium, a Sendust alloy thin film with a thickness of 4 μm was used, and as a recording medium,
A magnetic head with a coercive force of 900 oersted is used, and the relative speed with respect to the magnetic head is set at 5.8 m/sec.
本発明に係る磁気ヘッドは、以上のように、高透磁率お
よび高飽和磁束密度を有する合金磁性材料薄膜が、高透
磁率を有する酸化物磁性材料からなるコアのギャップ対
向面側でギャップに対し平行に形成されている磁気ヘッ
ドにおいて、上記コアのギャップ対向面上と合金磁性材
料薄膜との間に非晶質の窒化クロム膜が形成されている
構成である。As described above, in the magnetic head according to the present invention, the alloy magnetic material thin film having high magnetic permeability and high saturation magnetic flux density is applied to the gap on the gap-opposing surface side of the core made of the oxide magnetic material having high magnetic permeability. In the magnetic head formed in parallel, an amorphous chromium nitride film is formed between the gap-opposed surface of the core and the alloy magnetic material thin film.
これにより、合金磁性材料薄膜とコアとの界面付近で生
じる酸素等の相互拡散を抑制して、軟磁気特性の劣化を
防止することができ、いわゆる形状効果を抑制すること
ができる。従って、再生出力−周波数特性におけるうね
りを低減して、再生信号の品質を著しく向上させること
ができるという効果を奏する。Thereby, mutual diffusion of oxygen and the like occurring near the interface between the alloy magnetic material thin film and the core can be suppressed, and deterioration of the soft magnetic properties can be prevented, and the so-called shape effect can be suppressed. Therefore, it is possible to reduce the waviness in the reproduced output-frequency characteristic and significantly improve the quality of the reproduced signal.
第１図および第２図は本発明の一実施例を示すものであ
る。
第１図は（ａ）ないしくｆ）および（ｈ）ないしくｊ）
はそれぞれ磁気ヘッドの製造工程の各段階を示す斜視図
である。
第１図は（ｇ）は第１図（ｆ）における要部の縦断面図
である。
第２図は磁気ヘッドにおける再生出力−周波数特性を示
すグラフである。
第３図および第４図は従来例を示すものである。
第３図（ａ）ないしくｆ）および（ｈ）ないしＮ）はそ
れぞれ磁気ヘッドの製造工程の各段階を示す斜視図であ
る。
第３図（ｇ）は第３図（ｆ）における要部の縦断面図で
ある。
第４図は磁気ヘッドにおける再生出力−周波数特性を示
すグラフである。
１・２はコア、１′ ・２′はブロック、３はギャップ
対向面、４は窒化クロム膜、５は合金磁性材料薄膜、６
は溶融ガラスである。
第
１
国（ｈ）
第
円型数
（ＭＨｚ ）
第
３
図
（ａ）
第３図（Ｃ）
６
笛
閃
（ｂ）
第
図（ｄ）
第
３
図（ｈ）
第
図
周一／ＩＮ、数
（Ｍ日２）1 and 2 show one embodiment of the present invention. Figure 1 shows (a) or f) and (h) or j).
2A and 2B are perspective views showing each stage of the manufacturing process of the magnetic head. FIG. 1(g) is a vertical sectional view of the main part in FIG. 1(f). FIG. 2 is a graph showing reproduction output-frequency characteristics in a magnetic head. 3 and 4 show conventional examples. FIGS. 3(a) to 3(f) and 3(h) to 3(N) are perspective views showing each stage of the manufacturing process of the magnetic head. FIG. 3(g) is a longitudinal sectional view of the main part in FIG. 3(f). FIG. 4 is a graph showing reproduction output-frequency characteristics in a magnetic head. 1 and 2 are cores, 1' and 2' are blocks, 3 is a gap facing surface, 4 is a chromium nitride film, 5 is an alloy magnetic material thin film, 6
is molten glass. 1st country (h) 1st circle number (MHz) 3rd figure (a) 3rd figure (C) 6 whistle flash (b) 3rd figure (d) 3rd figure (h) 1st circle number (MHz) M day 2)
Claims (1)
料薄膜が、高透磁率を有する酸化物磁性材料からなるコ
アのギャップ対向面側でギャップに対し平行に形成され
ている磁気ヘッドにおいて、上記コアのギャップ対向面
上と合金磁性材料薄膜との間に非晶質の窒化クロム膜が
形成されていることを特徴とする磁気ヘッド。1. A magnetic head in which a thin film of an alloy magnetic material having a high magnetic permeability and a high saturation magnetic flux density is formed parallel to the gap on the side of the core made of an oxide magnetic material having a high magnetic permeability and facing the gap. A magnetic head characterized in that an amorphous chromium nitride film is formed between the gap-opposed surface of the core and the alloy magnetic material thin film.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20323489A JPH0366008A (en) | 1989-08-04 | 1989-08-04 | Magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20323489A JPH0366008A (en) | 1989-08-04 | 1989-08-04 | Magnetic head |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0366008A true JPH0366008A (en) | 1991-03-20 |
Family
ID=16470668
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20323489A Pending JPH0366008A (en) | 1989-08-04 | 1989-08-04 | Magnetic head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0366008A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6454942B1 (en) | 1999-06-08 | 2002-09-24 | Nitto Denko Corporation | Liquid separation membrane module |
| KR20170084010A (en) | 2014-11-13 | 2017-07-19 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | Permeation side flow path material for spiral membrane element and method for manufacturing same |
-
1989
- 1989-08-04 JP JP20323489A patent/JPH0366008A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6454942B1 (en) | 1999-06-08 | 2002-09-24 | Nitto Denko Corporation | Liquid separation membrane module |
| KR20170084010A (en) | 2014-11-13 | 2017-07-19 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | Permeation side flow path material for spiral membrane element and method for manufacturing same |
| US10874993B2 (en) | 2014-11-13 | 2020-12-29 | Nitto Denko Corporation | Permeation side flow path material for spiral membrane element and method for manufacturing same |
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