JPH02235210A - Magnetic head - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、高密度磁気記録再生を可能としたＭＩＧ（Ｍ
ｅｔａｌ ｉｎ Ｇａｐ＞型の磁気ヘッドに関する
ものである。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention is directed to an MIG (Migration Group) which enables high density magnetic recording and reproduction.
The present invention relates to an etal in gap> type magnetic head.
従来より、高透磁率を有し耐摩耗性等に優れたフエライ
ト材等の酸化物磁性材料の利点と、高透磁率および高飽
和磁束密度を有する合金磁性材料の利点とを併せ持った
ＭＩＧ型の磁気ヘッドが知られている。この磁気ヘッド
は、コア本体に酸化物磁性材料を使用すると共に、ギャ
ップの近傍を酸化物磁性材料で形成したものである。Conventionally, the MIG type has been developed which combines the advantages of oxide magnetic materials such as ferrite materials, which have high magnetic permeability and excellent wear resistance, and the advantages of alloy magnetic materials, which have high magnetic permeability and high saturation magnetic flux density. Magnetic heads are known. This magnetic head uses an oxide magnetic material for the core body and forms the vicinity of the gap using the oxide magnetic material.
このような磁気ヘッドを製造するには、第３図（ａ）に
示すように、コアとなる酸化物磁性材料の一方のブロッ
ク１１に外部巻線用溝１３とガラス充填用溝ｌ４と内部
巻線用溝１５とを形成すると共に、同図（ｂ）に示すよ
うに、同じくコアとなる酸化物磁性材料の他方のブロッ
ク１２に外部巻線用溝ｌ３とガラス充填用溝１４とを形
成する．そして、ブロック１１・１２における各々のギ
ャップ対向面１６とテーブ摺動面１７とを鏡面状に研磨
した後、同図（ｃ）および（ｄ）に示すように、所定の
ギャップトラック幅を得るための溝（トラック溝）１８
・・・を形成する．次いで、ギャップ対向面１６の表層
付近の加工変質層をエッチングにより除去した後、同図
（ｅ）（ｆ）（ｇ）に示すように、ブロック１１・１２
におけるそれぞれのギャップ対向面１６上に高透磁率お
よび高飽和磁束密度を有する合金磁性材料薄膜１９をス
パッタリング法等により形成する。次いで、合金磁性材
料薄膜１９上におけるギャップ形成部位にギャップ材と
してＳｉＯｚ等の非磁性材料を約０．３μｍの厚みで形
成した後、同図（ｈ）に示すように、上記のブロックｌ
１・１２同士を各々のギャップ対向面１６・１６を突き
合わせて貼り合わせ、ガラス充填用溝１４および内部巻
線用溝１５によりそれぞれ形成される空洞部位にガラス
２ｏを配置し加熱溶着する。そして、このようにして得
られた磁気ヘッドブロックにおけるテーブ摺動面１７に
、同図（ｉ）に示すように、曲面を形成した後、仮想線
ｂ・・・に沿って切断することにより、同図（ｊ）に示
すように、磁気ヘッド２２（まだ巻線の施されていない
段階）を得る．ところが、上記従来の磁気ヘッドでは、
酸化物磁性材料であるブロック１１・１２の各々のギャ
ップ対向面１６と合金磁性材料薄膜１９との境界面がギ
ャップに対し平行であるため、第４図に示すように、再
生出力一周波数特性に生じるうねりが約３ｄＢにもなる
。これは、酸化物磁性材料と合金磁性材料との磁気特性
の相違や、境界面において形成された酸素等の拡散によ
る反応層や前記の変質層の不完全除去部分等が擬似ギャ
ップとして作用する、いわゆる形状効果（コンター効果
）のためと考えられる。なお、上記の第４図において、
磁気記録媒体と磁気ヘッドとの相対速度は５．１３ｍ／
ｓ ｅ ｃ ， ｖＡ気記録媒体としては保磁力９ｏ
Ｏエルステッドのものを用いている。To manufacture such a magnetic head, as shown in FIG. 3(a), one block 11 of the oxide magnetic material serving as the core is provided with an outer winding groove 13, a glass filling groove l4, and an inner winding groove. In addition to forming a wire groove 15, an external winding groove 13 and a glass filling groove 14 are also formed in the other block 12 of the oxide magnetic material that also serves as the core, as shown in FIG. ．． After polishing each of the gap facing surfaces 16 and the tape sliding surfaces 17 in the blocks 11 and 12 to a mirror finish, as shown in FIGS. groove (track groove) 18
... is formed. Next, after removing the process-affected layer near the surface layer of the gap facing surface 16 by etching, the blocks 11 and 12 are removed as shown in FIGS.
An alloy magnetic material thin film 19 having high magnetic permeability and high saturation magnetic flux density is formed on each gap facing surface 16 by sputtering or the like. Next, after forming a non-magnetic material such as SiOz as a gap material to a thickness of about 0.3 μm on the gap forming portion on the alloy magnetic material thin film 19, as shown in FIG.
1 and 12 are bonded to each other with their respective gap facing surfaces 16 and 16 butted against each other, and the glass 2o is placed in the cavity portion formed by the glass filling groove 14 and the internal winding groove 15 and welded by heat. Then, after forming a curved surface on the tape sliding surface 17 of the thus obtained magnetic head block as shown in FIG. As shown in FIG. 4(j), a magnetic head 22 (not yet wound) is obtained. However, in the conventional magnetic head mentioned above,
Since the interface between the gap-opposing surfaces 16 of each of the blocks 11 and 12 made of oxide magnetic material and the alloy magnetic material thin film 19 is parallel to the gap, the reproduced output-frequency characteristic changes as shown in FIG. The resulting waviness is about 3 dB. This is due to the difference in magnetic properties between the oxide magnetic material and the alloy magnetic material, the reaction layer formed at the interface due to the diffusion of oxygen, etc., the incompletely removed portion of the altered layer, etc., which act as a pseudo gap. This is thought to be due to the so-called shape effect (contour effect). In addition, in the above figure 4,
The relative speed between the magnetic recording medium and the magnetic head is 5.13 m/
As a recording medium, the coercive force is 9o.
I use one from Oersted.
かかる問題点を解消するものとして、本願発明の発明者
は、先に、酸化物磁性材料と合金磁性材料との間にクロ
ムを介装してなる磁気ヘッドを提案している．かかる磁
気ヘッドを製造するには、第５図（ａ）（ｂ）（ｃ）（
ｄ）に示すように、前述した磁気ヘッド２２と同様の製
造工程を経た後（加工変質層を除去した後）、同図（ｅ
）（ｆ）（ｇ）に示すように、クロム（Ｃｒ）［９２３
をスパッタリング法等により１０人〜２００人の厚みで
ギャップ対向面ｌ６上に形成する．その後、合金磁性材
料薄膜１９をスパッタリング法等にょり膜厚２〜６μｍ
で上記のクロム膜２３上においてギャップに対し平行に
形成する．そして、合金磁性材料薄膜１９におけるギャ
ップ形成部位にギャップ材としてＳＩＯｔ等の非磁性材
料を約０．３μｍの厚みで形成する。以後の製造工程は
、同図（ｈ）（ｉ）（ｊ）に示すように、前述の磁気ヘ
ッドの製造と同様の加工が行われる。To solve this problem, the inventor of the present invention previously proposed a magnetic head in which chromium is interposed between an oxide magnetic material and an alloy magnetic material. In order to manufacture such a magnetic head, the steps shown in FIGS. 5(a), (b), (c) (
As shown in d), after going through the same manufacturing process as the magnetic head 22 described above (after removing the damaged layer),
) (f) As shown in (g), chromium (Cr) [923
is formed on the gap facing surface l6 to a thickness of 10 to 200 mm using a sputtering method or the like. Thereafter, a thin film 19 of alloy magnetic material is formed by sputtering or the like to a thickness of 2 to 6 μm.
Then, it is formed parallel to the gap on the chromium film 23 described above. Then, a non-magnetic material such as SIOt is formed as a gap material to a thickness of about 0.3 μm at the gap forming portion of the alloy magnetic material thin film 19. In the subsequent manufacturing process, as shown in FIGS. 12(h), 2(i), and 3(j), the same processing as in the manufacturing of the magnetic head described above is performed.
ところが、このように、酸化物磁性材料であるブロック
１１・１２と合金磁性材料薄膜１９との間にクロム膜２
３を介装した磁気ヘッドといえども、第６図に示すよう
に、再生出力二周波数特性に１ｄＢ程度のうねりが依然
として残り、十分な性能とはいえない。なお、第６図に
おいての諸条件は第４図における諸条件と同様に設定さ
れている．
このため、本願発明の発明者は、さらに、合金磁性材料
であるブロック１１・１２と合金磁性材料薄膜１９との
間に窒化クロム膜を介装した磁気ヘッドを提案している
。この磁気ヘッドを製造するには、第７図（ａ）（ｂ）
（ｃ）（ｄ）に示すように、前述した磁気ヘッド２２と
同様の製造工程を経た後、同図（ｅ）（ｆ）（ｇ）に示
すように、窒化クロム膜２４を窒素ガスとアルゴンガス
の混合ガスを用いた反応性スパッタリング等の方法によ
り１０人〜２００人の厚みでギャップ対向面１６上に形
成する。その後、合金磁性材料薄膜ｌ９をスパッタリン
グ法等により膜厚２〜６μｍで上記の窒化クロム２４上
においてギャップに対し平行に形成する。そして、合金
磁性材料薄膜ｌ９におけるギャップ形成部位にギャップ
材としてＳｉｎ，等の非磁性材料を約０．３μｍの厚み
で形成する。以後の製造工程は、同図（ｈ）（ｉ）（ｊ
）に示すように、前述の磁気ヘッドの製造と同様の加工
が行われる。However, in this way, the chromium film 2 is formed between the blocks 11 and 12 made of oxide magnetic material and the alloy magnetic material thin film 19.
Even though the magnetic head is equipped with the magnetic head 3, as shown in FIG. 6, there is still a undulation of about 1 dB in the two-frequency characteristics of the reproduced output, and the performance cannot be said to be sufficient. Note that the conditions in FIG. 6 are set in the same way as the conditions in FIG. Therefore, the inventor of the present invention has further proposed a magnetic head in which a chromium nitride film is interposed between the blocks 11 and 12 made of alloy magnetic material and the alloy magnetic material thin film 19. To manufacture this magnetic head, as shown in FIGS. 7(a) and (b)
As shown in (c) and (d), after going through the same manufacturing process as the magnetic head 22 described above, as shown in (e), (f), and (g) of the same figure, the chromium nitride film 24 is coated with nitrogen gas and argon gas. It is formed on the gap facing surface 16 to a thickness of 10 to 200 mm by a method such as reactive sputtering using a gas mixture. Thereafter, a thin film 19 of alloy magnetic material is formed by sputtering or the like to a thickness of 2 to 6 μm on the chromium nitride 24 in parallel to the gap. Then, a non-magnetic material such as Sin is formed as a gap material to a thickness of about 0.3 μm at the gap forming portion of the alloy magnetic material thin film 19. The subsequent manufacturing process is shown in (h), (i), and (j) in the same figure.
), the same processing as that for manufacturing the magnetic head described above is performed.
かかる磁気ヘッドによれば、第８図に示すように、ほぼ
２ＭＨｚ以上の高周波数域においては、うねりを０．３
ｄＢ〜０．５ｄＢ程度に抑えることができるものの、２
ＭＩ｛ｚ以下の周波数域においては、１ｄＢ程度のうね
りが依然として残り、十分な性能とはいえず、より一層
の改善が望まれていた。According to such a magnetic head, as shown in FIG.
Although it can be suppressed to about dB to 0.5 dB, 2
In the frequency range below MI{z, waviness of about 1 dB still remains, and the performance cannot be said to be sufficient, and further improvement has been desired.
なお、第８図においての諸条件は第４図における諸条件
と同様に設定されている。Note that the conditions in FIG. 8 are set similarly to the conditions in FIG. 4.
本発明に係る磁気ヘッドは、上記の課題を解決するため
に、高透磁率および高飽和磁束密度を有する合金磁性材
料薄膜が、高透磁率を有する酸化物磁性材料コアのギャ
ップ対向面側でギャップに対し平行に形成されている磁
気ヘッドにおいて、上記の酸化物磁性材料コアのギャッ
プ対向面上に窒化クロム膜が形成され、且つこの窒化ク
ロム膜と前記合金磁性材料薄膜との間にクロム膜が形成
されていることを特徴としている。In order to solve the above-mentioned problems, the magnetic head according to the present invention has an alloy magnetic material thin film having high magnetic permeability and high saturation magnetic flux density, which has a gap between the gap-opposed surface of the oxide magnetic material core having high magnetic permeability. In the magnetic head formed parallel to the oxide magnetic material core, a chromium nitride film is formed on the gap-opposed surface of the oxide magnetic material core, and a chromium film is formed between the chromium nitride film and the alloy magnetic material thin film. It is characterized by the fact that it is formed.
なお、上記窒化クロム膜とクロム膜との合計膜厚は、２
０人〜２００人の厚みの範囲内に設定されるのが望まし
く、かかる合計の膜厚が薄ければ薄いほど形状効果抑止
の機能が顕著となる。The total thickness of the chromium nitride film and the chromium film is 2
It is desirable to set the thickness within the range of 0 to 200 people, and the thinner the total film thickness, the more remarkable the shape effect suppression function becomes.
〔作 用］
上記の構成によれば、ギャップ対向面上に形成された窒
化クロムにより、合金磁性材料薄膜と酸化物磁性材料コ
ア間の酸素等の相互拡散を抑制することができる。この
ため、酸化物磁性材料コアと合金磁性材料薄膜の境界面
付近での酸化物磁性材料コアおよび合金磁性材料薄膜の
軟磁気特性の劣化を防止でき、軟磁気特性が劣化した部
分が再生時にギャップとして作用することがなくなるた
め、形状効果を抑制して再生出力一周波数特性における
うねりを低減することができる。[Function] According to the above configuration, mutual diffusion of oxygen and the like between the alloy magnetic material thin film and the oxide magnetic material core can be suppressed by the chromium nitride formed on the gap facing surface. Therefore, deterioration of the soft magnetic properties of the oxide magnetic material core and the alloy magnetic material thin film near the interface between the oxide magnetic material core and the alloy magnetic material thin film can be prevented, and the portion where the soft magnetic properties have deteriorated is left in the gap during playback. Therefore, the shape effect can be suppressed and the waviness in the reproduced output frequency characteristic can be reduced.
また、当該磁気ヘッドの製造においては、クロム膜上に
合金磁性材料薄膜が形成されることになるので、この合
金磁性材料薄膜においてその初期形成層および結晶構造
には乱れが殆ど生じず、良好な軟磁気特性を有するもの
となり、初期形成層の軟磁気特性が劣化した部分が再生
時にギャップとして作用するのが防止され、上述と同様
、形状効果を低減することができる。In addition, in manufacturing the magnetic head, a thin film of alloy magnetic material is formed on the chromium film, so that the initially formed layer and crystal structure of this thin film of alloy magnetic material are hardly disturbed and have a good quality. It has soft magnetic properties, and the portion where the soft magnetic properties of the initially formed layer have deteriorated is prevented from acting as a gap during reproduction, and the shape effect can be reduced as described above.
本発明の一実施例を第１図および第２図に基づいて説明
すれば、以下の通りである．
本発明に係る磁気ヘッドにおいて、第１図（ｊ）に示す
ように、高透磁率を有する酸化物磁性材料コア１・２に
おけるギャップ対向面３・３の各々には、所定幅を有し
且つギャップに対し平行な面を有する突出部３ａ・３ａ
が形成されている。この突出部３ａ・３ａを含むギャッ
プ対向面３・３上には、ＩＯ人〜２００人の厚みで窒化
クロム膜４が形成されており、この窒化クロム膜４上に
はクロム（Ｃｒ）膜９が１０人〜２００人の厚みで形成
されている。このクロム膜９上には、２μｍ〜６μｍの
厚みで高透磁率および高飽和磁束密度を有する合金磁性
材料薄膜５が形成されている。An embodiment of the present invention will be described below based on FIGS. 1 and 2. In the magnetic head according to the present invention, as shown in FIG. 1(j), each of the gap facing surfaces 3, 3 in the oxide magnetic material cores 1, 2 having high magnetic permeability has a predetermined width and Protrusions 3a, 3a having surfaces parallel to the gap
is formed. A chromium nitride film 4 with a thickness of IO to 200 is formed on the gap facing surfaces 3, 3 including the protrusions 3a, 3a, and a chromium (Cr) film 9 is formed on this chromium nitride film 4. is formed with a thickness of 10 to 200 people. On this chromium film 9, an alloy magnetic material thin film 5 having a thickness of 2 μm to 6 μm and having high magnetic permeability and high saturation magnetic flux density is formed.
そして、これら窒化クロム膜４および合金磁性材料薄膜
５の形成された酸化物磁性材料コア１・２同士は、その
突出部３ａ・３ａの間にギャップ材として厚みが約０．
３μｍのＳｉｎｔ等の非磁性材料を介装した状態でギャ
ップ対向面３・３を互いに突き合わせて溶融ガラス６に
よって固着されている。The oxide magnetic material cores 1 and 2 on which the chromium nitride film 4 and the alloy magnetic material thin film 5 are formed have a thickness of about 0.0 mm between the protrusions 3a and 3a as a gap material.
The gap facing surfaces 3 are butted against each other and fixed with molten glass 6 with a non-magnetic material such as Sint of 3 μm interposed therebetween.
上記磁気ヘッドを製造するには、同図（ａ）に示すよう
に、コアとなる酸化物磁性材料の一方のブロック１′に
外部巻線用溝１′ ａとガラス充填用溝１’ ｂと内部
巻線用溝１’ ｃとを形成すると共に、同図（ｂ）に
示すように、同じ《コアとなる酸化物磁性材料の他方の
ブロック２′に外部巻線用溝２’ ａとガラス充填用
溝２’ ｂとを形成する。そして、ブロック１′ ・
２′におけるそれぞれのギャップ対．向面゜３とテーブ
摺動面７を鏡面状に研磨した後、同図（Ｃ）および（ｄ
）に示すように、所定のギャップトラック幅を得るため
の溝（トラック溝）８・・・を形成する。次に、ギャッ
プ対向面３０表層付近の加工変質層をエッチングにより
除去した後、同図（ｅ）（ｆ）（ｇ）に示すヨウに、窒
化クロム膜４を、窒素ガスとアルゴンガスとの混合ガス
を用いる反応性スパッタリング法等により１０人〜２０
０人の厚みでギャップ対向面３上に形成した後、上記窒
化クロム膜４上にクロム膜９を、スパッタリング法等に
より１ｏ人〜２９０人の厚みで形成する．なお、窒化ク
ロム膜４とクロム膜９との合計膜厚は、２０人〜２００
人の厚みの範囲内にあるのが望ましく、かかる合計の膜
厚が薄ければ薄いほど形状効果抑止の機能が顕著となる
。In order to manufacture the above magnetic head, as shown in FIG. 3(a), one block 1' of the oxide magnetic material serving as the core is provided with an external winding groove 1'a and a glass filling groove 1'b. In addition to forming grooves 1'c for internal windings, as shown in FIG. 2(b), grooves 2'a for external windings and glass A filling groove 2'b is formed. And block 1'・
2' for each gap pair. After polishing the facing surface 3 and the tape sliding surface 7 to a mirror finish, the same figures (C) and (d)
), grooves (track grooves) 8 are formed to obtain a predetermined gap track width. Next, after removing the process-affected layer near the surface layer of the gap facing surface 30 by etching, the chromium nitride film 4 is coated with a mixture of nitrogen gas and argon gas as shown in FIGS. 10 to 20 people using reactive sputtering method using gas, etc.
After forming the chromium film 9 on the gap facing surface 3 to a thickness of 0.0 mm, a chromium film 9 is formed on the chromium nitride film 4 to a thickness of 1 to 290 mm by sputtering or the like. Note that the total thickness of the chromium nitride film 4 and the chromium film 9 is between 20 and 200%.
It is desirable that the thickness be within the range of human thickness, and the thinner the total film thickness, the more pronounced the shape effect suppression function.
クロム膜９の形成後、合金磁性材料薄膜５をクロム膜９
上にスパッタリング法等により２〜６μｍの厚みで形成
する．そして、合金磁性材料薄膜５上におけるギャップ
形成部位にギャップ材としてＳｉｎ．等の非磁性材料を
約０．３μｍの厚みで形成する。次に、同図（ｈ）に示
すように、上記のブロック１′ ・２′同士を各々のギ
ャップ対向面３・３を突き合わせて貼り合わせ、ガラス
充填用溝１’ ｂ・２’ ｂおよび内部巻線用溝１’
ｃによりそれぞれ形成される空洞部位に溶融ガラス６
を配置し加熱溶着する。そして、このようにして得られ
た磁気ヘッドブロックにおけるテープ摺動面７に、同図
（ｉ）に示すように、曲面を形成した後、仮想線ａ・・
・に沿って切断することにより、同図（ｊ）に示すよう
に、磁気ヘッド（まだ巻線の施されていない段階）が得
られる。従って、従来の製造工程とほぼ同様の製造工程
で磁気ヘッドを得ることができ、磁気ヘッドの量産性や
品質の均一性はそのまま維持され、磁気ヘッドの低価格
化も可能である。After forming the chromium film 9, the alloy magnetic material thin film 5 is coated with the chromium film 9.
A layer with a thickness of 2 to 6 μm is formed on top by sputtering or the like. Then, a gap material of Sin. A non-magnetic material such as the like is formed to a thickness of about 0.3 μm. Next, as shown in the same figure (h), the above-mentioned blocks 1' and 2' are pasted together with their respective gap facing surfaces 3 and 3 facing each other, and the glass filling grooves 1' b and 2' b and the inside are bonded together. Winding groove 1'
The molten glass 6 is placed in each cavity formed by c.
Place and heat weld. Then, after forming a curved surface on the tape sliding surface 7 of the magnetic head block thus obtained, as shown in FIG.
By cutting along the lines, a magnetic head (not yet wound) can be obtained, as shown in FIG. 2(j). Therefore, a magnetic head can be obtained through a manufacturing process substantially similar to a conventional manufacturing process, mass productivity and uniformity of quality of the magnetic head can be maintained, and the price of the magnetic head can be reduced.
上記の構成によれば、ギャップ対向面３上に形成された
窒化クロム膜４により、合金磁性材料薄膜５と酸化物磁
性材料コア１・２間の酸素等の相互拡散を抑制すること
ができる。このため、酸化物磁性材料コア１・２と合金
磁性材料薄膜５の境界面付近での酸化物磁性材料コア１
・２および合金磁性材料薄膜５の軟磁気特性の劣化を防
止でき、軟磁気特性が劣化した部分が再生時にギャップ
として作用することがなくなるため、形状効果を抑制し
て再生出力一周波数特性におけるうねりを低減すること
ができる。According to the above configuration, the chromium nitride film 4 formed on the gap facing surface 3 can suppress mutual diffusion of oxygen and the like between the alloy magnetic material thin film 5 and the oxide magnetic material cores 1 and 2. Therefore, the oxide magnetic material core 1 near the interface between the oxide magnetic material cores 1 and 2 and the alloy magnetic material thin film 5
・Deterioration of the soft magnetic properties of 2 and the alloy magnetic material thin film 5 can be prevented, and the portion where the soft magnetic properties have deteriorated no longer acts as a gap during playback, suppressing the shape effect and reducing the waviness in the playback output frequency characteristics. can be reduced.
また、当該磁気ヘッドの製造においては、クロム膜９上
に合金磁性材料薄膜５が形成されることになるので、こ
の合金磁性材料薄膜５においてその初期形成層および結
晶構造には乱れが殆ど生じず、良好な軟磁気特性を有す
るものとなり、初期形成層の軟磁気特性が劣化した部分
が再生時にギャップとして作用するのが防止され、上述
と同様、形状効果を低減することができる．
第２図は、窒素ガス２０％、アルゴンガス８０％の混合
ガスを用いて反応性スパッタリング法により厚み５０人
の窒化クロム膜４を形成した後にスパッタリング法によ
り厚み５０人のクロム膜９を形成し、このクロム膜９上
に合金磁性材料薄膜５としてセンダスト合金薄膜を４μ
ｍの厚みで形成して得られた磁気ヘッドにおける再生出
力一周波数特性図である。この特性試験において、磁気
ヘッドと記録媒体の相対速度は５．８ｍ／ｓｅｃ、記録
媒体として保磁力９００エルステッドのものを用いてい
る．この図から明らかなように、再生出力一周波数特性
におけるうねりは全周波数域において０．３ｄＢの範囲
に低減されている．〔発明の効果〕
本発明に係る磁気ヘッドは、以上のように、高透磁率お
よび高飽和磁束密度を存する合金磁性材料薄膜が、高透
磁率を有する酸化物磁性材料コアのギャップ対向面側で
ギャップに対し平行に形成されている磁気ヘッドにおい
て、上記の酸化物磁性材料コアのギャップ対向面上に窒
化クロム膜が形成され、且つこの窒化クロム膜と前記合
金磁性材料薄膜との間にクロム膜が形成されている構成
である。In addition, in manufacturing the magnetic head, since the alloy magnetic material thin film 5 is formed on the chromium film 9, there is almost no disturbance in the initially formed layer and crystal structure of the alloy magnetic material thin film 5. , it has good soft magnetic properties, and the portion where the soft magnetic properties of the initially formed layer have deteriorated is prevented from acting as a gap during reproduction, and the shape effect can be reduced as described above. FIG. 2 shows that after forming a chromium nitride film 4 with a thickness of 50 densities by reactive sputtering using a mixed gas of 20% nitrogen gas and 80% argon gas, a chromium nitride film 9 with a thickness of 50 densities is formed by sputtering. , a sendust alloy thin film of 4μ is deposited on this chromium film 9 as an alloy magnetic material thin film 5.
FIG. 4 is a reproduction output-frequency characteristic diagram of a magnetic head formed with a thickness of m. In this characteristic test, the relative speed between the magnetic head and the recording medium was 5.8 m/sec, and a recording medium with a coercive force of 900 Oe was used. As is clear from this figure, the waviness in the reproduced output one-frequency characteristic is reduced to a range of 0.3 dB in the entire frequency range. [Effects of the Invention] As described above, in the magnetic head according to the present invention, the alloy magnetic material thin film having high magnetic permeability and high saturation magnetic flux density is formed on the gap-opposing surface side of the oxide magnetic material core having high magnetic permeability. In a magnetic head formed parallel to the gap, a chromium nitride film is formed on the surface of the oxide magnetic material core facing the gap, and a chromium film is formed between the chromium nitride film and the alloy magnetic material thin film. This is the configuration in which .
これにより、いわゆる形状効果を抑制して再生出力一周
波数特性におけるうねりを低減することができ、再生信
号の品質を向上できるという効果を奏する。Thereby, it is possible to suppress the so-called shape effect and reduce the waviness in the reproduced output-frequency characteristic, thereby achieving the effect that the quality of the reproduced signal can be improved.
第１図および第２図は本発明の一実施例を示すものであ
って、第１図（ａ）ないし（ｆ）および（ｈ）ないし（
ｊ）はそれぞれ磁気ヘッドの製造工程の各段階を示す斜
視図、同図（ｇ）は同図（ｆ）における要部の断面図、
第２図は磁気ヘッドにおける再生出力一周波数特性のグ
ラフ、第３図および第４図は従来例を示すものであって
、第３図（ａ）ないし（ｆ）および（ｈ）ないし（ｊ）
はそれぞれ磁気ヘッドの製造工程の各段階を示す斜視図
、同図（ｇ）は同図（ｆ）における要部の断面図、第４
図は磁気ヘッドにおける再生出力一周波数特性のグラフ
、第５図および第６図は他の従来例を示すものであって
、第５図（ａ）ないし（ｆ）および（ｈ）ないし（ｊ）
はそれぞれ磁気ヘッドの製造工程の各段階を示す斜視図
、同図（ｇ）は同図（ｆ）における要部の断面図、第６
図は磁気ヘッドにおける再生出力一周波数特性のグラフ
、第７図および第８図は他の従来例を示すものであって
、第７図（ａ）ないし（ｆ）および（ｈ）ないし（ｊ）
はそれぞれ磁気ヘッドの製造工程の各段階を示す斜視図
、同図（ｇ）は同図（ｆ）における要部の断面図、第８
図は磁気ヘッドにおける再生出力一周波数特性のグラフ
である。
１・２は酸化物磁性材料コア、１′ ・２′は酸化物磁
性材料のブロック、３はギャップ対向面、４は窒化クロ
ム膜、５は合金磁性材料薄膜、６は溶融ガラス、９はク
ロム膜である。
箔
図（Ｃ）
ラ康数（ＭＨｚ）
図（ｂ）
図（ｄ）
］１
第
図（Ｃ）
第
図（ｂ）
］２
第
３図（ｄ）
冨
図（ａ）
］］
萬
図（ｃ）
冨
図
■仮｛欠（ＭＨｚ）
第
図（ｂ）
第
ズ（ｄ）
冨
！
Ｏ
Ｒｎ ５／Ｊ一一ｆｉ（ＭＨｚ）
冨
ズ（ａ）
箪
図（Ｃ）
名
図（ｂ）
］２
第
図（ｄ）
冨
図
周
５ｆＬ数（ＭＨｚ）FIGS. 1 and 2 show an embodiment of the present invention, and FIGS. 1(a) to (f) and (h) to (
j) is a perspective view showing each stage of the manufacturing process of the magnetic head, FIG.
Fig. 2 is a graph of reproduction output versus frequency characteristics of a magnetic head, Figs. 3 and 4 show conventional examples, and Figs. 3 (a) to (f) and (h) to (j)
are perspective views showing each stage of the manufacturing process of the magnetic head, FIG. 4(g) is a sectional view of the main part in FIG.
The figure is a graph of reproduction output versus frequency characteristics in a magnetic head, and Figures 5 and 6 show other conventional examples. Figures 5 (a) to (f) and (h) to (j)
6 is a perspective view showing each stage of the manufacturing process of the magnetic head, FIG.
The figure is a graph of reproduction output versus frequency characteristics in a magnetic head, and Figures 7 and 8 show other conventional examples. Figures 7 (a) to (f) and (h) to (j)
8 is a perspective view showing each stage of the manufacturing process of the magnetic head, FIG.
The figure is a graph of reproduction output versus frequency characteristics in a magnetic head. 1 and 2 are oxide magnetic material cores, 1' and 2' are oxide magnetic material blocks, 3 is a gap facing surface, 4 is a chromium nitride film, 5 is an alloy magnetic material thin film, 6 is molten glass, and 9 is chromium It is a membrane. Foil diagram (C) Ray frequency (MHz) Figure (b) Figure (d) ] 1 Figure (C) Figure (b) ] 2 Figure 3 (d) Tomi diagram (a) ]] Manzu (c ) Tomizu■ Kari {missing (MHz) Diagram (b) Z (d) Tomi! O Rn 5/J11fi (MHz) Tomizu (a) Tanzu (C) Meizu (b) ]2 Fig. (d) Tomizu circumference 5fL number (MHz)
Claims (1)
料薄膜が、高透磁率を有する酸化物磁性材料コアのギャ
ップ対向面側でギャップに対し平行に形成されている磁
気ヘッドにおいて、 上記の酸化物磁性材料コアのギャップ対向面上に窒化ク
ロム膜が形成され、且つこの窒化クロム膜と前記合金磁
性材料薄膜との間にクロム膜が形成されていることを特
徴とする磁気ヘッド。[Claims] 1. A magnetic alloy magnetic material thin film having high magnetic permeability and high saturation magnetic flux density is formed parallel to the gap on the side of the gap-opposing surface of the oxide magnetic material core having high magnetic permeability. In the head, a chromium nitride film is formed on the gap-opposing surface of the oxide magnetic material core, and a chromium film is formed between the chromium nitride film and the alloy magnetic material thin film. magnetic head.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5435189A JPH02235210A (en) | 1989-03-07 | 1989-03-07 | Magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5435189A JPH02235210A (en) | 1989-03-07 | 1989-03-07 | Magnetic head |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02235210A true JPH02235210A (en) | 1990-09-18 |
Family
ID=12968210
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5435189A Pending JPH02235210A (en) | 1989-03-07 | 1989-03-07 | Magnetic head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02235210A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003042984A1 (en) * | 2001-11-16 | 2003-05-22 | Hitachi Maxell, Ltd. | Magnetic recording medium, its manufacturing method, and magnetic storage |
-
1989
- 1989-03-07 JP JP5435189A patent/JPH02235210A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003042984A1 (en) * | 2001-11-16 | 2003-05-22 | Hitachi Maxell, Ltd. | Magnetic recording medium, its manufacturing method, and magnetic storage |
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