JPH02202710A - 表面弾性波共振子フィルタ - Google Patents
表面弾性波共振子フィルタInfo
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- JPH02202710A JPH02202710A JP2360189A JP2360189A JPH02202710A JP H02202710 A JPH02202710 A JP H02202710A JP 2360189 A JP2360189 A JP 2360189A JP 2360189 A JP2360189 A JP 2360189A JP H02202710 A JPH02202710 A JP H02202710A
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- PSHMSSXLYVAENJ-UHFFFAOYSA-N dilithium;[oxido(oxoboranyloxy)boranyl]oxy-oxoboranyloxyborinate Chemical compound [Li+].[Li+].O=BOB([O-])OB([O-])OB=O PSHMSSXLYVAENJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
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Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、圧電基板上にインタディジタル電極とグレー
ティング反射器を形成してなる表面弾性波共振子を利用
した帯域通過フィルタに関するものである。
ティング反射器を形成してなる表面弾性波共振子を利用
した帯域通過フィルタに関するものである。
〔従来の技術]
近年、VHF帯およびUHF帯を使用した無線通信用フ
ロントエンドフィルタとして表面弾性波デバイスを利用
し、無線機を小型、軽量化することが提案されている。
ロントエンドフィルタとして表面弾性波デバイスを利用
し、無線機を小型、軽量化することが提案されている。
フロントエンド用フィルタとして必要な電気特性は、挿
入損失が小さいこと、帯域内リップルが小さいこと、帯
域外スプリアスレベルが低いこと、帯域外減衰量が大き
いこと、通信システムに要求されるチャンネル数を確保
するために適当な帯域幅を持つことであり、これらの条
件をすべて満足することが要求される。
入損失が小さいこと、帯域内リップルが小さいこと、帯
域外スプリアスレベルが低いこと、帯域外減衰量が大き
いこと、通信システムに要求されるチャンネル数を確保
するために適当な帯域幅を持つことであり、これらの条
件をすべて満足することが要求される。
従来の表面弾性波フィルタは、主に2種類に分類される
。1つは比帯域幅は広いが、挿入損失も大きいトランス
バーサル型デバイスであり、もう1つは比帯域幅が0.
05%程度と狭いが、挿入損失は小さい共振子型デバイ
スである。したがって、従来の表面弾性波デバイスをフ
ロントエンドフィルタとして用いるには、各々特性の改
善が必要で両方の性質の長所を合わせ持つものが望まれ
ていた。
。1つは比帯域幅は広いが、挿入損失も大きいトランス
バーサル型デバイスであり、もう1つは比帯域幅が0.
05%程度と狭いが、挿入損失は小さい共振子型デバイ
スである。したがって、従来の表面弾性波デバイスをフ
ロントエンドフィルタとして用いるには、各々特性の改
善が必要で両方の性質の長所を合わせ持つものが望まれ
ていた。
一方、表面弾性波デバイスをUHF帯で使用するために
は、終端インピーダンスは通常は50Ωが選択されてい
る。このような低インピーダンスで挿入損失の小さな表
面弾性波フィルタを得るための方法として、1個の入力
用インタディジタル電極ともう1個の出力用インタディ
ジタル電極を用いて表面弾性波共振子を形成し、エネル
ギー閉じ込めモードの対称的な1次モードおよび反対称
な2次モードの2つのモードを利用した縦型2重モード
帯域通過フィルタを構成する提案がなされている(特開
昭61−285814号)。
は、終端インピーダンスは通常は50Ωが選択されてい
る。このような低インピーダンスで挿入損失の小さな表
面弾性波フィルタを得るための方法として、1個の入力
用インタディジタル電極ともう1個の出力用インタディ
ジタル電極を用いて表面弾性波共振子を形成し、エネル
ギー閉じ込めモードの対称的な1次モードおよび反対称
な2次モードの2つのモードを利用した縦型2重モード
帯域通過フィルタを構成する提案がなされている(特開
昭61−285814号)。
[発明が解決しようとする課題]
しかしながら、この縦型2重モード帯域通過フィルタに
おいては、圧電基板として水晶を用いた場合、規格化電
極膜厚を4%と大きくしても比帯域幅は0.3%までし
か達成出来ず、帯域内リップルも大きいという問題点が
ある。また、圧電基板としてリチウムタンタレート(L
i T a O,)を用いた場合に、規格化電極膜厚
を4%と大きくしたとしても比帯域幅0.47%までし
か達成出来ず、また、帯域内リップルも大きいことが知
られている。
おいては、圧電基板として水晶を用いた場合、規格化電
極膜厚を4%と大きくしても比帯域幅は0.3%までし
か達成出来ず、帯域内リップルも大きいという問題点が
ある。また、圧電基板としてリチウムタンタレート(L
i T a O,)を用いた場合に、規格化電極膜厚
を4%と大きくしたとしても比帯域幅0.47%までし
か達成出来ず、また、帯域内リップルも大きいことが知
られている。
したがって従来の表面弾性波デバイスは、比帯域幅が0
.3%以上で帯域内リップルが小さく、帯域外スプリア
スレベルが低く大きな帯域外減衰量が要求されるフロン
トエンド用フィルタとして実用に供することはできなか
った。
.3%以上で帯域内リップルが小さく、帯域外スプリア
スレベルが低く大きな帯域外減衰量が要求されるフロン
トエンド用フィルタとして実用に供することはできなか
った。
本発明は上記問題点を解決すべくなされたもので、その
目的とするところは帯域幅が広く、挿入損失が小さく、
帯域内リップルが小さくかつ入力インピーダンスが低い
表面弾性波共振子フィルタを提供することにある。
目的とするところは帯域幅が広く、挿入損失が小さく、
帯域内リップルが小さくかつ入力インピーダンスが低い
表面弾性波共振子フィルタを提供することにある。
[課題を解決するための手段]
上記目的を達成するため、この発明は圧電基板上の表面
弾性波伝搬方向に沿って、3個以上のインタディジタル
電極を近接配置し該インタディジタル電極のうち少なく
とも1個を入力端子に接続し、残りのインタディジタル
電極を出力端子に接続すると共に、前記インタディジタ
ル電極の間外側に少なくとも1組の反射器を配置してな
る表面弾性波共振子フィルタにおいて、インタディジタ
ル電極の総対数N、+N2を40対以上150対以下と
し、かつ入力用インタディジタル電極の総対数N2と出
力用インタディジタル電極の総対数Nよとの比N□/N
2を、1.4以上2.4以下とするとともに、インタデ
ィジタル電極の電極指の最大交差幅Wと通過中心周波数
の表面波波長λとの比W/λを50以上180以下の範
囲に設定するようにした。なお、入力用または出力用イ
ンタディジタル電極を複数個設けた場合、その対数N2
゜N工は入力用または出力用のインタディジタル電極の
総和の対数を示している。
弾性波伝搬方向に沿って、3個以上のインタディジタル
電極を近接配置し該インタディジタル電極のうち少なく
とも1個を入力端子に接続し、残りのインタディジタル
電極を出力端子に接続すると共に、前記インタディジタ
ル電極の間外側に少なくとも1組の反射器を配置してな
る表面弾性波共振子フィルタにおいて、インタディジタ
ル電極の総対数N、+N2を40対以上150対以下と
し、かつ入力用インタディジタル電極の総対数N2と出
力用インタディジタル電極の総対数Nよとの比N□/N
2を、1.4以上2.4以下とするとともに、インタデ
ィジタル電極の電極指の最大交差幅Wと通過中心周波数
の表面波波長λとの比W/λを50以上180以下の範
囲に設定するようにした。なお、入力用または出力用イ
ンタディジタル電極を複数個設けた場合、その対数N2
゜N工は入力用または出力用のインタディジタル電極の
総和の対数を示している。
すなわち、本発明者らは表面弾性波共振子フィルタを無
線通信用フロントエンドフィルタに使用する場合に要求
される条件を一つ一つ詳しく検討した結果、上記のよう
な数値範囲が妥当であるとの結論に到った。そこで、そ
の検討の過程について説明する。
線通信用フロントエンドフィルタに使用する場合に要求
される条件を一つ一つ詳しく検討した結果、上記のよう
な数値範囲が妥当であるとの結論に到った。そこで、そ
の検討の過程について説明する。
表面弾性波共振子フィルタをフロントエンドフィルタに
使用するには前述したように従来よりも多くの電気的特
性を満足させなくてはならない。
使用するには前述したように従来よりも多くの電気的特
性を満足させなくてはならない。
そこで、インタディジタル電極の個数を増やすことで先
ず設計の自由度を高めることとした。
ず設計の自由度を高めることとした。
次に、表面弾性波共振子フィルタの入力インピーダンス
を低くすることを考えた。終端インピーダンスは、周波
数に対して一定値であるが、表面弾性波共振子フィルタ
の影像インピーダンスは、複雑で帯域内で変動しており
完全に整合をとることはできない。近似として、この振
動のピーク(山と谷)の中点を結ぶ折線が終端インピー
ダンス(50Ω)に一致していれば整合がとれたと考え
られる。従って、入力インピーダンスを低くするには、
上記折線を傾きが零の直線に近づけ、かつその値を低く
すればよい。このための手法として一般的なのは、電極
指の交差幅を長くすることである。こうすると表面弾性
波共振子フィルタの影像インピーダンスは低下する。し
かし、交差幅を大きくしすぎると電極指自体の抵抗が増
え挿入損失が大きくなる。また、チップサイズが大きく
なり表面弾性波素子の特徴の1つである小型化を達成出
来なくなる。一方、入力用インタディジタル電極対数を
増加させても表面弾性波共振子フィルタの影像インピー
ダンスは低下する。しかし、ある値を越すとインタディ
ジタル電極自身での表面弾性波の反射が大きくなり、反
射器までエネルギーが到達せず多対インタディジタル型
表面弾性波素子と同一性能となる。この場合、狭帯域な
フィルタとなり十分な帯域幅が得られないとともに素子
が大型となるため好ましくない。
を低くすることを考えた。終端インピーダンスは、周波
数に対して一定値であるが、表面弾性波共振子フィルタ
の影像インピーダンスは、複雑で帯域内で変動しており
完全に整合をとることはできない。近似として、この振
動のピーク(山と谷)の中点を結ぶ折線が終端インピー
ダンス(50Ω)に一致していれば整合がとれたと考え
られる。従って、入力インピーダンスを低くするには、
上記折線を傾きが零の直線に近づけ、かつその値を低く
すればよい。このための手法として一般的なのは、電極
指の交差幅を長くすることである。こうすると表面弾性
波共振子フィルタの影像インピーダンスは低下する。し
かし、交差幅を大きくしすぎると電極指自体の抵抗が増
え挿入損失が大きくなる。また、チップサイズが大きく
なり表面弾性波素子の特徴の1つである小型化を達成出
来なくなる。一方、入力用インタディジタル電極対数を
増加させても表面弾性波共振子フィルタの影像インピー
ダンスは低下する。しかし、ある値を越すとインタディ
ジタル電極自身での表面弾性波の反射が大きくなり、反
射器までエネルギーが到達せず多対インタディジタル型
表面弾性波素子と同一性能となる。この場合、狭帯域な
フィルタとなり十分な帯域幅が得られないとともに素子
が大型となるため好ましくない。
さらに、終端インピーダンスとして実用的な値を想定し
た場合、影像インピーダンスが小さすぎても整合が取れ
ないので、交差幅と入力インタディジタル電極対数には
、上限のみならず下限も存在する。
た場合、影像インピーダンスが小さすぎても整合が取れ
ないので、交差幅と入力インタディジタル電極対数には
、上限のみならず下限も存在する。
次に帯域内リップルを小さくする方法について検討した
。帯域内リップルは議論されない場合が多いけれども実
用上は非常に重要な特性である。
。帯域内リップルは議論されない場合が多いけれども実
用上は非常に重要な特性である。
帯域内特性の設計法として有効なのは、バルク波を用い
た水晶モノリシックフィルタの設計法を転用することで
ある。バルク法を利用した高結合圧電板を用いた多電極
対モノリシックフィルタの最も新しい設計法は、先ずフ
ィルタ中央の対称面に関して対称な閉じ込めモードのイ
ンピーダンスZaが直列腕に、また、反対称な閉じ込め
モードのインピーダンスzbが格子腕に接続された反対
称格子形回路に変換する。このときフィルタの影像イン
ピーダンスZimは、 Zim=f]51−Zb −・・−(1,)
で与えられる。次に、対称モードの数を21反対称モー
ドの数をqとおくとともに、対称モードの1番目の共振
周波数および***振周波数をfaRi、faAiとし、
また反対称モードのj番目の共振周波数および***振周
波数をfbRj、fbAjとするとZa、Zbは次式で
近似することができる。
た水晶モノリシックフィルタの設計法を転用することで
ある。バルク法を利用した高結合圧電板を用いた多電極
対モノリシックフィルタの最も新しい設計法は、先ずフ
ィルタ中央の対称面に関して対称な閉じ込めモードのイ
ンピーダンスZaが直列腕に、また、反対称な閉じ込め
モードのインピーダンスzbが格子腕に接続された反対
称格子形回路に変換する。このときフィルタの影像イン
ピーダンスZimは、 Zim=f]51−Zb −・・−(1,)
で与えられる。次に、対称モードの数を21反対称モー
ドの数をqとおくとともに、対称モードの1番目の共振
周波数および***振周波数をfaRi、faAiとし、
また反対称モードのj番目の共振周波数および***振周
波数をfbRj、fbAjとするとZa、Zbは次式で
近似することができる。
(f”−f”aAl)(f2−f2aA2) ・・(f
”−f”aAp)(f2−f”b^z) (f”−f2
bA2)・・・・(f”−f2bAq)式(2)、(3
)において faAi=fbgi (i=1,2.・・・・p)
”(4)fa Rjn=fbAj (j
=LL” ・・q−1) ・・−(5)の周波数合
わせを行なうというものである。この場合には帯域幅は
(fb Rq−fa R、)または、(fa RP−f
a Rt)となる。この方法を表面弾性波デバイスの設
計に適用する。3個以上のインタディジタル電極を近接
配置し、この内の数個を入力端子に接続し、残りのイン
タディジタル電極を出力端子に接続するとともに、多段
に縦続接続した時に通過帯域近傍の電気的特性が対称格
子形回路で表わせる。その対称線で切られる弾性表面波
共振子の出力端子を短絡したときの入力インピーダンス
Zaと、開放したときの入力インピーダンスzbのそれ
ぞれの共振周波数および***振周波数を求める。
”−f”aAp)(f2−f”b^z) (f”−f2
bA2)・・・・(f”−f2bAq)式(2)、(3
)において faAi=fbgi (i=1,2.・・・・p)
”(4)fa Rjn=fbAj (j
=LL” ・・q−1) ・・−(5)の周波数合
わせを行なうというものである。この場合には帯域幅は
(fb Rq−fa R、)または、(fa RP−f
a Rt)となる。この方法を表面弾性波デバイスの設
計に適用する。3個以上のインタディジタル電極を近接
配置し、この内の数個を入力端子に接続し、残りのイン
タディジタル電極を出力端子に接続するとともに、多段
に縦続接続した時に通過帯域近傍の電気的特性が対称格
子形回路で表わせる。その対称線で切られる弾性表面波
共振子の出力端子を短絡したときの入力インピーダンス
Zaと、開放したときの入力インピーダンスzbのそれ
ぞれの共振周波数および***振周波数を求める。
この共振周波数および***振周波数が式(4)。
(5)を満たせばよいが、完全に満足するように設定す
ることは必ずしもできない。したがって、影像インピー
ダンスと終端インピーダンスの差によって複雑な帯域内
リップルが生じる。現実問題として、帯域内リップルが
許容値に収まるように共振周波数および***振周波数を
設定することかが重要である。
ることは必ずしもできない。したがって、影像インピー
ダンスと終端インピーダンスの差によって複雑な帯域内
リップルが生じる。現実問題として、帯域内リップルが
許容値に収まるように共振周波数および***振周波数を
設定することかが重要である。
このための手段として最も有効なの、が、入出力用イン
タディジタル電極の対数比とインタディジタル電極の総
対数である。ところで、比帯域幅はインタディジタル電
極の総対数NT(N1十N Z )および入出力用イン
タディジタル電極の対数比N工/NZが大きいほど狭く
なる。したがってこれらの値に上限が存在する。一方、
これらの値が小さいと、帯域内リップルは大きくなる。
タディジタル電極の対数比とインタディジタル電極の総
対数である。ところで、比帯域幅はインタディジタル電
極の総対数NT(N1十N Z )および入出力用イン
タディジタル電極の対数比N工/NZが大きいほど狭く
なる。したがってこれらの値に上限が存在する。一方、
これらの値が小さいと、帯域内リップルは大きくなる。
従って帯域内リップルの許容値を満足させる(こは、こ
れらの値に下限が存在するはずである。
れらの値に下限が存在するはずである。
本発明者らは上記のような考察に基づいて、インタディ
ジタル電極の総対数、入力用と出力用のインタディジタ
ル電極の各対数の比および電極指の最大交差幅と波長の
比W/λ(以下、これを規格化交差幅と称する)の上限
と下限を知るため。
ジタル電極の総対数、入力用と出力用のインタディジタ
ル電極の各対数の比および電極指の最大交差幅と波長の
比W/λ(以下、これを規格化交差幅と称する)の上限
と下限を知るため。
実験を行ない、前述のような数値範囲を決定した。
[作用]
前記手段によれば、インタディジタル電極を3個以上設
けてフィルタを構成しているため、設計の自由度が増大
し、所望のフィルタ特性を得るため設計が容易になると
ともに、インタディジタル電極の総対数と対数比を所定
の範囲内で選択するようにしたため帯域内リップルを低
減させることができ、また、インタディジタル電極の最
大交差幅と入力インタディジタル電極の対数を所定の範
囲内で選択するようにしたため、入力インピーダンスを
下げ挿入損失を減少させることができるとともに、影像
インピーダンスと終端インピーダンスとの整合がとりや
すくなり、フィルタの帯域幅を広くすることが可能とな
る。
けてフィルタを構成しているため、設計の自由度が増大
し、所望のフィルタ特性を得るため設計が容易になると
ともに、インタディジタル電極の総対数と対数比を所定
の範囲内で選択するようにしたため帯域内リップルを低
減させることができ、また、インタディジタル電極の最
大交差幅と入力インタディジタル電極の対数を所定の範
囲内で選択するようにしたため、入力インピーダンスを
下げ挿入損失を減少させることができるとともに、影像
インピーダンスと終端インピーダンスとの整合がとりや
すくなり、フィルタの帯域幅を広くすることが可能とな
る。
[実施例]
以下、本発明の実施例を図面を参照しながら詳細に説明
する。
する。
第1図は、本発明に係る表面弾性波共振子フィルタの一
構成例を示す概念図であって、圧電基板1の表面に入力
用インタディジタル電極2aを形成し、その両外側に励
起された表面弾性波の伝搬方向に沿って出力用インタデ
ィジタル電極3a。
構成例を示す概念図であって、圧電基板1の表面に入力
用インタディジタル電極2aを形成し、その両外側に励
起された表面弾性波の伝搬方向に沿って出力用インタデ
ィジタル電極3a。
3a’ を相隣接して配設するとともに、さらに出力用
インタディジタル電極3a、3a’の両側にグレーティ
ング反射器4a、4a’ を配置したものである。また
、上記インタディジタル電極2a。
インタディジタル電極3a、3a’の両側にグレーティ
ング反射器4a、4a’ を配置したものである。また
、上記インタディジタル電極2a。
3a、3a’および反射器4a、4a’ と並んで同一
構成の電極2b、3b、3b’と反射器4b。
構成の電極2b、3b、3b’と反射器4b。
4b’ を形成して2段構造とし、電極3aと3bおよ
び3a’と3b’ を縦続接続している。さらに、上段
のインタディジタル電極2aを構成する一対のくし形電
極を各々入力端子INと接地点に、また各インタディジ
タル電極3a、3a’の一方の電極を接地点に接続する
とともに、下段のインタディジタル電極2bを構成する
一対のくし形電極を各々出力端子OUTと接地点に、ま
た各インタディジタル電極3b、3b’の一方の電極を
接地点に接続しである。
び3a’と3b’ を縦続接続している。さらに、上段
のインタディジタル電極2aを構成する一対のくし形電
極を各々入力端子INと接地点に、また各インタディジ
タル電極3a、3a’の一方の電極を接地点に接続する
とともに、下段のインタディジタル電極2bを構成する
一対のくし形電極を各々出力端子OUTと接地点に、ま
た各インタディジタル電極3b、3b’の一方の電極を
接地点に接続しである。
そして、入出力用端子間にはそれぞれ終端インピーダン
ス5,5′を接続しである。なお、終端インピーダンス
5,5′はUHF帯で多く使用されている50Ωの抵抗
である。また圧電基板1としては、リチウムテトラボレ
ート(LxzB4o7)45°回転X板2伝搬基板を用
いた。この場合の表面波音速は3440m/秒である。
ス5,5′を接続しである。なお、終端インピーダンス
5,5′はUHF帯で多く使用されている50Ωの抵抗
である。また圧電基板1としては、リチウムテトラボレ
ート(LxzB4o7)45°回転X板2伝搬基板を用
いた。この場合の表面波音速は3440m/秒である。
上記基板1の表面上を表面弾性波が2軸方向に伝搬する
ように入出力用インタディジタル電極2,3.3’およ
び反射器4,4′を配置した。電極はアルミニウム層と
した。ただし、Li2B4O,基板がAQのエツチング
液に対して溶解するため電極の形成はリフトオフ法によ
り行なった。反射器4,4′の反射体はアルミニウム層
からなる金属ストリップとした。前記グレーティング反
射器の反射体本数は、AΩストリップ1本当たりの表面
弾性波反射率を考慮し、表面弾性波を十分に反射できる
本数として100本とした。また最大交差幅は、後でフ
ィルタの影像インピーダンスが50Ωに整合するように
決定するが、最初は予備的な検討により規格化交差幅W
/λを150とする。横モード抑圧のための重み付けは
、一般的なコサインアポダイズで行なっている。
ように入出力用インタディジタル電極2,3.3’およ
び反射器4,4′を配置した。電極はアルミニウム層と
した。ただし、Li2B4O,基板がAQのエツチング
液に対して溶解するため電極の形成はリフトオフ法によ
り行なった。反射器4,4′の反射体はアルミニウム層
からなる金属ストリップとした。前記グレーティング反
射器の反射体本数は、AΩストリップ1本当たりの表面
弾性波反射率を考慮し、表面弾性波を十分に反射できる
本数として100本とした。また最大交差幅は、後でフ
ィルタの影像インピーダンスが50Ωに整合するように
決定するが、最初は予備的な検討により規格化交差幅W
/λを150とする。横モード抑圧のための重み付けは
、一般的なコサインアポダイズで行なっている。
上記構成の表面弾性波共振子において、規格化AΩ膜厚
H/λを0.01とした場合に、入出力用インタディジ
タル電極の対数比N工/NZを2に固定し、インタディ
ジタル電極総対数NTを40対から160対まで変化さ
せて、1段目の表面弾性波共振子の出力端すなわちイン
タディジタル電極3aと3a’ を短絡した時の入力イ
ンピーダンスZaと、出力端を開放にした時の入力イン
ピーダンスzbのそれぞれの共振周波数と***振周波数
を求めた。その結果を第2図に示す、ここでの周波数は
、グレーティング反射器の中心周波数により規格化した
規格化周波数で示した。またインタディジタル電極の総
対数を100対とし、入出力用インタディジタル電極の
対数比N 1 / N Zが1の場合の周波数応答を第
3図に示す、これらの図からZaとzbのそれぞれの共
振周波数frと***振周波数faの間隔が大きいところ
でリップルが大きくなっていることがわかる。なお、符
号r1は対称0次、r2は対称2次、a工は反対称0次
、a2は反対称2次の周波数であることを示す。
H/λを0.01とした場合に、入出力用インタディジ
タル電極の対数比N工/NZを2に固定し、インタディ
ジタル電極総対数NTを40対から160対まで変化さ
せて、1段目の表面弾性波共振子の出力端すなわちイン
タディジタル電極3aと3a’ を短絡した時の入力イ
ンピーダンスZaと、出力端を開放にした時の入力イン
ピーダンスzbのそれぞれの共振周波数と***振周波数
を求めた。その結果を第2図に示す、ここでの周波数は
、グレーティング反射器の中心周波数により規格化した
規格化周波数で示した。またインタディジタル電極の総
対数を100対とし、入出力用インタディジタル電極の
対数比N 1 / N Zが1の場合の周波数応答を第
3図に示す、これらの図からZaとzbのそれぞれの共
振周波数frと***振周波数faの間隔が大きいところ
でリップルが大きくなっていることがわかる。なお、符
号r1は対称0次、r2は対称2次、a工は反対称0次
、a2は反対称2次の周波数であることを示す。
次に、インタディジタル電極の総対数NTを116対と
固定し、入出力用インタディジタル電極の対数比を0.
8から3.0まで変化させた時のZaとzbのそれぞれ
の共振周波数frと***振周波数faを求めた。その結
果を第4図に示しである。第4図から明らかなように、
入出力用インタディジタル電極の対数比N1/N、を大
きくすることによって、入力インピーダンスZaとzb
のそれぞれの共振周波数と***振周波数の間隔が狭くな
ることがわかる。また、入出力インタディジタル電極の
対数比が2.5のときの周波数応答を第5図に示す、こ
の図より帯域内の高周波数側のリップルが大きくなって
いることがわかる。
固定し、入出力用インタディジタル電極の対数比を0.
8から3.0まで変化させた時のZaとzbのそれぞれ
の共振周波数frと***振周波数faを求めた。その結
果を第4図に示しである。第4図から明らかなように、
入出力用インタディジタル電極の対数比N1/N、を大
きくすることによって、入力インピーダンスZaとzb
のそれぞれの共振周波数と***振周波数の間隔が狭くな
ることがわかる。また、入出力インタディジタル電極の
対数比が2.5のときの周波数応答を第5図に示す、こ
の図より帯域内の高周波数側のリップルが大きくなって
いることがわかる。
従って、フィルタ特性を広帯域にし、かつ帯域内リップ
ルを小さくするには、インタディジタル電極の総対数N
Tを少なくして、それで生じるリップルを入出力用イン
タディジタル電極の対数比N 1 / N 2で補償す
るようにすることが望ましい。
ルを小さくするには、インタディジタル電極の総対数N
Tを少なくして、それで生じるリップルを入出力用イン
タディジタル電極の対数比N 1 / N 2で補償す
るようにすることが望ましい。
しかし、インタディジタル電極の対数比で補償できる量
には限度があり、規格化An膜厚H/λ#0.01の場
合には、インタディジタル電極の総対数は、入力インピ
ーダンスを小さくするため80以上とする必要がある。
には限度があり、規格化An膜厚H/λ#0.01の場
合には、インタディジタル電極の総対数は、入力インピ
ーダンスを小さくするため80以上とする必要がある。
一方、第2図から明らかなように、比帯域幅を0.3%
以上とするには、インタディジタル電極の総対数を15
0対以下にする必要がある。この時、リップルを保証す
るために必要な、インタディジタル電極の対数比N□/
N、は、1.4〜2.4である。
以上とするには、インタディジタル電極の総対数を15
0対以下にする必要がある。この時、リップルを保証す
るために必要な、インタディジタル電極の対数比N□/
N、は、1.4〜2.4である。
規格化AQ膜厚H/λ=0.04の場合には、同様の理
由からインタディジタル電極の総対数は。
由からインタディジタル電極の総対数は。
40以上、100以下であり、インタディジタル電極の
対数比は1.4〜2.4とするのがよい。
対数比は1.4〜2.4とするのがよい。
次に、最大交差幅と影像インピーダンスの関係を調べる
。インタディジタル電極の総対数を116対とし、入出
力用インタディジタル電極の対数比N□/N2を1.5
とした時に最大交差幅の変化に対する帯域内での影像イ
ンピーダンスの変動を第6図に示す。第6図から明らか
なように、規格化AQ膜厚H/λ″:o、01の場合、
比交差幅W/λを80から180の範囲に設定すれば、
影像インピーダンスは20〜100Ωの値を取り、終端
インピーダンス50Ωに対して、はぼ整合がとれている
ことになる。規格化AQ膜厚H/λ=0゜04の場合は
、規格化交差幅W/λを50から90の範囲に設定すれ
ば、帯域内の影像インピーダンスは20〜100Ωの値
をとる。
。インタディジタル電極の総対数を116対とし、入出
力用インタディジタル電極の対数比N□/N2を1.5
とした時に最大交差幅の変化に対する帯域内での影像イ
ンピーダンスの変動を第6図に示す。第6図から明らか
なように、規格化AQ膜厚H/λ″:o、01の場合、
比交差幅W/λを80から180の範囲に設定すれば、
影像インピーダンスは20〜100Ωの値を取り、終端
インピーダンス50Ωに対して、はぼ整合がとれている
ことになる。規格化AQ膜厚H/λ=0゜04の場合は
、規格化交差幅W/λを50から90の範囲に設定すれ
ば、帯域内の影像インピーダンスは20〜100Ωの値
をとる。
上記設定範囲が有効であることを実験的に確認するため
に1次のような条件の2種類のデバイスを作成した。す
なわち第1のデバイスはインタディジタル電極2a、2
bの対数を50.5対、インタディジタル電極3a、3
a’ 、3b、3b’の対数を41.5対とし、出力用
インタディジタル電極を入力用インタディジタル電極の
両側に2゜25μmの距離で近接配置した。さらに、出
力用インタディジタル電極の両外側に80本の金属スト
リップからなるグレーティング反射器を2.25μm離
してそれぞれ配置した。最大交差幅を1320μmとし
、・インタディジタル電極に対する重み付けは、コサイ
ンアポダイズとした。インタディジタル電極およびグレ
ーティング反射器のAΩ膜厚は、電極指抵抗と、製造時
の中心周波数バラツキを考慮して1000人とした。各
電極の入出力端子への接続の仕方は第1図と同じである
。
に1次のような条件の2種類のデバイスを作成した。す
なわち第1のデバイスはインタディジタル電極2a、2
bの対数を50.5対、インタディジタル電極3a、3
a’ 、3b、3b’の対数を41.5対とし、出力用
インタディジタル電極を入力用インタディジタル電極の
両側に2゜25μmの距離で近接配置した。さらに、出
力用インタディジタル電極の両外側に80本の金属スト
リップからなるグレーティング反射器を2.25μm離
してそれぞれ配置した。最大交差幅を1320μmとし
、・インタディジタル電極に対する重み付けは、コサイ
ンアポダイズとした。インタディジタル電極およびグレ
ーティング反射器のAΩ膜厚は、電極指抵抗と、製造時
の中心周波数バラツキを考慮して1000人とした。各
電極の入出力端子への接続の仕方は第1図と同じである
。
第8図は、この素子の周波数応答を示す、電気的特性と
して中心周波数380MHz、比帯域幅0゜53%、挿
入損失2dB、帯域内リップル1dB、帯域外減衰量6
0dB、低周波側帯域外スブリアスー50dBの特性が
得られ、実用上十分な特性を有している。
して中心周波数380MHz、比帯域幅0゜53%、挿
入損失2dB、帯域内リップル1dB、帯域外減衰量6
0dB、低周波側帯域外スブリアスー50dBの特性が
得られ、実用上十分な特性を有している。
第2のデバイスは、インタディジタル電極2a。
2bの対数を38.5対、インタディジタル電極3a、
3a’ 、3b、3b’の対数を40.5対とした。
3a’ 、3b、3b’の対数を40.5対とした。
さらに、インタディジタル電極の最大交差報を2300
μmとし、直線アポタイズで重み付けを行ない、インタ
ディジタル電極と′ストリップの厚みを1540人とし
た。
μmとし、直線アポタイズで重み付けを行ない、インタ
ディジタル電極と′ストリップの厚みを1540人とし
た。
第9@に、第2のデバイスの周波数特性を示す。
第9図より、電気的特性として中心周波数254゜5
M Hz、比帯域@0.6%、挿入損失1.5 d B
、帯域内リップル1dB、帯域外スプリアス−35dB
の特性が得られ、実用上十分な特性を有することが分か
った。
M Hz、比帯域@0.6%、挿入損失1.5 d B
、帯域内リップル1dB、帯域外スプリアス−35dB
の特性が得られ、実用上十分な特性を有することが分か
った。
ところで、上記実施例においては圧電基板として45度
回転X板2伝搬Li2B、O,を用いたので規格化AQ
膜厚H/λを0.01と0.04にしたがこれはグレー
ティング反射器のA2ストリップ1本当たりの表面弾性
波反射率で考えると0゜01から0.1に対応する。し
たがって、他の基板材料を使用する場合には、グレーテ
ィング反射器のAQスストリップ本当たりの表面弾性波
反射率が0.01から0゜1に対応するように規格化A
Q膜厚を設定してやればよい。
回転X板2伝搬Li2B、O,を用いたので規格化AQ
膜厚H/λを0.01と0.04にしたがこれはグレー
ティング反射器のA2ストリップ1本当たりの表面弾性
波反射率で考えると0゜01から0.1に対応する。し
たがって、他の基板材料を使用する場合には、グレーテ
ィング反射器のAQスストリップ本当たりの表面弾性波
反射率が0.01から0゜1に対応するように規格化A
Q膜厚を設定してやればよい。
また、実験では中心周波数380 M Hzの素子と2
54.5MHzの素子を作成したが、表面弾性波デバイ
スの特徴としてインタディジタル電極およびグレーティ
ング反射器の線幅および周期を変えることにより中心周
波数は自由に変更することができる。したがって、本発
明は表面弾性波デバイスの中心周波数によって制約され
るものではない。
54.5MHzの素子を作成したが、表面弾性波デバイ
スの特徴としてインタディジタル電極およびグレーティ
ング反射器の線幅および周期を変えることにより中心周
波数は自由に変更することができる。したがって、本発
明は表面弾性波デバイスの中心周波数によって制約され
るものではない。
なお、第1のデバイスも第2のデバイスも反射器側のグ
レーティングの周期を1表面弾性波の波長に合わせた。
レーティングの周期を1表面弾性波の波長に合わせた。
さらに、横モード抑圧のために上記実施例においては、
コサインアポダイズまたは直線アポダイズで重み付けを
行なうようにしたが、その他の横モード抑圧法として、
コサイン2乗アポダイズ、変形コサインアポダイズがあ
り、これらの重み付は法を用いた場合、インタディジタ
ル電極対数の数本の増減で、コサインアボタイズを用い
た場合と同じ結果が得られることを確かめた。
コサインアポダイズまたは直線アポダイズで重み付けを
行なうようにしたが、その他の横モード抑圧法として、
コサイン2乗アポダイズ、変形コサインアポダイズがあ
り、これらの重み付は法を用いた場合、インタディジタ
ル電極対数の数本の増減で、コサインアボタイズを用い
た場合と同じ結果が得られることを確かめた。
また、所要のパラメータを上述した如き範囲に設定する
本発明の表面弾性波デバイスを実際に製造する場合には
、例えば、入出力インタディジタル電極間に適当な幅を
有するシールド電極を設け、これを接地すること、ある
いは入出力インタディジタル電極の端の電極指を接地す
ることによって入出力インタディジタル電極間の直達波
を阻止するよう構成することが望ましいのはいうまでも
ない。
本発明の表面弾性波デバイスを実際に製造する場合には
、例えば、入出力インタディジタル電極間に適当な幅を
有するシールド電極を設け、これを接地すること、ある
いは入出力インタディジタル電極の端の電極指を接地す
ることによって入出力インタディジタル電極間の直達波
を阻止するよう構成することが望ましいのはいうまでも
ない。
一方、圧電基板の材料としては、温度特性、電気機械結
合係数等、特性バラツキの少ないリチウムテトラボレー
トが現状では最適である。しかしながら、本発明の原理
は、すべての圧電材料またはガラス等に圧電物質を付着
した複合基板等にも適用できることは言うまでもない。
合係数等、特性バラツキの少ないリチウムテトラボレー
トが現状では最適である。しかしながら、本発明の原理
は、すべての圧電材料またはガラス等に圧電物質を付着
した複合基板等にも適用できることは言うまでもない。
また、以上の説明においては、表面弾性波を用いること
についてのみ説明してきたが必ずしもこれに限定する必
要はなく1例えば、基板表面直下を伝搬するすべり波、
ラブ波、5SWB、SH波。
についてのみ説明してきたが必ずしもこれに限定する必
要はなく1例えば、基板表面直下を伝搬するすべり波、
ラブ波、5SWB、SH波。
リーキー波あるいはブルースタイン・フーリエ・清水波
等に関しても全く同様に適用可能である。
等に関しても全く同様に適用可能である。
即ち、インタディジタル電極を有する共振子は、上記各
波をも励起することが既に立証されており、電極下の振
動エネルギーを閉じ込めることができるとともに、多重
モードの振動を発生する条件が存在するからである。
波をも励起することが既に立証されており、電極下の振
動エネルギーを閉じ込めることができるとともに、多重
モードの振動を発生する条件が存在するからである。
なお、入出力端子への電極の接続の仕方は上記実施例に
限定されず、例えばインタディジタル電極2aと3b、
3b’ を入力端子対とし、インタディジタル電極2b
と3a、3a’ を出力端子対としてもよい、ただし、
入力側電極と出力側電極の組合せが対称である接続の仕
方を採用した方が帯域内リップルを小さくすることがで
きる。
限定されず、例えばインタディジタル電極2aと3b、
3b’ を入力端子対とし、インタディジタル電極2b
と3a、3a’ を出力端子対としてもよい、ただし、
入力側電極と出力側電極の組合せが対称である接続の仕
方を採用した方が帯域内リップルを小さくすることがで
きる。
[発明の効果]
以上説明したようにこの発明は圧電基板上の表面弾性波
伝搬方向に沿って、3個以上のインタディジタル電極を
近接配置し該インタディジタル電極のうち少なくとも1
個を入力端子に接続し、残りのインタディジタル電極を
出力端子に接続すると共に、前記インタディジタル電極
の両外側に少なくとも1組の反射器を配置してなる表面
弾性波共振子フィルタにおいて、インタディジタル電極
の総対数Ni十N2を40対以上150対以下とし、か
つ入力用インタディジタル電極の総対数N2と出力用イ
ンタディジタル電極の総対数N□との比を、1.4以上
2.4以下とするとともに、インタディジタル電極の電
極指の最大交差@Wと通過中心周波数の表面波波長λと
の比W/λを50以上180以下の範囲に設定するよう
にしたので、インタディジタル電極を3個以上設けてフ
ィルタを構成しているため、設計の自由度が増大し、所
望のフィルタ特性を得るため設計が容易になるとともに
、インタディジタル電極の総対数と対数比を所定の範囲
内で選択するようにしたため帯域内リップルを低減させ
ることができ、また、インタディジタル電極の最大交差
幅と入力インタディジタル電極の対数を所定の範囲内で
選択するようにしたため、入力インピーダンスを下げ挿
入損失を減少させることができるとともに、影像インピ
ーダンスと終端インピーダンスとの整合がとりやすくな
り、フィルタの帯域幅を広くすることが可能となるとい
う効果がある。また、上記構成のフィルタは帯域外スプ
リアスレベルが低く帯域外減衰量が大きいという利点を
有する。
伝搬方向に沿って、3個以上のインタディジタル電極を
近接配置し該インタディジタル電極のうち少なくとも1
個を入力端子に接続し、残りのインタディジタル電極を
出力端子に接続すると共に、前記インタディジタル電極
の両外側に少なくとも1組の反射器を配置してなる表面
弾性波共振子フィルタにおいて、インタディジタル電極
の総対数Ni十N2を40対以上150対以下とし、か
つ入力用インタディジタル電極の総対数N2と出力用イ
ンタディジタル電極の総対数N□との比を、1.4以上
2.4以下とするとともに、インタディジタル電極の電
極指の最大交差@Wと通過中心周波数の表面波波長λと
の比W/λを50以上180以下の範囲に設定するよう
にしたので、インタディジタル電極を3個以上設けてフ
ィルタを構成しているため、設計の自由度が増大し、所
望のフィルタ特性を得るため設計が容易になるとともに
、インタディジタル電極の総対数と対数比を所定の範囲
内で選択するようにしたため帯域内リップルを低減させ
ることができ、また、インタディジタル電極の最大交差
幅と入力インタディジタル電極の対数を所定の範囲内で
選択するようにしたため、入力インピーダンスを下げ挿
入損失を減少させることができるとともに、影像インピ
ーダンスと終端インピーダンスとの整合がとりやすくな
り、フィルタの帯域幅を広くすることが可能となるとい
う効果がある。また、上記構成のフィルタは帯域外スプ
リアスレベルが低く帯域外減衰量が大きいという利点を
有する。
第1図は本発明に係る表面弾性共振子フィルタの構成例
を示す説明図、 第2図は表面弾性共振子において出力端を短絡したとき
の入力インピーダンスZaと、出力端を開放にしたとき
の入力インピーダンスzbのそれぞれの共振周波数およ
び***振周波数と総対数との関係を示す図。 第3図はインタディジタル電極の総対数を100対、終
端インピーダンスを50Ωとしたときの周波数応答を表
わす図、 第4図はインタディジタル電極の総対数を固定し、イン
タディジタル電極の対数比を変えたときの入力インピー
ダンスZa、Zbのそれぞれの共振周波数と***振周波
数を示す図、 第5図は同じくインタディジタル電極の対数比を2.0
とした場合の周波数応答を表わす図。 第6図はインタディジタル電極の総対数とインタディジ
タル電極の対数比を固定して最大交差幅を変化させたと
きの影像インピーダンスの変化を表わす図、 第7図および第8図は本発明で提案した範囲内で各パラ
メータを具体的に設定して得られたデバイスの周波数応
答を示す図である。 1・・・・圧電基板、2 a 、 2 b 、 3 a
、 3 b ” ”インタディジタル電極、4a、4
b・・・・反射器。 第6図 W/入 手続補正書 (自発) 平成 1年 5月26日 2、発明の名称 表面弾性波共振子フィルタ 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名称 日本鉱業株式会社 4、代理人 〒162 東京都新宿区市谷本村町3番20号 新盛堂ビル別館5階電話03(269)2611(1)
明細書の「特許請求の範囲」の欄(2)明細書の「発明
の詳細な説明」の欄、4;\ 6、補正の内容 (1)特許請求の範囲を別紙のとおり補正する。 (2)明細書第3頁第18行目に、「方法として、1個
の」とあるのを、「方法として、L i T a○。 および水晶基板を使用し、1個の」と補正する。 (3)明細書第8頁第13行目に「バルク法」とあるの
とを、「バルク波」と補正する。 (4)明細書第8頁第18行目〜同第19行目に、「反
対称格子形回路」とあるのを、「対称格子形回路」と補
正する。 (5)明細書第9頁第2行目に、「対称モードの数をP
、Jとあるのを、「対称モードの数をp、」と補正する
。 (6)明細書第10頁第3行目に、「接続するとともに
、多段に」とあるのを、「接続する。この表面弾性波共
振子を、接続面に対して対称的に多段に」と補正する。 (7)明細書第10頁第4行目に、「電気的特性が」と
あるのを、「電気的特性は」と補正する。 (8)明細書第10頁第15行目に、「設定することか
」とあるのを、「設定すること」と補正する。 (9)明細書第14頁第18行目に、「変化させて、1
段目の」とあるのを、「変化させて1段目と2段目の表
面弾性波共振子を接続面で切り離し、1段目の」と補正
する。 (10)明細書第14頁第19行目〜同第20行目に、
「出力端すなわちインタディジタル電極3aと3a′を
短絡した」とあるのを、「出力端を短絡した」と補正す
る。 (11)明細書第15頁第7行目に、「N工/N2が1
」とあるのを、「N□/N2が2」と補正する。 (12)明細書第15頁第4行目i、−1「対数比が2
゜5」とあるのを、「対数比が1.5」と補正する。 (13)明細書第17頁第9行目に、’ N i /
N xを1゜5」とあるのを、rN1/N、を2.0」
と補正する。 (14)明細書第18頁第17行目に、「第8図」とあ
るのを、「第7図」と補正する。 (15)明細書第19頁第11行目および同第12行目
に、「第9図Jとあるのを、それぞれ「第8図」と補正
する。 (16)明細書第22頁第4行目に、rssWBjとあ
るのを、rssBWJと補正する。 別紙 2、特許請求の範囲 (1)圧電基板上の表面弾性波伝搬方向に沿って、3個
以上のインタディジタル電極を近接配置し該インタディ
ジタル電極のうち少なくとも1個を入力端子に接続し、
残りのインタディジタル電極を出力端子に接続すると共
に、前記インタディジタル電極の両件側に少なくとも1
組の反射器を配置してなる表面弾性波共振子フィルタに
おいて、インタディジタル電極の総対数Nよ+N2を4
0対以上150対以下とし、かつ入力用インタディジタ
ル電極の総対数N2と出力用インタディジタル電極の総
対数N工との比N□/N2を、1.4以上2゜4以下と
するとともに、インタディジタル電極の電極指の最大交
差幅Wと通過中心周波数の表面波波長λとの比W/λを
50以上180以下の範囲に設定するようにしたことを
特徴とする表面弾性波共振子フィルタ。 (2)上記圧電基板としてリチウムテトラボレートを用
いるとともに、上記インタディジタル電極とその両側に
配置される反射器を2組以上設け、それらを縦続接続し
て、上記インタディジタル電極を1紅1に対して対称的
に接続するようにしたことを特徴とする請求項1記載の
表面弾性波共振子フィルタ。
を示す説明図、 第2図は表面弾性共振子において出力端を短絡したとき
の入力インピーダンスZaと、出力端を開放にしたとき
の入力インピーダンスzbのそれぞれの共振周波数およ
び***振周波数と総対数との関係を示す図。 第3図はインタディジタル電極の総対数を100対、終
端インピーダンスを50Ωとしたときの周波数応答を表
わす図、 第4図はインタディジタル電極の総対数を固定し、イン
タディジタル電極の対数比を変えたときの入力インピー
ダンスZa、Zbのそれぞれの共振周波数と***振周波
数を示す図、 第5図は同じくインタディジタル電極の対数比を2.0
とした場合の周波数応答を表わす図。 第6図はインタディジタル電極の総対数とインタディジ
タル電極の対数比を固定して最大交差幅を変化させたと
きの影像インピーダンスの変化を表わす図、 第7図および第8図は本発明で提案した範囲内で各パラ
メータを具体的に設定して得られたデバイスの周波数応
答を示す図である。 1・・・・圧電基板、2 a 、 2 b 、 3 a
、 3 b ” ”インタディジタル電極、4a、4
b・・・・反射器。 第6図 W/入 手続補正書 (自発) 平成 1年 5月26日 2、発明の名称 表面弾性波共振子フィルタ 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名称 日本鉱業株式会社 4、代理人 〒162 東京都新宿区市谷本村町3番20号 新盛堂ビル別館5階電話03(269)2611(1)
明細書の「特許請求の範囲」の欄(2)明細書の「発明
の詳細な説明」の欄、4;\ 6、補正の内容 (1)特許請求の範囲を別紙のとおり補正する。 (2)明細書第3頁第18行目に、「方法として、1個
の」とあるのを、「方法として、L i T a○。 および水晶基板を使用し、1個の」と補正する。 (3)明細書第8頁第13行目に「バルク法」とあるの
とを、「バルク波」と補正する。 (4)明細書第8頁第18行目〜同第19行目に、「反
対称格子形回路」とあるのを、「対称格子形回路」と補
正する。 (5)明細書第9頁第2行目に、「対称モードの数をP
、Jとあるのを、「対称モードの数をp、」と補正する
。 (6)明細書第10頁第3行目に、「接続するとともに
、多段に」とあるのを、「接続する。この表面弾性波共
振子を、接続面に対して対称的に多段に」と補正する。 (7)明細書第10頁第4行目に、「電気的特性が」と
あるのを、「電気的特性は」と補正する。 (8)明細書第10頁第15行目に、「設定することか
」とあるのを、「設定すること」と補正する。 (9)明細書第14頁第18行目に、「変化させて、1
段目の」とあるのを、「変化させて1段目と2段目の表
面弾性波共振子を接続面で切り離し、1段目の」と補正
する。 (10)明細書第14頁第19行目〜同第20行目に、
「出力端すなわちインタディジタル電極3aと3a′を
短絡した」とあるのを、「出力端を短絡した」と補正す
る。 (11)明細書第15頁第7行目に、「N工/N2が1
」とあるのを、「N□/N2が2」と補正する。 (12)明細書第15頁第4行目i、−1「対数比が2
゜5」とあるのを、「対数比が1.5」と補正する。 (13)明細書第17頁第9行目に、’ N i /
N xを1゜5」とあるのを、rN1/N、を2.0」
と補正する。 (14)明細書第18頁第17行目に、「第8図」とあ
るのを、「第7図」と補正する。 (15)明細書第19頁第11行目および同第12行目
に、「第9図Jとあるのを、それぞれ「第8図」と補正
する。 (16)明細書第22頁第4行目に、rssWBjとあ
るのを、rssBWJと補正する。 別紙 2、特許請求の範囲 (1)圧電基板上の表面弾性波伝搬方向に沿って、3個
以上のインタディジタル電極を近接配置し該インタディ
ジタル電極のうち少なくとも1個を入力端子に接続し、
残りのインタディジタル電極を出力端子に接続すると共
に、前記インタディジタル電極の両件側に少なくとも1
組の反射器を配置してなる表面弾性波共振子フィルタに
おいて、インタディジタル電極の総対数Nよ+N2を4
0対以上150対以下とし、かつ入力用インタディジタ
ル電極の総対数N2と出力用インタディジタル電極の総
対数N工との比N□/N2を、1.4以上2゜4以下と
するとともに、インタディジタル電極の電極指の最大交
差幅Wと通過中心周波数の表面波波長λとの比W/λを
50以上180以下の範囲に設定するようにしたことを
特徴とする表面弾性波共振子フィルタ。 (2)上記圧電基板としてリチウムテトラボレートを用
いるとともに、上記インタディジタル電極とその両側に
配置される反射器を2組以上設け、それらを縦続接続し
て、上記インタディジタル電極を1紅1に対して対称的
に接続するようにしたことを特徴とする請求項1記載の
表面弾性波共振子フィルタ。
Claims (2)
- (1)圧電基板上の表面弾性波伝搬方向に沿って、3個
以上のインタディジタル電極を近接配置し該インタディ
ジタル電極のうち少なくとも1個を入力端子に接続し、
残りのインタディジタル電極を出力端子に接続すると共
に、前記インタディジタル電極の両外側に少なくとも1
組の反射器を配置してなる表面弾性波共振子フィルタに
おいて、インタディジタル電極の総対数N_1+N_2
を40対以上150対以下とし、かつ入力用インタディ
ジタル電極の総対数N_2と出力用インタディジタル電
極の総対数N_1との比N_1/N_2を、1.4以上
2.4以下とするとともに、インタディジタル電極の電
極指の最大交差幅Wと通過中心周波数の表面波波長λと
の比W/λを50以上160以下の範囲に設定するよう
にしたことを特徴とする表面弾性波共振子フィルタ。 - (2)上記圧電基板としてリチウムテトラボレートを用
いるとともに、上記インタディジタル電極とその両側に
配置される反射器を2組以上設け、それらを縦続接続し
て、上記インタディジタル電極を入出力端子に対して対
称的に接続するようにしたことを特徴とする請求項1記
載の表面弾性波共振子フィルタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1023601A JP2748009B2 (ja) | 1989-01-31 | 1989-01-31 | 表面弾性波共振子フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1023601A JP2748009B2 (ja) | 1989-01-31 | 1989-01-31 | 表面弾性波共振子フィルタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02202710A true JPH02202710A (ja) | 1990-08-10 |
JP2748009B2 JP2748009B2 (ja) | 1998-05-06 |
Family
ID=12115123
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1023601A Expired - Lifetime JP2748009B2 (ja) | 1989-01-31 | 1989-01-31 | 表面弾性波共振子フィルタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2748009B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5300902A (en) * | 1991-03-29 | 1994-04-05 | Fujitsu Limited | Surface acoustic wave device for band-pass filter having small insertion loss and predetermined pass-band characteristics for broad band |
WO1996028886A1 (fr) * | 1995-03-15 | 1996-09-19 | Japan Energy Corporation | Filtre a ondes acoustiques de surface |
US5850167A (en) * | 1995-04-11 | 1998-12-15 | Kinseki, Limited | Surface acoustic wave device |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6482706A (en) * | 1987-09-25 | 1989-03-28 | Hitachi Ltd | Surface acoustic wave narrow-band filter |
-
1989
- 1989-01-31 JP JP1023601A patent/JP2748009B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6482706A (en) * | 1987-09-25 | 1989-03-28 | Hitachi Ltd | Surface acoustic wave narrow-band filter |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5300902A (en) * | 1991-03-29 | 1994-04-05 | Fujitsu Limited | Surface acoustic wave device for band-pass filter having small insertion loss and predetermined pass-band characteristics for broad band |
WO1996028886A1 (fr) * | 1995-03-15 | 1996-09-19 | Japan Energy Corporation | Filtre a ondes acoustiques de surface |
US5877661A (en) * | 1995-03-15 | 1999-03-02 | Kinseki, Limited | Surface acoustic wave filter with optimally sized gaps between transducers |
US5850167A (en) * | 1995-04-11 | 1998-12-15 | Kinseki, Limited | Surface acoustic wave device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2748009B2 (ja) | 1998-05-06 |
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