JPH02166152A - 半導体封止用液状エポキシ樹脂組成物 - Google Patents
半導体封止用液状エポキシ樹脂組成物Info
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- JPH02166152A JPH02166152A JP32085988A JP32085988A JPH02166152A JP H02166152 A JPH02166152 A JP H02166152A JP 32085988 A JP32085988 A JP 32085988A JP 32085988 A JP32085988 A JP 32085988A JP H02166152 A JPH02166152 A JP H02166152A
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- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 17
- 239000004850 liquid epoxy resins (LERs) Substances 0.000 title claims abstract description 15
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 8
- 238000007789 sealing Methods 0.000 title description 6
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims abstract description 25
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims abstract description 25
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000011353 cycloaliphatic epoxy resin Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 6
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 claims description 5
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical class C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 7
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 abstract description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 abstract 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 2,2,4,4,6,6-hexaphenoxy-1,3,5-triaza-2$l^{5},4$l^{5},6$l^{5}-triphosphacyclohexa-1,3,5-triene Chemical compound N=1P(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP=1(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 5
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- OECTYKWYRCHAKR-UHFFFAOYSA-N 4-vinylcyclohexene dioxide Chemical compound C1OC1C1CC2OC2CC1 OECTYKWYRCHAKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000008064 anhydrides Chemical class 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 2
- 239000002689 soil Substances 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- KMOUUZVZFBCRAM-OLQVQODUSA-N (3as,7ar)-3a,4,7,7a-tetrahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1C=CC[C@@H]2C(=O)OC(=O)[C@@H]21 KMOUUZVZFBCRAM-OLQVQODUSA-N 0.000 description 1
- MWSKJDNQKGCKPA-UHFFFAOYSA-N 6-methyl-3a,4,5,7a-tetrahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1CC(C)=CC2C(=O)OC(=O)C12 MWSKJDNQKGCKPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000721047 Danaus plexippus Species 0.000 description 1
- 208000019651 NDE1-related microhydranencephaly Diseases 0.000 description 1
- 241000946381 Timon Species 0.000 description 1
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000008393 encapsulating agent Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOCC1CO1 BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Epoxy Resins (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、低粘度、低熱膨張係数の高信頼性を有する難
燃性の半導体対土用液状エポキシ樹脂組成物に関する。
燃性の半導体対土用液状エポキシ樹脂組成物に関する。
(従来の技術)
有機系、無機系絶縁基板及び金属系絶縁基板にLSIチ
ップを搭載した構造体、例えばピングリフトアレイ、リ
ードレスナツプキャリア或いは基板にLSIチップを直
付するチップオンボード等の樹脂封止材には液状エポキ
シ樹脂が用いられ、その封止方法はドリッピング法、キ
ャスティング法、ボッティング法により行われている。
ップを搭載した構造体、例えばピングリフトアレイ、リ
ードレスナツプキャリア或いは基板にLSIチップを直
付するチップオンボード等の樹脂封止材には液状エポキ
シ樹脂が用いられ、その封止方法はドリッピング法、キ
ャスティング法、ボッティング法により行われている。
こうした封止方法による封止作業性は、封止材の粘度に
大きく影響される。即ち、ボイドレス、良好な流動性(
拡がり性)などには低粘度な封止材が好適である。それ
には充填剤の充填量の減少が効果的である。
大きく影響される。即ち、ボイドレス、良好な流動性(
拡がり性)などには低粘度な封止材が好適である。それ
には充填剤の充填量の減少が効果的である。
しかし、一方でLSIチップは高集積化、高密度化と相
まって大型化が図られている。このため信頼性試験の一
環である熱衝撃試験による封止剤のクラックの発生がこ
れまで以上に問題となってきている。加えて、難燃化の
要求も強くなってきている。
まって大型化が図られている。このため信頼性試験の一
環である熱衝撃試験による封止剤のクラックの発生がこ
れまで以上に問題となってきている。加えて、難燃化の
要求も強くなってきている。
こうした問題点の対策としては、封止材をLSIチップ
や基板の熱膨張係数に合わせることが必要であり、それ
には充填剤の高率充填が必須である。しかし、そのため
に封止材の粘度は上昇し封止作業性が低下する結果とな
る。また、難燃化の処方の一つとしては臭素化エポキシ
樹脂の添加が効果的であるが、添加する樹脂の外観が固
形のため、これも粘度上昇の原因となる。
や基板の熱膨張係数に合わせることが必要であり、それ
には充填剤の高率充填が必須である。しかし、そのため
に封止材の粘度は上昇し封止作業性が低下する結果とな
る。また、難燃化の処方の一つとしては臭素化エポキシ
樹脂の添加が効果的であるが、添加する樹脂の外観が固
形のため、これも粘度上昇の原因となる。
従って、低粘度、低熱膨張係数の高信頼性を有する難燃
性の半導体対土用液状エポキシ樹脂組成物の開発が課題
となっている。
性の半導体対土用液状エポキシ樹脂組成物の開発が課題
となっている。
低粘度で且つ低熱膨張係数の液状エポキシ樹脂封止材は
、低粘度なエポキシ樹脂、硬化剤が検討されているが、
一定の限界がある。
、低粘度なエポキシ樹脂、硬化剤が検討されているが、
一定の限界がある。
本発明は新たな観点でこうした問題点を解決しようとす
るもので、低粘度、低膨張係数の高信頼性を有する難燃
性の半導体封止用液状エポキシ樹脂組成物を提供するこ
とを目的とする。
るもので、低粘度、低膨張係数の高信頼性を有する難燃
性の半導体封止用液状エポキシ樹脂組成物を提供するこ
とを目的とする。
本発明者らは、前記課題を解決するために鋭意研究を行
った結果、特定の種類のエポキシ樹脂を組み合わせ、こ
れに特定に形状の充填剤を配合することにより前記目的
が達成されることを見出し本発明を完成するに至った。
った結果、特定の種類のエポキシ樹脂を組み合わせ、こ
れに特定に形状の充填剤を配合することにより前記目的
が達成されることを見出し本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は液状エポキシ樹脂に、固形臭素化エ
ポキシ樹脂、環状脂肪族エポキシ樹脂及び球形充填剤を
配合してなることを特徴とする半導体封止用液状エポキ
シ樹脂組成物を提供するものである。
ポキシ樹脂、環状脂肪族エポキシ樹脂及び球形充填剤を
配合してなることを特徴とする半導体封止用液状エポキ
シ樹脂組成物を提供するものである。
本発明においては、低粘度化の課題に対しては球形充填
剤を用いることで解決を図った。すなわち、従来の角形
・不定形充填剤を球形にすることで細密充填を可能とし
たもので、球形充填剤としては平均粒径20〜40ミク
ロン・比表面積0.5〜1.0rrf/gが好ましく用
いられる。ここで、比表面積は液体窒素の温度における
窒素ガスの吸着を用いたBrunauer、 Emet
t及びTe1lorにより堤案されたBEAT法により
測定する。
剤を用いることで解決を図った。すなわち、従来の角形
・不定形充填剤を球形にすることで細密充填を可能とし
たもので、球形充填剤としては平均粒径20〜40ミク
ロン・比表面積0.5〜1.0rrf/gが好ましく用
いられる。ここで、比表面積は液体窒素の温度における
窒素ガスの吸着を用いたBrunauer、 Emet
t及びTe1lorにより堤案されたBEAT法により
測定する。
球形充填剤は、全エポキシ樹脂100重量部に対して4
00〜700重量部配合され置部充填量が700重量部
を超えると高粘度による封止作業性が悪くなり、400
重量部未満では熱膨張係数の上昇に伴う熱衝撃試験によ
るクラックの発生などの問題を生ずることがある。
00〜700重量部配合され置部充填量が700重量部
を超えると高粘度による封止作業性が悪くなり、400
重量部未満では熱膨張係数の上昇に伴う熱衝撃試験によ
るクラックの発生などの問題を生ずることがある。
液状エポキシ樹脂としてはとくに限定はないが、例えば
ビスフェノールA型エポキシ樹脂が好適に用いられる。
ビスフェノールA型エポキシ樹脂が好適に用いられる。
また、難燃化には次に示すような固形臭素化エポキシ樹
脂(1)及び(2)が好ましく用いられる。
脂(1)及び(2)が好ましく用いられる。
また、液状化には次に示すような環状脂肪族エポキシ樹
脂(3)、(4)及び(5)が好ましく用いられる。
脂(3)、(4)及び(5)が好ましく用いられる。
H3
固形臭素化エポキシ樹脂は熱的特性(2次転移温度)、
耐湿性を高めるために、また、環状脂肪族エポキシ樹脂
は固形臭素化エポキシ樹脂による粘度上昇の緩和・抑制
と組成系全体の低粘度化を図るために配合されている。
耐湿性を高めるために、また、環状脂肪族エポキシ樹脂
は固形臭素化エポキシ樹脂による粘度上昇の緩和・抑制
と組成系全体の低粘度化を図るために配合されている。
固形臭素化エポキシ樹脂、環状脂肪族エポキシ樹脂はエ
ポキシ樹脂全量に対してそれぞれ10〜30.20〜4
0重量%配合される。
ポキシ樹脂全量に対してそれぞれ10〜30.20〜4
0重量%配合される。
上記エポキシ樹脂に用いられる硬化剤としては、酸無水
物が好適である0例えば無水テトラヒドロフタル酸、無
水メチルテトラヒドロフタル酸、無水メチルエンドメチ
レンテトラヒドロフタル酸が好ましい0球形充填剤はシ
リカ、アルミナが効果的であるが、好ましくはシリカで
ある。その他、硬化促進剤、着色剤、カップリング剤な
どを適宜配合する事が出来る。かかる組成物は、らい清
機、ニーダ−、ボールミルなどを用いて混合し、目的と
する半導体封止用液状樹脂組成物とする。
物が好適である0例えば無水テトラヒドロフタル酸、無
水メチルテトラヒドロフタル酸、無水メチルエンドメチ
レンテトラヒドロフタル酸が好ましい0球形充填剤はシ
リカ、アルミナが効果的であるが、好ましくはシリカで
ある。その他、硬化促進剤、着色剤、カップリング剤な
どを適宜配合する事が出来る。かかる組成物は、らい清
機、ニーダ−、ボールミルなどを用いて混合し、目的と
する半導体封止用液状樹脂組成物とする。
本発明においては、球形充填剤1.固形臭素化エポキシ
樹脂及び環状脂肪族エポキシ樹脂を使用した結果、低粘
度化が図れ、熱的特性(2次転移温度)、耐湿性も向上
するとか出来た。
樹脂及び環状脂肪族エポキシ樹脂を使用した結果、低粘
度化が図れ、熱的特性(2次転移温度)、耐湿性も向上
するとか出来た。
以下実施例に基づき本発明を説明する。
実施例1
ESB−400(臭素化エポキシ樹脂・住友化学工業株
式会社製商品名)150重量部、ERL−4206(環
状脂肪施工、ボキシ樹脂・ユニオンカーバイド日本株式
会社製商品名)200重量部をフラスコなどを用いて1
00°C/60分間加熱混融した後、室温に冷却する。
式会社製商品名)150重量部、ERL−4206(環
状脂肪施工、ボキシ樹脂・ユニオンカーバイド日本株式
会社製商品名)200重量部をフラスコなどを用いて1
00°C/60分間加熱混融した後、室温に冷却する。
この混融樹脂を50重量部、エピコート82B (ビス
フェノールA型エポキシ樹脂・油化シェルエポキシ株式
会社製商品名)50重量部、MHAC−HR(無水メチ
ルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸・日立化成工業
株式会社製商品名)90重量部、キュアゾール24EM
I(イミダゾール・四国化成工業株式会社製商品名)1
.5重量部、KBM−403(カップリング剤・信越化
学工業株式会社製商品名)5.0重量部、PATOX−
H(三酸化77チモン・日本精鉱株式会社製商品名)5
.0重量部、モナーク#800(着色剤・キャブラック
株式会社製商品名)0.8重量部、5E−30(充填剤
・徳山曹達株式会社製商品名)480重量部をらい潰機
により、40分間混合し試験に供した。
フェノールA型エポキシ樹脂・油化シェルエポキシ株式
会社製商品名)50重量部、MHAC−HR(無水メチ
ルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸・日立化成工業
株式会社製商品名)90重量部、キュアゾール24EM
I(イミダゾール・四国化成工業株式会社製商品名)1
.5重量部、KBM−403(カップリング剤・信越化
学工業株式会社製商品名)5.0重量部、PATOX−
H(三酸化77チモン・日本精鉱株式会社製商品名)5
.0重量部、モナーク#800(着色剤・キャブラック
株式会社製商品名)0.8重量部、5E−30(充填剤
・徳山曹達株式会社製商品名)480重量部をらい潰機
により、40分間混合し試験に供した。
実施例2
SE−30,700重量部とした以外は実施例1と同様
の配合及び方法で材料を作成し試験に供した。
の配合及び方法で材料を作成し試験に供した。
比較例1
RD−8(充填剤:角形・0u森株式会社製商品名48
0重量部とした以外は実施例1と同様の配合及び方法で
材料を作成し試験に供した。
0重量部とした以外は実施例1と同様の配合及び方法で
材料を作成し試験に供した。
比較例2
BROC(臭素化エイキシ樹脂:液状・日本火薬株式会
社製商品名)30重量部、ERL−4206,20重量
部とした以外は実施例1と同様の配合及び方法で材料を
作成し試験に供した。
社製商品名)30重量部、ERL−4206,20重量
部とした以外は実施例1と同様の配合及び方法で材料を
作成し試験に供した。
以下余白
〔発明の効果〕
本発明により低粘度、低熱膨張係数の高信頼性を有する
難燃性液状エポキシ樹脂組成物を得ることができた。
難燃性液状エポキシ樹脂組成物を得ることができた。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、液状エポキシ樹脂に、固形臭素化エポキシ樹脂、環
状脂肪族エポキシ樹脂及び球形充填剤を配合してなるこ
とを特徴とする半導体封止用液状エポキシ樹脂組成物。 2、固形臭素化エポキシ樹脂が下記(1)及び(2)式
で表される臭素化エポキシ樹脂から選ばられるエポキシ
樹脂であり、環状脂肪族エポキシ樹脂が下記(3)、(
4)及び(5)式で表される環状脂肪族エポキシ樹脂か
ら選ばれるエポキシ樹脂であり、球形充填剤が、全エポ
キシ樹脂100重量部に対して400〜700重量部配
合されている請求項1記載の半導体封止用液状エポキシ
樹脂組成物。 (1)▲数式、化学式、表等があります▼ (2)▲数式、化学式、表等があります▼ (3)▲数式、化学式、表等があります▼ (4)▲数式、化学式、表等があります▼ (5)▲数式、化学式、表等があります▼
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32085988A JPH02166152A (ja) | 1988-12-20 | 1988-12-20 | 半導体封止用液状エポキシ樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32085988A JPH02166152A (ja) | 1988-12-20 | 1988-12-20 | 半導体封止用液状エポキシ樹脂組成物 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02166152A true JPH02166152A (ja) | 1990-06-26 |
Family
ID=18126051
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32085988A Pending JPH02166152A (ja) | 1988-12-20 | 1988-12-20 | 半導体封止用液状エポキシ樹脂組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02166152A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02209949A (ja) * | 1989-02-09 | 1990-08-21 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び硬化物 |
JPH05222270A (ja) * | 1992-02-07 | 1993-08-31 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 液状エポキシ樹脂組成物及び硬化物 |
-
1988
- 1988-12-20 JP JP32085988A patent/JPH02166152A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02209949A (ja) * | 1989-02-09 | 1990-08-21 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び硬化物 |
JPH05222270A (ja) * | 1992-02-07 | 1993-08-31 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 液状エポキシ樹脂組成物及び硬化物 |
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