JPS63183915A - 高熱放散性エポキシ樹脂組成物 - Google Patents
高熱放散性エポキシ樹脂組成物Info
- Publication number
- JPS63183915A JPS63183915A JP1558787A JP1558787A JPS63183915A JP S63183915 A JPS63183915 A JP S63183915A JP 1558787 A JP1558787 A JP 1558787A JP 1558787 A JP1558787 A JP 1558787A JP S63183915 A JPS63183915 A JP S63183915A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- epoxy resin
- alumina
- resin composition
- silica
- high heat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 title claims abstract description 36
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 title claims abstract description 36
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 28
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 27
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 25
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims abstract description 11
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 claims description 10
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 7
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 7
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 5
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 5
- 229910002026 crystalline silica Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 4
- 235000013869 carnauba wax Nutrition 0.000 description 3
- 239000004203 carnauba wax Substances 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- -1 glycidyl ester Chemical class 0.000 description 3
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 3
- ULKLGIFJWFIQFF-UHFFFAOYSA-N 5K8XI641G3 Chemical compound CCC1=NC=C(C)N1 ULKLGIFJWFIQFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- QFRHTANKIYQYLO-UHFFFAOYSA-N 2-ethyl-2-methylimidazole Chemical compound CCC1(C)N=CC=N1 QFRHTANKIYQYLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000282994 Cervidae Species 0.000 description 1
- MXRIRQGCELJRSN-UHFFFAOYSA-N O.O.O.[Al] Chemical compound O.O.O.[Al] MXRIRQGCELJRSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 229940106691 bisphenol a Drugs 0.000 description 1
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004927 clay Substances 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 1
- GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N diglycidyl ether Chemical compound C1OC1COCC1CO1 GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008393 encapsulating agent Substances 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 1
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Epoxy Resins (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(技術分野)
この発明は、半導体封止用の高熱放散性エポキシ樹脂組
成物に関するものである。さらに詳しくは、この発明は
、成形性が良く、パワートランジスタ、パワーICなど
のパワーデバイスの定格出力の向上、素子の発熱による
劣化の防止に優れた、半導体封止用の高熱放散性のエポ
キシ樹脂組成物に関するものである。
成物に関するものである。さらに詳しくは、この発明は
、成形性が良く、パワートランジスタ、パワーICなど
のパワーデバイスの定格出力の向上、素子の発熱による
劣化の防止に優れた、半導体封止用の高熱放散性のエポ
キシ樹脂組成物に関するものである。
(技術背景)
近年、半導体装置は素子自体の高密度化が進むとともに
、成形品のバックージ構造も小形化、薄型化され、高信
頼性が要求されている。
、成形品のバックージ構造も小形化、薄型化され、高信
頼性が要求されている。
このような半導体装置の樹脂封止にはエポキシ樹脂が用
いられている場合が多い、封止用材料としてのエポキシ
樹脂の組成物は量産性、価格、性能において他の樹脂組
成物に比べて格段に優れたもので、封止材の性能として
特に重要な素子の発熱による熱疲労劣化を防止するため
の熱放散特性についても、すでにその熱伝導率(入)が
50×10−’cal / cm−5eC・’C程度の
高熱放散性のものが開発されてきてもいる。
いられている場合が多い、封止用材料としてのエポキシ
樹脂の組成物は量産性、価格、性能において他の樹脂組
成物に比べて格段に優れたもので、封止材の性能として
特に重要な素子の発熱による熱疲労劣化を防止するため
の熱放散特性についても、すでにその熱伝導率(入)が
50×10−’cal / cm−5eC・’C程度の
高熱放散性のものが開発されてきてもいる。
また、このようなエポキシ樹脂封止材には無機質充填材
として結晶性シリカが配合されてきている。
として結晶性シリカが配合されてきている。
しかしながら、半導体装置のパッケージの小型化、デバ
イスの高出力化への要求はさらに高まっており、これま
での封止材程度の熱放散性能ではもはや対応しきれなく
なっている。
イスの高出力化への要求はさらに高まっており、これま
での封止材程度の熱放散性能ではもはや対応しきれなく
なっている。
このため、成形性が良好であることはもちろんのこと、
発熱によるクラック発生などの熱疲労劣化を効果的に防
止することのできる、これまでの封止材以上に高熱放散
性の半導体封止用のエポキシ樹脂組成物の実現が望まれ
ていた。
発熱によるクラック発生などの熱疲労劣化を効果的に防
止することのできる、これまでの封止材以上に高熱放散
性の半導体封止用のエポキシ樹脂組成物の実現が望まれ
ていた。
(発明の目的)
この発明は、以上の通りの事情を鑑みてなされたもので
あり、従来の封止材以上に熱放散性に優れ、かつ成形性
も良好な半導体封止用のエポキシ樹脂組成物を提供する
ことを目的としている。
あり、従来の封止材以上に熱放散性に優れ、かつ成形性
も良好な半導体封止用のエポキシ樹脂組成物を提供する
ことを目的としている。
(発明の開示)
この発明の高熱放散性のエポキシ樹脂組成物は、上記の
目的を実現するために、エポキシ樹脂組成物に無機質充
填材としてアルミナ、またはアルミナおよびシカを配合
したことを特徴としている。
目的を実現するために、エポキシ樹脂組成物に無機質充
填材としてアルミナ、またはアルミナおよびシカを配合
したことを特徴としている。
アルミナおよびシリカの配合は、そのtjt比が、アル
ミナ7重量%、シリカ1重量%として、χ〉0、y≧0
、χ+y≧75、χ/χ+y≧0.1とするのが好まし
い、この比率において、アルミナの配合量が少くなる程
熱伝導率は低下する。また、アルミナとシリカの合計量
が75ffi量%以下の場合にも熱伝導率は低下する。
ミナ7重量%、シリカ1重量%として、χ〉0、y≧0
、χ+y≧75、χ/χ+y≧0.1とするのが好まし
い、この比率において、アルミナの配合量が少くなる程
熱伝導率は低下する。また、アルミナとシリカの合計量
が75ffi量%以下の場合にも熱伝導率は低下する。
この発明に使用するアルミナは、格別の限定はないが、
封止材としての性能、成形性の点からは、その形状が球
形であるが好ましい、またシリカについては結晶シリカ
を用いるのが好ましい。
封止材としての性能、成形性の点からは、その形状が球
形であるが好ましい、またシリカについては結晶シリカ
を用いるのが好ましい。
アルミナとシリカの無機質充填材は、その平均粒径が、
約5〜50ミクロン程度のもを用いることが好ましい、
5ミクロン以下では充填材の配合が難しくなり、分散性
が低下する。50ミクロンを越えると、成形性が低下す
る。
約5〜50ミクロン程度のもを用いることが好ましい、
5ミクロン以下では充填材の配合が難しくなり、分散性
が低下する。50ミクロンを越えると、成形性が低下す
る。
この発明に使用することのできるエポキシ樹脂について
は特に限定されるものではなく、公知のエポキシ樹脂が
広く用いられる。たとえば、フェノールノボラック型エ
ポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビ
スフェノール−A型エポキシ樹脂、グリシジルエーテル
型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、
ハロゲン化エポキシ樹脂等の適宜なものが用いられる。
は特に限定されるものではなく、公知のエポキシ樹脂が
広く用いられる。たとえば、フェノールノボラック型エ
ポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビ
スフェノール−A型エポキシ樹脂、グリシジルエーテル
型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、
ハロゲン化エポキシ樹脂等の適宜なものが用いられる。
また配合成分としてアルミナおよびシリカ以外の、タク
ル、クレー、石英ガラス粉、炭酸カルシウム等′の無機
充填剤さらには着色剤、難燃料などを適宜に用いること
もできる。
ル、クレー、石英ガラス粉、炭酸カルシウム等′の無機
充填剤さらには着色剤、難燃料などを適宜に用いること
もできる。
硬化剤および効果促進剤についても適宜なものが用いら
れる。たとえば酸無水物系硬化剤、フェノール系硬化剤
、アミン、アミド系化合物、イミダゾール系化合物など
が使用できる。
れる。たとえば酸無水物系硬化剤、フェノール系硬化剤
、アミン、アミド系化合物、イミダゾール系化合物など
が使用できる。
次に実施例を示し、さらに詳しくこの発明の半導体封止
用の高熱放散性エポキシ樹脂組成物について説明する。
用の高熱放散性エポキシ樹脂組成物について説明する。
もちろん、この発明は、以下の実施例によって限定され
るものではない。
るものではない。
実施例 1
(重量部)
(1)ノボラック型エポキシ樹脂 9(エポキシ
当量170) (2)臭素化エポキシ樹脂 2(エポキシ
当量280) (3)2−エチル−2−メチルイミダゾール 1(4)
カルナウバワックス 1(5)球状アルミ
ナ 87以上の組成の混合物をミキシ
ングロール機で60〜80℃、約10分間混合し、エポ
キシ樹脂封止材組成物を製造した。
当量170) (2)臭素化エポキシ樹脂 2(エポキシ
当量280) (3)2−エチル−2−メチルイミダゾール 1(4)
カルナウバワックス 1(5)球状アルミ
ナ 87以上の組成の混合物をミキシ
ングロール機で60〜80℃、約10分間混合し、エポ
キシ樹脂封止材組成物を製造した。
この組成物について熱伝導率(λ)と、パワーICの熱
疲労寿命について評価した。その結果は表−1に示した
通りであった。熱伝導率は、アルミナを配合しない場合
に比べてはるかに大きく(92X10−4Cal/as
・sec I ’c) 、T19LtF命も優れていた
。
疲労寿命について評価した。その結果は表−1に示した
通りであった。熱伝導率は、アルミナを配合しない場合
に比べてはるかに大きく(92X10−4Cal/as
・sec I ’c) 、T19LtF命も優れていた
。
実施例 2
実施例1について、球状アルミナに代えて、同量の無定
形アルミナを用い、同様にして封止材用エポキシ樹脂組
成物を製造した。
形アルミナを用い、同様にして封止材用エポキシ樹脂組
成物を製造した。
実施例1と同様に熱伝導度、パワーICの熱疲労寿命に
ついて評価した。その結果を表−1に示した。
ついて評価した。その結果を表−1に示した。
熱伝導率、疲労寿命ともに、実施例1と同様に後述のア
ルミナを用いない比教例に比べて良好であった。
ルミナを用いない比教例に比べて良好であった。
実施例 3
(重量部)
(1)ノボラック型エポキシ樹脂 10(エポキ
シ当量170) (2)臭素化エポキシ樹脂 2(エボ・キ
シ当Ji280) (3)2−エチル−4−メチルイミダゾール 1(4)
カルナウバワックス 1(5)球状アルミ
ナ 43(6)結晶シリカ
43以上の組成からなる混合物から、実施例
1と同様にして封止材用エポキシ樹脂組成物を製造した
。
シ当量170) (2)臭素化エポキシ樹脂 2(エボ・キ
シ当Ji280) (3)2−エチル−4−メチルイミダゾール 1(4)
カルナウバワックス 1(5)球状アルミ
ナ 43(6)結晶シリカ
43以上の組成からなる混合物から、実施例
1と同様にして封止材用エポキシ樹脂組成物を製造した
。
実施例1と同様に、熱伝導度、パワーICの熱疲労寿命
について評価した。その結果を表−1に示した。
について評価した。その結果を表−1に示した。
熱伝導度、疲労寿命ともに、アルミナを用いない次の比
較例に比べて良好であった。
較例に比べて良好であった。
比較例
(重量部)
(1)ノボラック型エポキシ樹脂 17(エポキシ
当1170) (2)臭素化エポキシ樹脂 3(エポキシ
当量28o) (3)2−エチル−4−メチルイミダゾール 1(4)
カルナウバワックス 1(5)結晶シリカ
78以上のアルミナを用いない組
成の混合物から、実施例1と同様にして封止材用エポキ
シ樹脂組成物を製造しな。
当1170) (2)臭素化エポキシ樹脂 3(エポキシ
当量28o) (3)2−エチル−4−メチルイミダゾール 1(4)
カルナウバワックス 1(5)結晶シリカ
78以上のアルミナを用いない組
成の混合物から、実施例1と同様にして封止材用エポキ
シ樹脂組成物を製造しな。
実施例1と同様に熱伝導度、パワーICの熱疲労寿命に
ついて評価した。その結果を表−1に示した。
ついて評価した。その結果を表−1に示した。
熱伝導度、疲労寿命ともに、アルミナを配合した実施例
1〜3のエポキシ樹脂組成物に比べてはるかに劣ってい
た。
1〜3のエポキシ樹脂組成物に比べてはるかに劣ってい
た。
(発明の効果)
この発明により、以上の通り、熱伝導率が高く、半導体
の熱疲労劣化の防止効果に優れた半導体封止用の高熱放
散性のエポキシ樹脂組成物が実現される。
の熱疲労劣化の防止効果に優れた半導体封止用の高熱放
散性のエポキシ樹脂組成物が実現される。
パッケージの小型化、デバイスの高出力化の要求に対応
することのできる高熱放散性の封止材が提供される。
することのできる高熱放散性の封止材が提供される。
Claims (1)
- (1)エポキシ樹脂組成物に無機質充填材としてアルミ
ナ、またはアルミナおよびシリカを配合したことを特徴
とする半導体封止用の高熱放射性エポキシ樹脂組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1558787A JPS63183915A (ja) | 1987-01-26 | 1987-01-26 | 高熱放散性エポキシ樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1558787A JPS63183915A (ja) | 1987-01-26 | 1987-01-26 | 高熱放散性エポキシ樹脂組成物 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63183915A true JPS63183915A (ja) | 1988-07-29 |
Family
ID=11892860
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1558787A Pending JPS63183915A (ja) | 1987-01-26 | 1987-01-26 | 高熱放散性エポキシ樹脂組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63183915A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03157447A (ja) * | 1989-11-14 | 1991-07-05 | Shin Etsu Chem Co Ltd | エポキシ樹脂組成物及びエポキシ樹脂硬化物 |
US5202753A (en) * | 1990-11-26 | 1993-04-13 | Nippondenso Co., Ltd. | Resin-sealed semiconductor device |
JPH05222270A (ja) * | 1992-02-07 | 1993-08-31 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 液状エポキシ樹脂組成物及び硬化物 |
US5349240A (en) * | 1991-10-30 | 1994-09-20 | Nippondenso Co., Ltd. | Semiconductor device package having a sealing silicone gel with spherical fillers |
WO1997003129A1 (en) * | 1995-07-10 | 1997-01-30 | Toray Industries, Inc. | Epoxy resin composition |
-
1987
- 1987-01-26 JP JP1558787A patent/JPS63183915A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03157447A (ja) * | 1989-11-14 | 1991-07-05 | Shin Etsu Chem Co Ltd | エポキシ樹脂組成物及びエポキシ樹脂硬化物 |
US5202753A (en) * | 1990-11-26 | 1993-04-13 | Nippondenso Co., Ltd. | Resin-sealed semiconductor device |
DE4133623C2 (de) * | 1990-11-26 | 1998-10-29 | Denso Corp | Harzversiegelte Halbleitervorrichtung |
US5349240A (en) * | 1991-10-30 | 1994-09-20 | Nippondenso Co., Ltd. | Semiconductor device package having a sealing silicone gel with spherical fillers |
JPH05222270A (ja) * | 1992-02-07 | 1993-08-31 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 液状エポキシ樹脂組成物及び硬化物 |
WO1997003129A1 (en) * | 1995-07-10 | 1997-01-30 | Toray Industries, Inc. | Epoxy resin composition |
US5854316A (en) * | 1995-07-10 | 1998-12-29 | Toray Industries, Inc. | Epoxy resin composition |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3479827B2 (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2011184650A (ja) | 電子部品封止用樹脂組成物およびそれを用いた電子部品装置 | |
JP3582576B2 (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2018104683A (ja) | 封止成形材料用組成物及び電子部品装置 | |
JPH10324791A (ja) | 難燃性エポキシ樹脂組成物 | |
JPS63183915A (ja) | 高熱放散性エポキシ樹脂組成物 | |
JP2005206768A (ja) | 半導体封止用樹脂組成物とそれを用いた半導体装置 | |
JP2005200533A (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物および樹脂封止型半導体装置 | |
JP3714399B2 (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JPH10173103A (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物 | |
JP2002356539A (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP3003887B2 (ja) | 半導体封止用樹脂組成物 | |
JP5275697B2 (ja) | 封止用エポキシ樹脂組成物およびその製造方法 | |
JP2002012654A (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物 | |
JP2004115747A (ja) | ヒートシンク形成用樹脂組成物および電子部品封止装置 | |
JPH09124774A (ja) | 半導体封止用樹脂組成物 | |
JPH11158351A (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2000212399A (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2004256729A (ja) | エポキシ樹脂組成物および半導体封止装置 | |
JPH1180509A (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2003155329A (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JPH02219814A (ja) | エポキシ樹脂組成物 | |
JP4794706B2 (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JPH10287794A (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物 | |
JPH04318056A (ja) | エポキシ樹脂組成物 |