JPH0213870Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0213870Y2 JPH0213870Y2 JP8801985U JP8801985U JPH0213870Y2 JP H0213870 Y2 JPH0213870 Y2 JP H0213870Y2 JP 8801985 U JP8801985 U JP 8801985U JP 8801985 U JP8801985 U JP 8801985U JP H0213870 Y2 JPH0213870 Y2 JP H0213870Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blower
- core tube
- pass box
- utility
- model registration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 27
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 5
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 238000004080 punching Methods 0.000 claims description 3
- 238000011045 prefiltration Methods 0.000 claims description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本考案はクリーンルームへのウエハー受入及び
拡散炉用炉心管搬出入に用いるポスボツクスに関
するものである。
拡散炉用炉心管搬出入に用いるポスボツクスに関
するものである。
(従来の技術)
従来、クリーンルームのウエハー受入は第3図
に示す如く、台車C1にてパスボツクスP,Bま
でウエハーWを運び、パスボツクスP,Bのドア
を開けて中に入れた後、ドアを閉鎖し、ついでク
リーンルームC,R側のドアを開き、ウエハーW
を受取つて台車C2乗せ作業エリアまで運んでい
た。一方、拡散炉用炉心管はメンテ等でクリーン
ルーム側に搬出入される回数が多いが、長さが通
常2700mm程度と長いため、搬出入時にクリーンル
ームへの汚染が考えられていた。
に示す如く、台車C1にてパスボツクスP,Bま
でウエハーWを運び、パスボツクスP,Bのドア
を開けて中に入れた後、ドアを閉鎖し、ついでク
リーンルームC,R側のドアを開き、ウエハーW
を受取つて台車C2乗せ作業エリアまで運んでい
た。一方、拡散炉用炉心管はメンテ等でクリーン
ルーム側に搬出入される回数が多いが、長さが通
常2700mm程度と長いため、搬出入時にクリーンル
ームへの汚染が考えられていた。
(考案が解決しようとする問題点)
従来、ウエハー及び拡散炉用炉心管のクリーン
ルームへの受入及び搬出入は上記のようにして行
つているが、ウエハーの受入に当つては、パスボ
ツクスに対してウエハーを上げ、下げする行為を
供うため作業が煩雑となつていた。また炉心管の
搬出入に当つてクリーンルームへの汚染を防止す
るには、エアーシヤワーの採用が考えられるが、
スペースが過大となると共に搬出入作業も煩雑に
なる問題があつた。
ルームへの受入及び搬出入は上記のようにして行
つているが、ウエハーの受入に当つては、パスボ
ツクスに対してウエハーを上げ、下げする行為を
供うため作業が煩雑となつていた。また炉心管の
搬出入に当つてクリーンルームへの汚染を防止す
るには、エアーシヤワーの採用が考えられるが、
スペースが過大となると共に搬出入作業も煩雑に
なる問題があつた。
(問題点を解決するための手段)
本考案は、一般的にウエハー受入及び、炉心管
搬出入が荷受場等に近い同一の場所での作業とな
る点に着目してなされたもので、下段には前後面
にドア底面にローラを設けたウエハー受入部と、
上段には前後面にドア底面にパンチングメタルを
設けた炉心管搬出入部とを設けて両者一体のパス
ボツクスを形成すると共に炉心管搬出入部の上部
にはフイルタを通して清浄エアー吹出する送風機
を設置してエアーカーテンを形成するようにした
ものである。
搬出入が荷受場等に近い同一の場所での作業とな
る点に着目してなされたもので、下段には前後面
にドア底面にローラを設けたウエハー受入部と、
上段には前後面にドア底面にパンチングメタルを
設けた炉心管搬出入部とを設けて両者一体のパス
ボツクスを形成すると共に炉心管搬出入部の上部
にはフイルタを通して清浄エアー吹出する送風機
を設置してエアーカーテンを形成するようにした
ものである。
(作用)
上記のようにウエハー受入部を下段に設け、そ
の底面にローラを設けることによりウエハーキヤ
リアボツクスを上げ、下げすることなく、しかも
ローラを上をスライドさせて容易にクリーンルー
ム側の台車へ移すことができ、この際、送風機を
駆動して清浄エアーを吹出しておくことによりエ
アーカーテン効果でクリーンルームの汚染を防止
することができる。
の底面にローラを設けることによりウエハーキヤ
リアボツクスを上げ、下げすることなく、しかも
ローラを上をスライドさせて容易にクリーンルー
ム側の台車へ移すことができ、この際、送風機を
駆動して清浄エアーを吹出しておくことによりエ
アーカーテン効果でクリーンルームの汚染を防止
することができる。
また、炉心管の搬出入を清浄エアーの吹出しに
よるエアーカーテン効果を有するパスボツクスで
行うことができるため、クリーンルームの汚染を
防止しながら簡便に搬出入することができる。
よるエアーカーテン効果を有するパスボツクスで
行うことができるため、クリーンルームの汚染を
防止しながら簡便に搬出入することができる。
(実施例)
第1図はパスボツクスの正面図及び第2図は第
1図のA−A線矢視断面図である。いずれも本考
案の一実施例を示すもので、1はパスボツクス本
体で下段にははウエハー受入部2、上段には拡散
炉用炉心管搬出入部3が夫々設けられている。ウ
エハー受入部2は、前後面にドア4,5、底面に
ローラ6,6……が設けられていると共に両側面
にプレフイルタ7を有する吸込口8、上面に吹出
ルーバ9が設けられている。
1図のA−A線矢視断面図である。いずれも本考
案の一実施例を示すもので、1はパスボツクス本
体で下段にははウエハー受入部2、上段には拡散
炉用炉心管搬出入部3が夫々設けられている。ウ
エハー受入部2は、前後面にドア4,5、底面に
ローラ6,6……が設けられていると共に両側面
にプレフイルタ7を有する吸込口8、上面に吹出
ルーバ9が設けられている。
炉心管搬出入部3は前後面にドア10,11、
底面にパンチングメタル12が設けられていると
共に上面に吹出ルーバ13が設けられている。1
4は炉心管搬出入部3の上部に設けられた送風機
室で内部に送風機15が設置され、フイルタ16
を通して炉心管搬出入部3及びウエハー受入部2
へ清浄エアーを吹出しエアーカーテンを形成する
ように構成されている。
底面にパンチングメタル12が設けられていると
共に上面に吹出ルーバ13が設けられている。1
4は炉心管搬出入部3の上部に設けられた送風機
室で内部に送風機15が設置され、フイルタ16
を通して炉心管搬出入部3及びウエハー受入部2
へ清浄エアーを吹出しエアーカーテンを形成する
ように構成されている。
なお、吸込口8から吸込まれた空気は両側面内
のエアー通路17,17を通つて送風機15に循
環されるようになつている。
のエアー通路17,17を通つて送風機15に循
環されるようになつている。
また、送風機15は、ウエハー受入時に押ボタ
ン18を押すことにより起動し、一定時間後タイ
マにより自動停止されるようになつていると共に
炉心管搬出入時には前後面のドアの開閉により起
動・停止されるようになつている。
ン18を押すことにより起動し、一定時間後タイ
マにより自動停止されるようになつていると共に
炉心管搬出入時には前後面のドアの開閉により起
動・停止されるようになつている。
上記実施例において、ウエハー受入動作は、ま
ず、ドア4を開けてローラ6上にウエハーキヤリ
ボツクスを入れた後、ドア4,5が閉じているこ
とを確認して押ボタン18を押して送風機15を
起動し、フイルタ16を通して清浄エアーを吹出
してエアーカーテンを形成する。送風機15は一
定時間後自動的に停止するので、その後、クリー
ンルーム側のドア5を開けてウエハーキヤリボツ
クスをクリーンルーム側の台車にローラ6上をス
ライドさせて移すことによりウエハーを受入する
ことができる。
ず、ドア4を開けてローラ6上にウエハーキヤリ
ボツクスを入れた後、ドア4,5が閉じているこ
とを確認して押ボタン18を押して送風機15を
起動し、フイルタ16を通して清浄エアーを吹出
してエアーカーテンを形成する。送風機15は一
定時間後自動的に停止するので、その後、クリー
ンルーム側のドア5を開けてウエハーキヤリボツ
クスをクリーンルーム側の台車にローラ6上をス
ライドさせて移すことによりウエハーを受入する
ことができる。
一方、炉心管搬出入は、まずドア10,11を
開くと同時に送風機15が起動して清浄エアーを
吹出しエアーカーテンを形成するので、この間に
炉心管の搬出入を行い、搬出入完了後にはドア1
0,11を閉じると送風機15が自動的に停止す
る。
開くと同時に送風機15が起動して清浄エアーを
吹出しエアーカーテンを形成するので、この間に
炉心管の搬出入を行い、搬出入完了後にはドア1
0,11を閉じると送風機15が自動的に停止す
る。
(効果)
以上から明らかなように、ウエハー受入部を下
段に設け、しかも、底面にローラを設けているの
で、ウエハーキヤリボツクスの上げ、下げが不要
となり、受入作業を著しく容易化することができ
ると共に清浄エアーの吹出しによるエアーカーテ
ン効果でクリーンルーム側の汚染を防止すること
ができる。
段に設け、しかも、底面にローラを設けているの
で、ウエハーキヤリボツクスの上げ、下げが不要
となり、受入作業を著しく容易化することができ
ると共に清浄エアーの吹出しによるエアーカーテ
ン効果でクリーンルーム側の汚染を防止すること
ができる。
また、炉心管の搬出入に際しても、過大なスペ
ースを必要とせず、簡単なバスボツクスによりエ
アーカーテン効果によつてクリーンルーム側の汚
染を防止しながら簡便に搬出入作業を行うことも
できる。
ースを必要とせず、簡単なバスボツクスによりエ
アーカーテン効果によつてクリーンルーム側の汚
染を防止しながら簡便に搬出入作業を行うことも
できる。
第1図は本考案の一実施例を示す正面図、第2
図は第1図のA−A矢視図、第3図は従来例を示
す概略図である。 1:パスボツクス本体、2:ウエハー受入部、
3:炉心管搬出入部、4,5:ドア、6:ロー
ラ、7:プレフイルタ、8:吸込口、9:吹出ル
ーバ、10,11:ドア、12:パンチングメタ
ル、13:吹出ルーバ、14:送風機室、15:
送風機、16:フイルタ、17:エアー通路、1
8:押ボタン。
図は第1図のA−A矢視図、第3図は従来例を示
す概略図である。 1:パスボツクス本体、2:ウエハー受入部、
3:炉心管搬出入部、4,5:ドア、6:ロー
ラ、7:プレフイルタ、8:吸込口、9:吹出ル
ーバ、10,11:ドア、12:パンチングメタ
ル、13:吹出ルーバ、14:送風機室、15:
送風機、16:フイルタ、17:エアー通路、1
8:押ボタン。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) クリーンルームのウエハー受入及び拡散炉用
炉心管搬出入に用いるパスボツクスにおいて、
下段には前後面にドア底面にローラを設けたウ
エハー受入部、上段には前後面にドア底面にパ
ンチングメタルを設けた炉心管搬出入部を夫々
設けて両者を一体的に形成すると共に炉心管搬
出入部の上部にはフイルタを通して清浄エアー
を吹出す送風機を設置してエアーカーテンを形
成するようにしたことを特徴とするパスボツク
ス。 (2) ウエハー受入部の下部両側に吸込口を設け、
両側面内に送風機の吸込側に連なるエアー通路
を形成したことを特徴とする実用新案登録請求
の範囲(1)項記載のパスボツクス。 (3) 吸込口にプレフイルタを設けたことを特徴と
する実用新案登録請求の範囲(2)項記載のパスボ
ツクス。 (4) 送風機はウエハー受入時に押ボタンで起動さ
れた後タイマにより自動停止されることを特徴
とする実用新案登録請求の範囲(1)項記載のパス
ボツクス。 (5) 送風機は炉心管搬出入時にドアの開閉と連動
して起動・停止されることを特徴とする実用新
案登録請求の範囲(1)項記載のパスボツクス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8801985U JPH0213870Y2 (ja) | 1985-06-11 | 1985-06-11 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8801985U JPH0213870Y2 (ja) | 1985-06-11 | 1985-06-11 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61203246U JPS61203246U (ja) | 1986-12-20 |
JPH0213870Y2 true JPH0213870Y2 (ja) | 1990-04-17 |
Family
ID=30640767
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8801985U Expired JPH0213870Y2 (ja) | 1985-06-11 | 1985-06-11 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0213870Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-06-11 JP JP8801985U patent/JPH0213870Y2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS61203246U (ja) | 1986-12-20 |
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