JPH0213870Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案はクリーンルームへのウエハー受入及び
拡散炉用炉心管搬出入に用いるポスボツクスに関
するものである。

（従来の技術） 従来、クリーンルームのウエハー受入は第３図
に示す如く、台車Ｃ１にてパスボツクスＰ，Ｂま
でウエハーＷを運び、パスボツクスＰ，Ｂのドア
を開けて中に入れた後、ドアを閉鎖し、ついでク
リーンルームＣ，Ｒ側のドアを開き、ウエハーＷ
を受取つて台車Ｃ２乗せ作業エリアまで運んでい
た。一方、拡散炉用炉心管はメンテ等でクリーン
ルーム側に搬出入される回数が多いが、長さが通
常2700mm程度と長いため、搬出入時にクリーンル
ームへの汚染が考えられていた。

（考案が解決しようとする問題点） 従来、ウエハー及び拡散炉用炉心管のクリーン
ルームへの受入及び搬出入は上記のようにして行
つているが、ウエハーの受入に当つては、パスボ
ツクスに対してウエハーを上げ、下げする行為を
供うため作業が煩雑となつていた。また炉心管の
搬出入に当つてクリーンルームへの汚染を防止す
るには、エアーシヤワーの採用が考えられるが、
スペースが過大となると共に搬出入作業も煩雑に
なる問題があつた。

（問題点を解決するための手段） 本考案は、一般的にウエハー受入及び、炉心管
搬出入が荷受場等に近い同一の場所での作業とな
る点に着目してなされたもので、下段には前後面
にドア底面にローラを設けたウエハー受入部と、
上段には前後面にドア底面にパンチングメタルを
設けた炉心管搬出入部とを設けて両者一体のパス
ボツクスを形成すると共に炉心管搬出入部の上部
にはフイルタを通して清浄エアー吹出する送風機
を設置してエアーカーテンを形成するようにした
ものである。

（作用） 上記のようにウエハー受入部を下段に設け、そ
の底面にローラを設けることによりウエハーキヤ
リアボツクスを上げ、下げすることなく、しかも
ローラを上をスライドさせて容易にクリーンルー
ム側の台車へ移すことができ、この際、送風機を
駆動して清浄エアーを吹出しておくことによりエ
アーカーテン効果でクリーンルームの汚染を防止
することができる。

また、炉心管の搬出入を清浄エアーの吹出しに
よるエアーカーテン効果を有するパスボツクスで
行うことができるため、クリーンルームの汚染を
防止しながら簡便に搬出入することができる。

（実施例） 第１図はパスボツクスの正面図及び第２図は第
１図のＡ−Ａ線矢視断面図である。いずれも本考
案の一実施例を示すもので、１はパスボツクス本
体で下段にははウエハー受入部２、上段には拡散
炉用炉心管搬出入部３が夫々設けられている。ウ
エハー受入部２は、前後面にドア４，５、底面に
ローラ６，６……が設けられていると共に両側面
にプレフイルタ７を有する吸込口８、上面に吹出
ルーバ９が設けられている。

炉心管搬出入部３は前後面にドア１０，１１、
底面にパンチングメタル１２が設けられていると
共に上面に吹出ルーバ１３が設けられている。１
４は炉心管搬出入部３の上部に設けられた送風機
室で内部に送風機１５が設置され、フイルタ１６
を通して炉心管搬出入部３及びウエハー受入部２
へ清浄エアーを吹出しエアーカーテンを形成する
ように構成されている。

なお、吸込口８から吸込まれた空気は両側面内
のエアー通路１７，１７を通つて送風機１５に循
環されるようになつている。

また、送風機１５は、ウエハー受入時に押ボタ
ン１８を押すことにより起動し、一定時間後タイ
マにより自動停止されるようになつていると共に
炉心管搬出入時には前後面のドアの開閉により起
動・停止されるようになつている。

上記実施例において、ウエハー受入動作は、ま
ず、ドア４を開けてローラ６上にウエハーキヤリ
ボツクスを入れた後、ドア４，５が閉じているこ
とを確認して押ボタン１８を押して送風機１５を
起動し、フイルタ１６を通して清浄エアーを吹出
してエアーカーテンを形成する。送風機１５は一
定時間後自動的に停止するので、その後、クリー
ンルーム側のドア５を開けてウエハーキヤリボツ
クスをクリーンルーム側の台車にローラ６上をス
ライドさせて移すことによりウエハーを受入する
ことができる。

一方、炉心管搬出入は、まずドア１０，１１を
開くと同時に送風機１５が起動して清浄エアーを
吹出しエアーカーテンを形成するので、この間に
炉心管の搬出入を行い、搬出入完了後にはドア１
０，１１を閉じると送風機１５が自動的に停止す
る。

（効果） 以上から明らかなように、ウエハー受入部を下
段に設け、しかも、底面にローラを設けているの
で、ウエハーキヤリボツクスの上げ、下げが不要
となり、受入作業を著しく容易化することができ
ると共に清浄エアーの吹出しによるエアーカーテ
ン効果でクリーンルーム側の汚染を防止すること
ができる。

また、炉心管の搬出入に際しても、過大なスペ
ースを必要とせず、簡単なバスボツクスによりエ
アーカーテン効果によつてクリーンルーム側の汚
染を防止しながら簡便に搬出入作業を行うことも
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す正面図、第２
図は第１図のＡ−Ａ矢視図、第３図は従来例を示
す概略図である。 １：パスボツクス本体、２：ウエハー受入部、
３：炉心管搬出入部、４，５：ドア、６：ロー
ラ、７：プレフイルタ、８：吸込口、９：吹出ル
ーバ、１０，１１：ドア、１２：パンチングメタ
ル、１３：吹出ルーバ、１４：送風機室、１５：
送風機、１６：フイルタ、１７：エアー通路、１
８：押ボタン。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) クリーンルームのウエハー受入及び拡散炉用
   炉心管搬出入に用いるパスボツクスにおいて、
   下段には前後面にドア底面にローラを設けたウ
   エハー受入部、上段には前後面にドア底面にパ
   ンチングメタルを設けた炉心管搬出入部を夫々
   設けて両者を一体的に形成すると共に炉心管搬
   出入部の上部にはフイルタを通して清浄エアー
   を吹出す送風機を設置してエアーカーテンを形
   成するようにしたことを特徴とするパスボツク
   ス。 (2) ウエハー受入部の下部両側に吸込口を設け、
   両側面内に送風機の吸込側に連なるエアー通路
   を形成したことを特徴とする実用新案登録請求
   の範囲(1)項記載のパスボツクス。 (3) 吸込口にプレフイルタを設けたことを特徴と
   する実用新案登録請求の範囲(2)項記載のパスボ
   ツクス。 (4) 送風機はウエハー受入時に押ボタンで起動さ
   れた後タイマにより自動停止されることを特徴
   とする実用新案登録請求の範囲(1)項記載のパス
   ボツクス。 (5) 送風機は炉心管搬出入時にドアの開閉と連動
   して起動・停止されることを特徴とする実用新
   案登録請求の範囲(1)項記載のパスボツクス。