JPS61237951A - エアカ−テン装置 - Google Patents
エアカ−テン装置Info
- Publication number
- JPS61237951A JPS61237951A JP7834285A JP7834285A JPS61237951A JP S61237951 A JPS61237951 A JP S61237951A JP 7834285 A JP7834285 A JP 7834285A JP 7834285 A JP7834285 A JP 7834285A JP S61237951 A JPS61237951 A JP S61237951A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- clean
- curtain device
- door
- air curtain
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、エアカーテン装置に係り、特に半導体製造工
場、薬品製造工場、食品製造工場および病院等に設けら
れる空調防塵室、クリーンベンチ等に好適なエアカーテ
ン装置に関する。
場、薬品製造工場、食品製造工場および病院等に設けら
れる空調防塵室、クリーンベンチ等に好適なエアカーテ
ン装置に関する。
第4図に、エアカーテン装置を配置した半導体製造工場
等の空調防塵室の従来技術を示す。
等の空調防塵室の従来技術を示す。
この空調防塵室では、クリーンルーム6の中で働く作粱
者寺は廊下1からドア2.5を開閉し、前室4を通り、
ついでエアジャワ5により除塵な行い、クリーンルーム
6の中に入るようになっている。
者寺は廊下1からドア2.5を開閉し、前室4を通り、
ついでエアジャワ5により除塵な行い、クリーンルーム
6の中に入るようになっている。
従来技術において、ドア2.5による二重罪にしている
理由は、前室4もある程度の清浄度を要するためである
。一般に、前室4はセミクリーンルームの仕様に作られ
ており、従来技術ではこの前室4をある程度の清浄度に
維持するため、二重扉にする必要があった。
理由は、前室4もある程度の清浄度を要するためである
。一般に、前室4はセミクリーンルームの仕様に作られ
ており、従来技術ではこの前室4をある程度の清浄度に
維持するため、二重扉にする必要があった。
しかし、前記従来の空調防塵室では、二重罪とせざるを
得ないので、ドア2,3を2度開け、閉めする必要があ
り、特に物品を運ぶ作業者にとって、非常に煩わしい問
題がある。
得ないので、ドア2,3を2度開け、閉めする必要があ
り、特に物品を運ぶ作業者にとって、非常に煩わしい問
題がある。
なお、エアカーテン装置において、単に一重扉にした場
合には風の巻き込みがあり、室内を要求される清浄度に
保つことが困難であるばかりでなく、戸口が広い場合に
は、風速および風蓋を増す必要かあるため、ファン容量
を大きくすることになる。その結果、騒音が著しく太き
くなり7odBを超すようなことになると、クリーンル
ーム6内で行う微妙な作業の障害となる問題が発生する
。
合には風の巻き込みがあり、室内を要求される清浄度に
保つことが困難であるばかりでなく、戸口が広い場合に
は、風速および風蓋を増す必要かあるため、ファン容量
を大きくすることになる。その結果、騒音が著しく太き
くなり7odBを超すようなことになると、クリーンル
ーム6内で行う微妙な作業の障害となる問題が発生する
。
ついで、第5図に従来の水平ラミナフロータイプのクリ
ーンベンチを示す。
ーンベンチを示す。
この水平ラミナフロータイプのクリーンベンチ9では、
清浄エア吹き出し口10から水平方向に清浄エア11を
吹き出すようにしている。
清浄エア吹き出し口10から水平方向に清浄エア11を
吹き出すようにしている。
しかし、このタイプのクリーンベンチの従来のものは、
外部から方向が異なる風が流れることによる外乱に対す
る配慮がなされていない。
外部から方向が異なる風が流れることによる外乱に対す
る配慮がなされていない。
したがって、清浄エア11の流れに対して、違う方向の
風が流れると、気流に乱れが生じ、水平ラミナフローの
特性が低下し、また清浄度が低下する問題があった。
風が流れると、気流に乱れが生じ、水平ラミナフローの
特性が低下し、また清浄度が低下する問題があった。
続いて、第6図に従来の垂直ラミナフロータイプのクリ
ーンベンチを示す。
ーンベンチを示す。
この垂直ラミナフロータイプのクリーンベンチ14では
、清浄エア吹き出し口15から垂直方向に清浄エア16
を吹き出すようにしている。
、清浄エア吹き出し口15から垂直方向に清浄エア16
を吹き出すようにしている。
しかしなから、このタイプのクリーンベンチにおいても
従来は外乱に対する配慮がなされていないため、清浄エ
ア16の流れに対して、外部から違う方向の風が流れて
くると、気流が乱れ、垂直ラミナフローの特性が低下し
、また清浄度が低下する問題があった。
従来は外乱に対する配慮がなされていないため、清浄エ
ア16の流れに対して、外部から違う方向の風が流れて
くると、気流が乱れ、垂直ラミナフローの特性が低下し
、また清浄度が低下する問題があった。
本発明の目的は、前記従来技術の問題を解決し、空調防
塵室およびクリーンベンチを要求される清浄度に維持す
ることができ、かつ空調防塵室に適用して二重罪による
ドアの開閉の煩わしさを解消でき、しかも容量の小さい
ファンを使用可能なエアカーテン装置を提供することに
ある。
塵室およびクリーンベンチを要求される清浄度に維持す
ることができ、かつ空調防塵室に適用して二重罪による
ドアの開閉の煩わしさを解消でき、しかも容量の小さい
ファンを使用可能なエアカーテン装置を提供することに
ある。
本発明は、相対する二方向から空気を吹き出す空気吹き
出し口を設けたところに特徴を有するもので、この構成
により、外部からの空気の侵入による清浄度の低下を無
くし、その結果空調防塵室およびクリーンベンチを要求
される清浄度に維持することができ、かつ空調防塵室に
適用した時は一重罪にすることができ、これによりドア
の開閉の煩わしさを解消でき、また小さい容量のファン
を2個使用して空気を吹き出すようにすることによって
、騒音を小さく抑えることができる。
出し口を設けたところに特徴を有するもので、この構成
により、外部からの空気の侵入による清浄度の低下を無
くし、その結果空調防塵室およびクリーンベンチを要求
される清浄度に維持することができ、かつ空調防塵室に
適用した時は一重罪にすることができ、これによりドア
の開閉の煩わしさを解消でき、また小さい容量のファン
を2個使用して空気を吹き出すようにすることによって
、騒音を小さく抑えることができる。
以下、本発明の実施例を図面により説明するi第1図は
、空調防塵室に適用した本発明の一実・絶倒を示す。
、空調防塵室に適用した本発明の一実・絶倒を示す。
この実施例に示す空調防塵室は、廊下1と、ドア2と、
前室4と、エアジャワ5と、クリーンルーム6とを備え
、−重罪に構成されている。
前室4と、エアジャワ5と、クリーンルーム6とを備え
、−重罪に構成されている。
一方、との実施例のエアカーテン装置は、ドア2の廊下
1側に設置された空気吹き出しロアa、17bを有して
いる。前記空気吹き出しロアa、7bは、互いに対向す
る方向に空気を吹き出すように構成されており、二方向
から吹き出された空気の交点角度は廊下1側に向かって
180度以下になるように設けられている。また、前記
空気吹き出し07a、7bは、ドア2の開閉に連動して
働くようになっている。
1側に設置された空気吹き出しロアa、17bを有して
いる。前記空気吹き出しロアa、7bは、互いに対向す
る方向に空気を吹き出すように構成されており、二方向
から吹き出された空気の交点角度は廊下1側に向かって
180度以下になるように設けられている。また、前記
空気吹き出し07a、7bは、ドア2の開閉に連動して
働くようになっている。
前記第1図忙示す実施例のエアカーテン装置では、ドア
2が開くと、これに連動して空気吹き出しロアa、yb
より、二方向から 下1側に向かって180度以下の交
点角度で空気が吹き出し−この空気の流れ8により外部
からの塵あいの侵入を防ぐことができる。したがって、
クリーンルーム6内を必要な清浄度に維持することがで
きる。
2が開くと、これに連動して空気吹き出しロアa、yb
より、二方向から 下1側に向かって180度以下の交
点角度で空気が吹き出し−この空気の流れ8により外部
からの塵あいの侵入を防ぐことができる。したがって、
クリーンルーム6内を必要な清浄度に維持することがで
きる。
また、前記エアカーテン装置の機能により、−重罪に構
成でき、これにより二重罪の開閉の煩わしさが解消され
、物品の搬入、搬出を能率よく行うことができる。
成でき、これにより二重罪の開閉の煩わしさが解消され
、物品の搬入、搬出を能率よく行うことができる。
さらに、2個の空気吹き出しロアa、7bがら空気を吹
き出すようにしているので、容量の小さい2個のファン
を使用して空気を送ることもでき、したがってファンの
騒音による障害も解消することが可能となる。 − 次K、第2図は水平ラミナフロータイプのりリーンベン
チに本発明を適用した実施例を示す。
き出すようにしているので、容量の小さい2個のファン
を使用して空気を送ることもでき、したがってファンの
騒音による障害も解消することが可能となる。 − 次K、第2図は水平ラミナフロータイプのりリーンベン
チに本発明を適用した実施例を示す。
この第2図に示すクリーンベンチ9は、清浄エア吹き出
し口10を有し、この清浄エア吹き出し口10から水平
方向に清浄エア11を吹き出すように構成されている。
し口10を有し、この清浄エア吹き出し口10から水平
方向に清浄エア11を吹き出すように構成されている。
そして、エアカーテン装置は前記クリーンベンチ9にお
ける清浄エア11の気流の出口側の左右に設けられた2
個の空気吹き出し口12a 、12bを備えて構成され
ている。また、このエアカーテン装置は前記空気吹き出
し口12a、12bから前記清浄エア11の流れ方向に
向かって180度以下の交点角度に空気を吹き出し、空
気の流れ15を形成するようになっている。
ける清浄エア11の気流の出口側の左右に設けられた2
個の空気吹き出し口12a 、12bを備えて構成され
ている。また、このエアカーテン装置は前記空気吹き出
し口12a、12bから前記清浄エア11の流れ方向に
向かって180度以下の交点角度に空気を吹き出し、空
気の流れ15を形成するようになっている。
前記第2図に示す実施例のエアカーテン装置では、空気
吹き出し口12a、12bを通じて二方向から吹き出し
、この空気の流れ15により清浄エア11に対して方向
の違う風の侵入を防ぐことができる。したがって、外部
から入ってくる違う方向の風の流れによる清浄エア11
の気流の乱れを防止でき、水平ラミナフローの特性の低
下および清浄度の低下を防止できるので、クリーンベン
チ9内を必要な清浄度に維持することができる。
吹き出し口12a、12bを通じて二方向から吹き出し
、この空気の流れ15により清浄エア11に対して方向
の違う風の侵入を防ぐことができる。したがって、外部
から入ってくる違う方向の風の流れによる清浄エア11
の気流の乱れを防止でき、水平ラミナフローの特性の低
下および清浄度の低下を防止できるので、クリーンベン
チ9内を必要な清浄度に維持することができる。
ついで、第5図は垂直ラミナフロータイプのクリーンベ
ンチに本発明を適用した実施例を示す。
ンチに本発明を適用した実施例を示す。
この第3図に示すクリーンベンチ14は、清浄エア吹き
出し口15を備え、この清浄エア吹き出し口15から垂
直方向に清浄エア16を吹き出すように構成されている
。
出し口15を備え、この清浄エア吹き出し口15から垂
直方向に清浄エア16を吹き出すように構成されている
。
また、エアカーテン装置は前記クリーンベンチ14にお
ける清浄エア16の流れの出口側の上下に設けられた2
個の空気吹き出し口17a、17bを有して構成されて
いる。このエアカーテン装置は、前記空気吹き出し口1
7a、t7bから清浄エア16の流れ方向に向かって1
80度以下の交点角度に空気を吹き出し、空気の流れ1
Bを形成するようになっている。
ける清浄エア16の流れの出口側の上下に設けられた2
個の空気吹き出し口17a、17bを有して構成されて
いる。このエアカーテン装置は、前記空気吹き出し口1
7a、t7bから清浄エア16の流れ方向に向かって1
80度以下の交点角度に空気を吹き出し、空気の流れ1
Bを形成するようになっている。
前記第3図に示す実施例のエアカーテン装置では、空気
吹き出し口17a、17bを通じて二方向がら空気を吹
き出し、この空気の流れ1Bにより清浄エア16の流れ
に対して方向の異なる虱の侵入を防ぐことができる。そ
の結果、外部からの風の侵入による清浄エア16の気流
の乱れを防止することができ、垂直ラミナフローの特性
の低下および清浄度の低下を防止で六るので、クリーン
ベンチ14内を必要な清浄度に維持することができる。
吹き出し口17a、17bを通じて二方向がら空気を吹
き出し、この空気の流れ1Bにより清浄エア16の流れ
に対して方向の異なる虱の侵入を防ぐことができる。そ
の結果、外部からの風の侵入による清浄エア16の気流
の乱れを防止することができ、垂直ラミナフローの特性
の低下および清浄度の低下を防止で六るので、クリーン
ベンチ14内を必要な清浄度に維持することができる。
し発明の効果〕
以上説明した本発明によれば、相対する二方向から空気
を吹き出す空気吹き出し口を設けているので、空調防塵
室およびクリーンベンチに適用した場合において、外部
からの空気の侵入による清浄度の低下を防止でき、した
がって空調防塵室およびクリーンベンチを必要な清浄度
に維持し得る効果がある。
を吹き出す空気吹き出し口を設けているので、空調防塵
室およびクリーンベンチに適用した場合において、外部
からの空気の侵入による清浄度の低下を防止でき、した
がって空調防塵室およびクリーンベンチを必要な清浄度
に維持し得る効果がある。
また、特に本発明を空調防塵室に適用した場合に、−重
罪にすることができ、したがってドアの開閉の煩わしさ
を解消で般、物品の搬入。
罪にすることができ、したがってドアの開閉の煩わしさ
を解消で般、物品の搬入。
搬出を能率よく行い得る効果があり、小さい容量のファ
ンを2個使用して空気を吹き出すようにすることもでき
るので、ファンの騒音を小さく抑え得る効果もある。
ンを2個使用して空気を吹き出すようにすることもでき
るので、ファンの騒音を小さく抑え得る効果もある。
第1図は空調防塵室に適用した本発明の一実施例を示す
平面図、第2図は水平ラミナフローのクリーンベンチに
適用した本発明の一実施例の斜視図、第3図は垂直ラミ
ナフローのクリーンベンチに適用した本発明の一実施例
の側面図、第4図は空調防塵室の従来技術を示す平面図
、第5図は水平ラミナフローのクリーンベンチの従来技
術の斜視図、第6図は垂直ラミナフローのクリーンベン
チの従来技術の側面図である。 1・・・・・・空調防塵室の廊下、 2・・・・・・同ドア、 4・叩・同前室、5・
・・・・・同エアジャワ、 6・叩・同クリーンルーム
、7a、7b・・・・・・エアカーテン装置を構成して
いる空気吹き出し口、 8・・・・・・空気吹き出し口から吹き出された空気の
流れ。 9・・・・・・水平ラミデフ0−のクリーンベンチ、1
0・・・・・・クリーンベンチの清浄エア吹き出し口、
12a、12b・・・・・・エアカーテン装置を構成し
ている空気吹き出し口、 15・・・・・・空気吹き出し口から吹き出された空気
の流れ、 14・・・・・・垂直ラミナフローのクリーンベンチ、
15・・・・・・クリーンベンチの清浄エア吹倉出し口
、17a、17b・・・;・・エアカーテン装置を構成
している空気吹き出し口、 1B・・・・・・空気吹き出し口から吹伊出された空気
の流れ。
平面図、第2図は水平ラミナフローのクリーンベンチに
適用した本発明の一実施例の斜視図、第3図は垂直ラミ
ナフローのクリーンベンチに適用した本発明の一実施例
の側面図、第4図は空調防塵室の従来技術を示す平面図
、第5図は水平ラミナフローのクリーンベンチの従来技
術の斜視図、第6図は垂直ラミナフローのクリーンベン
チの従来技術の側面図である。 1・・・・・・空調防塵室の廊下、 2・・・・・・同ドア、 4・叩・同前室、5・
・・・・・同エアジャワ、 6・叩・同クリーンルーム
、7a、7b・・・・・・エアカーテン装置を構成して
いる空気吹き出し口、 8・・・・・・空気吹き出し口から吹き出された空気の
流れ。 9・・・・・・水平ラミデフ0−のクリーンベンチ、1
0・・・・・・クリーンベンチの清浄エア吹き出し口、
12a、12b・・・・・・エアカーテン装置を構成し
ている空気吹き出し口、 15・・・・・・空気吹き出し口から吹き出された空気
の流れ、 14・・・・・・垂直ラミナフローのクリーンベンチ、
15・・・・・・クリーンベンチの清浄エア吹倉出し口
、17a、17b・・・;・・エアカーテン装置を構成
している空気吹き出し口、 1B・・・・・・空気吹き出し口から吹伊出された空気
の流れ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、相対する二方向から空気を吹き出す空気吹き出し口
を設けたことを特徴とするエアカーテン装置。 2、特許請求の範囲第1項において、相対する二方向か
ら吹き出す空気の交点角度を180度以下としたことを
特徴とするエアカーテン装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7834285A JPS61237951A (ja) | 1985-04-15 | 1985-04-15 | エアカ−テン装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7834285A JPS61237951A (ja) | 1985-04-15 | 1985-04-15 | エアカ−テン装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61237951A true JPS61237951A (ja) | 1986-10-23 |
Family
ID=13659309
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7834285A Pending JPS61237951A (ja) | 1985-04-15 | 1985-04-15 | エアカ−テン装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61237951A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000255706A (ja) * | 1999-03-10 | 2000-09-19 | Nec Kyushu Ltd | キャリアストッカーならびにその排出エア制御方法 |
JP2003074931A (ja) * | 2001-08-28 | 2003-03-12 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | クリーンルーム出入口用の防塵装置 |
-
1985
- 1985-04-15 JP JP7834285A patent/JPS61237951A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000255706A (ja) * | 1999-03-10 | 2000-09-19 | Nec Kyushu Ltd | キャリアストッカーならびにその排出エア制御方法 |
JP2003074931A (ja) * | 2001-08-28 | 2003-03-12 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | クリーンルーム出入口用の防塵装置 |
JP4629282B2 (ja) * | 2001-08-28 | 2011-02-09 | 高砂熱学工業株式会社 | クリーンルーム出入口用の防塵装置 |
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