JPH02129941A - キヤリアテープ - Google Patents
キヤリアテープInfo
- Publication number
- JPH02129941A JPH02129941A JP28443388A JP28443388A JPH02129941A JP H02129941 A JPH02129941 A JP H02129941A JP 28443388 A JP28443388 A JP 28443388A JP 28443388 A JP28443388 A JP 28443388A JP H02129941 A JPH02129941 A JP H02129941A
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- semiconductor element
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 28
- 238000012360 testing method Methods 0.000 abstract description 18
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 abstract description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 7
- 239000004020 conductor Substances 0.000 abstract description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012050 conventional carrier Substances 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、TAB(Tape Automated B
onding)方式におけるキャリアテープに関するも
のである。
onding)方式におけるキャリアテープに関するも
のである。
従来、この種のキャリアテープは第3図に示すように構
成されたものが採用されている。これを同図に基づいて
説明すると、同図において、符号1で示すものは半導体
素子2の一部がその内部に臨む多数のセンターデバイス
孔3およびこれらセンターデバイス孔3の周囲に設けら
れたデバイス取り出し用のアウターリード孔4を有し例
えばポリイミド系樹脂、ポリエステルあるいはガラスエ
ポキシ等からなる帯状のテープ基材、5はこのテープ基
材1の面上に前記センターデバイス孔3および前記アウ
ターリード孔4の一部を閉塞するように形成された多数
のリードである。これらリード5は、前記半導体素子2
のバンプ(図示せず)に接続するインナーリード6と、
このインナーリード6に連接され基板(図示せず)ある
いはフレーム等に接続するアウターリード7と、このア
ウターリード7に連接されテスト時に使用するテストパ
ッド8とによって構成されている。また、9は前記テー
プ基材1の両側縁に設けられテープ製造各工程でテープ
定ピッチ送りおよびテープ位置決めをするスプロケット
ホールである。
成されたものが採用されている。これを同図に基づいて
説明すると、同図において、符号1で示すものは半導体
素子2の一部がその内部に臨む多数のセンターデバイス
孔3およびこれらセンターデバイス孔3の周囲に設けら
れたデバイス取り出し用のアウターリード孔4を有し例
えばポリイミド系樹脂、ポリエステルあるいはガラスエ
ポキシ等からなる帯状のテープ基材、5はこのテープ基
材1の面上に前記センターデバイス孔3および前記アウ
ターリード孔4の一部を閉塞するように形成された多数
のリードである。これらリード5は、前記半導体素子2
のバンプ(図示せず)に接続するインナーリード6と、
このインナーリード6に連接され基板(図示せず)ある
いはフレーム等に接続するアウターリード7と、このア
ウターリード7に連接されテスト時に使用するテストパ
ッド8とによって構成されている。また、9は前記テー
プ基材1の両側縁に設けられテープ製造各工程でテープ
定ピッチ送りおよびテープ位置決めをするスプロケット
ホールである。
また、従来のキャリアテープには、第4図に示すような
ものも採用されている。これを同図に基づいて説明する
と、同図において、符号11で示すものは前記テープ基
材1の面上に形成されかつ前記テストパッド8に多数接
続されリード引き出し用の導電線、12はこの導電′1
a11に接続する多数の集中電極、13はこれら集中電
極12を接続する共通電極である。これら共通電極13
.前記集中電極12および導電線11は、前記リード5
を電気めっきする時に使用される。なお、同図において
、第3図と同一の部材については同一の符号を付す。
ものも採用されている。これを同図に基づいて説明する
と、同図において、符号11で示すものは前記テープ基
材1の面上に形成されかつ前記テストパッド8に多数接
続されリード引き出し用の導電線、12はこの導電′1
a11に接続する多数の集中電極、13はこれら集中電
極12を接続する共通電極である。これら共通電極13
.前記集中電極12および導電線11は、前記リード5
を電気めっきする時に使用される。なお、同図において
、第3図と同一の部材については同一の符号を付す。
次に、このように構成されたキャリアテープの製造方法
について説明する。
について説明する。
先ず、テープ基材1にセンターデバイス孔3゜アウター
リード孔4およびスプロケットホール9等を設ける。次
に、テープ基材1の面上にめっき等によってCu箔を形
成した(あるいは接着材を接着する)後、このCu箔か
ら写真製版、エツチングによって所定のパターンを形成
する。このとき、テープ基材1の面上にCuからなるリ
ード5が形成される。そして、このリード5上に無電解
SnめっきあるいはNi、Au、半田等によって電気め
っき処理が施す。ここで、無電解めっきの場合は、リー
ド5のパターン形状が第3図に示すように各々独立する
ものや第4図に示すように互いに接続するものに対して
行うことができるが、電気めっきの場合には、各リード
5に電位を付与するために、第4図に示すように導電線
11および集中電極12.共通電極13が必要になる。
リード孔4およびスプロケットホール9等を設ける。次
に、テープ基材1の面上にめっき等によってCu箔を形
成した(あるいは接着材を接着する)後、このCu箔か
ら写真製版、エツチングによって所定のパターンを形成
する。このとき、テープ基材1の面上にCuからなるリ
ード5が形成される。そして、このリード5上に無電解
SnめっきあるいはNi、Au、半田等によって電気め
っき処理が施す。ここで、無電解めっきの場合は、リー
ド5のパターン形状が第3図に示すように各々独立する
ものや第4図に示すように互いに接続するものに対して
行うことができるが、電気めっきの場合には、各リード
5に電位を付与するために、第4図に示すように導電線
11および集中電極12.共通電極13が必要になる。
この後、半導体素子2のバンプ(図示せず)をインナー
リード6に接続する。
リード6に接続する。
このようにして、キャリアテープを製造することができ
る。
る。
ところで、この種のキャリアテープにおいては、各リー
ド5が第3図に示すように互いに独立したものであると
、半導体素子2の良否試験を簡単に行うことができるも
のの、各リード5に電気めっき処理を施す場合にはこの
処理を困難なものにするという問題があった。
ド5が第3図に示すように互いに独立したものであると
、半導体素子2の良否試験を簡単に行うことができるも
のの、各リード5に電気めっき処理を施す場合にはこの
処理を困難なものにするという問題があった。
一方、各リード5が導電線11.集中電極12および共
通電極13によって互いに接続されたものであると、各
リード5に電気めっき処理を簡単に施すことができるも
のの、半導体素子2の良否試験を行う場合には同図に破
線で示すように集中電極12の回りをテープ基材1と共
に打ち抜くか、あるいはテープ基材lからその部分だけ
を剥離させる必要があり、この作業を困難なものにする
という不都合があった。すなわち、前者にあっては、打
ち抜き時にテープ基材1の材質や厚さによって打ち抜き
用の刃物が損傷したり、打ち抜きによる滓が生じたりす
るからであり、また後者にあっては、未剥離の部分や過
度の剥離部分が発生するからである。
通電極13によって互いに接続されたものであると、各
リード5に電気めっき処理を簡単に施すことができるも
のの、半導体素子2の良否試験を行う場合には同図に破
線で示すように集中電極12の回りをテープ基材1と共
に打ち抜くか、あるいはテープ基材lからその部分だけ
を剥離させる必要があり、この作業を困難なものにする
という不都合があった。すなわち、前者にあっては、打
ち抜き時にテープ基材1の材質や厚さによって打ち抜き
用の刃物が損傷したり、打ち抜きによる滓が生じたりす
るからであり、また後者にあっては、未剥離の部分や過
度の剥離部分が発生するからである。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、電極
テープの着脱によってリードの電気めっき処理および半
導体素子の試験を簡単かつ確実に行うことができるキャ
リアテープを提供するものである。
テープの着脱によってリードの電気めっき処理および半
導体素子の試験を簡単かつ確実に行うことができるキャ
リアテープを提供するものである。
本発明に係るキャリアテープは、テープ基材の面上にリ
ードに接続するリード引き出し用の導電線を形成すると
共に、これら導電線に接続する電極テープを着脱自在に
取り付けたものである。
ードに接続するリード引き出し用の導電線を形成すると
共に、これら導電線に接続する電極テープを着脱自在に
取り付けたものである。
本発明においては、テープ基材に対し各リードに電気め
っき処理を施すに際して電極テープを取り付け、半導体
素子を試験する際して電極テープを取り外す。
っき処理を施すに際して電極テープを取り付け、半導体
素子を試験する際して電極テープを取り外す。
以下、本発明の構成等を図に示す実施例によって詳細に
説明する。
説明する。
第1図および第2図は本発明に係るキャリアテープに対
する電極テープの取付後と取付前の状態を示す平面図で
、同図において第3図および第4図と同一の部材につい
ては同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。同図に
おいて、符号31で示すものは前記リード5のテストパ
ッド8に接続するリード引き出し用の導電線で、前記テ
ープ基材1の面上に多数形成されており、先端部が前記
スプロケットホール9の近傍に位置付けられている。
する電極テープの取付後と取付前の状態を示す平面図で
、同図において第3図および第4図と同一の部材につい
ては同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。同図に
おいて、符号31で示すものは前記リード5のテストパ
ッド8に接続するリード引き出し用の導電線で、前記テ
ープ基材1の面上に多数形成されており、先端部が前記
スプロケットホール9の近傍に位置付けられている。
32はこれら導電線31に接続する電極テープで、全体
が導電性材料からなり、前記テープ基材1の面上に着脱
自在に取り付けられている。
が導電性材料からなり、前記テープ基材1の面上に着脱
自在に取り付けられている。
このように構成されたキャリアテープにおいては、リー
ド5に電気めっき処理を施す場合にテープ基材1に電極
テープ32を取り付け、この電極テープ32に外部から
電位を付与することにより行われる。
ド5に電気めっき処理を施す場合にテープ基材1に電極
テープ32を取り付け、この電極テープ32に外部から
電位を付与することにより行われる。
一方、半導体素子2の特性を試験(良否試験)する場合
には、各リード5が互いに電気絶縁している必要かある
ことから、テープ基材1から電極テープ32を取り外す
ことにより行う。
には、各リード5が互いに電気絶縁している必要かある
ことから、テープ基材1から電極テープ32を取り外す
ことにより行う。
すなわち、テープ基材1に対し各リード5に電気めっき
処理を施すに際して電極テープ32を取り付け、半導体
素子2を試験する際して電極テープ32を取り外すので
ある。
処理を施すに際して電極テープ32を取り付け、半導体
素子2を試験する際して電極テープ32を取り外すので
ある。
ここで、電極テープ32をテープ基材1から離脱させる
時は、リード5に対する電気めっき処理の直後であって
も、リード5に対する半導体素子2の接続後の試験直前
であってもよい。
時は、リード5に対する電気めっき処理の直後であって
も、リード5に対する半導体素子2の接続後の試験直前
であってもよい。
なお、本実施例においては、電極テープ32を電気めっ
き処理のための電極として使用する場合を示したが、本
発明はこれに限定されず、半導体素子2とリード5の接
続後にキャリアテープを巻き取る場合にも使用すること
ができる。この場合、テープ巻き取り後に電極テープ3
2を接地しておくことにより、半導体素子2の各■10
(図示せず)に同一電位である接地電位が与えられるこ
とになるから、半導体素子2の静電破壊を防止すること
ができる。
き処理のための電極として使用する場合を示したが、本
発明はこれに限定されず、半導体素子2とリード5の接
続後にキャリアテープを巻き取る場合にも使用すること
ができる。この場合、テープ巻き取り後に電極テープ3
2を接地しておくことにより、半導体素子2の各■10
(図示せず)に同一電位である接地電位が与えられるこ
とになるから、半導体素子2の静電破壊を防止すること
ができる。
以上説明したように本発明によれば、テープ基材の面上
にリードに接続するリード引き出し用の導電線を形成す
ると共に、これら導電線に接続する電極テープを着脱自
在に取り付けたので、テープ基材に対し各リードに電気
めっき処理を施すに際して電極テープを取り付けること
ができ、また半導体素子を試験する際しては電極テープ
を取り外すことができ、テープ基材に対して電極テープ
を着脱することにより半導体素子の試験とリードの電気
めっき処理を簡単かつ確実に行うことができる。
にリードに接続するリード引き出し用の導電線を形成す
ると共に、これら導電線に接続する電極テープを着脱自
在に取り付けたので、テープ基材に対し各リードに電気
めっき処理を施すに際して電極テープを取り付けること
ができ、また半導体素子を試験する際しては電極テープ
を取り外すことができ、テープ基材に対して電極テープ
を着脱することにより半導体素子の試験とリードの電気
めっき処理を簡単かつ確実に行うことができる。
第1図および第2図は本発明に係るキャリアテープに対
する電極テープの取付後と取付前の状態を示す平面図、
第3図および第4図は従来のキャリアテープを示す平面
図である。 1・・・・テープ基材、2・・・・半導体素子、3・・
・・センターデバイス孔、5・・・・リード、6・・・
・インナーリード、7・・・・アウターリード、8・
・ ・・テストパッド、31・導電線、32・・・・電
極テープ。 第1図 代 理 人 大岩増雄 1 : テープ茎材 7 : アウターリード 5: リード 6: インナーリード 32 : 電不シデーフ 出2.淡 ;蔓3図
する電極テープの取付後と取付前の状態を示す平面図、
第3図および第4図は従来のキャリアテープを示す平面
図である。 1・・・・テープ基材、2・・・・半導体素子、3・・
・・センターデバイス孔、5・・・・リード、6・・・
・インナーリード、7・・・・アウターリード、8・
・ ・・テストパッド、31・導電線、32・・・・電
極テープ。 第1図 代 理 人 大岩増雄 1 : テープ茎材 7 : アウターリード 5: リード 6: インナーリード 32 : 電不シデーフ 出2.淡 ;蔓3図
Claims (1)
- 半導体素子の一部が臨むその内部に多数のセンターデバ
イス孔を有する帯状のテープ基材と、このテープ基材の
面上に形成され前記センターデバイス孔内の半導体素子
に接続するリードとを備えたキャリアテープにおいて、
前記テープ基材の面上に前記リードに接続するリード引
き出し用の導電線を形成すると共に、これら導電線に接
続する電極テープを着脱自在に取り付けたことを特徴と
するキャリアテープ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28443388A JPH02129941A (ja) | 1988-11-09 | 1988-11-09 | キヤリアテープ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28443388A JPH02129941A (ja) | 1988-11-09 | 1988-11-09 | キヤリアテープ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02129941A true JPH02129941A (ja) | 1990-05-18 |
Family
ID=17678489
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28443388A Pending JPH02129941A (ja) | 1988-11-09 | 1988-11-09 | キヤリアテープ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02129941A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0468275A2 (de) * | 1990-07-23 | 1992-01-29 | Siemens Nixdorf Informationssysteme Aktiengesellschaft | Filmträger zur bandautomatischen Verdrahtung |
US5517036A (en) * | 1992-10-30 | 1996-05-14 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Tape carrier, and test apparatus for the same |
JPH09283572A (ja) * | 1996-04-17 | 1997-10-31 | Nec Corp | フィルム・キャリア半導体装置 |
-
1988
- 1988-11-09 JP JP28443388A patent/JPH02129941A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0468275A2 (de) * | 1990-07-23 | 1992-01-29 | Siemens Nixdorf Informationssysteme Aktiengesellschaft | Filmträger zur bandautomatischen Verdrahtung |
US5517036A (en) * | 1992-10-30 | 1996-05-14 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Tape carrier, and test apparatus for the same |
US5578919A (en) * | 1992-10-30 | 1996-11-26 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method of testing semiconductor device and test apparatus for the same |
JPH09283572A (ja) * | 1996-04-17 | 1997-10-31 | Nec Corp | フィルム・キャリア半導体装置 |
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