JPH02108256A - Magneto-optical recording medium - Google Patents
Magneto-optical recording mediumInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明は、光磁気記録媒体に関し、さらに詳しくは優れ
た耐酸化性を有するとともに優れたＣ／Ｎ比を有するよ
うな光磁気記録媒体に関する。TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a magneto-optical recording medium, and more particularly to a magneto-optical recording medium that has excellent oxidation resistance and an excellent C/N ratio.
発明の技術的背景ならびにその問題点
鉄、コバルトなどの遷移金属と、テルビウム（Ｔ ｂ）
、ガドリニウム（Ｇｄ）などの希土類元素との合金から
なる非晶質薄膜は、膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有
し、一方向に全面磁化された膜面にこの全面磁化方向と
は逆向きの小さな反転磁区を形成することができること
が知られている。Technical background of the invention and its problems Transition metals such as iron and cobalt and terbium (T b)
, an amorphous thin film made of an alloy with a rare earth element such as gadolinium (Gd) has an axis of easy magnetization in a direction perpendicular to the film surface, and the film surface is entirely magnetized in one direction. It is known that small inverted magnetic domains with opposite directions can be formed.
この反転磁区の有無を「１」、「０」に対応させること
によって、上記のような非晶質薄膜にデジタル信号を記
録させることが可能となる。By associating the presence or absence of this inverted magnetic domain with "1" and "0", it becomes possible to record digital signals on the amorphous thin film as described above.
このような光磁気記録媒体として用いられる遷移金属と
希土類元素とからなる非晶質薄膜とじては、たとえば特
公昭５７−２０６９１号公報に１５〜３０原子％のＴｂ
を含むＴｂ−Ｆｅ系合金非晶質薄膜が開示されている。For example, Japanese Patent Publication No. 57-20691 discloses an amorphous thin film made of a transition metal and a rare earth element used as such a magneto-optical recording medium.
A Tb-Fe based alloy amorphous thin film containing the following is disclosed.
またＴｂ−Ｆｅに第３の金属を添加してなる合金非晶質
薄膜も光磁気記録媒体として用いられている。さらにＴ
ｂ−Ｃｏ系、Ｔ ｂ−Ｆ ｅ−Ｃｏ系などの光磁気記録
媒体も知られている。Also, an alloy amorphous thin film made by adding a third metal to Tb-Fe is also used as a magneto-optical recording medium. Further T
Magneto-optical recording media such as b-Co and Tb-Fe-Co are also known.
これらの合金非晶質薄膜からなる光磁気記録媒体は、優
れた記録再生特性を有しているが、使用時にこの非晶質
薄膜は酸化を受けてその特性が経時的に変化してしまう
という実用上の大きな問題点があった。Magneto-optical recording media made of these alloy amorphous thin films have excellent recording and reproducing properties, but during use, these amorphous thin films undergo oxidation and their properties change over time. There were major practical problems.
このような遷移金属と希土類元素とを含む合金非晶質薄
膜からなる光磁気記録媒体の酸化劣化のメカニズムは、
たとえば日本応用磁気学会誌第９巻、Ｎｏ、２、第９３
〜９６頁で検討されており、以下のような３つのタイプ
があることが報告されている。The mechanism of oxidative deterioration of magneto-optical recording media made of alloyed amorphous thin films containing transition metals and rare earth elements is as follows.
For example, Journal of the Japan Society of Applied Magnetics, Vol. 9, No. 2, No. 93.
It has been discussed on pages 96 to 96, and it has been reported that there are three types as shown below.
イ）孔食
孔食とは合金非晶質薄膜にピンホールが発生することを
意味するが、この腐食は、主として高湿雰囲気下で進行
し、たとえばＴｂ−Ｆｅ系、ＴＩ）−Ｃｏ系などで著し
く進行する。b) Pitting corrosion Pitting corrosion refers to the formation of pinholes in the amorphous thin film of the alloy, but this corrosion mainly progresses in a high humidity atmosphere, such as Tb-Fe system, TI)-Co system, etc. progresses significantly.
口）表面酸化
合金非晶質薄膜に表面酸化層が形成され、カー回転角θ
ｋが経時的に変化し、ついにはカー回転角θｋが減少し
てしまう。) A surface oxidation layer is formed on the amorphous thin film of the surface oxidation alloy, and the Kerr rotation angle θ
k changes over time, and the Kerr rotation angle θk eventually decreases.
ハ）希土類金属の選択酸化
合金非晶質薄膜中の希土類金属が選択的に酸化され、保
磁力Ｈｃが経時的に大きく変化してしまう。c) Selective oxidation of rare earth metal The rare earth metal in the alloy amorphous thin film is selectively oxidized, and the coercive force Hc changes significantly over time.
上記のような合金非晶質薄膜の酸化劣化を防止するため
、従来、種々の方法が試みられている。In order to prevent the oxidative deterioration of alloy amorphous thin films as described above, various methods have been tried in the past.
たとえば、合金非晶質薄膜を、ＳＩ３Ｎ４、ＳＩＯ，Ｓ
ＩＯ、ＡｇＮなどの酸化防止保護膜でサンドイッチした
ような３層構造にする方法が検討されている。ところが
この酸化防止保護膜は高価であるとともに形成するのに
手間がかかり、またこの保護膜を形成しても必ずしも合
金非晶質薄膜の酸化劣化を充分には防止することができ
ないという問題点があった。For example, alloy amorphous thin films are made of SI3N4, SIO,S
A method of creating a three-layer structure sandwiched between oxidation-preventing protective films such as IO and AgN is being considered. However, this oxidation-preventing protective film is expensive and time-consuming to form, and even if this protective film is formed, it is not always possible to sufficiently prevent oxidative deterioration of the amorphous alloy thin film. there were.
また、Ｔｂ−Ｆｅ系、Ｔｂ−Ｃｏ系などの合金非晶質薄
膜中に、この薄膜の耐酸化性を向上させるために、第３
の金属を添加する方法が種々試みられている。In addition, in order to improve the oxidation resistance of the thin film, a third layer is added to the amorphous thin film of alloys such as Tb-Fe and Tb-Co.
Various methods of adding metals have been attempted.
たとえば上述した日本応用磁気学会誌では、Ｔｂ−Ｆｅ
あるいはＴｂ−Ｃｏに、Ｃｏ５ＮＩ Ｐｔ。For example, in the journal of the Japanese Society of Applied Magnetics mentioned above, Tb-Fe
Or Tb-Co, Co5NI Pt.
Ａｇ５Ｃｒ、ＴＩなどの第３金属を３．５原子％までの
量で添加することによって、Ｔｂ−Ｆｅ系あるいはＴｂ
−Ｃｏ系の合金非晶質薄膜の耐酸化性を向上させる試み
がなされている。モしてＴ ｂ−Ｆ ｅあるいはＴｂ−
ＣｏにＣｏＸＮｒ 、ＰＬを少量添加した場合には、表
面酸化の防止および孔食の防止には有効であるが、この
合金非晶質薄膜中の希土類金属であるＴｂの選択酸化の
防止には効果がないと報告されている。このことは、Ｔ
ｂ−ＦｅあるいはＴｂ−Ｃｏに少量のＣｏ、Ｎｉ Ｐ
ｔを添加した場合には、得られる合金非晶質薄膜では、
Ｔｂが選択酸化されてしまい、保磁力Ｈｅが経時的に大
きく変化してしまうことを意味している。したかってＴ
ｂ−ＦｅあるいはＴｂ−Ｃｏに３．５原子％までの少量
のＣｏ、ＮＩ Ｐｔを添加しても、得られる合金非晶
質薄膜の耐酸化性は充分には改心されていない。By adding a third metal such as Ag5Cr or TI in an amount up to 3.5 at%, Tb-Fe system or Tb
Attempts have been made to improve the oxidation resistance of -Co alloy amorphous thin films. Tb-Fe or Tb-
When a small amount of CoXNr or PL is added to Co, it is effective in preventing surface oxidation and pitting corrosion, but it is not effective in preventing selective oxidation of Tb, a rare earth metal, in the amorphous thin film of this alloy. It is reported that there is no. This means that T
b-Fe or Tb-Co with a small amount of Co, NiP
When t is added, in the resulting alloy amorphous thin film,
This means that Tb is selectively oxidized and the coercive force He changes greatly over time. I want to T
Even when a small amount of Co, NI Pt, up to 3.5 atomic % is added to b-Fe or Tb-Co, the oxidation resistance of the resulting alloy amorphous thin film is not sufficiently improved.
また第９回日本応用磁気学会学術講演概要集（Ｉ９８５
年１１月）の第２０９頁には、やはり合金非晶質薄膜の
耐酸化性を向上させる１」的で、Ｔｂ−ＦｅあるいはＴ
ｂ−Ｆ ｅ−Ｃｏに、ＰＬＸＡΩ、Ｃｒ 、ＴＩを１
０原子％までのｍで添加してなる合金非晶質薄膜が教示
されている。ところがＴｂ−ＦｅあるいはＴ ｂ−Ｆ
ｅ−Ｃｏに１０原子％までの１のＰＣ，Ａｌ、Ｃｒ、Ｔ
Ｉを添加しても、表面酸化および孔食はかなり効果的に
防止できるものの、得られる合金非晶質薄膜中のＴｂの
選択酸化に対する酸化防止性は充分ではなく、やはり時
間の経過とともに保磁力Ｈｅが大きく変化し、ついには
保磁力Ｈｅが大きく低下してしまうという問題点は依然
としてあった。Also, the 9th Japanese Society of Applied Magnetics Academic Lecture Abstracts (I985
(November 2015), p. 209, also mentions that Tb-Fe or T
b-F e-Co, PLXAΩ, Cr, TI 1
Alloy amorphous thin films doped with m up to 0 atomic % are taught. However, Tb-Fe or Tb-F
e-Co with up to 10 at% of PC, Al, Cr, T
Even if I is added, surface oxidation and pitting corrosion can be prevented quite effectively, but the oxidation prevention property against the selective oxidation of Tb in the obtained amorphous alloy thin film is not sufficient, and the coercive force also decreases over time. There still remained the problem that He changed greatly and eventually the coercive force He decreased greatly.
さらにまた、特開昭５８−７８０６号公報には、ＰｔＣ
ｏなる組成を有し、ｐｔが１０〜３ｏ原子％の量で含ま
れている多結晶薄膜からなる磁気薄膜材料が開示されて
いる。Furthermore, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 58-7806, PtC
A magnetic thin film material is disclosed which comprises a polycrystalline thin film having a composition of 10 to 30 atomic percent of pt.
ところがこのＰｔ Ｃｏなる組成を有する多結晶薄膜は
、多結晶であるため、成膜後にアニール処理などの熱処
理が必要であり、また結晶間の粒界部分がノイズ信号と
して発生することがあり、さらにこの多結晶薄膜はキュ
リー点が高いという問題点があった。However, since this polycrystalline thin film with a composition of PtCo is polycrystalline, it requires heat treatment such as annealing after film formation, and the grain boundaries between crystals may generate noise signals. This polycrystalline thin film had a problem in that it had a high Curie point.
このような問題点を解決するため、本発明者らは、特願
昭６２−９４７９９号において、（ｉ）ＦｅまたはＣｏ
などの３ｄ遷移金属から選ばれる少なくとも１種と、（
ｉｉ）ＰｔまたはＰｄなどの耐腐食性金属と、（ｉｉ
）希土類から選ばれる少なくとも１種の元素とからなる
、膜面に垂直な磁化容易軸を有する非晶質合金薄膜を提
案した。In order to solve these problems, the present inventors proposed (i) Fe or Co in Japanese Patent Application No. 62-94799.
At least one kind selected from 3d transition metals such as (
ii) a corrosion-resistant metal such as Pt or Pd;
) proposed an amorphous alloy thin film having an axis of easy magnetization perpendicular to the film surface, which is composed of at least one element selected from rare earths.
この非晶質合金薄膜は、耐酸化性に優れているため、膜
厚を薄くすることができ、反りあるいは膜割れが生じに
くい光磁気記録媒体を得ることができる。Since this amorphous alloy thin film has excellent oxidation resistance, the film thickness can be reduced, and a magneto-optical recording medium that is less likely to warp or crack can be obtained.
ところで上記のような耐酸化性に優れ、膜厚を薄くする
ことができる非晶質合金薄膜からなる光磁気記録膜に、
従来から用いられているアルミニウム、銅、金などから
なる反射膜を設けた構成の光磁気記録媒体は、優れた感
度（Ｃ／Ｎ比）を有しているが、さらに優れた感度を有
する光磁気記録媒体の出現が望まれている。By the way, magneto-optical recording films made of amorphous alloy thin films that have excellent oxidation resistance and can be made thin as described above,
Conventionally used magneto-optical recording media with reflective films made of aluminum, copper, gold, etc. have excellent sensitivity (C/N ratio). The emergence of magnetic recording media is desired.
本発明者らは、上記のような点に鑑みて鋭意研究したと
ころ、光磁気記録媒体に特定の合金金属からなる反射膜
を設ければ、優れたＣ／Ｎ比を有する光磁気記録媒体が
得られることを見出して本発明を完成するに至った。In view of the above points, the present inventors conducted extensive research and found that if a magneto-optical recording medium is provided with a reflective film made of a specific metal alloy, a magneto-optical recording medium with an excellent C/N ratio can be obtained. The present invention was completed after discovering that the present invention can be obtained.
発明の目的
本発明は、上記のような点に鑑みて完成されたものであ
って、耐酸化性に優れているため光磁気記録膜を薄くす
ることが可能であって、光磁気記録媒体に反りあるいは
膜割れが生じにくく、しかも優れたＣ／Ｎ比を有し、そ
の上経時的に保磁力が変化したりあるいはカー回転角が
変化することがなく、さらに反射率も高い光磁気記録媒
体を提供することを目的としている。Purpose of the Invention The present invention has been completed in view of the above-mentioned points, and has excellent oxidation resistance, so it is possible to make the magneto-optical recording film thinner, and it is suitable for magneto-optical recording media. A magneto-optical recording medium that is less likely to warp or crack, has an excellent C/N ratio, does not change its coercive force or Kerr rotation angle over time, and has a high reflectance. is intended to provide.
発明の概要
本発明に係る光磁気記録媒体は、基板上に（Ｉ）光磁気
記録膜と（■）反射膜とが順次積層されてなる光磁気記
録媒体において、（Ｉ）光磁気記録膜は、
［Ｐｄ Ｐｔ ］ ［ＲＥ ＴＭ ］
ａ ｌ−ａ ｙ ｘ ｌ−ｘ １−
ｙ（式中、ＲＥは少なくとも５０原子％以上がＴｂおよ
び／またはＤｙであり、残部がＮｄ 、 Ｇｄ 。Summary of the Invention A magneto-optical recording medium according to the present invention is a magneto-optical recording medium in which (I) a magneto-optical recording film and (■) a reflective film are sequentially laminated on a substrate, wherein the (I) magneto-optical recording film is , [Pd Pt] [RETM]
a l-a y x l-x 1-
y (wherein, RE is at least 50 atomic % or more of Tb and/or Dy, and the remainder is Nd or Gd.
Ｃｅ ｓ Ｅ ｕ ％ Ｐ ｒ 、ＨＯ％ Ｔ ＩＩ
％ Ｓ ｍであり、ＴＭはＦＯおよび／またはＣＯであ
り、０≦ａ≦１．０．２＜Ｘ＜０．７．０．０５≦ｙ≦
０．３である）で表わされる膜面に垂直な磁化容易軸を
有する非晶質合金薄膜からなり、
（■）反射膜は、反射率が５０％以上であり、熱伝導率
が２Ｊ／ｃｍ−８ｅＣ−に以下であり、ニッケルを主成
分とし、かつシリコン、モリブデン、鉄、クロム、マン
ガン、コバルト、タングステンおよび銅からなる群から
選択される少なくとも１種を含有するニッケル系合金か
らなることを特徴としている。Ce s E u % P r , HO % T II
% S m, TM is FO and/or CO, 0≦a≦1.0.2<X<0.7.0.05≦y≦
(■) The reflective film has a reflectance of 50% or more and a thermal conductivity of 2 J/cm. -8eC- or less, and is made of a nickel-based alloy containing nickel as a main component and at least one member selected from the group consisting of silicon, molybdenum, iron, chromium, manganese, cobalt, tungsten, and copper. It is a feature.
本発明に係る光磁気記録媒体では、基板上に、特定の組
成を有する非晶質合金薄膜からなる（Ｉ）光磁気記録膜
と、反射率５０％以上１．熱伝導率２Ｊ／ｃＩＩＩ−８
ｅｃ−に以下のニッケル系合金からなる（■）反射膜と
が順次積層された構成を有しており、耐酸化性に優れて
いるため光磁気記録膜を薄くすることが可能であって、
光磁気記録媒体に反りあるいは膜割れが生じにくく、し
かも優れたＣ／Ｎ比を有し、その上優れた光磁気光学特
性を有し、経時的に保持力が変化したりあるいはカー回
転角が変化することがなく、さらに反射率も高い。The magneto-optical recording medium according to the present invention includes (I) a magneto-optical recording film made of an amorphous alloy thin film having a specific composition on a substrate, and a reflectance of 50% or more. Thermal conductivity 2J/cIII-8
It has a structure in which ec- and (■) reflective films made of the following nickel-based alloy are sequentially laminated, and because it has excellent oxidation resistance, it is possible to make the magneto-optical recording film thinner.
The magneto-optical recording medium is less prone to warping or film cracking, has an excellent C/N ratio, and has excellent magneto-optical properties, so that the holding force does not change over time or the Kerr rotation angle changes over time. It does not change and has a high reflectance.
発明の詳細な説明
以下本発明に係る光磁気記録媒体について具体的に説明
する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The magneto-optical recording medium according to the present invention will be specifically described below.
本発明に係る光磁気記録媒体１は、第１図に断面図を示
すように、透明基板などの基板２上に、光磁気記録膜３
と反射膜４とがこの順序で積層された構成を有している
。As shown in a cross-sectional view in FIG. 1, the magneto-optical recording medium 1 according to the present invention has a magneto-optical recording film 3 on a substrate 2 such as a transparent substrate.
and the reflective film 4 are laminated in this order.
また第２図に示すように基板２と光磁気記録膜３との間
に、エンハンス膜５が設けられた構造を有していてもよ
い。Further, as shown in FIG. 2, it may have a structure in which an enhancement film 5 is provided between the substrate 2 and the magneto-optical recording film 3.
基板２は、透明基板であることが好ましく、具体的には
ガラスやアルミニウム等の無機材料の他に、ポリメチル
メタクリレート、ポリカーボネート、ポリカーボネート
とポリスチレンのポリマーアロイ、米国特許第４６１４
７７８号明細書に示されるような非晶質ポリオレフィン
、ポリ４−メチル−１−ペンテン、エポキシ樹脂、ポリ
エーテルサルホフォン、ポリサルフオン、ポリエーテル
イミド、エチレン・テトラシクロドデセン共用合体等の
有機材料の使用できる。The substrate 2 is preferably a transparent substrate, and specifically, in addition to inorganic materials such as glass and aluminum, polymethyl methacrylate, polycarbonate, a polymer alloy of polycarbonate and polystyrene, and US Pat. No. 4614
Organic materials such as amorphous polyolefins, poly4-methyl-1-pentene, epoxy resins, polyethersulfophones, polysulfones, polyetherimides, and ethylene/tetracyclododecene combinations as shown in No. 778 Can be used.
本発明で用いられる膜面に垂直な磁化容易軸を有する光
磁気記録膜３は、
［Ｐｄ Ｐｔ ］ ［ＲＥ ＴＭ ］
ａ ｔ−ａ Ｙ Ｘ ｌ−ｘ ｔ−
ｙ・・・［１］
（式中、ＲＥは少なくとも５０原子％以上がＴｂおよび
／またはＤｙであり、残部がＮｄ ＳＧｄ 。The magneto-optical recording film 3 having an axis of easy magnetization perpendicular to the film surface used in the present invention is [Pd Pt ] [RE TM ]
a ta-a Y X l-x t-
y...[1] (In the formula, at least 50 atomic % or more of RE is Tb and/or Dy, and the remainder is Nd SGd .
Ｃｅ、Ｅｕ、Ｐｒ、Ｈｏ５５ｍであり、ＴＭはＦｅおよ
び／またはＣｏであり、Ｏ≦ａ≦１．０．２＜Ｘ＜０．
７．０．０５≦ｙ≦０．３である）で表わされる。Ce, Eu, Pr, Ho55m, TM is Fe and/or Co, O≦a≦1.0.2<X<0.
7.0.05≦y≦0.3).
さらに本発明で用いられる特に好ましい膜面に垂直な磁
化容易軸を有する光磁気記録膜は、上記式において０．
２５＜ｘ＜０．６であり、ＲＥの少なくとも８０原子％
以上好ましくは９０原子％以上がＴｂであり、残部がＤ
ｙ ＳＮｄ 、Ｇｄ 。Furthermore, a particularly preferable magneto-optical recording film used in the present invention having an axis of easy magnetization perpendicular to the film surface is 0.
25<x<0.6 and at least 80 atom % of RE
Preferably, 90 atomic % or more is Tb, and the remainder is D.
ySNd, Gd.
Ｃｅ、Ｅｕ、Ｐｒ５ＨｏまたはＳ＋＋＋である光磁気記
録膜である。The magneto-optical recording film is made of Ce, Eu, Pr5Ho or S+++.
次にこのような好ましい光磁気記録膜について具体的に
説明する。Next, such a preferable magneto-optical recording film will be specifically explained.
（ｉ）上記式においてＴＭは、ＦｅまたはＣｏあるいは
この両者である。このようなＴＭは、光磁気記録膜を上
記式［１］で表わした場合に、１−Ｘ（ただし０．２＜
Ｘ＜０．７、好ましくは０．２５＜ｘ＜０．６である）
で示されるような量で存在している。(i) In the above formula, TM is Fe or Co or both. Such a TM is 1-X (however, 0.2<
x<0.7, preferably 0.25<x<0.6)
It is present in the amount shown.
ＴＭとしては、ＦｅとＣｏとがともに存在していること
が好ましく、とくにこのＴＭとしては、Ｆｅが９０〜３
５原子％の量で、そしてＣｏが１０〜６５原子％の量で
存在していることが好ましい。It is preferable that both Fe and Co exist in the TM, and especially in this TM, Fe is 90 to 3
Preferably Co is present in an amount of 5 atom % and Co in an amount of 10 to 65 atom %.
なおＴＭとして、５原子％以下好ましくは３原子％以下
のＮｌを含んでいてもよい。Note that TM may contain Nl in an amount of 5 atomic % or less, preferably 3 atomic % or less.
（ｉ）本発明で用いられる光磁気記録膜は、Ｐｄあるい
はＰｄとｐｔとの両者を含んでいる。(i) The magneto-optical recording film used in the present invention contains Pd or both Pd and pt.
Ｐｄ、あるいはＰｄとｐｔとの両者は、光磁気記録膜中
に５原子９６以上で３０原子％以下好ましくは１０原子
％を超えて２５原子％以下の量で存在している。Pd or both Pd and pt are present in the magneto-optical recording film in an amount of 96 or more 5 atoms and 30 atomic % or less, preferably more than 10 atomic % and 25 atomic % or less.
またＰｄとｐｔとは、これらの含有割合をＰｄ ＰＩ
て表わした場合に、０≦ａ≦１でａ Ｉ−ａ
ある。Ｐｄの含有割合が０くａ≦１、特に０．２くａ≦
１であると、経済性に優れた光磁気記録膜が得られる。In addition, Pd and pt refer to their content ratio as Pd PI
When expressed as , 0≦a≦1 and a I−a. The content ratio of Pd is 0 and a≦1, especially 0.2 and a≦
When it is 1, a magneto-optical recording film with excellent economical efficiency can be obtained.
このＰｄあるいはＰｄとｐｔとの両者の含有量が５原子
％以上て３０原子％以下の範囲、特に１０原子％を超え
、３０原子％以下の範囲にあると得られる非晶質合金薄
膜の耐酸化性が優れ、あるいは経時的に保磁力Ｈｅが大
きく変化せず、また小さなバイアス磁界で充分高いＣ／
Ｎ比が得られるという利点がある。The acid resistance of the amorphous alloy thin film obtained when the content of Pd or both Pd and pt is in the range of 5 at % or more and 30 at % or less, particularly exceeding 10 at % and 30 at % or less. The coercive force He does not change significantly over time, and even a small bias magnetic field provides a sufficiently high C/
There is an advantage that a high N ratio can be obtained.
（ｉｉ ）本発明で用いられる光磁気記録膜は、上記（
ｉ）および（ｉ）に加えて、少なくとも１種の希土類元
素（ＲＥ）を含んで構成されている。(ii) The magneto-optical recording film used in the present invention is the above (
In addition to i) and (i), it is configured to contain at least one rare earth element (RE).
このＲＥとしては、その５０原子９６以上がＴｂおよび
／またはＤｙであり、残部がＮｄ ＳＧｄ 。In this RE, 96 or more of its 50 atoms are Tb and/or Dy, and the remainder is Nd SGd.
Ｃｅ ｓ Ｅ Ｕ ％ Ｐ ｒ ％ ＨｏまたはＳｍで
ある。好ましくはＲＥの８０原子％以上がＴｂであり、
残部がＤｙ、Ｎｄ、Ｇｄ、Ｃｅ、Ｅｕ、Ｐｒ、Ｈｏまた
はＳｍである。さらに好ましくは、ＲＥの９０原子％以
上特に好ましくは９５原子％以上がＴｂであり、残部が
Ｄｙ％ Ｎｄ、Ｇｄｓ Ｃｅｓ Ｅｕ。Ces EU % P r % Ho or Sm. Preferably, 80 atomic % or more of RE is Tb,
The remainder is Dy, Nd, Gd, Ce, Eu, Pr, Ho, or Sm. More preferably, 90 atomic % or more, particularly preferably 95 atomic % or more of RE is Tb, and the remainder is Dy% Nd, Gds Ces Eu.
Ｐｒ、ＨｏまたはＳｍである。Pr, Ho or Sm.
上記のような希土類元素ＲＥは、光磁気記録膜を上記式
［Ｉ］で表わした場合に、０．２＜ｘ＜０．７好ましく
は０．２５＜ｘ≦０，６０であるような量で存在してい
る。The above rare earth element RE is used in an amount such that 0.2<x<0.7, preferably 0.25<x≦0,60 when the magneto-optical recording film is represented by the above formula [I]. It exists in
そして膜厚は１００〜６００人好ましくは１００〜４０
０人程度である程度た、Ｘ値は０．２＜ｘ＜０．７の範
囲にあり、そして良好な角形ループを示し、保磁力がＩ
ＫＯｅ以上となるために、好ましくは０．２５よりも大
きいことが望ましく、また０、６未満であることが望ま
しい。And the film thickness is 100 to 600, preferably 100 to 40.
The X value was in the range of 0.2<x<0.7, showing a good square loop, and the coercive force was I
In order to achieve KOe or more, it is preferably greater than 0.25, and preferably less than 0.6.
上記のような組成を有する光磁気記録膜は、膜面に垂直
な磁化容易軸を有し、多くはカー・ヒステリシスが良好
な角形ループを示す垂直磁気および光磁気記録可能な光
磁気記録膜となることが広角Ｘ線回折などにより確かめ
られる。A magneto-optical recording film having the above composition has an axis of easy magnetization perpendicular to the film surface, and most exhibit a rectangular loop with good Kerr hysteresis and are capable of perpendicular magnetic and magneto-optical recording. This can be confirmed by wide-angle X-ray diffraction.
ここでＸ≦０．２またはＸ≧０．７であると、カーヒス
テリシスが良好な角形ループを示さなくなる傾向がある
。Here, if X≦0.2 or X≧0.7, Kerr hysteresis tends not to show a good square loop.
なお本明細書において、カーヒステリシスが良好な角形
ループを示すとは、最大外部磁場におけるカー回転角で
ある飽和カー回転角（θに１）と外部磁場ゼロにおける
カー回転角である残留カー回転角（θｋ ）との比θに
２／θに１が０．８以上であることを意味している。In this specification, a rectangular loop with good Kerr hysteresis refers to the saturated Kerr rotation angle (1 for θ), which is the Kerr rotation angle at the maximum external magnetic field, and the residual Kerr rotation angle, which is the Kerr rotation angle at zero external magnetic field. (θk) means that the ratio θ to 2/θ to 1 is 0.8 or more.
また上記のような本発明で用いられる光磁気配ヲ
録膜は、優れた耐酸化性を有し、第ヰ図に示すようにＰ
ｄ ｌｏＰ Ｌ ｔｏＴ ｂ ａ５Ｆ ｅ ２５ＣＯ
２０なる組成を有する光磁気記録膜は、たとえば８５℃
、相対湿度８５％の環境下に２４０時間以上保持しても
、その保磁力はほとんど変化しない。これに対して、Ｐ
ｄあるいはＰｄとｐｔとの両者を含まないＴｂ Ｃｏ
あるいはＴ ｂ ２５ Ｆ ｅ ｅｅ ＣＯ９なる
組成を有する光磁気記録膜は、８５℃、相対湿度８５％
の環境下に保持すると、その保磁力は経時的に大きく変
化してしまう。さらにこの環境試験を１０００時間続け
ても、ＰｄあるいはＰｄとＰ【との両者を含有する系は
やはりその保磁力がほとんど変化しない。これらのこと
より、ＰｄあるいはＰｄとｐｔとの両者を含む系は、希
土類の選択酸化を抑制することがわかる。Furthermore, the magneto-optical recording film used in the present invention as described above has excellent oxidation resistance, and as shown in Fig.
d loP L toT b a5F e 25CO
For example, a magneto-optical recording film having a composition of 20 is heated at 85°C.
Even if it is kept in an environment with a relative humidity of 85% for more than 240 hours, its coercive force hardly changes. On the other hand, P
Tb Co that does not contain d or both Pd and pt
Alternatively, a magneto-optical recording film having a composition of T b 25 F e ee CO9 is heated at 85°C and a relative humidity of 85%.
If it is kept under such an environment, its coercive force will change significantly over time. Furthermore, even if this environmental test is continued for 1000 hours, the coercive force of the system containing Pd or both Pd and P remains almost unchanged. These results indicate that a system containing Pd or both Pd and pt suppresses selective oxidation of rare earth elements.
また、環境試験後におけるθにの変化も小さいことから
表面酸化が防止されていること、ならびに、顕微鏡によ
る膜表面の観察から孔食の発生も抑制されていることが
わかる。Furthermore, the change in θ after the environmental test was small, indicating that surface oxidation was prevented, and observation of the film surface using a microscope revealed that pitting corrosion was also suppressed.
また、Ｐ ｄ １２Ｐ ｌ ｅ Ｔｂ ３４Ｆ ｅ ２
７ＣＯ２１１Ｐ ｄ ５Ｐ Ｌ ｔ５Ｔｂ ｓ６Ｆ ｅ
２５ＣＯ１９などの組成を有する光磁気記録膜も同様
に優れた耐酸化性を有し、その保磁力はほとんど変化し
ない。Also, P d 12P le Tb 34F e 2
7CO211P d 5P L t5Tb s6F e
A magneto-optical recording film having a composition such as 25CO19 also has excellent oxidation resistance, and its coercive force hardly changes.
このように本発明で用いられる光磁気記録膜は、耐酸化
性に著しく優れており、したがってこの光磁気記録膜を
使用する際に、必ずしも酸化防止保護膜を光磁気配°録
膜上に設ける必要はないという優れた特性を有している
。As described above, the magneto-optical recording film used in the present invention has extremely high oxidation resistance. Therefore, when using this magneto-optical recording film, it is not necessary to provide an oxidation-preventing protective film on the magneto-optical recording film. It has an excellent property that it is not necessary.
本発明で用いられる光磁気記録膜では、その他に種々の
元素を添加して、キュリー温度や補償温度あるいはＨｅ
やθにの改善あるいは低コスト化を計ってもよい。これ
らの元素は、希土類元素に対してたとえば５０原子％未
満の割合で置換可能である。In the magneto-optical recording film used in the present invention, various other elements are added to adjust the Curie temperature, compensation temperature, or He
It is also possible to improve the value of θ or θ or to reduce the cost. These elements can be substituted, for example, at a rate of less than 50 atomic % with respect to the rare earth element.
併用できる他の元素の例としては、
（Ｉ＞ Ｆｅ 、Ｃｏ以外の３ｄ遷移元素具体的には、
Ｓｃ、Ｔｉ Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ。Examples of other elements that can be used in combination include (I> Fe, 3d transition elements other than Co, specifically,
Sc, TiV, Cr, Mn.
Ｎｌ、Ｃｕ、Ｚｎが用いられる。Nl, Cu, and Zn are used.
これらのうち、ＴＩ 、Ｎｌ 、Ｃｕ 、Ｚｎなどが好
ましく用いられる。Among these, TI, Nl, Cu, Zn, etc. are preferably used.
（ＩＩ）４ｄ遷移元素
具体的には、Ｙ ＳＺ ｒ 、Ｎ ｂ １Ｍ ｏ ｓ
Ｔ ｃ ｓＲｕＳＲｈＳＡｇＳＣｄが用いられる。(II) 4d transition elements, specifically Y SZ r , N b 1M o s
T c sRuSRhSAgSCd is used.
このうちＺ「、Ｎｂが好ましく用いられる。Among these, Z'' and Nb are preferably used.
（ＩＩＩ） ＰＬ以外の５ｄ遷移元素
具体的には、ＨＩ’ ＳＴ ａ ｓ Ｗ −Ｒｅ ｓ
Ｏｓ 。(III) 5d transition elements other than PL Specifically, HI' ST a s W -Re s
Os.
Ｉｒ、Ａｕ、Ｈｇが用いられる。Ir, Au, and Hg are used.
このうちＴａが好ましく用いられる。Among these, Ta is preferably used.
（ＩＶ）ｍＢ族元素
具体的には、Ｂ、Ａｌ、Ｇａ、Ｉｎ、ＴＩが用いられる
。(IV) mB group element Specifically, B, Al, Ga, In, and TI are used.
このうちＢ、Ａｌｐ 、Ｇａが好ましく用いられる。Among these, B, Alp, and Ga are preferably used.
（Ｖ）ＩＶＢＶＢ族
元素的には、Ｃ，ＳＩ Ｇｅ５Ｓｎ、Ｐｂが用いられ
る。(V) As the IVBVB group element, C, SI Ge5Sn, and Pb are used.
このうち、Ｓｔ Ｇｅ５Ｓｎ、Ｐｂが好ましく用い
られる。Among these, St Ge5Sn and Pb are preferably used.
（Ｖｉ）ＶＢ族元素 具体的には、Ｎ５ＰＳＡｓ、５ｂＳＢｌが用いられる。(Vi) VB group element Specifically, N5PSAs and 5bSBl are used.
このうちｓｂが好ましく用いられる。Among these, sb is preferably used.
（■）ＶＩＢ族元素 具体的には、Ｓ、５ｅＳＴθ、ＰＯが用いられる。(■) VIB group elements Specifically, S, 5eSTθ, and PO are used.
このうちＴｅが好ましく用いられる。Among these, Te is preferably used.
本発明に係る光磁気記録媒体１では、上記のような光磁
気記録膜３上に、反射膜４が設けられている。In the magneto-optical recording medium 1 according to the present invention, a reflective film 4 is provided on the magneto-optical recording film 3 as described above.
この反射膜４は、反射率が５０％以上好ましくは７０％
以上であり、熱伝導率が２Ｊ／ｃｌＩＩ−８ｅＣ・Ｋ以
下好ましくは１３７ｃｍ−８ｅＣ−に以下であるニッケ
ル系合金から構成されている。This reflective film 4 has a reflectance of 50% or more, preferably 70%.
It is made of a nickel-based alloy having a thermal conductivity of 2 J/clII-8eC-K or less, preferably 137 cm-8eC- or less.
このニッケル系合金からなる反射膜４の反射率が５０％
以上であると、反射膜としてのＣ／Ｎ向上効果があるの
で好ましい。また熱伝導率が２Ｊ／ｃｎＩ−８ｅＣ−に
以下であると記録パワーが大きくなりすぎることがない
ため好ましい。The reflectance of the reflective film 4 made of this nickel-based alloy is 50%.
The above is preferable because it has the effect of improving C/N as a reflective film. Further, it is preferable that the thermal conductivity is 2 J/cnI-8eC- or less because the recording power will not become too large.
本発明で反射膜を構成するニッケル系合金は、ニッケル
を主成分とし、かつシリコン、モリブデン、鉄、クロム
および銅からなる群から選択される少なくとも１種を含
有している。このようなニッケル系合金ては、ニッケル
は３０〜９つ原子％好ましくは５０〜９０原子％の量で
存在している。The nickel-based alloy constituting the reflective film in the present invention has nickel as its main component and contains at least one member selected from the group consisting of silicon, molybdenum, iron, chromium, and copper. In such nickel-based alloys, nickel is present in an amount of 30 to 9 atomic percent, preferably 50 to 90 atomic percent.
上記のような反射膜を構成するニッケル合金としては、
具体的には下記のような合金を用いることができる。The nickel alloy that makes up the above reflective film is as follows:
Specifically, the following alloys can be used.
Ｎ ｌ−８Ｉ系合金（８５原子％Ｎｌ、１０原子％Ｓｌ
３原子％Ｃｕ、２原子％Ａｇ）Ｎ ｉ−Ｃｕ系合金
（６３原子％Ｎｌ、２９〜３０原子％Ｃｕ、０．９〜２
原子％Ｆｅ、０．１〜４原子％Ｓｔ、Ｏ〜２．７５原子
％Ａ［）Ｎ Ｉ−Ｍｏ−Ｆ ｅ系合金（６０〜６５原子
％Ｎｉ２５〜３５原子％Ｍｏ、５原子％Ｆｅ）Ｎ ｌ−
Ｍ ｏ−Ｆ ｅ−Ｃｒ系合金（５５〜６０原子％Ｎ１１
５〜２０原子％Ｍｏ、６原子９６Ｆ ｅ ％１２〜１６
原子％Ｃ「、５原子％Ｗ）
Ｎ ｌ−Ｍ ｏ−Ｆ ｅ−Ｃｒ−Ｃｕ系合金（６０原子
％Ｎ１５原子％Ｍｏ、８原子％Ｆｅ、２１原子％Ｃｒ。Nl-8I alloy (85 atomic% Nl, 10 atomic% Sl
3 at.% Cu, 2 at.% Ag) Ni-Cu alloy (63 at.% Nl, 29-30 at.% Cu, 0.9-2
atomic% Fe, 0.1 to 4 atomic% St, O to 2.75 atomic% A[)N I-Mo-Fe alloy (60 to 65 atomic% Ni, 25 to 35 atomic% Mo, 5 atomic% Fe) Nl-
Mo-Fe-Cr alloy (55-60 atomic% N11
5-20 atomic% Mo, 6 atoms 96Fe %12-16
atomic % C'', 5 atomic % W) N l-Mo-Fe-Cr-Cu alloy (60 atomic % N 15 atomic % Mo, 8 atomic % Fe, 21 atomic % Cr.
３原子％Ｃｕ ｓ １原子％Ｓｔ １原子％Ｍｎ。3 atomic% Cu, 1 atomic% St, 1 atomic% Mn.
１原子％Ｗ１あるいは４４〜４７原子％Ｎ１５．５〜７
．５原子９６ Ｍｏ 、２１〜２３原子％Ｃｒ、０．１
５原子％ＣＬｌ ％ １原子％Ｓｉ ］ 〜２原子％
Ｍｎ、２．５原子％Ｃｏ、１原子％Ｗ１１．７〜２．５
原子％Ｎｂ、残部Ｆｅ）Ｎ Ｉ−Ｃｒ−Ｃｕ−Ｍ ｏ系
合金（５６〜５７原子％Ｎｉ２３〜２４原子％Ｃ「、８
原子９６Ｃｕ、４原子％Ｍｏ、２原子％Ｗ、１原子％Ｓ
ｔまたはＭｎ）
Ｎ Ｌ−Ｃｒ−Ｆ ｅ系合金（７９，５原子％Ｎ１１３
原子％Ｃｕ、６．５原子％Ｆｅ、０．２原子９６Ｃｕ
、あるいは３０〜３４原子％Ｎ１１９〜２２原子％Ｃｒ
、０．５原子％Ｃｕ、１原子％Ｓ１１．５原子％Ｍｎ、
残部Ｆｅ）
このようなニッケル合金からなる反射膜４を有する光磁
気記録媒体は、アルミニウム、銅、金などからなる反射
膜を有する光磁気記録媒体と比較して、優れたＣ／Ｎ比
を有している。1 atom% W1 or 44-47 atom% N15.5-7
．． 5 atoms 96 Mo, 21-23 at% Cr, 0.1
5 at.% CL1% 1 at.% Si ] ~2 at.%
Mn, 2.5 atom% Co, 1 atom% W11.7-2.5
atomic% Nb, balance Fe)N I-Cr-Cu-Mo alloy (56-57 atomic% Ni23-24 atomic% C", 8
Atom 96 Cu, 4 atom% Mo, 2 atom% W, 1 atom% S
t or Mn) N L-Cr-Fe alloy (79.5 atomic% N113
atomic% Cu, 6.5 atomic% Fe, 0.2 atomic 96Cu
, or 30 to 34 atom%N119 to 22 atom%Cr
, 0.5 atom% Cu, 1 atom% S11.5 atom% Mn,
The remaining portion is Fe) A magneto-optical recording medium having a reflective film 4 made of such a nickel alloy has an excellent C/N ratio compared to a magneto-optical recording medium having a reflective film made of aluminum, copper, gold, etc. are doing.
すなわち、アルミニウムなどの熱伝導率が大きな反射膜
を用いると、レーザービームを照射して光磁気記録膜に
ピットを形成する場合に、レザービームから光磁気記録
膜に得られた熱エネルギーがこの反射膜を伝わって拡散
するため、大きな記録レーザーパワーを必要とする。さ
らに、光磁気記録膜に形成されるビットの形状は大きく
なったり、形状が乱れたりしてしまう。その他、反射膜
の膜厚に対する記録パワー依存性が大きくなりすぎてし
まう。In other words, if a reflective film such as aluminum with high thermal conductivity is used, when a laser beam is irradiated to form pits in the magneto-optical recording film, the thermal energy obtained from the laser beam on the magneto-optical recording film is reflected. Because it diffuses through the film, it requires a large recording laser power. Furthermore, the shape of the bit formed on the magneto-optical recording film becomes large or irregular. In addition, the dependence of recording power on the thickness of the reflective film becomes too large.
また一方低い熱伝導率で高い反射率を有するニッケル系
合金からなる反射膜４を設けることによって、光磁気記
録膜の膜厚を薄くしても、高いカー回転角、反射率を得
ることができる。On the other hand, by providing the reflective film 4 made of a nickel-based alloy that has low thermal conductivity and high reflectance, a high Kerr rotation angle and high reflectance can be obtained even if the thickness of the magneto-optical recording film is reduced. .
このような反射膜４の膜厚は、１００〜４０００人好ま
しくは２００〜２０００人程度である。The thickness of such a reflective film 4 is about 100 to 4000, preferably about 200 to 2000.
程度光磁気記録膜３と反射膜との合計膜厚は３００〜４
６００人好ましくは３５０〜２４００人程度である。The total thickness of the magneto-optical recording film 3 and the reflective film is about 300 to 4
The number is about 600 people, preferably about 350 to 2,400 people.
程度明に係る光磁気記録媒体１では、上記のように基板
２と光磁気記録膜３との間にエンハンス膜５が設けられ
ていてもよく、エンハンス膜５は、基板の屈折率よりも
大きな屈折率を有する透明膜であれば用いることができ
る。In the magneto-optical recording medium 1 according to the present invention, the enhancement film 5 may be provided between the substrate 2 and the magneto-optical recording film 3 as described above, and the enhancement film 5 has a refractive index larger than that of the substrate. Any transparent film having a refractive index can be used.
このようなエンハンス膜としては、Ｚｎ Ｓ％Ｚｎ５ｅ
、ＣｄＳ、ＳＩ Ｎ ５ＳｔＮｘ （０＜ｘ＜４
／３） 、Ｓｔ 、Ａｌ）Ｎなどを用いることができる
。このエンハンス膜の膜厚は、１００〜１０００人好ま
しくは３００〜８５０人程度である程
度に、本発明に係る光磁気記録媒体の製造方法について
説明する。As such an enhancement film, ZnS%Zn5e
, CdS, SI N 5StNx (0<x<4
/3), St, Al)N, etc. can be used. The method for manufacturing the magneto-optical recording medium according to the present invention will be described, with the enhancement film having a thickness of about 100 to 1000, preferably about 300 to 850.
基板温度を室温程度に保ち、非晶質合金薄膜を構成する
各元素からなるチップを所定割合で配置した複合ターゲ
ット、または所定割合の組成を有する合金ターゲットを
用い、スパッタリング法あるいは電子ビーム蒸着法など
の従来公知の成膜条件を採用して、この基板（基板は固
定していてもよく、また自転していてもよい）上に所定
組成の非晶質合金薄膜を被着させ、次いでこの上に反射
膜を上記と同様にして被着させることによって、本発明
に係る光磁気記録媒体を製造することができる。The substrate temperature is maintained at about room temperature, and a composite target in which chips made of each element constituting an amorphous alloy thin film are arranged in a predetermined ratio, or an alloy target with a predetermined composition ratio is used, and the sputtering method or electron beam evaporation method is used. An amorphous alloy thin film of a predetermined composition is deposited on this substrate (the substrate may be fixed or rotating) using conventionally known film-forming conditions, and then The magneto-optical recording medium according to the present invention can be manufactured by depositing a reflective film on the substrate in the same manner as described above.
このように本発明に係る光磁気記録媒体は、常温での成
膜が可能であり、膜面に垂直な磁化容易軸を持たせるた
めに成膜後にアニール処理などの熱処理をする必要がな
い。As described above, the magneto-optical recording medium according to the present invention allows film formation at room temperature, and does not require heat treatment such as annealing treatment after film formation in order to have an axis of easy magnetization perpendicular to the film surface.
なお必要に応じては、基板温度を５０〜６００℃に加熱
しながらまたは一５０℃まで冷却しながら、基板上に非
晶質合金薄膜を形成することもできる。Note that, if necessary, the amorphous alloy thin film can be formed on the substrate while heating the substrate temperature to 50 to 600°C or cooling it to -50°C.
またスパッタリング時に、基板を負電位になるようにバ
イアスすることもできる。このようにすると、電界で加
速されたアルゴンなどの不活性ガスイオンはターゲット
物質ばかりでなく成膜されつつある垂直磁化膜をもたた
くことになり、優れた特性を有する垂直磁化膜が得られ
ることがある。Further, during sputtering, the substrate can be biased to a negative potential. In this way, ions of an inert gas such as argon accelerated by an electric field will strike not only the target material but also the perpendicularly magnetized film being formed, resulting in a perpendicularly magnetized film with excellent properties. There is.
発明の効果
本発明に係る光磁気記録媒体では、基板上に、特定の組
成を有する非晶質合金薄膜からなる（Ｉ）光磁気記録膜
と、反射率５０％以上、熱伝導率２Ｊ／ｃｌＩＩ−８ｅ
Ｃ−に以下のニッケル合金からなる（ＩＩ）反射膜とが
順次積層されて構成を有しており、耐酸化性に優れてい
るため光磁気記録膜を薄くすることが可能であって、光
磁気記録媒体に反りあるいは膜割れが生じにくく、しか
も優れたＣＺＮ比を有し、経時的に保磁力が変化したり
あるいはカー回転角が変化することがなく、さらに反射
率も高い。Effects of the Invention In the magneto-optical recording medium according to the present invention, a magneto-optical recording film (I) consisting of an amorphous alloy thin film having a specific composition is provided on a substrate, a reflectance of 50% or more, and a thermal conductivity of 2 J/clII. -8e
It has a structure in which C- and (II) reflective films made of the following nickel alloy are sequentially laminated, and because it has excellent oxidation resistance, it is possible to make the magneto-optical recording film thinner, and the optical The magnetic recording medium is less likely to warp or crack, has an excellent CZN ratio, does not change its coercive force or Kerr rotation angle over time, and has a high reflectance.
以下本発明を実施例によって説明するが、本発明は、こ
れら実施例に限定されるものではない。EXAMPLES The present invention will be explained below with reference to Examples, but the present invention is not limited to these Examples.
実施例１
非晶質ポリオレフィン製ディスク基板上に、スパッタ法
によってエンハンス層として７００人の５ＩＮｘ、光磁
気記録層として３００人のＰｄ１゜Ｐｉ Ｔｂ Ｆ
ｅ Ｃｏ 反射層として７００８ ３４ ３
８ １０ゝ
人のＮ ｌ ｇｏＣｒ ２０を遂次積層形成し、光磁気
ディスクを作成した。Example 1 On an amorphous polyolefin disk substrate, 700 pieces of 5INx were deposited as an enhancement layer and 300 pieces of Pd1°PiTbF were deposited as a magneto-optical recording layer by sputtering.
e Co as a reflective layer 7008 34 3
A magneto-optical disk was fabricated by successively laminating layers of 8 to 10 centimeters of N l goCr 20.
このディスクの記録再生特性を記録周波数ＩＭＨｚ
（Ｄｕｔｙ比５０％）、線速５．４ｍ／ｓにて評価した
。The recording and playback characteristics of this disc are as follows:
(Duty ratio 50%) and a linear velocity of 5.4 m/s.
その結果、最適記録レーザーパワーは３．５ｍＷであり
、Ｃ／Ｎは５０ｄＢ（再生レーザパワーは１．０ｍＷ）
であった。As a result, the optimal recording laser power was 3.5 mW, and the C/N was 50 dB (the reproducing laser power was 1.0 mW).
Met.
実施例２〜７
実施例１と同様にして、表１に示すような組成および構
造を有する光磁気ディスクを作成し、実施例１と同様に
して評価を行なった。Examples 2 to 7 Magneto-optical disks having the composition and structure shown in Table 1 were prepared in the same manner as in Example 1, and evaluated in the same manner as in Example 1.
結果を表１に示す。The results are shown in Table 1.
第１図および第２図は、本発明に係る光磁気記録媒体の
断面図である。
また第３図は、本発明に係る（Ｐｄ 、ｏＰｔ ｔ。
Ｔ ｂ ３５Ｆ Ｑ ２５ＣＯ２０）の保磁力の変化お
よび比較例に係るＴｂ Ｃｏ およびＴ ｂ ２５
Ｆ Ｏ６６ＣＯ９の保磁力の変化を示す図である。
］・・・光磁気記録媒体 ２・・・基板３・・・光
磁気記録膜 ４・・・反射膜５・・・エンハンス
膜1 and 2 are cross-sectional views of a magneto-optical recording medium according to the present invention. Further, FIG. 3 shows changes in coercive force of (Pd, oPt t. T b 35F Q 25 CO20) according to the present invention and Tb Co and T b 25 according to comparative examples.
FIG. 3 is a diagram showing changes in coercive force of FO66CO9. ]... Magneto-optical recording medium 2... Substrate 3... Magneto-optical recording film 4... Reflective film 5... Enhancement film
Claims (1)
順次積層されてなる光磁気記録媒体において、（ I ）
光磁気記録膜は、 ［Ｐｄ＿ａＰｔ＿１＿−＿ａ］＿ｙ［ＲＥ＿ｘＴＭ＿１
＿−＿ｘ］＿１＿−＿ｙ（式中、ＲＥは少なくとも５０
原子％以上がＴｂおよび／またはＤｙであり、残部がＮ
ｄ、Ｇｄ、Ｃｅ、Ｅｕ、Ｐｒ、Ｈｏ、Ｔｍ、Ｓｍであり
、ＴＭはＦｅおよび／またはＣｏであり、０≦ａ≦１、
０．２＜ｘ＜０．７、０．０５≦ｙ≦０．３である）で
表わされる膜面に垂直な磁化容易軸を有する非晶質合金
薄膜からなり、 （II）反射膜は、反射率が５０％以上であり、熱伝導率
が２Ｊ／ｃｍ・ｓｅｃ・Ｋ以下であり、ニッケルを主成
分とし、かつシリコン、モリブデン、鉄、クロム、マン
ガン、コバルト、タングステンおよび銅からなる群から
選択される少なくとも１種を含有するニッケル系合金か
らなることを特徴とする光磁気記録媒体。[Claims] 1. In a magneto-optical recording medium in which (I) a magneto-optical recording film and (II) a reflective film are sequentially laminated on a substrate, (I)
The magneto-optical recording film is [Pd_aPt_1_-_a]_y[RE_xTM_1
_−_x]_1_−_y (where RE is at least 50
At least atomic % is Tb and/or Dy, and the remainder is N
d, Gd, Ce, Eu, Pr, Ho, Tm, Sm, TM is Fe and/or Co, 0≦a≦1,
(II) The reflective film is made of an amorphous alloy thin film having an axis of easy magnetization perpendicular to the film surface expressed by 0.2<x<0.7, 0.05≦y≦0.3. The reflectance is 50% or more, the thermal conductivity is 2 J/cm・sec・K or less, and the main component is nickel, and is from the group consisting of silicon, molybdenum, iron, chromium, manganese, cobalt, tungsten, and copper. A magneto-optical recording medium comprising a nickel-based alloy containing at least one selected material.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26077688A JPH02108256A (en) | 1988-10-17 | 1988-10-17 | Magneto-optical recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26077688A JPH02108256A (en) | 1988-10-17 | 1988-10-17 | Magneto-optical recording medium |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02108256A true JPH02108256A (en) | 1990-04-20 |
Family
ID=17352570
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26077688A Pending JPH02108256A (en) | 1988-10-17 | 1988-10-17 | Magneto-optical recording medium |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02108256A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5965286A (en) * | 1990-08-07 | 1999-10-12 | Hitachi Maxell, Ltd. | Magneto-optical recording medium |
-
1988
- 1988-10-17 JP JP26077688A patent/JPH02108256A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5965286A (en) * | 1990-08-07 | 1999-10-12 | Hitachi Maxell, Ltd. | Magneto-optical recording medium |
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