JPH0210208A - Minute angle measuring apparatus - Google Patents
Minute angle measuring apparatusInfo
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 23
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、光学的な微小角度の測定装置に関する。[Detailed description of the invention] (Industrial application field) The present invention relates to an optical small angle measuring device.
（従来の技術）
水出原人は、干渉縞解析により直交２軸方向の微小角度
を同時に精度よく測定することができるようにした微小
角度測定装置について先に特許出願した。特開昭６２−
２３４１１７号にかかる発明がこれであり、レーザ光源
からのレーザビームを平行光束に拡大するビームエキス
パンダと、上記平行光束を２光束に振幅分割するビーム
スプリッタと１分割された一方の光束を反射すると共に
フリンジスキャニングさせる基準反射鏡と、分割された
他方の光束の測定対象反射面での反射光束と上記基準反
射鏡による反射光束とを上記ビームスプリッタで重ねあ
わせることにより生じる干渉縞を撮像するエリアセンサ
とを有してなり、上記エリアセンサで撮像された干渉縞
を解析して光束の波面のなす角度を測定することにより
測定対象の角度を測定するようにしたことを特徴とする
。(Prior Art) Mr. Mizuide previously filed a patent application for a minute angle measuring device that can simultaneously measure minute angles in two orthogonal axes with high precision using interference fringe analysis. Unexamined Japanese Patent Publication 1986-
This is the invention according to No. 234117, which includes a beam expander that expands a laser beam from a laser light source into a parallel beam, a beam splitter that splits the amplitude of the parallel beam into two beams, and a beam splitter that reflects one of the divided beams. an area sensor that images interference fringes produced by superimposing the reflected light beam of the other split light beam on the measurement target reflecting surface and the light beam reflected by the reference reflector with the beam splitter; The angle of the object to be measured is measured by analyzing the interference fringes imaged by the area sensor and measuring the angle formed by the wavefront of the light beam.
上記出願にかかる微小角度測定装置によれば、エリアセ
ンサを用いて面として角度を測定するようにすると共に
、フリンジスキャニング法を用いて干渉縞パターンを解
析することにより角度を測定するようにしたため、高精
度かつ高分解能で直交２軸に対する傾き角度を同時に測
定できるという効果を奏する。According to the minute angle measuring device according to the above application, the angle is measured as a surface using an area sensor, and the angle is measured by analyzing the interference fringe pattern using the fringe scanning method. This has the effect of being able to simultaneously measure inclination angles with respect to two orthogonal axes with high precision and high resolution.
（発明が解決しようとする課題）
上記出願にかかる微小角度測定装置においては、角度分
解能が０．５ Ｘ １０−’ｒａｄ（０，１秒）程度で
あり、これ以上の高感度の要求に対応することができな
い。また、測定角度範囲も固定的であり、広い角度範囲
にわたって測定することはできない。(Problems to be Solved by the Invention) The minute angle measuring device according to the above application has an angular resolution of about 0.5 x 10-'rad (0.1 seconds), and can meet the demand for higher sensitivity than this. Can not do it. Further, the measurement angle range is also fixed, and measurement cannot be performed over a wide angle range.
本発明は、上記光の出願にかかる微小角度ｎ１す定装置
をさらに改良したもので、高感度化を図って分解能をさ
らに向上させると共に、測定可能な角度範囲を拡大する
ことができる微小角度測定装置を提供することを目的と
する。The present invention is a further improvement of the minute angle n1 measuring device according to the above-mentioned optical application, and is capable of making minute angle measurement by increasing the sensitivity, further improving the resolution, and expanding the measurable angular range. The purpose is to provide equipment.
（課題を解決するための手段）
本発明は、レーザ光源からのレーザビームを平行光束に
拡大するビームエキスパンダと、上記平行光束を２光束
に振幅分割するビームスプリッタと、分割された一方の
光束を反射すると共にフリンジスキャニングさせる基準
反射鏡と、分割された他方の光束の測定対象反射面での
反射光束と上記基準反射鏡による反射光束とを上記ビー
ムスプリッタで重ねあわせることにより生じる干渉縞を
撮像するエリアセンサとを有してなり、上記エリアセン
サで撮像された干渉縞を解析して光束の波面のなす角度
を測定することにより測定対象の角度を測定するように
した微小角度測定装置において、上記ビームスプリッタ
で分割され、測定対象面に向かう光束光路中にアフォー
カルレンズを設けたことを特徴とする。(Means for Solving the Problems) The present invention provides a beam expander that expands a laser beam from a laser light source into a parallel beam, a beam splitter that splits the amplitude of the parallel beam into two beams, and one of the divided beams. A reference reflector that reflects and performs fringe scanning, and the beam splitter images interference fringes produced by superimposing the reflected light beam of the other split light beam on the measurement target reflecting surface and the light beam reflected by the reference reflector. A minute angle measuring device, comprising: an area sensor, and measures an angle of a measurement target by analyzing interference fringes imaged by the area sensor and measuring an angle formed by a wavefront of a light beam, The present invention is characterized in that an afocal lens is provided in the optical path of the beam split by the beam splitter and directed toward the surface to be measured.
上記アフォーカルレンズの倍率Ｍは、Ｍ＞ｌとしてもよ
い。The magnification M of the afocal lens may be M>l.
（作用）
測定対象面での反射光束と基準反射鏡による反射光束と
の間に角度があると、この角度に応じた干渉縞がエリア
センサ上に生じるから、エリアセンサで撮影された干渉
縞を解析することにより測定対象の角度を測定すること
ができる。角度画定の分解能は、アフォーカルレンズの
倍率Ｍによって決まる。倍率Ｍを大きくすれば分解能は
高くなる０倍率Ｍを、Ｍ＞１とすれば分解能はそれほど
期待できないが、測定可能な角度範囲を拡大することが
できる。(Function) If there is an angle between the light flux reflected from the measurement target surface and the light flux reflected by the reference reflector, interference fringes corresponding to this angle will be generated on the area sensor. By analyzing it, the angle of the object to be measured can be measured. The resolution of the angle definition is determined by the magnification M of the afocal lens. If the magnification M is increased, the resolution will be higher.If the magnification M is 0, the resolution will not be so high if M>1, but the measurable angular range can be expanded.
（実施例）
以下１図面を参照しながら本発明にかかる微小角度測定
装置の実施例について説明する。(Example) An example of the minute angle measuring device according to the present invention will be described below with reference to one drawing.
第１図において、符号１１は例えばＨｅ −Ｎ ｅレー
ザ等でなるレーザ光源であり、このレーザ光源１１から
出射したレーザビームはビームエキスパンダ１２で拡大
された平行光束とされたのちビームスプリッタ１３によ
り２光束に振幅分割される６ビームスプリツタ１３で反
射方向に分割された平行光束は基準反射鏡１４で反射さ
れビームスプリッタ１３を透過し、エリアセンサである
ＣＣＤカメラ１５に入射する。一方、ビームスプリッタ
１３で透過方向に分割された他方の平行光束は、アフォ
ーカルレンズ３０で拡大された平行光束とされたのち、
測定対象となる平面反射鏡１６で反射され、アフォーカ
ルレンズ３０を逆に伝搬して縮小された平行光束とされ
、さらにビームスプリッタ１３で反射されてＣＣＤカメ
ラ１５に入射する。従って、基準反射鏡１４で反射され
た一方の平行光束と測定対象をなす反射鏡１６で反射さ
れた平行光束はビームスプリッタ１３で重ね合わせられ
て干渉縞パターンを生じ、この干渉縞パターンがＣＣＤ
カメラ１５で撮像される。撮像された干渉縞パターンは
モニタ２４によって観察することができる。In FIG. 1, reference numeral 11 is a laser light source made of, for example, a He-N e laser. A laser beam emitted from this laser light source 11 is expanded by a beam expander 12 into a parallel beam, and then sent to a beam splitter 13. A parallel light beam split in the reflection direction by a six-beam splitter 13, which amplitude-splits into two light beams, is reflected by a reference reflector 14, passes through the beam splitter 13, and enters a CCD camera 15, which is an area sensor. On the other hand, the other parallel light beam split in the transmission direction by the beam splitter 13 is expanded into a parallel light beam by the afocal lens 30, and then
It is reflected by the flat reflecting mirror 16 to be measured, propagates in the opposite direction through the afocal lens 30 to become a reduced parallel light beam, is further reflected by the beam splitter 13, and enters the CCD camera 15. Therefore, one parallel light beam reflected by the reference reflecting mirror 14 and the parallel light beam reflected by the measuring object reflecting mirror 16 are superimposed by the beam splitter 13 to produce an interference fringe pattern, and this interference fringe pattern is
The image is captured by the camera 15. The imaged interference fringe pattern can be observed on the monitor 24.
いま、ビームスプリッタ１３で振幅分割されかつ反射さ
れた２光束がＣＣＤカメラ１５の撮像面に同一角度で入
射したとすると、入射光束全体が等位相となって１色に
なる。また、２光京間に角度Ｏがあると、角度Ｏに応じ
た干渉縞がＣＣＤカメラ１５の撮像面に生じる。第２図
に示すように、上記干渉縞のピッチをＰ、光源の波長を
λとしたとき、
Ｐ ｔａｎ○＝λ
となる。オートコリメータのように微小角度範囲で測定
する場合は
ｔａｎＯ＝θ
と近似できる。従って。Now, if two light beams that have been amplitude-split and reflected by the beam splitter 13 are incident on the imaging surface of the CCD camera 15 at the same angle, the entire incident light beam has the same phase and becomes one color. Further, when there is an angle O between the two beams, interference fringes corresponding to the angle O are generated on the imaging surface of the CCD camera 15. As shown in FIG. 2, when the pitch of the interference fringes is P and the wavelength of the light source is λ, P tan ○=λ. When measuring in a minute angle range like an autocollimator, it can be approximated as tanO=θ. Therefore.
θ＝λ／Ｐ となる。θ=λ/P becomes.
第１図において、ＣＣＤカメラ１５の撮像面に生じた干
渉縞は光電変換されかつＡ／Ｄ変換され、フレームメモ
リ２１にストックされる。ストックされた信号はパソコ
ン２２に入力され、パソコン２２は２光束の波面のなす
角度を解析し、直交２方向の２光束の波面のなす角度（
２θ）の１／２の角度（θ）をデイスプレィ２３に表示
する。In FIG. 1, interference fringes generated on the imaging surface of a CCD camera 15 are photoelectrically converted and A/D converted, and then stored in a frame memory 21. The stored signals are input to the personal computer 22, which analyzes the angle formed by the wavefronts of the two light beams and calculates the angle formed by the wavefronts of the two light beams in two orthogonal directions (
2θ) is displayed on the display 23.
ところが、単に干渉縞のピッチを読み取るだけでは、光
学的コントラストやごみや埃による回折等の影響を受け
てノイズとなり、測定精度が劣化する。そこで、第１図
の実施例では、基準反射鏡１４をピエゾ素子１８に固着
し、ピエゾ素子１８をパソコン２２により制御して基準
反射鏡１４をフリンジスキャンさせ、干渉縞の高精度測
定を行う。However, simply reading the pitch of the interference fringes results in noise due to the effects of optical contrast, diffraction due to dust, etc., and measurement accuracy deteriorates. Therefore, in the embodiment shown in FIG. 1, the reference reflecting mirror 14 is fixed to the piezo element 18, and the piezo element 18 is controlled by the personal computer 22 to perform fringe scanning of the reference reflecting mirror 14 to perform high-precision measurement of interference fringes.
フリンジスキャニング法は、参照先の位相を段階的に変
化させて干渉縞の強度を光電測定し、測定値からフーリ
エ級数の計算によって物体光の位相を求める方法で、次
の原理に基づく。The fringe scanning method is a method in which the intensity of interference fringes is photoelectrically measured by changing the phase of the reference target stepwise, and the phase of the object light is determined from the measured value by Fourier series calculation, and is based on the following principle.
干渉パターンの強度は任意の点Ｘについて次のように表
すことができる。The intensity of the interference pattern can be expressed for any point X as follows.
Ｉ （ｘ）＝ｕｏ”（ｘ）＋ ｕγ”＋ ２ ｕｏ（ｘ
） ｕ。I (x)=uo”(x)+uγ”+ 2 uo(x
) u.
Ｘ ｃｏｓ （Φｒ−Φ。（Ｘ）） （１”）
これを参照光の位相Φｒについての余弦関数とみなすと
１次のような直流分と基本波成分のみのフーリエ級数の
形で表すことができる。X cos (Φr−Φ.(X)) (1”)
If this is regarded as a cosine function with respect to the phase Φr of the reference light, it can be expressed in the form of a Fourier series with only a first-order DC component and a fundamental wave component.
Ｉ（ｘ、Φ）＝ ａｏ（ｘ）＋ ａ工（ｘ）ｃｏｓΦ十
ｂ １（ｘ）ｓｉｎΦ （２）
ただし、簡単のためにΦＹ＝Φとしである。Φを周期２
πの１ ／ ｎずつ、Ｐ周期にわたって変化させるとす
ると、
Φ・＝ ｊ（２π／ｎ） Ｊ ＝Ｌ２＋３”’＋ｎ
ｐ （３）となる。Φｊに対応する干渉パターンの
強度をＩ （ｘ、Φ）とすると、（２）式の係数はそれ
ぞれ次のような式で与えられる。I (x, Φ) = ao (x) + a k (x) cos Φ + b 1 (x) sin Φ (2) However, for simplicity, ΦY = Φ. Φ with period 2
If we change it by 1/n of π over P periods, then Φ・= j(2π/n) J =L2+3''+n
p (3). When the intensity of the interference pattern corresponding to Φj is I (x, Φ), the coefficients of equation (2) are given by the following equations.
ａｏ（ｘ）＝（１／ｎｐ）ΣＩ（ｘ、Φ・）＝ｕ、”
（ｘ）＋ｕＨ” （４）、ｌＪ
ａ工（ｘ）＝（２／ｎｐ）ΣＩ（ｘ、Φ））ｃｏ鳴：＝
２ｕｏ （ｘ）ｕ、ｃｏｓΦ。（ｘ） （５）ｂｌ（
ｘ）”（２／ｎｐ）ΣＩ（ｘ、 ｏｊ）ｓｉｎΦｊ＝２
ｕｏ（ｘ）ｕ、ｓｉｎΦ。（ｘ） （６）声１
これから
Φａ （ｘ）＝ｔａｎ−’ ［ｂｔ （ｘ）／ａｉ （
ｘ）） ｍｏｄ２７ｍ （７）となり、物体光
の位相が求められる。干渉パターン全体を走査して位相
分布を求めるとき、位相の連続性を考慮すれば、２πの
不確定性は除去できる。ao(x)=(1/np)ΣI(x,Φ・)=u,”
(x) + uH” (4), lJ atechnique (x) = (2/np) ΣI (x, Φ)) co ring: =
2uo (x)u, cosΦ. (x) (5)bl(
x)”(2/np)ΣI(x, oj) sinΦj=2
uo(x)u, sinΦ. (x) (6) Voice 1 From now on Φa (x)=tan-' [bt (x)/ai (
x)) mod27m (7) The phase of the object light can be found. When scanning the entire interference pattern to obtain the phase distribution, the uncertainty of 2π can be removed if phase continuity is considered.
ところで、アフォーカルレンズ３０は第３図に示すよう
に、焦点層ｆｒ’ｌｌ ｆのレンズ３１と、焦点距離Ｍ
ｆのレンズ３１とから構成されてアフォーカルレンズ３
０の倍率はＭ倍になっている。測定対象となる平面反射
鏡１６で反射された光束がレンズ３２にθの角度を有し
て入射すると、レンズ３１からはθ′の角度を有して出
射する。ここで、○’＝ＭＯとなる。従って、ビームス
プリッタ１３により、基準反射鏡１４で反射された光束
と平面反射鏡１６で反射された光束とが重ねあわせられ
ることにより生じる干渉縞パターンは、アフォーカルレ
ンズ３ｏを用いない場合に比へでＭ倍の干渉縞、即ちＭ
倍の角度として読み取ることができ、Ｍ倍の高感度が達
成できる。By the way, as shown in FIG. 3, the afocal lens 30 includes a lens 31 with a focal layer fr'll f and a focal length M.
The afocal lens 3 is composed of a lens 31 of f.
The magnification of 0 is M times. When the light beam reflected by the plane reflecting mirror 16 to be measured enters the lens 32 at an angle of θ, it exits from the lens 31 at an angle of θ'. Here, ◯'=MO. Therefore, the interference fringe pattern generated when the beam splitter 13 superimposes the light beam reflected by the reference reflector 14 and the light beam reflected by the plane reflector 16 will be compared to the case where the afocal lens 3o is not used. M times the interference fringes, that is, M
It can be read as twice as many angles, and M times as high sensitivity can be achieved.
フリンジスキャニング法によれば、λ／１００の測定精
度が得られ、ＣＣＤカメラ１５の撮像体として２／３イ
ンチサイズ、即ち、８．８ｎ＋ｍＸ６．６［Ｉｌｍのも
のを用いても、
（λ／１００）／６．６弁Ｉ Ｘｌ０−Ｇ（ｒａｄ）の
角度解析が可能であり、測定対象となる反射鏡１６での
傾きとしては、０．５ Ｘ １０”−’ （ｒａｄ）
（０，０２秒）の測定精度が得られる。According to the fringe scanning method, a measurement accuracy of λ/100 can be obtained. )/6.6 Valve I
A measurement accuracy of (0.02 seconds) is obtained.
なお、アフォーカルレンズとしては、第１図の実施例の
ように凸曲レンズの構成でもよいし、凹凸レンズあるい
はズームアフォーカルレンズでもよい。The afocal lens may be a convex lens as in the embodiment shown in FIG. 1, or may be a concave-convex lens or a zoom afocal lens.
また、測定結果としての角度表示では、光束波面のなす
角度に対してアフォーカルレンズの倍率Ｍで補正するこ
とは当然であるし、アフォーカルレンズによる角度の方
向の逆転を補正することも当然である（第３図参照）。In addition, when displaying the angle as a measurement result, it is natural to correct the angle formed by the wavefront of the light beam using the magnification M of the afocal lens, and it is also natural to correct the reversal of the direction of the angle due to the afocal lens. Yes (see Figure 3).
ところで、第４図に示すように、通常の角度測定装置に
おいて、測定対象１６の反射面の傾き角度が大きく、も
しくは角度変動が大きい場合は、第５図にも示すように
、測定対象１６からの反射光束３６と基準反射鏡１４か
らの反射光束３４との重なり部分３８が小さくなると共
に、上記二つの光束３４．３６の広がる範囲が広くなっ
てＣＣＤカメラ１５の撮像面から光束がはみ出してしま
う。このような場合には測定範囲を広くとって二つの光
束３４．３６のすべてをＣＣＤカメラ１５でとらえるよ
うにする必要がある。そこで、このような場合には、前
記実施例におけるアフォーカルレンズ３０の倍率Ｍを１
Ｍく１として、測定対象１６の傾きによる前記二つの光
束の位置ずれを小さくする。第６図はアフォーカルレン
ズ３０の倍率Ｍを、Ｍ＜１とした場合を示しており、ア
フォーカルレンズ３０への入射角度をθ、アフォーカル
レンズ３０からの出射角度をθ′としたとき、θ’＝Ｍ
Ｏより、Ｏ′〈θとなり、第７図に示すように、第４図
の場合に比べて二つの光束３４゜３６の重なり部分３８
を大きくとることが可能であり、測定範囲の拡大を図る
ことができる。By the way, as shown in FIG. 4, in a normal angle measuring device, if the inclination angle of the reflective surface of the measurement object 16 is large or the angle variation is large, as shown in FIG. The overlapping portion 38 of the reflected light beam 36 and the reflected light beam 34 from the reference reflector 14 becomes smaller, and the range in which the two light beams 34 and 36 spread becomes wider, causing the light beam to protrude from the imaging surface of the CCD camera 15. . In such a case, it is necessary to widen the measurement range so that the CCD camera 15 can capture all of the two light beams 34 and 36. Therefore, in such a case, the magnification M of the afocal lens 30 in the above embodiment is set to 1.
As Mku1, the positional deviation of the two light beams due to the inclination of the measurement object 16 is reduced. FIG. 6 shows the case where the magnification M of the afocal lens 30 is set to M<1, and when the incident angle to the afocal lens 30 is θ, and the exit angle from the afocal lens 30 is θ', θ'=M
From O, O′<θ, and as shown in FIG.
can be made large, and the measurement range can be expanded.
なお、第４図と第６図を比較する場合、ビームスプリッ
タ１３から測定対象１６の反射面までの距離を等しくす
べきであるが、作図上の見やすさの関係から上記距離は
異なっている。Note that when comparing FIG. 4 and FIG. 6, the distances from the beam splitter 13 to the reflective surface of the measurement object 16 should be the same, but the distances are different for ease of viewing in the drawings.
（発明の効果）
本発明によれば、エリアセンサを用いて面として角度を
測定するようにすると共に、フリンジスキャニング法を
用いて干渉縞パターンを解析することにより角度を測定
するようにしたため、高精度かつ高分解能で直交２軸に
対する傾き角度を同時に測定することができ、また、ビ
ームスプリッタで分割、され、 Ｉｇ定対象に向かう光
束の光路中にアフォーカルレンズを設けたため、このア
フォーカルレンズの倍率Ｍを、Ｍ＞１とすることにより
測定感度を高めて分解能をより一層高めることが可能で
あり、さらに、上記倍率Ｍを、Ｍ＜１とすることにより
測定可能な角度範囲を拡大することもできる。このよう
にしてアフォーカルレンズの倍率を適宜設定することに
より、測定角度範囲を自由に設定することができる。(Effects of the Invention) According to the present invention, angles are measured as a surface using an area sensor, and angles are measured by analyzing interference fringe patterns using a fringe scanning method. It is possible to simultaneously measure the inclination angle with respect to two orthogonal axes with high precision and high resolution, and because an afocal lens is installed in the optical path of the beam split by a beam splitter and directed toward the Ig constant target, this afocal lens By setting the magnification M to M>1, it is possible to increase the measurement sensitivity and further improve the resolution.Furthermore, by setting the magnification M to M<1, it is possible to expand the measurable angular range. You can also do it. By appropriately setting the magnification of the afocal lens in this manner, the measurement angle range can be set freely.
第１図は本発明にかかる微小角度測定装置の一実施例を
示す光学配置図、第２図は同上実施例における２光束の
波長と角度と干渉縞ピッチとの関係を示す説明図、第３
図は上記実施例中のアフォーカルレンズの作用を示す光
学配置図、第４図は測定対象の傾き角度が大きい場合の
作用を一般的に示す光学配置図、第５図は上記の場合の
撮像面における２光束の重なりの状態を示す光束断面図
、第６図は前記実施例におけるアフォーカルレンズの倍
率を小さくした場合の例を示す光学配置図。
第７図は上記の場合の撮像面における２光束の重なりの
状態を示す光束断面図である。
１１・・・・レーザ光源 １２・・・・ビームエキスパ
ンダ １３・・・・ビームスプリッタ １４・・・・測
定対象 １５・・・・エリアセンサ １８・・・・基準
反射鏡 ３０・・・・アフォーカルレンズ
ルＤ
区
馬FIG. 1 is an optical layout diagram showing one embodiment of the micro-angle measuring device according to the present invention, FIG. 2 is an explanatory diagram showing the relationship between the wavelength and angle of two light beams and the interference fringe pitch in the same embodiment as above, and FIG.
The figure is an optical layout diagram showing the action of the afocal lens in the above embodiment, Figure 4 is an optical layout diagram generally showing the action when the tilt angle of the measurement object is large, and Figure 5 is an imaging diagram for the above case. FIG. 6 is a cross-sectional view of a light beam showing the state of overlapping of two light beams on a surface, and FIG. 6 is an optical layout diagram showing an example in which the magnification of the afocal lens in the embodiment described above is reduced. FIG. 7 is a cross-sectional view of the light beams showing the overlapping state of the two light beams on the imaging surface in the above case. 11...Laser light source 12...Beam expander 13...Beam splitter 14...Measurement target 15...Area sensor 18...Reference reflector 30...A Focal lens D Kuuma
Claims (1)
るビームエキスパンダと、 上記平行光束を２光束に振幅分割するビームスプリッタ
と、 分割された一方の光束を反射すると共にフリンジスキャ
ニングさせる基準反射鏡と、 分割された他方の光束の測定対象反射面での反射光束と
上記基準反射鏡による反射光束とを上記ビームスプリッ
タで重ねあわせることにより生じる干渉縞を撮像するエ
リアセンサとを有してなり、 上記エリアセンサで撮像された干渉縞を解析して光束の
波面のなす角度を測定することにより測定対象の角度を
測定するようにした微小角度測定装置において、 上記ビームスプリッタで分割され、測定対象面に向かう
光束光路中にアフォーカルレンズを設けたことを特徴と
する微小角度測定装置。 ２、アフォーカルレンズの倍率Ｍは、Ｍ＞１である請求
項１記載の微小角度測定装置。[Scope of Claims] 1. A beam expander that expands a laser beam from a laser light source into a parallel beam; a beam splitter that splits the amplitude of the parallel beam into two beams; and a fringe that reflects one of the split beams. A reference reflecting mirror for scanning, and an area sensor for capturing an image of interference fringes produced by superimposing the reflected light beam of the other divided light beam on the measurement target reflecting surface and the reflected light beam by the reference reflector using the beam splitter. The micro-angle measuring device measures the angle of the measurement target by analyzing the interference fringes imaged by the area sensor and measuring the angle formed by the wavefront of the light beam, which is divided by the beam splitter. A micro-angle measuring device characterized in that an afocal lens is provided in the optical path of the light flux toward the surface to be measured. 2. The minute angle measuring device according to claim 1, wherein the magnification M of the afocal lens is M>1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16213588A JP2595050B2 (en) | 1988-06-29 | 1988-06-29 | Small angle measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16213588A JP2595050B2 (en) | 1988-06-29 | 1988-06-29 | Small angle measuring device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0210208A true JPH0210208A (en) | 1990-01-16 |
| JP2595050B2 JP2595050B2 (en) | 1997-03-26 |
Family
ID=15748706
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16213588A Expired - Fee Related JP2595050B2 (en) | 1988-06-29 | 1988-06-29 | Small angle measuring device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2595050B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040022582A (en) * | 2002-09-09 | 2004-03-16 | 주식회사 루프시스템 | Detailed angle measuring device |
| JP2009500607A (en) * | 2005-06-29 | 2009-01-08 | ザイゴ コーポレーション | Apparatus and method for mitigating non-periodic nonlinear errors in interferometry |
| CN109959353A (en) * | 2019-04-09 | 2019-07-02 | 北方民族大学 | A kind of compensation angular transducer |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104330053B (en) * | 2014-08-20 | 2017-06-16 | 安徽大学 | Micro- angle measurement method and device |
-
1988
- 1988-06-29 JP JP16213588A patent/JP2595050B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040022582A (en) * | 2002-09-09 | 2004-03-16 | 주식회사 루프시스템 | Detailed angle measuring device |
| JP2009500607A (en) * | 2005-06-29 | 2009-01-08 | ザイゴ コーポレーション | Apparatus and method for mitigating non-periodic nonlinear errors in interferometry |
| CN109959353A (en) * | 2019-04-09 | 2019-07-02 | 北方民族大学 | A kind of compensation angular transducer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2595050B2 (en) | 1997-03-26 |
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